JP2016160054A - 素材分離装置および素材分離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ダブルブランクの発生を低減し処理速度を上げる。
【解決手段】本発明の素材分離装置１は、載置部２と、ブロー部３と、吸着部４と、吸着パッド駆動部５と、制御部１０と、を備える。ブロー部３は、載置部２に載置された複数枚のアルミシート１１にエアーを吹き付けて最上面のアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させる。吸着部４は、複数の吸着パッド４１１を有し、エアーが吹き付けられた状態の最上面のアルミシート１１を上方から吸着パッド４１１により吸着して保持する。吸着パッド駆動部５は、吸着部４を上下方向に駆動する。制御部１０は、アルミシート１１を吸着した吸着パッド４１１を搬送位置まで上方移動させるように制御する。制御部１０は、アルミシート１１の所定残量において設定された上昇時間より、所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。
【選択図】図４

Description

本発明は、素材分離装置および素材分離方法に関する。

例えば、プレス加工を行う際には、積層された複数枚のシート状の素材から一枚の素材を分離してプレス装置に供給するために素材分離装置が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１に示す素材分離装置には、エアシリンダによって昇降駆動する吸着パッドが設けられている。そして、アルミシートが複数枚積層されたスタックから最上面のアルミシートが吸着パッドによって上方に持ち上げられて分離される。

アルミシートなどの非磁性体の材料では、磁力を用いたシートの分離を行うことが出来ないため、特許文献１に示す素材分離装置では、ダブルブランクの発生を抑制して一枚ずつアルミシートをスタックから取り出すように複数の吸着パッドの制御が行われている。
詳細には、アルミシートの一端部を吸着して持ち上げた後アルミシートの中央を持ち上げ、次に持ち上げた一端部を降ろした後に両端部を持ち上げるような制御が行われている。

特開平９−１９４０５６号公報

しかしながら、上記特許文献１の素材分離装置では、近年の処理速度の向上の要望に対応しようとすると、上記吸着パッドの制御の速度を上げることになるためダブルブランクの発生頻度が多くなるおそれがある。ダブルブランクの状態でプレス加工を行うと、プレス機械あるいは金型に過負荷が生じるおそれがある。
本発明の目的は、上記従来の素材分離装置の課題を考慮し、ダブルブランクの発生を低減し処理速度を上げることが可能な素材分離装置および素材分離方法を提供することである。

第１の発明に係る素材分離装置は、載置部と、ブロー部と、吸着部と、駆動部と、制御部と、を備える。載置部には、積層された複数枚のシート状の素材が配置される。ブロー部は、載置部に載置された複数枚の素材にエアーを吹き付けて最上面の素材の少なくとも一部を浮遊させる。吸着部は、複数の吸着パッドを有し、エアーが吹き付けられた状態の最上面の素材を上方から吸着パッドにより吸着して保持する。駆動部は、吸着部を上下方向に駆動する。制御部は、素材を吸着した吸着パッドを第１の所定位置まで上方移動させるように制御する。制御部は、素材の所定残量において設定された上昇時間より、所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。

詳しくは後述するが、本願発明者は、素材の残量が減少するとダブルブランクが発生する頻度が多くなる傾向を発見し、その傾向に基づいて、第１の発明では、所定残量において設定された上昇時間と比較して、所定残量より残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。
すなわち、従来は上記傾向を発見していなかったため、積層されている全ての素材について同じ上昇時間で素材を分離させていたが、上記発明のように少なくとも一部において上昇速度を短くできるため、全体として処理速度を上げることができる。

また、所定残量における上昇速度を、上記一部における上昇時間よりも長くしているため、ダブルブランクの発生を抑制できる。
なお、ダブルブランクとは、素材が２枚だけでなく、３枚以上移動される場合も含む。 第２の発明に係る素材分離装置は、第１の発明に係る素材分離装置であって、所定残量とは、積層された複数枚の素材において、最も素材のダブルブランクが発生しやすい残量である。

従来は上記傾向を発見していなかったため、積層されている全ての素材についてダブルブランクが発生しない最も遅い上昇速度で素材を分離させる必要があったが、上記発明のようにダブルブランクが多くなる所定残量以外の範囲の少なくとも一部において、上昇速度をあげることができるため、処理速度を上げることが出来る。
また、ダブルブランクが発生しやすい所定残量では、上昇時間を長くするためダブルブランクを低減できる。

第３の発明に係る素材分離装置は、第１の発明に係る素材分離装置であって、所定残量は、２枚である。
素材の残量が減少するとダブルブランクが発生しやすいことから、残量が２枚の場合に、その上側の素材を上昇させる際に下側の素材がつられて上昇しやすいといえる。
このため、残量が２枚のときのダブルブランクの発生を低減できる上昇時間では、積層されている素材の全範囲においてダブルブランクの発生を低減できる。

第４の発明に係る素材分離装置は、第１の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、素材の残量が、所定残量以上であり予め設定された設定残量に達すると、以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くするように駆動部を制御する。
これにより、素材の残量が予め決められた設定残量以下の場合において上昇時間を長くでき、素材のダブルブランクの発生を低減できる。

また、素材の残量が設定残量よりも多い場合には、上昇時間を短く出来るため処理速度を上げることができる。
第５の発明に係る素材分離装置は、第４の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、複数の異なる設定残量において、素材の残量がそれぞれの設定残量に達すると、以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くするように駆動部を制御する。

このように、複数個所で処理速度を減少させることにより、できるだけ処理速度を下げずにダブルブランクの発生を低減できる。
第６の発明に係る素材分離装置は、第５の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、素材の残量が減少するに伴って、段階的または連続的に上昇時間を遅くするように駆動部を制御する。

このように、複数個所で段階的または連続的に処理速度を減少させることにより、できるだけ処理速度を下げずに素材のダブルブランクの発生を低減できる。
第７の発明に係る素材分離装置は、第４の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、ブロー部によりエアーを吹き付けて素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッドに素材を吸着させた後に、第１の所定位置よりも低い第２の所定位置まで素材を上昇させる速度を遅くすることによって、素材の残量が設定残量に達したとき以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くする。

ダブルブランクが発生しやすい残量において、上昇速度を遅くすることによって、最上面の素材が下側の素材から離れやすくなり、素材のダブルブランクの発生を抑制できる。
一方、ダブルブランクが発生しにくい残量の範囲で上昇速度を速くすることによって、上昇時間を短くし、処理速度をあげることができる。
第８の発明に係る素材分離装置は、第４の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、ブロー部によりエアーを吹き付けて素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッドに素材を吸着させ、第１の所定位置よりも低い第２の所定位置まで吸着パッドを上昇させた後、エアーを停止させた状態で吸着パッドを第２の所定位置に所定時間停止するように制御する。制御部は、所定時間を長くすることによって、素材の残量が設定残量に達したとき以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くする。

ダブルブランクが発生しやすい残量において停止時間を長くすることによって、エアーを停止してから最上面の素材以外の素材が落下する時間を十分に確保できるため、素材のダブルブランクの発生を抑制できる。
一方、ダブルブランクが発生しにくい残量の範囲で停止時間を短くすることによって、上昇時間を短くし、処理速度をあげることができる。

第９の発明に係る素材分離装置は、第１の発明に係る素材分離装置であって、制御部は、ブロー部によりエアーを吹き付けて素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッドに素材を吸着させた後、駆動部により吸着パッドを第１の所定位置の高さよりも低い第２の所定位置に上昇させ、エアーを停止させた状態で吸着パッドを第２の所定位置に所定時間停止してから吸着パッドを駆動部により搬送位置まで上昇させるように制御する。

このように、制御することにより、ダブルブランクの発生を低減しつつ処理速度を上げることが出来る。
第１０の発明に係る素材分離装置は、第１の発明に係る素材分離装置であって、駆動部は、駆動源としてサーボモータを有する。
このように、各々の吸着パッドを上下駆動する駆動部の駆動源としてサーボモータを用いることにより、速度及び加速度が可変制御可能になり、吸着パッドの駆動を精度よく制御できる。

第１１の発明に係る素材分離方法は、ブロー工程と、吸着工程と、上昇工程と、制御工程と、を有する。
ブロー工程では、積層された複数枚のシート状にエアーを吹き付けることによって最上面の素材の少なくとも一部を浮遊させる。吸着工程では、エアーが吹き付けられた状態の素材を上方から吸着して保持する。上昇工程では、吸着した素材を第１の所定位置まで上昇させる。制御工程では、吸着した素材を第１の所定位置まで上方移動させる上昇時間を制御する。制御工程では、素材の所定残量において設定された上昇時間より、所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。

これにより、少なくとも一部において上昇速度を短くできるため、全体として処理速度を上げることができる。
また、本願発明者が発見した傾向に基づいて、所定残量における上昇速度を、上記一部にける上昇時間よりも長くしているため、ダブルブランクの発生を抑制できる。

本発明によれば、ダブルブランクの発生を低減し処理速度を上げることが可能な素材分離装置および素材分離方法を提供することができる。

本発明にかかる実施の形態における素材分離装置の構成を模式的に示す図。 （ａ）、（ｂ）図１の素材分離装置の吸着部および駆動部を説明するための断面図。 図１の素材分離装置の１枚のアルミシートのシート分離動作を示すフロー図。 図３のシート分離動作における吸着パッドの位置および速度の変化のグラフを示す図。 図１の素材分離装置においてスタックの全てのアルミシートを分離する動作を示すフロー図。 アルミシートの上昇時間を長く変更した場合の吸着パッドの位置の変化のグラフを示す図。 本発明にかかる実施の形態の変形例における素材分離装置においてスタックの全てのアルミシートを分離する動作を示すフロー図。

はじめに、素材分離装置におけるシート状の素材のダブルブランクの発生について、本願発明者が検討し発見した内容について説明する。なお、ダブルブランクとは、最上面の素材の吸着パッドによる上昇につられてその下側の素材も上昇することであり、素材が２枚だけでなく、３枚以上、上昇移動される場合も含む。
本願発明者は、素材のダブルブランクの発生について積層枚数、処理速度（吸着パッドの上昇時間）を変更し検討を行った結果、処理速度が速いほど（吸着パッドの上昇時間が短いほど）素材のダブルブランクが発生しやすく、さらに同じ処理速度（上昇時間）であってもスタックにおける素材の残量が少ない場合にダブルブランクが発生する頻度が多くなる傾向を発見した。すなわち、一定の処理速度で素材の分離動作を行った場合であっても、素材の残量が減少すると素材のダブルブランクの発生頻度が多くなる傾向がある。

一枚だけでなく、２枚以上の素材がつられて上がるダブルブランク現象は、素材間の油膜張力や分離する瞬間に発生する真空状態が要因と考えられる。本願発明者が発見した傾向は、スタックされた素材の枚数が少なくなると、吸着したい素材と、その下の素材以下のスタックにおける油膜や表面張力が弱くなるためと考えられる。
上記傾向を発見し、本願発明者は、ダブルブランクの発生を低減し処理速度を上げることが可能な素材分離装置および素材分離方法を提供する。

次に、本発明に係る実施の形態の素材分離装置について図面を参照しながら以下に説明する。
＜１．構成＞
（１−１．素材分離装置の構成）
図１は、本実施の形態の素材分離装置１の構成を示す図である。図に示すように、素材分離装置１は、主に載置部２と、ブロー部３と、吸着部４と、吸着パッド駆動部５と、位置検出部６と、制御部１０と、を備える。

素材分離装置１は、複数枚のシート状の素材が積層されたスタックから一枚の素材を分離する。素材分離装置１で分離するシート状の素材としては、例えばアルミニウム、マグネシウム等の非磁性体材料が挙げられる。本実施の形態では、アルミシートを例に挙げて説明する。
素材分離装置１は、アルミシート１１が積層されたスタック１２から一枚のアルミシート１１を吸着部４によって吸着して上方の搬送位置へと移動する。搬送位置に移動されたアルミシート１１は、コンベア１００によって搬送されていく。コンベア１００は、吸着機能を備えており、素材分離装置１によって分離されたアルミシート１１を吸着して保持しながら次の作業装置（例えばプレス装置）に向けて搬送する。

制御部１０は、位置検出部６による検出に基づいて載置部２、ブロー部３、吸着部４および吸着パッド駆動部５を制御する。
（１−２．載置部）
載置部２は、載置台２１と、載置台２１を昇降駆動する載置台駆動部２２とを有する。
載置台２１には、アルミシート１１が複数枚積層されたスタック１２が載置される。載置台駆動部２２は、載置台２１を昇降駆動する。

載置台駆動部２２は、図１に示すように載置台２１の左右に配置されており、載置台２１を昇降可能に支持する。
載置台駆動部２２は、図示しない油圧シリンダ、油圧シリンダに接続された油圧回路および油圧回路に作動油を供給するポンプ等を有している。制御部１０が載置台駆動部２２の油圧回路のバルブおよびポンプ等を制御することによって、載置台２１が昇降駆動する。

（１−３．ブロー部）
ブロー部３は、空気を吐出する複数のノズル３１と、高圧空気を生成するエアーコンプレッサ３２と、バルブ３３とを有する。複数のノズル３１は、対向するように、スタック１２の上端近傍であって左右に配置されている。ノズル３１は、スタック１２の上端近傍の側方に向けて高圧空気を吐出し、最上面のアルミシート１１を浮遊させる。エアーコンプレッサ３２は、複数のノズル３１に圧縮空気を供給する。バルブ３３は、エアーコンプレッサ３２とノズル３１の間に設けられている。エアーコンプレッサ３２は常時駆動されており、制御部１０によるバルブがオンされるとノズル３１から圧縮空気が吐出され、バルブ３３がオフされるとノズル３１からの圧縮空気の吐出が停止される。

（１−４．吸着部）
吸着部４は、図１における左右方向および紙面奥行方向に複数並んで配置された吸着パッド部４１と、それぞれの吸着パッド部４１に接続されたバルブ４２と、すべてのバルブ４２に接続された真空ポンプ４３（図１参照）とを有する。なお、図１では、図を見やすくするためにすべての吸着パッド部４１に対するバルブ４２は記載していない。

図２（ａ）および図２（ｂ）は、吸着パッド部４１および吸着パッド駆動部５の構成を示す部分断面図である。図２（ａ）は、吸着パッド部４１が上方に移動した状態を示す図であり、図２（ｂ）は、吸着パッド部４１が下方に移動した状態を示す図である。
図２に示すように、吸着パッド部４１は、アルミシート１１に吸着する吸着パッド４１１と、吸着パッド部４１の上端に接続されたパッド支持部材４１２と、パッド支持部材４１２の上端が接続されたチューブ接続部４１３と、チューブ接続部４１３の上側に配置された駆動接続部４１４と、を有している。

吸着パッド４１１は、ゴムなどによって形成されており、アルミシート１１に吸着する。パッド支持部材４１２は、中空の円筒状の部材であり、吸着パッド４１１の内側空間と繋がっている。チューブ接続部４１３には、バルブ４２に繋がっているチューブ４４が接続される。バルブ４２は真空ポンプ４３と接続されている。吸着パッド４１１がアルミシート１１の上面に当接した後、真空ポンプ４３を動作させることによって、吸着パッド４１１の内側空間の空気が、パッド支持部材４１２、チューブ接続部４１３、チューブ４４およびバルブ４２を介して真空ポンプ４３によって吸引される。

駆動接続部４１４は、チューブ接続部４１３と吸着パッド駆動部５の間を接続する。
（１−５．吸着パッド駆動部）
吸着パッド駆動部５は、複数のサーボモータ５０と、サーボモータ５０の回転駆動を上下方向の駆動に変換する変換部５１とを有する。サーボモータ５０、変換部５１、および吸着パッド部４１の順に上から配置されている。

サーボモータ５０は、吸着パッド部４１ごとに設けられ吸着パッド部４１を上下動させる駆動源として用いられる。サーボモータ５０は、その回転軸５０１が鉛直方向と一致するように配置されている。
変換部５１は、サーボモータ５０と同軸上に配置されたボールネジ５１１と、ナット５１２と、ナット５１２の回転方向の動きを規制する規制部５１３と、規制部５１３と接続されている円筒部５１４と、ボールネジ５１１、ナット５１２、規制部５１３、および円筒部５１４を覆うハウジング５１５とを主に有する。

ハウジング５１５は、円筒形状であって、上端にサーボモータ５０が配置されている。サーボモータ５０の回転軸５０１は、ベアリング５３によってハウジング５１５に回転可能に支持されている。
ボールネジ５１１は、鉛直方向に沿って配置されており、回転軸５０１と連結し同軸上に配置されている。ナット５１２はボールネジ５１１に挿通されており、ナット５１２の内側のネジ部と、ボールネジ５１１の表面のネジ部が螺合している。

規制部５１３は、ナット５１２と連結して設けられており、ボールネジ５１１の回転によってナット５１２が供回りすることを防ぐ。例えば、ハウジング５１５の内周面が平面視において四角形状に形成されており、規制部５１３もハウジング５１５の内周に沿って四角形状に形成されている。
円筒部５１４は、ボールネジ５１１の周囲にボールネジ５１１と非接触に配置されている。円筒部５１４の上端は、規制部５１３に接続されており、下端は駆動接続部４１４と接続されている。

なお、複数のハウジング５１５は、支持フレーム８（図１参照）によって載置部２の上方に支持されている。
以上のような構成によって、サーボモータ５０を駆動すると、ボールネジ５１１が一方向に回転する。図２（ｂ）に示すように、規制部５１３によって供回りが規制されたナット５１２がボールネジ５１１の回転に伴って下方に移動する。そして、規制部５１３を介してナット５１２と連結している円筒部５１４が下方に移動し、吸着パッド部４１が下方に移動する。

また、ボールネジ５１１の回転方向を逆にすることによって、吸着パッド部４１は上方に移動する。
（１−６．位置検出部）
位置検出部６は、光電センサであり、図１に示すように光を発する投光部６１と、投光部６１から投光した光を受光する受光部６２とを有する。投光部６１と受光部６２は、スタック１２の上端位置に設けられており、スタック１２を左右方向から挟むように配置されている。

投光部６１からの光がスタック１２によって遮られ受光部６２が受光しなくなると、スタック１２の最上面がシート分離位置に達したことを検出して制御部１０へと信号を送信する。ここで、シート分離位置とは、最上面のアルミシート１１の分離動作が開始される位置のことである。
（１−７．制御部）
制御部１０は、載置台駆動部２２の油圧シリンダ、油圧回路およびポンプ等を制御し、載置台２１を昇降移動する。制御部１０は、位置検出部６による検出に基づいて、載置台２１を停止してエアーコンプレッサ３２を駆動してノズル３１からアルミシート１１に向けてエアーを吹き付ける。

また、制御部１０は、サーボモータ５０を駆動して、吸着パッド４１１を下方に移動し、吸着パッド４１１を停止させた後、真空ポンプ４３およびバルブ４２を駆動してアルミシート１１を吸着パッド４１１に吸着させる。
制御部１０は、記憶部１３を有している。記憶部１３には、吸着パッド４１１のモーション（後述する図４参照）、後述する設定残量、後述する第１の所定速度および第１の所定停止時間などが記憶されている。

＜２．動作＞
次に、本発明にかかる実施の形態の素材分離装置１の動作を説明するとともに、素材分離方法の一例についても説明する。
本実施の形態の素材分離装置１では、スタック１２のアルミシート１１の残量が減少し設定残量に達すると、一枚のアルミシート１１をコンベア１００に吸着させる位置まで上昇移動させる時間を長くするように制御を変更する。

スタック１２から一枚のアルミシート１１を分離させるシート分離動作について説明した後に、スタック１２全体における動作について説明する。
＜２−１．シート分離動作＞
はじめに、１枚のアルミシート１１をスタック１２から分離する際の動作について説明する。

図３は、アルミシートの分離動作を説明するためのフロー図である。また、図４は、吸着パッド４１１のモーションを示す図であり、アルミシートの分離動作における吸着パッド４１１の位置と移動速度の変化を示す。
ステップＳ１０において、制御部１０は、載置台駆動部２２を駆動し、載置台２１を上昇させる。次に、ステップＳ２０において、位置検出部６によってスタック１２の上端がシート分離位置に達したことが検出されると、ステップＳ３０において、制御部１０は、載置台２１の上昇を停止する。

次に、ステップＳ４０において、制御部１０は、ブロー部３のバルブ３３をオンしてエアーをノズル３１から噴出する。この動作によってスタック１２の最上面のアルミシート１１および最上面よりも下側の数枚のアルミシート１１が浮遊する。本実施の形態の素材分離装置１では、左右にノズル３１が設けられており、アルミシート１１の全体が浮遊する。

次に、ステップＳ５０において、制御部１０は、バルブ４２をオンして吸着パッド４１１の内側の空気の吸引を開始する。
次に、ステップＳ６０において、制御部１０は、サーボモータ５０を駆動して吸着パッド４１１を吸着位置まで下降させ、浮遊状態の最上面のアルミシート１１に吸着パッド４１１を押し付ける。この吸着パッド４１１の下降は、図４の時刻ｔ０〜ｔ１の区間Ａに相当する。また、吸着位置が、図４においてｈ０として示されている。

次に、ステップＳ７０において、アルミシート１１を吸着させるために、吸着パッド４１１は、アルミシート１１に押し付けた状態（時刻ｔ１の位置）で時刻ｔ２まで保持される。この吸着パッド４１１の状態の保持が、図４において、時刻ｔ１〜ｔ２の区間Ｂとして示されている。
次に、制御部１０は、ステップＳ８０において、吸着パッド駆動部５を駆動して吸着パッド４１１を一時停止位置まで上昇させる。この吸着パッド４１１の上昇は、図４の時刻ｔ２〜ｔ３の区間Ｃに相当する。また、一時停止位置は、図４においてｈ１と示されている。

次に、制御部１０は、ステップＳ９０において、吸着パッド４１１が一時停止位置に到達すると、ステップＳ１００において、バルブ３３をオフしてエアーブローを停止する。
続いて、制御部１０は、ステップＳ１１０において、吸着パッド４１１を一時停止位置に所定時間停止する。これによって、最上面のアルミシート１１以外のエアーブローによって浮遊していたアルミシート１１が落下する。この吸着パッド４１１の一時停止は、図４の時刻ｔ３〜ｔ４の区間Ｄに相当する。

次に、制御部１０は、ステップＳ１２０において、吸着パッド４１１を搬送位置まで上昇させる。搬送位置（図４においてｈ２と示されている）に到達すると、制御部１０は、吸着パッド４１１の移動を停止する（ステップＳ１３０）。そして、吸着パッド４１１に吸着されたアルミシート１１はコンベア１００に吸着される。この吸着パッド４１１の上昇時間は、図４において時刻ｔ４〜ｔ５の区間Ｅに相当する。

ステップＳ１４０の後、制御部１０は、ステップＳ１４０において、バルブ４２をオフして吸着パッド４１１によるアルミシート１１の吸着を解除する。吸着が解除されたアルミシート１１は、コンベア１００によって搬送される。
以上のようにして、積層された複数枚のアルミシート１１から一枚のアルミシート１１だけが分離されて搬送される。

＜２−２．全体動作＞
次に、スタック１２全体における動作について説明する。図５は、スタックの全てのアルミシートを分離する動作を示すフロー図である。
本実施の形態の素材分離装置１では、スタック１２におけるアルミシート１１の残量が予め設定した設定残量に達すると上昇時間が長くなるように制御する例について説明する。すなわち、初期枚数（シート分離動作を行う前の最初の状後）から設定残量の一枚前の残量までのアルミシート１１の上昇時間よりも、設定残量から残量が０枚になるまでのアルミシート１１の上昇時間が長くなるように制御が行われる。この設定残量は予め設定されている。

また、本実施の形態の最初に説明したように、本願発明者は、アルミシート１１の残量が少ないほど、ダブルブランクの発生頻度が多くなることを発見した。そのため、スタック１２に残された素材の枚数が２枚の場合に、最もダブルブランクが発生しやすいことになるので、設定残量は、２枚以上の値に設定される。
はじめにステップＳ２１０において、スタック１２が載置台２１に載置される。例えば、スタック１２におけるアルミシート１１の積層枚数が６００枚とする。また、設定残量を、例えば５０枚と設定する。

次に、ステップＳ２２０において、制御部１０は、シート分離動作を行う。シート分離動作は、上述したステップＳ１０〜ステップＳ１５０の動作である。なお、新たなスタック１２が載置されたときのはじめのステップＳ８０における吸着パッド４１１の上昇速度を初期速度とし、ステップＳ１１０における停止時間を初期停止時間とする。
この初期速度および初期停止時間は、アルミシート１１の残量が設定残量＋１枚（例えば、５１枚）のときにダブルブランクが発生しないように設定されている。これは、設定残量に達するまでの間では、最も残量が少ない設定残量＋１枚のときに最もダブルブランクが発生しやすいためである。

次に、ステップＳ２３０において、全てのアルミシート１１をコンベア１００に移動したか否かが検出される。なお、はじめに載置台２１に載置されるアルミシート１１の積層枚数はあらかじめ設定されているため、制御部１０はスタック１２から分離したアルミシート１１の数をカウントすることによって載置台２１上のアルミシート１１の残量（枚数）を検出できる。

すべてのアルミシート１１の移動が終了していない場合には、ステップＳ２４０において、制御部１０は、アルミシート１１の残量が設定残量に達したか否かを検出する。
ステップＳ２３０およびステップＳ２４０において制御部１０がいずれもＮＯを検出した場合には、制御はステップＳ２２０へと戻り、シート分離動作が行われる。
すなわち、アルミシート１１の残量が設定残量（例えば、５０枚）になるまで、ステップＳ２２０〜ステップＳ２４０が繰り返される。そして、アルミシート１１の残量が設定残量に達すると、ステップＳ２５０において、制御部１０は、区間Ｃにおける上昇速度を初期速度よりも遅い第１の所定速度に設定し、区間Ｄにおける停止時間を初期停止時間よりも長い第１の所定停止時間に設定する。

ステップＳ２５０において設定が変更されると、制御はステップＳ２２０へと戻り、変更された設定（第１の所定速度および第１の所定停止時間）で、シート分離動作が行われる。図６は、区間Ｃにおける上昇速度を遅く設定し、区間Ｄにおける停止時間を長く設定した後のシート分離動作における吸着パッド４１１の位置の時間変化を示す図である。図６には、設定変更前の吸着パッド４１１の位置の時間変化のグラフが２点鎖線で示されている。図６に示すように、時刻ｔ２〜ｔ３´の間は、時刻ｔ２〜ｔ３の間よりも長く設定され、時刻ｔ３´〜ｔ４´の間は、時刻ｔ３〜ｔ４の間よりも長く設定されている。

また、この区間Ｃにおける上昇速度と区間Ｄにおける停止時間は、残量が２枚の際にダブルブランクが発生しないように予め設定された値である。これは、スタック１２からのアルミシート１１の分離動作において残量が２枚の状態で上側のアルミシート１１を取る際に、ダブルブランクが最も発生しやすいためである。
そして、ステップＳ２３０において、制御部１０が全てのアルミシート１１が移動されたことを検出すると、制御が終了する（ステップＳ２６０）。

以上のように、アルミシート１１の残量が多いときには、分離速度を速くし、アルミシート１１の残量が少なくなると分離速度を遅くすることによって、ダブルブランクを低減し処理速度を上げることができる。すなわち、従来は、本願発明者が発見した傾向（同じ速度であってもアルミシートの残量が減少するとダブルブランクが発生する頻度が多くなること）が認識されていなかったため、ダブルブランクが発生しないような遅い処理速度（例えば２枚のときの上昇速度）でスタックの全てのアルミシートを上昇移動させていた。しかしながら、本実施の形態では、ダブルブランクの発生頻度が高い残量においてのみ上昇速度を遅くするため、スタック１２全体としての処理速度は向上する。

処理速度の向上について例を示して説明する。なお、素材分離装置１からプレス装置にアルミシート１１を搬送させるとして、素材分離装置の処理速度を、プレス装置の一分間の成形回数（shot per minute以下spmという）であらわす。
例えば、スタック１２の積層されているアルミシート１１の枚数を６１０枚とし、初期の処理速度が１６ｓｐｍに設定され、残量が１０枚に達したときに１６ｓｐｍから１５ｓｐｍに処理速度を変更する場合、スタック１２の全てのアルミシート１１を１５ｓｐｍで処理する場合と比較して、６００／６０＝１０時間の短縮が可能となる。

以上のように、本実施の形態の素材分離装置１および素材分離方法では、ダブルブランクの発生を低減し処理速度をあげることが可能となる。
＜３．主な特徴＞
（３−１）
本実施の形態の素材分離装置１は、載置部２と、ブロー部３と、吸着部４と、吸着パッド駆動部５（駆動部の一例）と、制御部１０と、を備える。載置部２には、積層された複数枚のアルミシート１１（シート状の素材の一例）が配置される。ブロー部３は、載置部２に載置された複数枚のアルミシート１１にエアーを吹き付けて最上面のアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させる。吸着部４は、複数の吸着パッド４１１を有し、エアーが吹き付けられた状態の最上面のアルミシート１１を上方から吸着パッド４１１により吸着して保持する。吸着パッド駆動部５は、吸着部４を上下方向に駆動する。制御部１０は、アルミシート１１を吸着した吸着パッド４１１を搬送位置（第１の所定位置の一例）まで上方移動させるように制御する。制御部１０は、アルミシート１１の２枚の残量（所定残量の一例）において設定された上昇時間より、初期枚数から設定残量＋１枚までの間（所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部の一例）における上昇時間を短くするように制御する。

本願発明者は、同じ速度であってもアルミシート１１の残量が減少するとダブルブランクが発生する頻度が多くなる傾向を発見し、その傾向に基づいて、所定残量において設定された上昇時間と比較して、所定残量より残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。
すなわち、従来は上記傾向を発見していなかったため、積層されている全ての素材について同じ上昇時間で素材を分離させていたが、上記実施の形態のように少なくとも一部において上昇速度を短くできるため、全体として処理速度を上げることができる。

また、所定残量における上昇速度を、上記一部における上昇時間よりも長くしているため、ダブルブランクの発生を抑制できる。
（３−２）
本実施の形態の素材分離装置１では、所定残量とは、積層された複数枚のアルミシート１１において、最もアルミシート１１のダブルブランクが発生しやすい残量である。

従来は上記傾向を発見していなかったため、積層されている全てのアルミシート１１についてダブルブランクが発生しない最も遅い上昇速度でアルミシート１１を分離させる必要があったが、上記実施の形態のようにダブルブランクの発生が多くなる所定残量以外の範囲の少なくとも一部において、上昇速度をあげることができるため、処理速度を上げることが出来る。

また、ダブルブランクが発生しやすい所定残量では、上昇時間を長くするためダブルブランクの発生を低減できる。
（３−３）
本実施の形態の素材分離装置１において、所定残量は、２枚である。
すなわち、アルミシート１１の残量が減少するとダブルブランクが発生しやすいことから、残量が２枚の場合に、その上側のアルミシート１１を上昇させる際に下側のアルミシート１１がつられて上昇しやすいといえる。

このため、残量が２枚のときのダブルブランクの発生を低減できる上昇時間では、積層されているアルミシート１１の全範囲においてダブルブランクの発生を低減できる。
（３−４）
本実施の形態の素材分離装置１では、制御部１０は、アルミシート１１の残量が、所定残量以上であり予め設定された設定残量に達すると、以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くするように吸着パッド駆動部５を制御する。

これにより、アルミシート１１の残量が予め決められた設定残量以下の場合に分けて上昇時間を変更することができる。すなわち、設定残量以下の場合おいて上昇時間を長くでき、処理速度を上げることが出来る。
また、アルミシート１１の残量が設定残量よりも多い場合には、上昇時間を短く出来るため処理速度を上げることができる。

（３−５）
上記実施の形態の素材分離装置１では、制御部１０は、ブロー部３によりエアーを吹き付けてアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッド４１１にアルミシート１１を吸着させた後に、搬送位置（第１の所定位置の一例）よりも低い一時停止位置（第２の所定位置の一例）までアルミシート１１を上昇させる速度を遅くすることによって、アルミシート１１の残量が設定残量に達したとき以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くする。

これにより、ダブルブランクが発生しやすい残量において、区間Ｃにおける上昇速度を遅くすることによって、最上面のアルミシート１１が下側のアルミシート１１から離れやすくなり、アルミシート１１のダブルブランクを抑制できる。
一方、ダブルブランクが発生しにくい残量の範囲で、図４に示す区間Ｃにおける上昇速度を速くすることによって、上昇時間を短くし、処理速度をあげることができる。

（３−６）
上記実施の形態の素材分離装置１では、制御部１０は、ブロー部３によりエアーを吹き付けてアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッド４１１にアルミシート１１を吸着させ、搬送位置（第１の所定位置の一例）よりも低い一時停止位置（第２の所定位置の一例）まで吸着パッド４１１を上昇させた後、エアーを停止させた状態で吸着パッド４１１を一時停止位置に所定時間停止するように制御する。制御部１０は、所定時間を長くすることによって、アルミシート１１の残量が設定残量に達したとき以降の上昇時間を、設定残量よりも多い場合の上昇時間よりも長くする。

これにより、ダブルブランクが発生しやすい残量において、図４に示す区間Ｄにおける停止時間を長くすることによって、エアーを停止してから最上面のアルミシート１１以外のアルミシート１１が落下する時間を十分に確保できるため、アルミシート１１のダブルブランクを抑制できる。
一方、ダブルブランクが発生しにくい残量の範囲で、図４に示す区間Ｄにおける停止時間を短くすることによって、上昇時間を短くし、処理速度をあげることができる。

（３−７）
上記実施の形態の素材分離装置１では、制御部１０は、ブロー部３によりエアーを吹き付けてアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させた状態で吸着パッド４１１にアルミシート１１を吸着させた後、吸着パッド駆動部５により吸着パッド４１１を搬送位置の高さよりも低い一時停止位置に上昇させ、エアーを停止させた状態で吸着パッド４１１を一時停止位置に所定時間停止してから吸着パッド４１１を吸着パッド駆動部５により搬送位置まで上昇させるように制御する。

このように、制御することにより、ダブルブランクを低減しつつ処理速度を上げることが出来る。
（３−８）
上記実施の形態の素材分離装置１では、吸着パッド駆動部５は、駆動源としてサーボモータ５０を有する。

このように、各々の吸着パッド４１１を上下駆動する吸着パッド駆動部５の駆動源としてサーボモータ５０を用いることにより、吸着パッド４１１の駆動を精度よく制御できる。
（３−９）
本実施の形態の素材分離方法は、ステップＳ４０（ブロー工程の一例）と、ステップＳ５０およびステップＳ６０（吸着工程の一例）と、ステップＳ７０〜ステップＳ１２０（上昇工程の一例）と、ステップＳ２４０〜Ｓ２７０（制御工程の一例）と、を有する。

ステップＳ４０（ブロー工程の一例）では、積層された複数枚のアルミシート１１（シート状の素材の一例）にエアーを吹き付けることによって最上面のアルミシート１１の少なくとも一部を浮遊させる。ステップＳ５０およびステップＳ６０（吸着工程の一例）では、エアーが吹き付けられた状態のアルミシート１１を上方から吸着して保持する。ステップＳ７０〜ステップＳ１２０（上昇工程の一例）では、吸着したアルミシート１１を搬送位置（第１の所定位置）まで上昇させる。ステップＳ２４０〜Ｓ２７０（制御工程の一例）では、吸着したアルミシート１１を搬送位置まで上方移動させる上昇時間を制御する。ステップＳ２４０〜Ｓ２７０（制御工程の一例）では、所定残量において設定された上昇時間より、所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御する。

これにより、少なくとも一部において上昇速度を短くできるため、全体として処理速度を上げることができる。
また、本願発明者が発見した傾向に基づいて、所定残量における上昇速度を、上記一部にける上昇時間よりも長くしているため、ダブルブランクの発生を抑制できる。
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）
上記実施の形態では、１つの設定残量に達すると、吸着パッド４１１の上昇時間を長くするように制御していたが、設定残量は１つに限られず、２つ以上であってもよい。例えば、第１の設定残量と第２の設定残量が設けられた場合について以下に説明する。
すなわち、アルミシート１１の枚数の減少に伴ってアルミシート１１の上昇時間が３段階に長くなるように制御が行われる。なお、第１の設定残量および第２の設定残量については、予め設定されている。

図７は、２つの設定残量を定めた場合のスタックの全てのアルミシートを分離する動作を示すフロー図である。
はじめにステップＳ３１０において、スタック１２が載置台２１に載置される。例えば、スタック１２におけるアルミシート１１の積層枚数が６００枚とする。また、第１の設定残量を例えば１００枚に設定し、第２の設定残量を例えば５０枚に設定する。

次に、ステップＳ３２０において、制御部１０は、シート分離動作を行う。シート分離動作は、上述したステップＳ１０〜ステップＳ１５０の動作である。なお、新たなスタック１２が載置されたときのはじめのステップＳ８０における吸着パッド４１１の上昇速度を初期速度とし、ステップＳ１１０における停止時間を初期停止時間とする。
この初期速度および初期停止時間は、アルミシート１１の残量が第１の設定残量＋１枚（例えば、１０１枚）のときにダブルブランクが発生しないように設定されている。これは、第１の設定残量に達するまでの間では、最も残量が少ない第１の設定残量＋１枚のときに最もダブルブランクが発生しやすいためである。なお、この変形例における第１の設定残量は、実施の形態における設定残量よりも多いため、変形例における初期速度は、上記実施の形態の初期速度よりも速く設定でき、変形例における初期停止時間は、上記実施の形態の初期停止時間よりも短く設定できる。

次に、ステップＳ３３０において、全てのアルミシート１１をコンベア１００に移動したか否かが検出される。なお、はじめに載置台２１に載置されるアルミシート１１の積層枚数はあらかじめ設定されているため、制御部１０はスタック１２から分離したアルミシート１１の数をカウントすることによって載置台２１上のアルミシート１１の残量（枚数）を検出できる。

すべてのアルミシート１１の移動が終了していない場合には、ステップＳ３４０において、制御部１０は、アルミシート１１の残量が第２の設定残量に達したか否かを検出する。
次に、アルミシート１１の残量が第２の設定残量に達していない場合は、ステップＳ３５０において、制御部１０は、アルミシート１１の残量が第１の設定残量に達したか否かを検出する。

ステップＳ３３０〜ステップＳ３５０において制御部１０がいずれもＮＯを判定した場合には、制御はステップＳ３２０へと戻り、シート分離動作が行われる。
すなわち、アルミシート１１の残量が第１の設定残量（例えば、１００枚）になるまで、ステップＳ３２０〜ステップＳ３４０が繰り返される。そして、アルミシート１１の残量が第１の設定残量に達すると、ステップＳ３６０において、制御部１０は、区間Ｃにおける上昇速度を初期速度よりも遅い第１の所定速度に設定し、区間Ｄにおける停止時間を初期停止時間よりも長い第１の所定停止時間に設定する。

ここで、第１の所定速度および第１の所定停止時間は、アルミシート１１の残量が第２の設定残量＋１枚（例えば、５１枚）のときにダブルブランクが発生しないように設定されている。
ステップＳ３６０において設定が変更されると、制御はステップＳ３２０へと戻り、変更された設定（第１の所定速度および第１の所定停止時間）で、シート分離動作が行われる。

再び、ステップＳ３２０〜ステップＳ３４０が繰り返され、アルミシート１１の残量が第２の設定残量（例えば、５０枚）に達すると、制御部１０は、ステップＳ３７０において、区間Ｃにおける上昇速度を第１の所定速度よりも遅い第２の所定速度に設定し、区間Ｄにおける停止時間を第１の所定停止時間よりも長い第２の所定停止時間に設定する。
この第２の所定速度および第２の所定停止時間で以降のステップＳ３２０のシート分離動作が行われる。

ここで、第２の所定速度および第２の所定停止時間は、アルミシート１１の残量が２枚のときにダブルブランクが発生しないように設定されている。
そして、ステップＳ３３０において、制御部１０が全てのアルミシート１１が移動されたことを検出すると、制御が終了する（ステップＳ３８０）。
なお、３つ以上の設定残量が定められていてもよく更に段階的に上昇時間を長くするようにしてもよい。また、上昇時間を変更する設定残量を例えば一枚ごとに設定することによって段階を増やして見かけ上連続的に変化させてもよい。

（Ｂ）
上記実施の形態では、設定残量において、区間Ｃの速度を遅く変更し、区間Ｄの時間を長く変更しているが、区間Ｃと区間Ｄのいずれか一方のみ変更してもよい。また、上記（Ａ）において、第１の設定残量に達すると区間Ｃの速度を遅くし、第２の設定残量に達すると区間Ｄの時間を長くするようにしても良く、その逆でも良い。

（Ｃ）
上記実施の形態では、設定残量を境にしてアルミシート１１の残量が設定残量よりも多い場合よりも、設定残量以下の場合の上昇時間を長く設定しているが、設定残量以下の範囲において一部の範囲の上昇速度を他の範囲の上昇速度よりも速く設定してもよい。
例えば、スタック１２のアルミシート１１の枚数が６００枚であり、設定残量を３００枚に設定し、残量が３００枚よりも多い場合には１６ＳＰＭで処理し、残量が３００枚に達した際に、１４ＳＰＭに変更したとする。このような場合に、残量が２００枚になるまでダブルブランクの確認を行いダブルブランクが発生しない場合には、残量が２００枚〜１００枚の間の処理速度を１５ＳＰＭや１６ＳＰＭに変更するようにしてもよい。

また、設定残量よりも多い範囲において、一部の範囲の上昇速度を他の範囲の上昇速度よりも遅くしてもよい。すなわち、上記の例において、残量が５００枚になるまで１５ＳＰＭや１４ＳＰＭで処理を行い、ダブルブランクが発生しない場合に、残量が５００枚に達すると処理速度を１６ＳＰＭに上昇させるように処理をしてもよい。
要するに、最もアルミシート１１のダブルブランクが発生しやすい残量が２枚の場合においてダブルブランクが発生しないように設定された上昇時間よりも、２枚よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における上昇時間を短くするように制御すればよい。また、２枚の場合にダブルブランクが発生しないように設定された上昇時間でスタック１２の全てのアルミシート１１を上昇移動させる場合よりも、トータルの時間が短くなりさえすれば全体としての処理速度を上げることが出来る。

（Ｄ）
上記実施の形態では、吸着パッド４１１の上下方向の駆動にサーボモータ５０が用いられているが、エアシリンダが用いられてもよい。
（Ｅ）
上記実施の形態では、載置台駆動部２２に油圧シリンダが用いられていると説明したが、サーボモータが用いられてもよい。

（Ｆ）
上記実施の形態では、制御部１０が、分離されたアルミシート１１の枚数をカウントすることにより残量を検出しているが、時間を計測して残量を検出してもよい。また、載置台駆動部２２の油圧シリンダのストロークを検出する位置センサを設けて、油圧シリンダのストロークから残量が検出されてもよい。また、載置台駆動部２２にサーボモータを用いた場合、制御部１０は、サーボモータの駆動量から残量を検出してもよい。

更に、スタック１２を載置した載置台２１の重さを計測して、残量を検出してもよい。すなわち、分離していくに従ってアルミシート１１が減少し載置台２１の重さが所定の重さに達すると上昇時間を長くするように制御が行われる。
（Ｇ）
上記実施の形態では、区間Ｃにおける吸着パッド４１１の上昇を停止させるとともに、ブローを停止していたが、厳密なものではなく、区間Ｃおよび区間Ｄの途中で止めても良い。なお、区間Ｄの途中で止める場合には、ブローを止めてから最上面以外のアルミシート１１が落下するための十分な時間吸着パッド４１１を停止するほうが好ましい。

本発明の素材分離装置および素材分離方法は、ダブルブランクの発生を低減し処理速度を上げることが可能な効果を有し、アルミやマグネシウム等の非磁性体のシート状素材を分離する際に特に有用である。

１ 素材分離装置
２ 載置部
３ ブロー部
４ 吸着部
５ 吸着パッド駆動部
６ 位置検出部
８ 支持フレーム
１０ 制御部
１１ アルミシート
１２ スタック
１３ 記憶部
２０ アルミシート
２１ 載置台
２２ 載置台駆動部
３１ ノズル
３２ エアーコンプレッサ
４１ 吸着パッド部
４２ バルブ
４３ 真空ポンプ
４４ チューブ
５０ サーボモータ
５１ 変換部
５３ ベアリング
６１ 光電管投光部
６２ 光電管受光部
１００ コンベア
４１１ 吸着パッド
４１２ パッド支持部材
４１３ チューブ接続部
４１４ 駆動接続部
５０１ 回転軸
５１１ ボールネジ
５１２ ナット
５１３ 規制部
５１４ 円筒部
５１５ ハウジング

Claims (11)

1. 積層された複数枚のシート状の素材が載置される載置部と、
   前記載置部に載置された前記複数枚の素材にエアーを吹き付けて最上面の前記素材の少なくとも一部を浮遊させるブロー部と、
   複数の吸着パッドを有し、前記エアーが吹き付けられた状態の前記最上面の素材を上方から前記吸着パッドにより吸着して保持する吸着部と、
   各々の前記吸着パッドを上下方向に駆動する駆動部と、
   前記素材を吸着した前記吸着パッドを第１の所定位置まで上方移動させる上昇時間を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記素材の所定残量において設定された上昇時間より、前記所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における前記上昇時間を短くするように制御する、
   素材分離装置。
2. 前記所定残量とは、前記積層された複数枚の前記素材において、最も前記素材のダブルブランクが発生しやすい残量である、
   請求項１に記載の素材分離装置。
3. 前記所定残量は、２枚である、請求項１に記載の素材分離装置。
4. 前記制御部は、
   前記素材の残量が、前記所定残量以上であり予め設定された設定残量に達すると、以降の前記上昇時間を、前記設定残量よりも多い場合の前記上昇時間よりも長くするように前記駆動部を制御する、
   請求項１に記載の素材分離装置。
5. 前記制御部は、複数の異なる前記設定残量において、前記素材の残量がそれぞれの前記設定残量に達すると、以降の前記上昇時間を、前記設定残量よりも多い場合の前記上昇時間よりも長くするように前記駆動部を制御する、
   請求項４に記載の素材分離装置。
6. 前記制御部は、前記素材の残量が減少するに伴って、段階的または連続的に前記上昇時間を遅くするように前記駆動部を制御する、
   請求項５に記載の素材分離装置。
7. 前記制御部は、前記ブロー部により前記エアーを吹き付けて前記素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で前記吸着パッドに前記素材を吸着させた後に、前記第１の所定位置よりも低い第２の所定位置まで前記吸着パッドを上昇させる速度を遅くすることによって、前記素材の残量が前記設定残量に達したとき以降の前記上昇時間を、前記設定残量よりも多い場合の前記上昇時間よりも長くする、
   請求項４に記載の素材分離装置。
8. 前記制御部は、前記ブロー部により前記エアーを吹き付けて前記素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で前記吸着パッドに前記素材を吸着させ、前記第１の所定位置よりも低い第２の所定位置まで前記吸着パッドを上昇させた後、前記エアーを停止させた状態で前記吸着パッドを前記第２の所定位置に所定時間停止するように制御し、
   前記所定時間を長くすることによって、前記素材の残量が前記設定残量に達したとき以降の前記上昇時間を、前記設定残量よりも多い場合の前記上昇時間よりも長くする、
   請求項４に記載の素材分離装置。
9. 前記制御部は、前記ブロー部により前記エアーを吹き付けて前記素材の少なくとも一部を浮遊させた状態で前記吸着パッドに前記素材を吸着させた後、前記駆動部により前記吸着パッドを前記第１の所定位置の高さよりも低い第２の所定位置に上昇させ、前記エアーを停止させた状態で前記吸着パッドを前記第２の所定位置に所定時間停止してから前記吸着パッドを前記駆動部により前記第１の所定位置まで上昇させるように制御する、
   請求項１に記載の素材分離装置。
10. 前記駆動部は、駆動源としてサーボモータを有する、
    請求項１に記載の素材分離装置。
11. 積層された複数枚のシート状の素材にエアーを吹き付けることによって最上面の前記素材の少なくとも一部を浮遊させるブロー工程と、
    前記エアーが吹き付けられた状態の前記素材を上方から吸着して保持する吸着工程と、
    吸着した前記素材を第１の所定位置まで上昇させる上昇工程と、
    吸着した前記素材を前記第１の所定位置まで上方移動させる上昇時間を制御する制御工程と、を備え、
    前記制御工程は、前記素材の所定残量において設定された上昇時間より、前記所定残量よりも残量が多い範囲の少なくとも一部における前記上昇時間を短くするように制御する、
    素材分離方法。

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