JP2016178192A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また待機部では配管がカップの上端近傍に位置しているため、ノズルを移動するときに当該ノズルに伴って配管がフレキシブルに動くと、待機位置にある隣接する配管と接触(干渉)しやすい。この配管同士の接触は処理を行う度に発生するため、配管が摩耗してパーティクルが発生したり、配管の劣化が進むと破けてしまうおそれがある。
ノズルから処理液を基板の表面に供給して液処理を行う液処理装置において、
前記基板を水平に保持する保持台とこの保持台上の基板を囲むように設けられたカップとを有し、互いに左右に並ぶ左側カップモジュール及び右側カップモジュールと、
前記左側カップモジュールの左側にて、各々左右に並んで待機位置に待機する複数のノズルからなる第1のノズル群と、
前記複数のノズルに夫々一端側が接続され、各々横方向に並んで配列された複数の可撓性の給液管からなる第1の給液管群と、
前記右側カップモジュールの右側にて、各々左右に並んで待機位置に待機する複数のノズルからなる第2のノズル群と、
前記第2のノズル群の複数のノズルに夫々一端側が接続され、各々横方向に並んで配列された複数の可撓性の給液管からなる第2の給液管群と、
前記第1のノズル群から選択されたノズルを待機位置と前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールから選択されたカップモジュールの保持台上の基板に処理液を吐出する処理位置との間で移動させ、また前記第2のノズル群から選択されたノズルを待機位置と前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールから選択されたカップモジュールの保持台上の基板に処理液を吐出する処理位置との間で移動させるノズル移動機構と、を備え、
前記第1の給液管群は、後方まで引き回され、更に右側に屈曲されて前記左側カップモジュールの後方側を右方向に向かって伸びるように設けられ、
前記第2の給液管群は、後方まで引き回され、更に左側に屈曲されて前記右側カップモジュールの後方側を左方向に向かって伸びるように設けられていることを特徴とする。
スピンチャック21は、ウエハWの裏面中央部を吸着保持し、回転駆動部211により鉛直軸回りに回転自在に構成されている。カップ22は、後述する液処理を行うときに、処理液や廃液等が外部へ飛散することを抑制するために設けられるものである。カップ22は、その上方側に、ウエハWを搬入出するための開口部20を備えると共に、カップ22の下方側は凹部状に形成されて環状の液受け部23として構成され、排液路24が接続されている。図中25は排気管であり、排気管25の側壁によって気体と液体とが分離される。
ノズル3について図4及び図5を参照して説明する。ノズル3は先端部31を備え、この先端部31に設けられる吐出口32から垂直下方に処理液を吐出するように構成されている。先端部31の上側は、後述するノズル移動機構6により保持される本体部33を成しており、この本体部33の内部には、先端部31に処理液を供給するための流路331が形成されている。先端部31及び本体部33は、後述の給液管34に比べて硬質に構成される。
これら第1の給液管34A〜34Eは、例えばフッ素樹脂等の可撓性の材料からなり、例えば第1の待機部401にて待機している対応するノズル3A〜3Eの夫々の本体部33に対して後方側から、その一端が接続されている。こうして第1の待機部401にノズル3A〜3Eを待機させているときにおいて、第1の給液管群341を構成する複数の第1の給液管34A〜34Eは、左側領域16において、各々横方向に並んで配列される。
さらに第2の給液管群342を構成する給液管34F〜34Jは、図1に示すように、例えば後方領域17において第1の給液管群341を構成する給液管34A〜34Eの延長線上に伸びるように、互いに同一線上に配列されている。「同一線上に配列される」には、第1の給液管群341の給液管34A〜34Eの延長線上に、第2の給液管群342の給液管34F〜34Jの一部が重なる場合も含むものとする。
このように給液管34A〜34Jの基端側を第1及び第2の規制部501、502に夫々接続することにより、給液管34A〜34Jの基端側の位置が基台13上において規制される。また給液管34A〜34Jの先端側の位置はノズル3A〜3Jを介して第1及び第2の待機部401、402にて夫々規制されるので、ノズル3A〜3Jが待機位置にあるときには、給液管34A〜34Jは常に既述のように配列されることになる。
こうして左処理位置にあるノズル3AからウエハWにレジスト液を吐出しながらウエハWを回転させることにより、レジスト液を遠心力によりウエハWの周縁部に行き渡らせてレジスト膜を形成する。
全ての給液管81は屈曲部位82の上流側の給液管81と下流側の給液管81とが上下に重なるように設けられ、給液管81は図14に示すように、屈曲部位82の下流側から上流側に亘って、屈曲自在な管状部材83の内部に設けられている。この管状部材83は例えば断面が角状であり、例えばステンレスより構成されている。
1 塗布装置
100 制御部
201 左側カップモジュール
202 右側カップモジュール
21 スピンチャック
22 カップ
3 ノズル
301 第1のノズル群
302 第2のノズル群
34 給液管
341 第1の給液管群
342 第2の給液管群
401 第1の待機部
402 第2の待機部
6 ノズル移動機構
Claims (4)
- ノズルから処理液を基板の表面に供給して液処理を行う液処理装置において、
前記基板を水平に保持する保持台とこの保持台上の基板を囲むように設けられたカップとを有し、互いに左右に並ぶ左側カップモジュール及び右側カップモジュールと、
前記左側カップモジュールの左側にて、各々左右に並んで待機位置に待機する複数のノズルからなる第1のノズル群と、
前記複数のノズルに夫々一端側が接続され、各々横方向に並んで配列された複数の可撓性の給液管からなる第1の給液管群と、
前記右側カップモジュールの右側にて、各々左右に並んで待機位置に待機する複数のノズルからなる第2のノズル群と、
前記第2のノズル群の複数のノズルに夫々一端側が接続され、各々横方向に並んで配列された複数の可撓性の給液管からなる第2の給液管群と、
前記第1のノズル群から選択されたノズルを待機位置と前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールから選択されたカップモジュールの保持台上の基板に処理液を吐出する処理位置との間で移動させ、また前記第2のノズル群から選択されたノズルを待機位置と前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールから選択されたカップモジュールの保持台上の基板に処理液を吐出する処理位置との間で移動させるノズル移動機構と、を備え、
前記第1の給液管群は、後方まで引き回され、更に右側に屈曲されて前記左側カップモジュールの後方側を右方向に向かって伸びるように設けられ、
前記第2の給液管群は、後方まで引き回され、更に左側に屈曲されて前記右側カップモジュールの後方側を左方向に向かって伸びるように設けられていることを特徴とする液処理装置。 - 前記第1のノズル群のノズルの移動に伴って引き回される給液管は、当該ノズルが待機位置におかれているときの第1の給液管群の高さ位置よりも高い位置を通り、前記第2のノズル群のノズルの移動に伴って引き回される給液管は、当該ノズルが待機位置におかれているときの第2の給液管群の高さ位置よりも高い位置を通るように構成されていることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記第1の給液管群は、前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールの並びの中央寄りかつ後方側に位置する第1の規制部に規制され、第1のノズル群のノズルが処理位置に移動するときには、第1の規制部から左側に伸び、さらに上側に曲げられて、右方向に引き回される状態になり、
前記第2の給液管群は、前記左側カップモジュール及び右側カップモジュールの並びの中央寄りかつ後方側であって、前記第1の規制部よりも右側に位置する第2の規制部に規制され、第2のノズル群のノズルが処理位置に移動するときには、第2の規制部から右側に伸び、さらに上側に曲げられ、左方向に引き回される状態になることを特徴とする請求項1または2記載の液処理装置。 - 前記第1の給液管群及び前記第2の給液管群は、対応するノズルの移動に伴って、下方側から上方側に屈曲する部位が移動するように構成され、
前記給液管において前記屈曲する部位を挟んで上方側の部位及び下方側の部位に両端部が夫々固定され、前記屈曲する部位の移動に伴って伸縮自在に構成された剛性材からなる、給液管の起立姿勢を維持するための部材を備えたことを特徴とする請求項1に記載された液処理装置。
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