JP2016159521A - 電子装置の製造方法 - Google Patents
電子装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016159521A JP2016159521A JP2015040405A JP2015040405A JP2016159521A JP 2016159521 A JP2016159521 A JP 2016159521A JP 2015040405 A JP2015040405 A JP 2015040405A JP 2015040405 A JP2015040405 A JP 2015040405A JP 2016159521 A JP2016159521 A JP 2016159521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mold
- cavity
- resin material
- electronic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 310
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 310
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 138
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 18
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 20
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 5
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 3
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 3
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49175—Parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】本製造方法は、第1樹脂部41と第2樹脂部42を含むモールド樹脂を形成する樹脂封止工程を備えている。樹脂封止工程では、コンプレッションモールド用金型のキャビティに、キャビティを複数の領域に分割する枠部材440を配置する。また、樹脂封止工程では、枠部材440が配置されて複数の領域に分割されたキャビティに対して、塗布機に保持された各樹脂材料41,42を塗布する。そして、樹脂封止工程では、各樹脂材料41,42を塗布した後に、枠部材440をキャビティから取り出してからコンプレッション成型する。
【選択図】図18
Description
異なる種類の樹脂部(41〜47)を含むモールド樹脂(40,40a,40b)を備えた電子装置の製造方法であって、
各樹脂部の夫々の構成材料である複数の樹脂材料が、コンプレッションモールド用金型のキャビティ(240)に塗布された状態でコンプレッション成型することでモールド樹脂を形成するモールド工程を備えており、
モールド工程は、
キャビティに配置する前の各樹脂材料を保持可能で且つ保持している各樹脂材料を供給可能な保持部材(430)に対して、電子装置における各樹脂部の位置関係と同様の位置関係で各樹脂材料を配置する配置工程と、
キャビティを複数の領域に分割する枠部材(440)をキャビティ内に配置する分割工程と、
枠部材が配置されて複数の領域に分割されたキャビティに対して、位置関係で保持部材に保持された各樹脂材料を塗布する塗布工程と、を含み、
塗布工程後に、枠部材をキャビティから取り出してからコンプレッション成型することを特徴とする。
本発明は、図21に示す電子装置100aであっても製造できる。電子装置100aは、モールド樹脂40aを備えて構成されている。また、モールド樹脂40aは、第1樹脂部43と第2樹脂部44とを含んで構成されている。第1樹脂部43は、第1樹脂部41と同様に、第1部品20と回路基板10の実装面とを封止している。一方、第2樹脂部44は、第2部品30と実装面に加えて、第1樹脂部43を封止している。第1樹脂部43の物性に関しては、第1樹脂部41と同様である。また、第2樹脂部44の物性に関しては、第2樹脂部42と同様である。
本発明は、図22に示す電子装置100bであっても製造できる。電子装置100bは、モールド樹脂40bを備えて構成されている。また、モールド樹脂40bは、第1樹脂部45と第2樹脂部46と第3樹脂部47を含んで構成されている。第1樹脂部45と第2樹脂部46と第3樹脂部47は、互いに種類が異なるものであり、例えば線膨張係数が異なる。このように、本製造方法は、種類が異なる三つの樹脂部45〜47を含むモールド樹脂40bであっても製造できる。つまり、本製造方法は、種類が異なる三つの樹脂部45〜47が実装面に沿って配置され、且つ、積層されたモールド樹脂40bであっても製造できる。なお、本製造方法は、種類が異なる四つ以上の樹脂部を含むモールド樹脂であっても製造できる。
Claims (2)
- 異なる種類の樹脂部(41〜47)を含むモールド樹脂(40,40a,40b)を備えた電子装置の製造方法であって、
各樹脂部の夫々の構成材料である複数の樹脂材料が、コンプレッションモールド用金型のキャビティ(240)に塗布された状態でコンプレッション成型することで前記モールド樹脂を形成するモールド工程を備えており、
前記モールド工程は、
前記キャビティに配置する前の各樹脂材料を保持可能で且つ保持している各樹脂材料を供給可能な保持部材(430)に対して、前記電子装置における各樹脂部の位置関係と同様の位置関係で各樹脂材料を配置する配置工程と、
前記キャビティを複数の領域に分割する枠部材(440)を前記キャビティ内に配置する分割工程と、
前記枠部材が配置されて複数の領域に分割された前記キャビティに対して、前記位置関係で前記保持部材に保持された各樹脂材料を塗布する塗布工程と、を含み、
前記塗布工程後に、前記枠部材を前記キャビティから取り出してから前記コンプレッション成型することを特徴とする電子装置の製造方法。 - 前記塗布工程では、前記樹脂材料が溶融可能な温度に前記コンプレッションモールド用金型を加熱した状態で、各樹脂材料を塗布することを特徴とする請求項1に記載の電子装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015040405A JP6413845B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 電子装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015040405A JP6413845B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 電子装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016159521A true JP2016159521A (ja) | 2016-09-05 |
JP6413845B2 JP6413845B2 (ja) | 2018-10-31 |
Family
ID=56843943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015040405A Expired - Fee Related JP6413845B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 電子装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6413845B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017092426A (ja) * | 2015-11-17 | 2017-05-25 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006100624A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nagase & Co Ltd | 光モジュール用の3次元シート状接着材料 |
JP2011114138A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Yaskawa Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014116409A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Denso Corp | 電子装置 |
-
2015
- 2015-03-02 JP JP2015040405A patent/JP6413845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006100624A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nagase & Co Ltd | 光モジュール用の3次元シート状接着材料 |
JP2011114138A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Yaskawa Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2014116409A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Denso Corp | 電子装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017092426A (ja) * | 2015-11-17 | 2017-05-25 | 株式会社デンソー | 電子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6413845B2 (ja) | 2018-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI796728B (zh) | 系統級封裝 | |
US9252113B2 (en) | No-exposed-pad ball grid array (BGA) packaging structures and method for manufacturing the same | |
JP5079475B2 (ja) | 電子部品実装用パッケージ | |
CN101499445B (zh) | 半导体器件及其制造方法 | |
CN104584209B (zh) | 薄型衬底PoP结构 | |
US20150069596A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
TW200837847A (en) | Multi-component electronic package with planarized embedded-components substrate | |
US8946909B2 (en) | Semiconductor package having gap-filler injection-friendly structure | |
US10674604B2 (en) | Printed wiring board and method for manufacturing the same | |
TW201533814A (zh) | 封裝結構性元件 | |
TW201911491A (zh) | 堆疊式感測器封裝結構 | |
JP2011243801A (ja) | 半導体パッケージの製造装置及び製造方法 | |
KR20150059963A (ko) | 반도체 패키지의 제조방법 | |
JP2020096153A (ja) | 半導体パッケージ構造体及びその製造方法 | |
US10461044B2 (en) | Wafer level fan-out package and method of manufacturing the same | |
JP6413845B2 (ja) | 電子装置の製造方法 | |
TWI845784B (zh) | 半導體裝置封裝及其製造方法 | |
CN107017211B (zh) | 电子部件和方法 | |
KR100829613B1 (ko) | 반도체 칩 패키지 및 그 제조 방법 | |
TWI576025B (zh) | 基板結構及其製法 | |
US10418249B2 (en) | Method and apparatus for using universal cavity wafer in wafer level packaging | |
JP2013106031A (ja) | 半導体パッケージ及びその製造方法 | |
US20060214313A1 (en) | Die attach methods and apparatus | |
JP2009231296A (ja) | 放熱型多穿孔半導体パッケージ | |
KR20110133769A (ko) | 적층 반도체 패키지 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170905 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180917 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6413845 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |