JP2016184070A5 - - Google Patents
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Description
本発明に係る電気光学装置の製造方法では、第1面側の第1領域に第1ミラーおよび前記第1ミラーを駆動する第1駆動素子が設けられ、前記第1面側の第2領域に第2ミラーおよび前記第2ミラーを駆動する第2駆動素子が設けられた第1ウエハーを用意する第1ウエハー準備工程と、透光性ウエハーとスペーサー用ウエハーとが重ねて接着され、前記スペーサー用ウエハーを貫通する第1凹部および第2凹部が設けられた第2面を備えた第2ウエハーを形成する第2ウエハー形成工程と、前記第1ミラーに前記第1凹部が平面視で重なり、前記第2ミラーに前記第2凹部が平面視で重なるように前記第1ウエハーの前記第1面と前記第2ウエハーの前記第2面とを重ねて接着する接着工程と、前記第1ウエハーと前記第2ウエハーとの積層体を前記第1領域と前記第2領域の間で分割する分割工程と、を有し、前記分割工程を行う前に、前記透光性ウエハーと前記スペーサー用ウエハーとの境界を覆う無機物層を形成する無機物層形成工程を行うことを特徴とする。
本発明に係る電気光学装置の製造方法において、前記貫通工程では、ダイシングブレードによって前記溝の底部を除去する態様を採用することができる。
[実施の形態1]
(電子機器としての投射型表示装置)
図1は、本発明を適用した電子機器としての投射型表示装置の光学系を示す模式図である。図1に示す投射型表示装置1000は、光源部1002と、光源部1002から出射された光を画像情報に応じて変調する電気光学装置100と、電気光学装置100で変調された光を投射画像としてスクリーン等の被投射物1100に投射する投射光学系1004と有している。光源部1002は、光源1020と、カラーフィルター1030とを備えている。光源1020は白色光を出射し、カラーフィルター1030は、回転に伴って各色の光を出射し、電気光学装置100は、カラーフィルター1030の回転に同期したタイミングで、入射した光を変調する。なお、カラーフィルター1030に代えて、光源1020から出射された光を各色の光に変換する蛍光体基板を用いてもよい。また、各色の光毎に光源部1002および電気光学装置100を設けてもよい。
(電子機器としての投射型表示装置)
図1は、本発明を適用した電子機器としての投射型表示装置の光学系を示す模式図である。図1に示す投射型表示装置1000は、光源部1002と、光源部1002から出射された光を画像情報に応じて変調する電気光学装置100と、電気光学装置100で変調された光を投射画像としてスクリーン等の被投射物1100に投射する投射光学系1004と有している。光源部1002は、光源1020と、カラーフィルター1030とを備えている。光源1020は白色光を出射し、カラーフィルター1030は、回転に伴って各色の光を出射し、電気光学装置100は、カラーフィルター1030の回転に同期したタイミングで、入射した光を変調する。なお、カラーフィルター1030に代えて、光源1020から出射された光を各色の光に変換する蛍光体基板を用いてもよい。また、各色の光毎に光源部1002および電気光学装置100を設けてもよい。
まず、図7(b)に示すように、透光性カバー71の表面にレジストマスク101を形成した状態で、図7(c)に示すように、異方性エッチング(ドライエッチング)を行い、図7(d)に示すように、素子基板1において溝22と重なる領域から無機バリアー層81を除去し、端子17を露出させる。その結果、一方面10sの第1の領域10aと第2の領域10bの間に形成されていた無機バリアー層81の一部81aが除去される。次に、図7(d)に示すように、レジストマスク101を除去した後、図7(e)に示すように、透光性カバー71の表面に形成された無機バリアー層81を研削や研磨によって除去する。本形態では、グラインダー111による研削によって、透光性カバー71の表面に形成された無機バリアー層81を研削や研磨によって除去する。その結果、図6(d)に示すように、スペーサー61の外面61wおよび透光性ウエハー70の側面71wのみに無機バリアー層81が残る
次に、分割工程では、図6(e)に示すように、第1ウエハー用ダイシングブレード41によって、第1ウエハー10において溝22に沿って第1ウエハー10をダイシングする。その結果、第1の領域10aと第2の領域10bとの間で、第1のウエハー10が分割される。本形態では、第1ウエハー用ダイシングブレード41を第1ウエハー10に対して第2ウエハー20の側から、第2ウエハー20の切断個所(隣り合う透光性カバー71の間、および隣り合うスペーサー61の間)に進入させて第1ウエハー10をダイシングする。その結果、第1ウエハー10と第2ウエハー20との積層体130が分割され、電気光学装置100が複数製造される。かかる電気光学装置100に対して、さらに図4に示すように、実装基板90および封止樹脂98によって封止する場合には、図8に示す工程を行う。
[実施の形態4]
図12は、本発明の実施の形態4に係る電気光学装置100の製造方法を示す工程断面図である。本形態では、図12を参照して説明する方法によって、図9を参照して説明した電気光学装置100を製造する。本形態では、図6(a)を参照して説明した接着工程の前に、溝22の底部221を除去して溝22を第2ウエハー20の第3面20tまで貫通させる貫通工程を行う。また、貫通工程の後、接着工程の前に、第2ウエハー20の第3面20t側から溝22の内部に対して無機バリアー層形成工程を行う。
図12は、本発明の実施の形態4に係る電気光学装置100の製造方法を示す工程断面図である。本形態では、図12を参照して説明する方法によって、図9を参照して説明した電気光学装置100を製造する。本形態では、図6(a)を参照して説明した接着工程の前に、溝22の底部221を除去して溝22を第2ウエハー20の第3面20tまで貫通させる貫通工程を行う。また、貫通工程の後、接着工程の前に、第2ウエハー20の第3面20t側から溝22の内部に対して無機バリアー層形成工程を行う。
次に、図15(a)、(b)に示す工程によって、図14(d)に示すように、素子基板1の溝22と重なる位置から無機バリアー層81を除去する。その結果、一方面10sの第1の領域10aと第2の領域10bの間に形成されていた無機バリアー層81の一部81aが除去される。
次に、分割工程では、図14(e)に示すように、第1ウエハー用ダイシングブレード41によって、第1ウエハー10において溝22に沿って第1ウエハー10をダイシングする。本形態では、第1ウエハー用ダイシングブレード41を第1ウエハー10に対して第2ウエハー20の側から、第2ウエハー20の切断個所(隣り合う透光性カバー71の間、および隣り合うスペーサー61の間)に進入させて第1ウエハー10をダイシングする。その結果、第1の領域10aと第2の領域10bとの間で、第1のウエハー10が分割される。また、第1ウエハー10と第2ウエハー20との積層体130が分割され、電気光学装置100が複数製造される。かかる電気光学装置100に対して、さらに図13に示すように、実装基板90および封止樹脂98によって封止する場合には、図8を参照して説明した工程を行う。
Claims (21)
- 素子基板と、
前記素子基板の第1面側に設けられたミラーと、
前記素子基板の前記第1面側に設けられ、前記ミラーを駆動する駆動素子と、
平面視で前記ミラーおよび前記駆動素子の周りを囲み、第1端部が前記素子基板に固定された枠状のスペーサーと、
前記スペーサーの前記第1端部とは反対側の第2端部に固定された、透光性を有する透光性カバーであって、前記ミラーが前記素子基板と前記透光性カバーの間に位置するように前記第1面側に設けられた前記透光性カバーと、
前記スペーサーと前記透光性カバーとの境界を覆う無機物層と、
を有することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1に記載の電気光学装置において、
前記無機物層は、前記スペーサーの前記ミラーとは反対側の外面から前記透光性カバーの側面まで繋がっていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項2に記載の電気光学装置において、
前記スペーサーは、前記透光性カバーの前記側面より前記ミラーとは反対側に向けて張り出した張り出し部を備え、
前記無機物層は、前記スペーサーの前記外面から前記張り出し部の前記素子基板と対向する面とは反対側の面を経て前記透光性カバーの前記側面まで繋がっていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1に記載の電気光学装置において、
前記透光性カバーは、前記スペーサーの前記ミラーとは反対側の外面より前記ミラーとは反対側に向けて張り出した張り出し部を備え、
前記無機物層は、前記スペーサーの前記外面から前記張り出し部の前記素子基板と対向する面まで繋がっていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記無機物層は、酸化アルミウニム層、酸化シリコン層、および窒化シリコン層のうちの少なくとも1層を含むことを特徴とする電気光学装置。 - 第1面側の第1領域に第1ミラーおよび前記第1ミラーを駆動する第1駆動素子が設けられ、前記第1面側の第2領域に第2ミラーおよび前記第2ミラーを駆動する第2駆動素子が設けられた第1ウエハーを用意する第1ウエハー準備工程と、
透光性ウエハーとスペーサー用ウエハーとが重ねて接着され、前記スペーサー用ウエハーを貫通する第1凹部及び第2凹部が設けられた第2面を備えた第2ウエハーを形成する第2ウエハー形成工程と、
前記第1ミラーに前記第1凹部が平面視で重なり、前記第2ミラーに前記第2凹部が平面視で重なるように前記第1ウエハーの前記第1面と前記第2ウエハーの前記第2面とを重ねて接着する接着工程と、
前記第1ウエハーと前記第2ウエハーとの積層体を前記第1領域と前記第2領域の間で分割する分割工程と、
を有し、
前記分割工程を行う前に、前記透光性ウエハーと前記スペーサー用ウエハーとの境界を覆う無機物層を形成する無機物層形成工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項6に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第2ウエハー形成工程では、前記第1凹部と前記第2凹部の間に溝が設けられた前記第2ウエハーを形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項7に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第2ウエハー形成工程では、前記透光性ウエハーと前記スペーサー用ウエハーとを重ねて接着する前に、前記スペーサー用ウエハーを貫通するように前記溝を形成しておくことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記接着工程の後、前記分割工程の前に、前記溝の底部を除去して前記溝を前記第2ウエハーの前記第2面とは反対側の第3面まで貫通させる貫通工程を行い、
前記貫通工程の後、前記分割工程の前に、前記第3面側から前記溝の内部に対して前記無機物層形成工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第2ウエハー形成工程の後、前記接着工程の前に、前記溝の底部を除去して前記溝を前記第2ウエハーの前記第2面とは反対側の面からなる第3面まで貫通させる貫通工程を行い、
前記接着工程の後、前記分割工程の前に、前記第3面側から前記溝の内部に対して前記無機物層形成工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記接着工程の前に、前記溝の底部を除去して前記溝を第2ウエハーの前記第2面とは反対側の面からなる第3面まで貫通させる貫通工程を行い、
前記貫通工程の後、前記接着工程の前に、前記第3面側から前記溝の内部に対して前記無機物層形成工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至11の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第2ウエハー形成工程では、前記スペーサー用ウエハーを貫通するように前記溝を形成し、
前記貫通工程では、前記透光性ウエハーを前記溝の幅よりも広い幅で除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至12の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記無機物層形成工程および前記接着工程の後、前記分割工程の前に、前記第2ウエハーの前記第3面に対して研削または研磨を行い、前記第3面から前記無機物層を除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至13の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記無機物層形成工程では、前記第1ウエハーの前記第1領域と前記第2領域の間の前記第1面側に前記無機物層の第1部分が形成され、
前記無機物層形成工程および前記接着工程の後、前記分割工程の前に、エッチングマスクを形成した状態で前記無機物層の前記第1部分を除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至14の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記貫通工程では、ダイシングブレードによって前記溝の底部を除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項9乃至14の何れか一項に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記貫通工程では、エッチングによって前記溝の底部を除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項7または8に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記接着工程の後、前記溝の底部を除去して前記溝を第2ウエハーの前記第2面とは反対側の面からなる第3面まで貫通させる貫通工程を行う前に、前記溝の内部に対して前記無機物層形成工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項17に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記無機物層形成工程では、前記第1ウエハーの前記第1領域と前記第2領域の間の前記第1面側に前記無機物層の第1部分が形成され、
前記貫通工程では、前記第2ウエハーの前記第3面からダイシングブレードによって前記溝の底部を除去し、
前記貫通工程の後、前記分割工程の前に、前記無機物層にエッチングを行って前記第1ウエハーに形成された前記無機物層の前記第1部分を除去するエッチング工程を行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項18に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記ダイシングブレードの厚さは、前記溝の相対向する内壁に形成された前記無機物層によって挟まれた隙間の間隔より狭く、
前記エッチング工程では、前記透光性ウエハーをマスクとしてエッチングを行って前記無機物層の前記第1部分を除去することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項19に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記第1ウエハーには、前記溝と重なる領域に端子が形成されており、
前記ダイシングブレードの厚さは、前記端子が形成されている領域の幅より厚いことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項1乃至5の何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
前記ミラーに光源光を照射する光源部を有することを特徴とする電子機器。
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