JP2016170310A - レチクル搬送装置、検査装置およびレチクル搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】レチクルを検査装置で検査することを容易化するレチクル搬送装置を提供する。
【解決手段】ＥＵＶリソグラフィー（ＥＵＶＬ）用レチクルを搬送するレチクル搬送装置１０であって、アウターポッドに収納されたインナーポッドを取り出すインナーポッド取出部１２と、インナーポッドに収納されたレチクルを取り出すレチクル取出部１３と、レチクルの上面または外周に、電気を印加可能な印加部を設ける印加部設置部と、を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、レチクル搬送装置、検査装置およびレチクル搬送方法に関する。

近年、極端紫外線（Extreme UltraViolet、以下、ＥＵＶという）の露光装置で使用されているＥＵＶリソグラフィー（Extreme UltraViolet Lithography、以下、ＥＵＶＬという）レクチル用ＥＵＶポッドは、レクチルがインナーポッドによって覆われ且つインナーポッドがアウターポッドによって覆われた二重構造になっている。ここでレクチルは、ウエハ上に回路パターンを露光するための使用するフォトマスクである。

ＥＵＶＬレクチル用ＥＵＶポッドは、アウターポッドからインナーポッドを取り出した後に、真空ポッドに搬送し、インナーポッドのベースに載せたまま露光を行う用途で作られている。このレチクルを検査装置で検査するためには、レチクルの上面または外周に、印加部を設けることが必要である。

特開２００６−１５３８９９号公報 特表２００６−５１５１１１号公報

しかしながら、このインナーポッドのベースに載せられたレチクルの上面または外周に印加部を設けることは構造上困難であるため、レチクルを検査装置で検査することが難しいという問題があった。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、レチクルを検査装置で検査することを容易化することができるレチクル搬送装置、検査装置およびレチクル搬送方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るレチクル搬送装置は、アウターポッドに収納されたインナーポッドを取り出すインナーポッド取出部と、前記インナーポッドに収納された前記レチクルを取り出すレチクル取出部と、前記レチクルを搬送する搬送部と、を備える。

これにより、検査装置はレチクルに対して印加部を介して電気を印加することができるので、レチクルを容易に検査することができる。

また、本発明の一態様に係るレチクル搬送装置において、前記搬送部は、前記インナーポッドから取り出されたレチクルを前記パレットの所定の位置に載置し、前記印加部が設けられたマスクカバーで前記レチクルの上面の一部を覆うことにより、前記印加部と前記レチクルとを導通させる搬送ロボットによって構成されていてもよい。

これにより、マスクカバーで前記レチクルの上面の一部を覆うだけで、レチクルの上面に印加部を設けることができるので、容易に印加部を設けることができる。

また、本発明の一態様に係るレチクル搬送装置において、前記マスクカバーは、前記印加部と接続された端子を有し、前記搬送ロボットは、前記レチクルが載置され且つ前記マスクカバーが設けられたパレットを前記検査装置の所定の位置に載置することによって、前記検査装置の給電部と前記端子とを導通させてもよい。

これにより、パレットを検査装置の所定の位置に載置するだけで、レチクルに電気を印加することができるので、容易にレチクルを検査することができる。

また、本発明の一態様に係るレチクル搬送装置において、前記インナーポッドは、前記レチクルを載置可能な下蓋と、前記下蓋から取り外し可能な上蓋と、を有し、前記インナーポッドの前記上蓋を取り外し、前記下蓋に載置されたレチクルを取り出す取出部を更に備えてもよい。

これにより、従来と同じように、下蓋に載置されたレチクルを搬送することができる。このため、従来の検査装置で用いられているレチクル搬送装置を、本発明の一態様に係るレチクル搬送装置に置き換えて使用することができる。

本発明の一態様によれば、検査装置で検査することを容易化することができる。

レクチルとインナーポッドとアウターポッドとの関係を示す概要図である。 本実施形態に係る検査装置の主要構成要素を示す平面図である。 本実施形態に係るレチクル搬送装置の主要構成要素を示す平面図である。 本実施形態に係るパレットとマスクカバーの構成を示す斜視図である。 図４のパレットをひっくり返した図である。 本実施形態に係るアウターポッドオープナーの主要構成を示す図である。 本実施形態に係るアウターポッドオープナーの動作の説明図である。 本実施形態に係るインナーポッドオープナーの主要構成を示す図である。 変形例に係るレチクル搬送装置の主要構成要素を示す平面図である。

以下、本発明の実施の形態の半導体検査装置について、図面を参照しながら説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、本発明を実施する場合の一例を示すものであって、本発明を以下に説明する具体的構成に限定するものではない。本発明の実施にあたっては、実施の形態に応じた具体的構成が適宜採用されてよい。

最初に、本発明の各実施形態が前提としているレクチルと、レクチルの保護部材であるインナーポッドと、インナーポッドを覆うアウターポッド（レチクルスミフポッド：ＲＳＰともいう）の関係を、図１を用いて説明する。図１は、レクチルとインナーポッドとアウターポッドとの関係を示す概要図である。

レチクル６１は、レチクル６１を載置可能な下蓋６２ｂと下蓋から取り外し可能な上蓋６２ａとを有するインナーポッド６２内に、上蓋６２ａと下蓋（インナーポッドベースともいう）６２ｂに挟まれる形で収納されて保護されている。更に、インナーポッド６２は、カバー６３ａと基台（ＲＳＰ基盤ともいう）６３ｂとを有するアウターポッド６３内に収納されている。レチクル６１は、インナーポッド６２とアウターポッド６３とに二重に収納された状態で、後述する検査装置１内のレチクル搬送装置１０に搬入されてくる。以下、レチクル６１が、インナーポッド６２とアウターポッド６３とに二重に収納された状態のものを、レチクル用ＥＵＶポッドという。

（本実施形態）
図２は、本実施形態に係る検査装置１の主要構成要素を示す平面図である。図１に示すように、本実施形態の検査装置１は、レチクルを搬送するレチクル搬送装置１０と、ワーキングチャンバを画成する主ハウジング３０と、レチクル搬送装置１０と主ハウジング３０との間に配置されていて、二つのローディングチャンバを画成するローダハウジング４０とを備える。ここで、ローダハウジング４０は、第１のローディングチャンバ４１と第２のローディングチャンバ４２とを画成するハウジング本体４３を備えている。

レチクル搬送装置１０によって、レチクルが第１のローディングチャンバ４１に搬送される。その後、ローディングチャンバ４１に搬送されたレチクルが第２のローディングチャンバ４２に搬送され、第２のローディングチャンバ４２に搬送されたレチクルが主ハウジング３０に搬送される。以下、検査装置１が有する各部の構成について説明する。

＜ローダハウジング４０＞
まず、ローダハウジング４０の構成について説明する。ハウジング本体４３は底壁と、頂壁と、四周を囲む周壁と、第１のローディングチャンバ４１と第２のローディングチャンバ４２とを仕切る仕切壁４３４とを有していて、両ローディングチャンバを外部から隔離できるようになっている。仕切壁４３４には両ローディングチャンバ間でレチクルのやり取りを行うための開口すなわち出入り口４３５が形成されている。また、周壁のレクチル搬送装置１０に隣接した部分には出入り口４３６が形成され、周壁の主ハウジング３０に隣接した部分には出入り口４３７が形成されている。

このローダハウジング４０のハウジング本体４３は、ハウジング支持装置３３のフレーム構造体（図示せず）上に載置されてそれによって支持されている。したがって、このローダハウジング４０にも床の振動が伝達されないようになっている。ローダハウジング４０の出入り口４３６とレクチル搬送装置１０の出入り口とは整合されていて、レクチル搬送装置１０が設置された空間と第１のローディングチャンバ４１との連通を選択的に阻止するシャッタ装置２７が設けられている。また、ローダハウジング４０の出入り口４３７とハウジング本体３２の出入り口３２５とは整合されていて、そこには第２のローディングチャンバ４２とワーキンググチャンバ３１との連通を選択的に密封阻止するシャッタ装置４５が設けられている。

更に、仕切壁４３４に形成された開口には、扉４６１によりそれを閉じて第１及び第２のローディングチャンバ間の連通を選択的に密封阻止するシャッタ装置４６が設けられている。これらのシャッタ装置２７、４５及び４６は、閉じた状態にあるとき各チャンバを気密シールできるようになっている。これらのシャッタ装置２７、４５及び４６は公知のものでよいので、その構造及び動作の詳細な説明は省略する。第１のローディングチャンバ４１内には、複数（本実施形態では例えば、２枚）のレチクルを上下に隔てて水平の状態で支持するレチクルラック４７が配設されている。ローディングチャンバ４１及び４２は、図示しない真空ポンプを含む公知の構造の真空排気装置（図示せず）によって高真空状態（真空度としては１０^-5〜１０^-6Ｐａ）に雰囲気制御され得るようになっている。

＜主ハウジング３０＞
続いて、主ハウジング３０の構成について説明する。図１において、不図示のワーキングチャンバを画成する主ハウジング３０は、ハウジング本体３２を備え、そのハウジング本体３２は、不図示の台フレーム上に配置された振動遮断装置すなわち防振装置（図示せず）の上に載せられたハウジング支持装置３３によって支持されている。また、ハウジング本体３２の周壁３２３のうち後述するローダハウジングに隣接する周壁にはレチクル出し入れ用の出入り口３２５が形成されている。

＜ステージ装置５０＞
続いて、ステージ装置５０の構成について説明する。ステージ装置５０は、主ハウジング３０の底壁上に配置された固定テーブル５１と、固定テーブル上でＹ方向に移動するＹテーブル５２と、Ｙテーブル５２上でＸ方向に移動するＸテーブル５３と、Ｘテーブル５３上で回転可能な回転テーブル５４と、回転テーブル５４上に配置されたホルダ５５とを備えている。そのホルダ５５の載置面５５１上にレチクルを解放可能に保持する。ホルダ５５には、電気を供給するインタフェースである給電部の一例として、コンタクトピンが二つ設けられており、検査時にはこの二つのコンタクトピンから検査用の電圧が出力可能である。ホルダ５５は、レチクルを機械的に或いは静電チャック方式で解放可能に把持できる公知の構造のものでよい。ステージ装置５０は、サーボモータ、エンコーダ及び各種のセンサ（図示せず）を用いて、上記のような複数のテーブルを動作させることにより、載置面５５１上でホルダ５５に保持されたレチクルを電子光学装置（図示せず）から照射される電子ビームに対してＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向（図１の紙面に対して垂直方向）に、更にレチクルの支持面に鉛直な軸線の回り方向（θ方向）に高い精度で位置決めできるようになっている。

ワーキングチャンバ３１内での塵埃の発生を極力防止するために、ステージ装置５０用のサーボモータ５２１、５３１及びエンコーダ５２２、５３２は、主ハウジング３０の外側に配置されている。なお、ステージ装置５０は、例えばステッパー等で使用されている公知の構造のものでよいので、その構造及び動作の詳細な説明は省略する。また、上記レーザ干渉測距装置も公知の構造のものでよいので、その構造、動作の詳細な説明は省略する。

＜全体の動作＞
上述した構成を有する検査装置１の全体の動作について説明する。ローダハウジング４０の第１のローディングチャンバ４１内のレチクルラック４７内にレチクル搬送装置１０によりレチクルが載せられると、シャッタ装置２７が閉じて、ローディングチャンバ４１内を密閉する。すると、第１のローディングチャンバ４１内には不活性ガスが充填されて空気が追い出された後、その不活性ガスも排出されてそのローディングチャンバ４１内は真空雰囲気にされる。この第１のローディングチャンバ４１の真空雰囲気は低真空度でよい。ローディングチャンバ４１内の真空度がある程度得られると、シャッタ装置４６が動作して扉４６１で密閉していた出入り口４３５を開き、第２の搬送ユニット６３のアーム６３２が伸びて先端の把持装置でレチクルラック４７から１枚のレチクルを（先端の上に載せて或いは先端に取り付けられたチャックで把持して）受け取る。レチクルの受け取りが完了するとアーム６３２が縮み、シャッタ装置４６が再び動作して扉４６１で出入り口４３５を閉じる。なお、シャッタ装置４６が開く前にアーム６３２は予めレチクルラック４７の方向Ｎ１に向けて伸長できる姿勢になる。また、前記のようにシャッタ装置４６が開く前にシャッタ装置４５の扉４５２で出入り口４３７、３２５を閉じていて、第２のローディングチャンバ４２内とワーキングチャンバ３１内との連通を気密状態で阻止しており、第２のローディングチャンバ４２内は真空排気される。

シャッタ装置４６が出入り口４３５を閉じると、第２のローディングチャンバ４２内は再度真空排気され、第１のローディングチャンバ４１内よりも高真空度で真空にされる。その間に、第２の搬送ユニット６３のアーム６３２はワーキングチャンバ３１内のステージ装置５０の方向に向いて伸長できる位置に回転される。一方ワーキングチャンバ３１内のステージ装置５０では、Ｙテーブル５２が、Ｘテーブル５３の中心線Ｘ₀−Ｘ₀が第２の搬送ユニット６３の回動軸線Ｏ₂−Ｏ₂を通るＸ軸線Ｘ₁−Ｘ₁とほぼ一致する位置まで、図２のＹ軸正方向に移動し、また、Ｘテーブル５３は図２のＸ軸負方向のワーキングチャンバ３１の周壁３２３に接近する位置まで移動し、この状態で待機している。

第２のローディングチャンバ４２がワーキングチャンバ３１の真空状態と略同じになると、シャッタ装置４５の扉４５２が動いて出入り口４３７、３２５を開き、アーム６３２が伸びてレチクルを保持したアーム６３２の先端がワーキングチャンバ３１内のステージ装置５０に接近する。そしてステージ装置５０の載置面５５１上にレチクルを載置する。レチクルの載置が完了するとアーム６３２が縮み、シャッタ装置４５が出入り口４３７、３２５を閉じる。

＜レチクル搬送装置１０＞
続いて、レチクル搬送装置１０の構成について図３を用いて説明する。図３は、本実施形態に係るレチクル搬送装置１０の主要構成要素を示す平面図である。図３に示すように、レチクル搬送装置１０は、筐体１１と、筐体１１に取り付けられたアウターポッドオープナー（インナーポッド取出部）１２と、筐体１１に取り付けられたインナーポッドオープナー（レチクル取出部）１３と、筐体１１に取り付けられたマスク除電部１４とを備える。更に、レチクル搬送装置１０は、レチクルを搬送する搬送部１５と、レチクル６１を載置可能なパレット１６と、パレット１６が搭載されたパレット搭載部１７と、レチクル６１を反転または回転可能なレチクル反転回転部１８と、レチクル搬送装置１０内の各部を制御する制御部１９とを備える。本実施形態では一例として搬送部１５は、筐体１１上を移動可能に設けられた搬送ロボット１５１によって構成されている。また、筐体１１の外周の一部に、アウターポッドオープナー１２、インナーポッドオープナー１３及びマスク除電部１４が所定のインタフェースを介して取り付けられた本体フレーム２０が設けられている。

アウターポッドオープナー１２は、アウターポッド６３からインナーポッド６２を取り出す。インナーポッドオープナー１３は、インナーポッド６２からレチクル６１を取り出す。マスク除電部１４は、レチクル６１から静電気を取り除く。搬送ロボット１５１は、レチクル用ＥＵＶポッド、インナーポッド６２に収納されたレチクル６１、及びインナーポッド６２から取り出されたレチクル６１を搬送する。また、搬送ロボット１５１はレチクル６１の上面または外周に、電気を印加可能な印加部１６３及び１６４を設ける。

以上の構成を有するレチクル搬送装置１０の動作について以下説明する。まず、レチクル搬送装置１０に搬入されたレチクル用ＥＵＶポッドは、搬送ロボット１５１により、アウターポッドオープナー１２に載置され、アウターポッド６３内からアウターポッドオープナー上の清浄雰囲気中へインナーポッド６２が取り出される。その後、インナーポッド６２は、搬送ロボット１５１により、インナーポッドオープナー１３に載置され、インナーポッド６２内からインナーポッドオープナー１３上の清浄雰囲気中へレチクル６１が取り出される。その後、レチクル６１は、搬送ロボット１５１により、マスク除電部１４に載置され、レチクル６１から静電気が除かれる。その後、レチクル６１は、搬送ロボット１５１により、パレット１６に載置される。

図４は、本実施形態に係るパレット１６とマスクカバー１６２の構成を示す斜視図である。レチクル６１がパレット１６に載置された後、搬送ロボット１５１は例えば、図４に示すように、電気を印加可能な印加部１６３及び１６４が設けられたマスクカバー１６２でレチクル６１の上面の一部を覆うことにより、印加部１６３及び１６４とレチクル６１とを接触させて導通させる。これにより、検査装置１は、この印加部１６３及び１６４を介して電気をレクチル６１に供給することができるので、レチクル６１を検査することができる。なお、印加部１６３及び１６４は、図４に示すものに限ったものではなく、印加部は、レチクル６１の端部に２か所設ければよく、図４のようにレチクル６１の片側の面の一辺の端面２か所だけでなく、レチクル６１の４辺のどこかに２か所に設けてもよい。

図５は、図４のパレット１６をひっくり返した図である。図５に示すように、マスクカバー１６２の裏面に、印加部１６３と接続された端子１６５、及び印加部１６４と接続された端子１６６が設けられている。このような構成を有することにより、搬送ロボット１５１が、レチクル６１が載置され且つマスクカバー１６２が設けられたパレット１６を検査装置１のローダハウジング４０内のレチクルラック４７に載置する。上述したように、その後、このパレット１６がステージ装置５０のホルダ５５上まで移動される。検査装置１のホルダ５５に設けられた二つのコンタクトピン（図示せず）の一方と端子１６５とを導通させ、他方を端子１６６に導通させることができる。これにより、例えば、検査装置１の一方のコンタクトピンから、端子１６５及び印加部１６３を介して、レチクル６１に電圧を印加することができ、検査装置１の他方のコンタクトピンが、印加部１６４及び端子１６６を介して、レチクル６１の電圧を検出することができる。このため、検査装置１はレチクル６１の検査を行うことができる。

（アウターポッドオープナー１２）
続いて、アウターポッドオープナー１２の構成の概要について図６を用いて説明する。図６は、本実施形態に係るアウターポッドオープナー１２の主要構成を示す図である。図６にはアウターポッドオープナー１２の左側面図、正面図、右側面図、及び平面図が示されている。図６に示すように、アウターポッドオープナー１２は、インナーポッド接触部１２１と、インナーポッドピックアップ部１２２とを有する。

インナーポッド接触部１２１は、例えば、導電性樹脂（例えば、ポリエーテルエーテルケトン（polyetheretherketone、以下、ＰＥＥＫという））から構成されている。搬送ロボット１５１により、インナーポッド接触部１２１の上にレチクル用ＥＵＶポッドが載置される。図７は、本実施形態に係るアウターポッドオープナー１２の動作の説明図である。図７の領域Ｓ１に示すように、カバー６３ａが取り除かれたレチクル用ＥＵＶポッドに対して、インナーポッドピックアップ部１２２が、インナーポッド６２の下面と基台６３ｂの間に挿入される。その後、図７の領域Ｓ２に示すように、不図示のエレベータが基台６３ｂを下方へ引くことによって、アウターポッドオープナー１２がインナーポッドを基台６３ｂから取り出す。

（インナーポッドオープナー１３）
続いて、インナーポッドオープナー１３の構成の概要について図８を用いて説明する。図８は、本実施形態に係るインナーポッドオープナー１３の主要構成を示す図である。図８に示すように、インナーポッドオープナー１３は、インナーポッド開閉部１３１、インナーポッド接触部１３２、マスクピックアップ部１３３、可動部１３４、壁１３５、及びエンドエフェクタ１３８を備える。

搬送ロボット１５１により、インナーポッド接触部１３２にインナーポッド６２が載置される。ここで、インナーポッド接触部１３２は、Ｏリングを有し、このＯリングでインナーポッド６２を受け止める。その後、インナーポッド開閉部１３１は、載置されたインナーポッド６２から上蓋２ａを取り除く。具体的には例えば、インナーポッド開閉部１３１は、インナーポッド６２から上蓋６２ａを均一の力で上昇させることにより、インナーポッド６２の上蓋６２ａを取り除く。

可動部１３４は、搬送物であるインナーポッド６２とは壁１３５を隔てて設置され、可動による発塵は排気ファン（図示せず）にて、インナーポッド６２の位置より下方に排気される。マスクピックアップ部１３３は、インナーポッド６２の上蓋２ａが取り外されたインナーポッド６２からレチクル６１を取り出す。具体的には例えば、マスクピックアップ部１３３は、インナーポッド開閉部１３１にて、インナーポッド６２の上蓋２ａが取り外されたインナーポッド６２に対して、レチクル６１の下に、例えば四つのクランプパッド（図示せず）を挿入する。これにより、レチクル６１下面の角部が四つのクランプパッドに支持される。これらのクランプパッドは、例えば、導電性樹脂（例えば、ＰＥＥＫ）から構成されている。その後、このインナーポッド６２の下蓋６２ｂを下降させることにより、レチクル６１を取り出す。

以上、本実施形態によれば、レチクル６１を搬送するレチクル搬送装置１０は、アウターポッド６３に収納されたインナーポッド６２を取り出すアウターポッドオープナー１２と、インナーポッド６２に収納されたレチクル６１を取り出すインナーポッドオープナー１３と、レチクル６１の上面または外周に、電気を印加可能な印加部を設ける印加部設置部と、を備える。

このように、レチクル６１に印加部を設けることにより、検査装置１はレチクルに対して印加部を介して電気を印加することができるので、レチクル６１を容易に検査することができる。

なお、本実施形態では、搬送ロボット１５１が一例として、レチクルの上面または外周に、電気を印加可能な印加部を設ける構成について説明したが、これに限ったものではない。搬送ロボット１５１以外の構成がレチクルの上面または外周に、電気を印加可能な印加部を設けてもよい。

なお、図９に示すように、インナーポッド６２の上蓋６２ａを取り外し、下蓋６２ｂに載置されたレチクル６１を取り出す取出部２１を更に備えてもよい。図９は、変形例に係るレチクル搬送装置１０ｂの主要構成要素を示す平面図である。変形例に係るレチクル搬送装置１０ｂは、図３のレチクル搬送装置１０に対して、取出部２１が追加された構成になっている。上述したように、取出部２１は、インナーポッド６２の上蓋６２ａを取り外し、下蓋６２ｂに載置されたレチクル６１を取り出す。これにより、レチクル搬送装置１０ｂは、従来と同じように、下蓋６２ｂに載置されたレチクル６１を搬送することができる。このため、従来の検査装置で用いられているレチクル搬送装置を、変形例に係るレチクル搬送装置１０ｂに置き換えて使用することができる。

以上のように、本発明にかかるレチクル搬送装置は、レチクルを検査装置で検査することを容易化することができるという効果を有し、レチクル搬送装置等として有用である。

１０、１０ｂ：レチクル搬送装置、１２：アウターポッドオープナー（インナーポッド取出部）、１３：インナーポッドオープナー（レチクル取出部）、１５：搬送部、１６：パレット、２１：取出部、３０：主ハウジング、５０：ステージ装置、６１：レチクル、６２インナーポッド、６３：アウターポッド、１５１：搬送ロボット、１６２：マスクカバー、１６３、１６４：印加部

Claims (6)

1. アウターポッドに収納されたインナーポッドを取り出すインナーポッド取出部と、
   前記インナーポッドに収納された前記レチクルを取り出すレチクル取出部と、
   前記レチクルを搬送する搬送部と、
   を備えるレチクル搬送装置。
2. 前記搬送部は、前記インナーポッドから取り出されたレチクルを前記パレットの所定の位置に載置し、前記印加部が設けられたマスクカバーで前記レチクルの上面の一部または外周の一部を覆うことにより、前記印加部と前記レチクルとを導通させる搬送ロボットによって構成されている
   請求項１に記載のレチクル搬送装置。
3. 前記マスクカバーは、前記印加部と接続された端子を有し、
   前記搬送ロボットは、前記レチクルが載置され且つ前記マスクカバーが設けられたパレットを検査装置の所定の位置に載置することによって、前記検査装置の給電部と前記端子とを導通させる
   請求項２に記載のレチクル搬送装置。
4. 前記インナーポッドは、前記レチクルを載置可能な下蓋と、前記下蓋から取り外し可能な上蓋と、を有し、
   前記インナーポッドの前記上蓋を取り外し、前記下蓋に載置されたレチクルを取り出す取出部を更に備える
   請求項１から３のいずれか一項に記載のレチクル搬送装置。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載のレチクル搬送装置を備える検査装置。
6. アウターポッドに収納されたインナーポッドを取り出すステップと、
   前記インナーポッドに収納された前記レチクルを取り出すステップと、
   前記レチクルを搬送するステップと、
   を有するレチクル搬送方法。

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