JP2016161661A - 導波路型光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の他の態様によると、前記信号損失の前記発生周波数は、前記低誘電率層の存在により、少なくとも前記導波路型光素子の変調周波数の2倍以上の高い周波数へシフトされている。
本発明の他の態様によると、前記低誘電率層は、当該材料の誘電率及び誘電損失をε及びtanδとしたとき、
本発明の他の態様によると、前記低誘電率層を構成する前記材料は、樹脂である。
本発明の他の態様によると、前記導波路型光素子は、前記光導波路に少なくとも一つのマッハツェンダ型光導波路を含む光変調器である。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る導波路型光素子の構成を示す図である。
導波路型光素子10は、例えばQPSK光変調器(90°位相シフト用電極は不図示)であり、LN基板100上に形成された2つのMZ導波路102、104で構成されるネスト型MZ導波路106により構成されている。MZ導波路102及び104は、それぞれ並行導波路108、110及び112、114を備えている。
本実施形態に係る導波路型光素子10では、特に、RF電極118、120の作用部118a、120aがLN基板100上に形成されているのに対し、作用部118a、120a以外の、フィード部118c、120cと、当該フィード部118c、120cを挟むGND電極122、124、126の部分とが、LN基板100上に形成された低誘電率層128の上に形成されている。この低誘電率層128は、LN基板100よりも低い誘電率を有する材料で構成される。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
第2の実施形態に係る導波路型光素子は、ZカットLN基板上に形成された一つのMZ導波路から成る光変調器である。
導波路型光素子40は、光変調器であり、ZカットLN基板400上に形成された並行導波路402、404を備えるMZ導波路406(図示の太い点線部分)により構成されている。
本実施形態に係る導波路型光素子40では、特に、RF電極412、414の作用部412a、414aが電荷分散膜410上に形成されているのに対し、作用部412a、414a以外の、RF電極412、414のフィード部412c、414cと、当該フィード部412c、414cを挟むGND電極416、418、420の部分とが、電荷分散膜410上に形成された低誘電率層422の上に形成されている。この低誘電率層422は、LN基板400よりも低い誘電率を有する材料で構成される。なお、低誘電率層422を構成する材料に求められる特性及び望ましい特性は、第1の実施形態において記載したとおりである。
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、
前記基板表面に形成された光導波路と、
前記光導波路の近傍に形成されて当該光導波路内を伝搬する光波を制御する作用部と、当該作用部に電気信号を伝達するフィード部と、を有する制御電極と、
を備え、
前記フィード部は曲がり部分を有しており、
少なくとも前記フィード部の前記曲がり部分は、前記基板より誘電率の小さい材料を用いて前記基板上に形成された低誘電率層の上に形成され、
かつ、
前記フィード部の前記曲がり部分を含まず前記作用部を含む前記基板上の領域には前記低誘電率層が形成されていないか、又は、
前記フィード部の前記曲がり部分を含まず前記作用部を含む前記基板上の領域に前記低誘電率層が形成されている場合には、当該領域に形成された前記低誘電率層の厚さに比べて、前記フィード部の前記曲がり部分の下部に形成される前記低誘電率層の厚さが厚い、
導波路型光素子。 - 前記信号損失の前記発生周波数は、前記低誘電率層の存在により、少なくとも前記導波路型光素子の変調周波数の2倍以上の高い周波数へシフトされている、
請求項1に記載の導波路型光素子。 - 前記低誘電率層を構成する前記材料は、樹脂である、
請求項3に記載の導波路型光素子。 - 前記導波路型光素子は、前記光導波路に少なくとも一つのマッハツェンダ型光導波路を含む光変調器である、
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の導波路型光素子。
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