JP2016169432A - 液体材料気化装置、液体材料気化システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体材料LMを加熱気化する液体材料気化装置であって、液体材料LMに接触して液体材料LMを加熱する加熱面9aが設けられた加熱部材9を備え、加熱面9aが、凹凸形状をなすものである液体材料気化装置。
【選択図】図2
Description
なお、この複数の溝は機械加工によって形成されていることが好ましい。
第1実施形態における液体材料気化装置1は、例えば半導体等の製造工程に用いられるガスを、液体材料を気化して生成し、このガスを対象機器へ送るものである。
そして、発熱体12を発熱させると、筒状体10の外側周面に設けられた加熱面9aと接触する液体材料LMが加熱される。そうすると、加熱面9aに設けられたローレット加工の凹凸の凹部分に、沸騰の核となる気泡が発生し、液体から気体への相転移が生じる。
次に、第2実施形態における液体材料気化装置について以下に説明する。
なお、加熱部材以外の構成は、上述の第1実施形態と同じであるので、同一の符号を付し、説明を省略する。
・液体材料:H2O
・収容容器に収容された液体材料の量:2.7L
・収容容器の容量:W:150mm×D:150mm×H:150mm
・加熱部材が液体材料に浸される表面積:0.02m2
・加熱部材に供給される電力:150W
・収容容器の底面に配置されたラバーヒータに供給される電力:130W
・加熱部材の温度:85℃
・収容容器の底面に配置されたラバーヒータの温度:90℃
・比較例1:図5(a)に示すように、加熱部材の筒状体の表層に凹凸形状が形成されておらず、筒状体の表面が滑らかな平滑なもの。
・実施例1:図5(b)に示すように、加熱部材の筒状体の表層に螺旋状の溝が形成されているもの。
・実施例2:図5(c)に示すように、加熱部材の筒状体の表層にローレット状の溝が形成されているもの。
なお、実施例1、2の溝加工は機械加工によって形成されたものであり、その溝深さは、0.2mm、溝の幅は1.0mm、溝のピッチは1.2mmとなるものである。
9・・・加熱部材
9a・・加熱面
LM・・液体材料
Claims (8)
- 液体材料を加熱気化する液体材料気化装置であって、
前記液体材料に接触して前記液体材料を加熱する加熱面が設けられた加熱部材を備え、
前記加熱面が、凹凸形状をなすものであることを特徴とする液体材料気化装置。 - 前記液体材料を収容する収容容器をさらに備え、
前記加熱部材が、前記収容容器に収容されていることを特徴とする請求項1記載の液体材料気化装置。 - 前記加熱部材が、発熱体と、前記発熱体を収容する筒状体とを備え、
前記筒状体が、その外側周面が前記加熱面となるように前記凹凸形状が形成されていることを特徴とする請求項2記載の液体材料気化装置。 - 前記筒状体が、前記収容容器内に軸方向に起立して配置されていることを特徴とする請求項3記載の液体材料気化装置。
- 前記筒状体の表層に複数の溝が施されて、前記凹凸形状が形成されていることを特徴とする請求項3又は4記載の液体材料気化装置。
- 前記筒状体の表層に機械加工による複数の溝が施されて、前記凹凸形状が形成されていることを特徴とする請求項3、4又は5記載の液体材料気化装置。
- 前記収容容器に連通されて、前記収容容器から前記液体材料が気化したガスが導出される導出管と、
前記導出管を流れる前記ガスの流量を調整する流量調整部とを備える請求項2、3、4、5又は6記載の液体材料気化装置。 - 請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の液体材料気化装置と、
前記液体材料気化装置から導出されるガスの流量を調整する流量調整部と、
前記液体材料気化装置に液体材料を供給する液体材料供給装置とを備えることを特徴とする液体材料気化システム。
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