JP2016170147A - 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 - Google Patents
電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016170147A JP2016170147A JP2015051780A JP2015051780A JP2016170147A JP 2016170147 A JP2016170147 A JP 2016170147A JP 2015051780 A JP2015051780 A JP 2015051780A JP 2015051780 A JP2015051780 A JP 2015051780A JP 2016170147 A JP2016170147 A JP 2016170147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- inspection
- tray
- unit
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
本発明の電子部品搬送装置は、液体の水の付着もしくは固体の水が付着した部材を撮像可能な撮像部を有することを特徴とする。
本発明の電子部品搬送装置では、前記撮像部は、結露もしくは着霜した前記部材を撮像するのが好ましい。
本発明の電子部品搬送装置では、前記部材は、電子部品または検査用試験片であるのが好ましい。
本発明の電子部品搬送装置では、前記部材に対して光を照射する光照射部を有するのが好ましい。
本発明の電子部品搬送装置では、前記光照射部は、前記部材の撮像面の法線に対して傾斜した方向から光を照射するのが好ましい。
本発明の電子部品搬送装置では、前記部材の撮像面は、鏡面であるのが好ましい。
本発明の電子部品検査装置は、結露もしくは着霜した部材を撮像可能な撮像部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えたことを特徴とする。
本発明の結露あるいは着霜の検査方法は、結露もしくは着霜した部材を撮像し、結露もしくは着霜を検出することを特徴とする。
11A、11B……トレイ搬送機構
12……温度調整部(ソークプレート)
13……デバイス搬送ヘッド
14……デバイス供給部(供給シャトル)
15……トレイ搬送機構(第1搬送装置)
16……検査部
17……デバイス搬送ヘッド
18……デバイス回収部(回収シャトル)
19……回収用トレイ
20……デバイス搬送ヘッド
21……トレイ搬送機構(第2搬送装置)
22A、22B……トレイ搬送機構
24……湿度センサー(湿度計)
25……温度センサー(温度計)
61……第1隔壁
62……第2隔壁
63……第3隔壁
64……第4隔壁
65……第5隔壁
66……内側隔壁
70……フロントカバー
71……サイドカバー
711、721……第1扉
72……サイドカバー
712、722……第2扉
73……リアカバー
731……第1扉
732……第2扉
733……第3扉
740、741、742、743、744、745……シリンダー
75……第4扉
80……制御部
90……ICデバイス
91……上面
100……撮像部
101……カメラ部
102……光照射部
200……トレイ(電子部品載置部)
A1……トレイ供給領域
A2……デバイス供給領域(供給領域)
A3……検査領域
A4……デバイス回収領域(回収領域)
A5……トレイ除去領域
R1……第1室
R2……第2室
R3……第3室
Claims (8)
- 液体の水の付着もしくは固体の水が付着した部材を撮像可能な撮像部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
- 前記撮像部は、結露もしくは着霜した前記部材を撮像する請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記部材は、電子部品または検査用試験片である請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記部材に対して光を照射する光照射部を有する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記光照射部は、前記部材の撮像面の法線に対して傾斜した方向から光を照射する請求項4に記載の電子部品搬送装置。
- 前記部材の撮像面は、鏡面である請求項1ないし5のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 結露もしくは着霜した部材を撮像可能な撮像部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えたことを特徴とする電子部品検査装置。 - 結露もしくは着霜した部材を撮像し、結露もしくは着霜を検出することを特徴とする結露あるいは着霜の検査方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015051780A JP6536096B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 |
PCT/JP2016/000584 WO2016147535A1 (ja) | 2015-03-16 | 2016-02-04 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置、結露あるいは着霜の検査用試験片、および結露あるいは着霜の検査方法 |
CN201680016202.2A CN108139442A (zh) | 2015-03-16 | 2016-02-04 | 电子部件输送装置、电子部件检查装置、结露或结霜的检查用试验片以及结露或结霜的检查方法 |
TW105107643A TWI597227B (zh) | 2015-03-16 | 2016-03-11 | Electronic parts conveying apparatus, electronic parts inspection apparatus, test piece for inspection of condensation or frosting, and inspection method of condensation or frosting |
TW106123000A TWI710513B (zh) | 2015-03-16 | 2016-03-11 | 電子零件檢查裝置及其檢查方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015051780A JP6536096B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016170147A true JP2016170147A (ja) | 2016-09-23 |
JP6536096B2 JP6536096B2 (ja) | 2019-07-03 |
Family
ID=56983496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015051780A Expired - Fee Related JP6536096B2 (ja) | 2015-03-16 | 2015-03-16 | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6536096B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63215949A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Toyota Motor Corp | パツケ−ジング樹脂の耐湿評価機能を有するハイブリツドic |
JPH1078387A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tabai Espec Corp | 結露制御式環境試験装置 |
JPH10111257A (ja) * | 1995-12-14 | 1998-04-28 | Toshiba Corp | 表面検査装置、表面検査方法及び液晶表示装置の製造方法 |
JP2000065895A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラおよびオートハンドラのキャリアの搬送方法 |
JP2002196040A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラ及びオートハンドラの制御方法 |
US20060087312A1 (en) * | 2003-04-29 | 2006-04-27 | Park Chan H | Handler for testing semiconductor device |
JP2008251678A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | 被検査体の搬送装置及び検査装置 |
-
2015
- 2015-03-16 JP JP2015051780A patent/JP6536096B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63215949A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Toyota Motor Corp | パツケ−ジング樹脂の耐湿評価機能を有するハイブリツドic |
JPH10111257A (ja) * | 1995-12-14 | 1998-04-28 | Toshiba Corp | 表面検査装置、表面検査方法及び液晶表示装置の製造方法 |
JPH1078387A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tabai Espec Corp | 結露制御式環境試験装置 |
JP2000065895A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラおよびオートハンドラのキャリアの搬送方法 |
JP2002196040A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラ及びオートハンドラの制御方法 |
US20060087312A1 (en) * | 2003-04-29 | 2006-04-27 | Park Chan H | Handler for testing semiconductor device |
JP2008251678A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Tokyo Electron Ltd | 被検査体の搬送装置及び検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6536096B2 (ja) | 2019-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016147535A1 (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置、結露あるいは着霜の検査用試験片、および結露あるいは着霜の検査方法 | |
US10510574B2 (en) | Prober | |
JP2011002372A (ja) | 導通劣化試験装置及び導通劣化試験方法 | |
US20200209072A1 (en) | Temperature Measurement Member, Inspection Apparatus, and Temperature Measurement Method | |
WO2017002369A1 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2020153732A (ja) | 電子部品搬送装置、および電子部品検査装置 | |
US9869715B2 (en) | Semiconductor wafer inspection apparatus and semiconductor wafer inspection method | |
KR20200033741A (ko) | 검사 장치 및 검사 방법 | |
JP6361346B2 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2016181601A (ja) | プローバ及びウエハチャック温度測定方法 | |
JP6536096B2 (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置および結露あるいは着霜の検査方法 | |
KR100783352B1 (ko) | Pcb 어셈블리 검사 장치와 방법 | |
TW202012947A (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP2016170143A (ja) | 電子部品搬送装置、電子部品検査装置、結露あるいは着霜の検査用試験片および結露あるいは着霜の検査方法 | |
JP2016180680A (ja) | プローブカード型温度センサ | |
JP2017015483A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
WO2009104526A1 (ja) | テスト装置 | |
WO2016157711A1 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2020118632A (ja) | 電子部品搬送装置の教示方法、電子部品搬送装置の教示プログラム、電子部品搬送装置、および電子部品検査装置 | |
TWI616662B (zh) | Electronic component conveying device and electronic component inspection device | |
JP6536111B2 (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017067594A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017032375A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017015479A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 | |
JP2017015481A (ja) | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180828 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181025 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6536096 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |