JP2016164548A - 光軸調整装置及び光軸調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
レーザ干渉測長器100は、レーザ光源102、干渉ヘッド(干渉光学系とも言う。)104、及びデータ処理装置106を備えている。干渉ヘッド104は、レーザ光源102から出射されたレーザビーム(光線)を分割し、分割した一方のレーザビームをステージ108に取り付けられたコーナーキューブプリズム110に入射させて得た反射光と、他方のレーザビームを参照反射鏡(不図示)に入射させて得た反射光とを干渉させる。データ処理装置106は、干渉ヘッド104から出力される干渉光に基づいて、コーナーキューブプリズム110の矢印A、B方向の移動に伴う干渉縞の変化に対応して変化する電気信号を生成し、この電気信号に基づいてコーナーキューブプリズム110の移動距離を算出する。
図2(A)、(B)、(C)は、第1のプリズム群12を構成する2枚のウェッジプリズム(第1のウェッジプリズム)14及びウェッジプリズム(第2のウェッジプリズム)16を互いに逆向きに対向配置させ、かつ互いに等角度で反対方向に回転させたときの、レーザビームLBの偏向した光軸を回転角度別(0°、45°、90°)に示した光路図である。
図3(A)は、従来の光軸調整装置によるレーザビームLBの調整軌道を示した説明図、図3(B)は、実施形態の光軸調整装置10によるレーザビームLBの調整軌道を示した説明図である。
図4は、第1の実施形態に係る光軸調整装置10の外観を示した斜視図である。図5は、光軸調整装置10の内部構造を示した斜視図であり、図6は、光軸調整装置10の組立斜視図である。
図7は、光軸調整装置10の光学系の構成を示した斜視図である。また、図8(A)、(B)、(C)はレーザビームLBの光軸調整例を示した光軸調整装置10の光学系の説明図であり、それぞれ正面図及び平面図が示されている。
図9は、光軸調整装置10Aの変形例を示した要部斜視図である。
図10は、第2の実施形態の光軸調整装置10Bの要部構成を示した斜視図である。
図11は、第3の実施形態の光軸調整装置10Cの要部構成を示した斜視図である。
実施形態では、光軸調整装置10をレーザ干渉測長器100に組み込んだ例を示したが、これに限定されるものではなく、光軸調整が必要な装置に実施形態の光軸調整装置10を組み込んでもよい。
Claims (5)
- 同一の偏向角を有する第1及び第2のウェッジプリズムが互いに逆向きに対向配置された第1のプリズム群と、
前記第1のプリズム群の前記第1及び第2のウェッジプリズムを、前記第1のプリズム群の中心軸を中心に等角度で互いに逆方向に回転させることにより、前記第1のプリズム群によって光線を直線的な第1の偏向方向に偏向させる第1の回転機構部と、
前記第1のプリズム群と同軸上に配置され、同一の偏向角を有する第3及び第4のウェッジプリズムが互いに逆向きに対向配置された第2のプリズム群であって、前記第1のプリズム群に対して回転方向にずれた位置に配置された第2のプリズム群と、
前記第2のプリズム群の前記第1及び第2のウェッジプリズムを、前記第2のプリズム群の中心軸を中心に等角度で互いに逆方向に回転させることにより、前記第2のプリズム群によって光線を前記第1の偏向方向に交差する直線的な第2の偏向方向に偏向させる第2の回転機構部と、
を備えることを特徴とする光軸調整装置。 - 前記第2のプリズム群は、前記第1のプリズム群に対して回転方向に90°ずれた位置に配置される請求項1に記載の光軸調整装置。
- 前記第1の回転機構部は、
前記第1のウェッジプリズムを保持する第1の保持部に備えられた第1の歯車と、
前記第2のウェッジプリズムを保持する第2の保持部に備えられた第2の歯車と、
前記第1及び第2の歯車に噛合され、回転されることにより前記第1及び第2の歯車を等角度で互いに逆方向に回転させる第1の駆動歯車と、を備え、
前記第2の回転機構部は、
前記第3のウェッジプリズムを保持する第3の保持部に備えられた第3の歯車と、
前記第4のウェッジプリズムを保持する第4の保持部に備えられた第4の歯車と、
前記第3及び第4の歯車に噛合され、回転されることにより前記第3及び第4の歯車を等角度で互いに逆方向に回転させる第2の駆動歯車と、を備える請求項1又は2に記載の光軸調整装置。 - 光線の光軸上に並べて配置された第1及び第2のウェッジプリズムを有し、前記第1及び第2のウェッジプリズムをそれぞれ前記光軸周りに回転させることで、前記光線を前記光軸に垂直な第1の偏向方向に偏向させる第1の偏向手段と、
前記光軸上に並べて配置された第3及び第4のウェッジプリズムを有し、前記第3及び第4のウェッジプリズムをそれぞれ前記光軸周りに回転させることで、前記第1の偏向手段によって偏向された前記光線を前記光軸に垂直な方向であって前記第1の偏向方向とは異なる第2の偏向方向に偏向させる第2の偏向手段と、
を備えることを特徴とする光軸調整装置。 - 光線の光軸上に並べて配置された第1及び第2のウェッジプリズムをそれぞれ前記光軸周りに回転させることで、前記光線を前記光軸に垂直な第1の偏向方向に偏向させる第1の偏向ステップと、
前記光軸上に並べて配置された第3及び第4のウェッジプリズムをそれぞれ前記光軸周りに回転させることで、前記第1の偏向ステップによって偏向された前記光線を前記光軸に垂直な方向であって前記第1の偏向方向とは異なる第2の偏向方向に偏向させる第2の偏向ステップと、
を含むことを特徴とする光軸調整方法。
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Citations (4)
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JP2004136307A (ja) * | 2002-10-16 | 2004-05-13 | Toshiba Corp | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
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- 2015-12-03 JP JP2015236768A patent/JP6639888B2/ja active Active
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