JP2016154189A - 有機半導体膜の製造方法、製造装置および電気二重層トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機半導体膜をエッチングする製造装置19において、イオン液体18中で被加工面に電圧を印加することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
イミダゾリウム系陽イオン: 1-methyl-3-methylimidazolium(MMI),1-ethyl-3-methylimidazolium(EMI),1-propyl-3-methylimidazolium(PMI),1-butyl-3-methylimidazolium(BMI),1-pentyl-3-methylimidazolium(PeMI),1-hexyl-3-methylimidazolium(HMI),1-oxyl-3-methylimidazolium(OMI),1,2-dimethyl-3-propylimidazolium(DMPI);
ピリジニウム系陽イオン:1-methly-1-propylpiperridinium(PP13),1-methyl-1-propylpyrrolidinium(P13),1-methyl-1-butylpyrrolidinium(P14),1-butyl-1-methylpyrrolidinium(BMP);
アンモニウム系陽イオン:trimethyl propyl ammonium(TMPA),trimethyl octyl ammonium(TMOA)、trimethyl hexyl ammonium(TMHA),trimethyl pentyl ammonium(TMPeA),trimethyl butyl ammonium(TMBA);
ピラゾリウム系陽イオン: 1-ethyl-2,3,5-trimethylpyrazolium(ETMP),1-butyl-2,3,5-trimethylpyrazolium(BTMP),1-propyl-2,3,5-trimethylpyrazolium(PTMP),1-hexyl-2,3,5-trimethylpyrazolium(HTMP);
bis(trifluoromethanesulfonyl)imide(TFSI),bis(fluorosulfonyl)imide(FSI),bis(per
fluoroethylsulfonyl)imide(BETI),tetrafluoroborate(BF4),hexafluorophosphate(PF6
);
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。
16 有機半導体膜
18 イオン液体
19 製造装置
Claims (7)
- 有機半導体膜をイオン液体に浸漬して被加工面をエッチングする工程を備える有機半導体膜の製造方法において、
前記イオン液体中で前記被加工面に電圧を印加する工程を含むことを特徴とする有機半導体膜の製造方法。 - 前記電圧を印加する工程において、前記被加工面上を探針が移動することにより前記被加工面を所定形状にエッチングすることを特徴とする請求項1記載の有機半導体膜の製造方法。
- 前記探針は、振動しながら前記被加工面上を移動することを特徴とする請求項2記載の有機半導体膜の製造方法。
- 前記被加工面を単原子層ずつエッチングし、結晶性に優れた表面を得ることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の有機半導体膜の製造方法。
- 有機半導体膜をエッチングする製造装置において、イオン液体中で被加工面に電圧を印加することを特徴とする製造装置。
- 前記被加工面に電圧を印加する電極を備えていることを特徴とする請求項5記載の製造装置。
- 有機半導体膜を備える電気二重層トランジスタにおいて、前記有機半導体膜が、イオン液体中で電圧を印加して被加工面をエッチングされたことにより結晶性に優れた表面を有することを特徴とする電気二重層トランジスタ。
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WO2023228702A1 (ja) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 克弥 西沢 | 導線、伝送装置、宇宙太陽光エネルギー輸送方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0897183A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の微細加工方法 |
JP2011249498A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Sony Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびに電子機器 |
JP2015518925A (ja) * | 2012-06-08 | 2015-07-06 | オンデルゾエクセントラム・フォー・アーンウェンディング・ファン・シュタール・エヌ・フェー | 金属コーティングを作製するための方法 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0897183A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nippon Steel Corp | 半導体装置の微細加工方法 |
JP2011249498A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Sony Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、ならびに電子機器 |
JP2015518925A (ja) * | 2012-06-08 | 2015-07-06 | オンデルゾエクセントラム・フォー・アーンウェンディング・ファン・シュタール・エヌ・フェー | 金属コーティングを作製するための方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Y.YOKOTA, ET.AL: "Clean surface processing of rubrene single crystal immersed in ionic liquid by using frequency modul", APPLIED PHYSICS LETTERS, vol. vol. 104, issue. 26, JPN7019000472, 30 June 2014 (2014-06-30), US, pages pp. 263102/1-263102/4 * |
坂東 賢一, ほか: "電気化学 FM-AFM を用いたイオン液体/ルブレン(001)界面における探針誘起ナノリソグラフィー", 第62回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集, JPN7019000473, 13 March 2015 (2015-03-13), JP * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023228702A1 (ja) * | 2022-05-26 | 2023-11-30 | 克弥 西沢 | 導線、伝送装置、宇宙太陽光エネルギー輸送方法 |
JP7157892B1 (ja) | 2022-08-02 | 2022-10-20 | 克弥 西沢 | 導体素子、トランジスタ、導線、電池電極、電池 |
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