JP2016152285A - 光素子 - Google Patents

光素子 Download PDF

Info

Publication number
JP2016152285A
JP2016152285A JP2015028251A JP2015028251A JP2016152285A JP 2016152285 A JP2016152285 A JP 2016152285A JP 2015028251 A JP2015028251 A JP 2015028251A JP 2015028251 A JP2015028251 A JP 2015028251A JP 2016152285 A JP2016152285 A JP 2016152285A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photonic crystal
level
optical
optical element
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015028251A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6319806B2 (ja
Inventor
毅彦 俵
Takehiko Tawara
毅彦 俵
博雄 尾身
Hiroo Onomi
博雄 尾身
智 足立
Satoshi Adachi
智 足立
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hokkaido University NUC
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Hokkaido University NUC
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hokkaido University NUC, Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Hokkaido University NUC
Priority to JP2015028251A priority Critical patent/JP6319806B2/ja
Publication of JP2016152285A publication Critical patent/JP2016152285A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6319806B2 publication Critical patent/JP6319806B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

【課題】光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、電子脱離遷移過程が減らせるようにする。
【解決手段】フォトニック結晶101は、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素のイオンが含まれている。また、フォトニック結晶101は、上記元素の励起準位より上の上位準位に一致するPBGを有する。例えば、元素は、Erであり、フォトニック結晶101は、Er23から構成されたフォトニック結晶本体102と、フォトニック結晶本体102に形成されて周期的に配置された柱状の複数の格子要素103とから構成されている。格子要素103は、周囲のフォトニック結晶本体102とは異なる屈折率とされている部分であり、例えば、円柱形状の中空構造である。複数の格子要素103の周期および径により、フォトニック結晶101のPBGが決定される。
【選択図】 図2

Description

本発明は、フォトニック結晶から構成された光素子に関する。
SiによるLSI(Large Scale Integration)に代表される電子回路を、同じSiを用い小型かつ低消費電力な光回路や光電子融合回路に置き換えるシリコンフォトニクスの研究が盛んに行われている。この研究では、微細加工技術の進展とともに現在では高性能なSi細線導波路や光変調器、検出器のオンチップ集積が可能となっている。しかしながら、光源や光増幅器等の能動素子は、未だ実現されていない。この主な理由は、Siが間接遷移半導体であり光学遷移効率が低いためである。
これまでに、ナノ構造化、歪みによるバンド制御などが試みられているが、決定的な解決には至っていない(非特許文献1参照)。このため、希土類添加材料による光素子のSi基板上集積が盛んに検討されるようになった。ここで重要となるのは、短距離で十分な光学利得を得るために、希土類が高濃度に添加されていることである。しかしながら、Si母体結晶への希土類の添加量は、1018cm-3、非晶質母体の場合でも1020cm-3が固溶限界である。このため、得られる光利得値は、おおよそ数dB/cmであり、Siオンチップ光素子で期待される利得100dB/cmには達することができていない。
例えば、母材材料は異なるが、光ファイバアンプEDFA(Erbium Doped Fiber Amplifier)の例を取ると、発光源となる希土類であるエルビウム(Er)の添加量は1018cm-3と小さく、10dB程度の利得を得るためにも、長さ数メートル以上が必要になる。
ここで、信号光の光学利得は一般に、増幅および減衰を考慮して、「φ(x)=φin exp((σem1−σabs0)Γ・x)」で示されるものとなる。この式において、φinは入力される信号光子流、σemは発光断面積、N1は励起状態の希土類の密度、σabsは励起断面積、N0は基底状態の希土類の密度、Γは光閉じ込め係数、xは光路方向の位置である。
上式を用いて光学利得Gを表すと「G(dB)=A×(σem1−σabs0)ΓL」となる。この式において、Aは係数であり、例えばEDFAの場合は4.3程度の値になる。また、Lは、デバイス長である。
また、発光断面積および励起断面積は、物質固有の値でありEDFAの場合には共に10-21cm2のオーダになる。なお、準位間に相当するエネルギーを持った光との結合であるため、発光断面積および励起断面積は、アインシュタインのB係数から導くことができる。また一般的に、光増幅器として使用する場合には、希土類は十分に励起されている(強励起)状態で使用され、ほとんど励起状態にあり、基底状態にあるものは非常に少なくなる。
以上のことから簡略化すると、利得は一般的に、「G(dB)∝σem1ΓL」と表すことができる。この式において、σemは物質固有であり、またΓはデバイス構造に依存し、1を超えない。従って、光学利得は希土類の密度およびデバイス長によって決まり、デバイス長を短くするためには希土類の濃度を上げる必要がある。例えば、Siオンチップ光素子で期待される利得100dB/cmを達成するためには、Er濃度1021cm-3が必要になる。
このための手段としてSi基板上へ希土類を結晶構成元素にもつ単結晶を成長する方法が、結晶品質および希土類濃度の両観点から有望であると考えられる。一例として、通信波長帯光源と相互作用可能な希土類元素であるErを用いたErYSiO5(Er濃度1021cm-3)の自己形成微結晶の成長に成功し、これまで30dB/cmの利得が実現されている(非特許文献2参照)。
馬場俊彦, 「シリコンフォトニクスによる新世代光集積とインタコネクション」, 電子情報通信学会誌, vol.94, no.12, pp.1037-1040, 2011. H. Isshiki et al., "Rare earth silicates as gain media for silicon photonics [Invited]", Photon. Res., vol.2, no.3, pp.A45-A55, 2014. L.F. Johnson et al., "InfraredtoVisible Conversion by RareEarth Ions in Crystals", Journal of Applied Physics, vol.43, no.3, pp.1125-1137, 1972. M. Pollnau et al., "Power dependence of upconversion luminescence in lanthanide and transition-metal-ion systems", Physical Review B, vol.61, no.5, pp.3337-3346, 2000. E. Kuramochi et al., "Ultrahigh-Q photonic crystal nanocavities realized by the local width modulation of a line defect", Applied Physics Letters, vol.88, 041112, 2006.
ところで、上述した従来の技術では、高濃度(Er濃度1021cm-3)であるにもかかわらず利得が30dB/cmにとどまっている。この主な理由としては、ポンプ光により発光準位へ励起された電子が、上位エネルギー準位に離脱してしまう電子脱離遷移(アップコンバージョン:UC)過程が存在することが挙げられる。このUC過程は、励起された電子が何らかの相互作用を介し、より高エネルギー状態へ遷移離脱する現象であり、希土類材料や色素分子などでよく知られている現象である(非特許文献3参照)。またUC過程が生じる確率は、希土類の添加濃度に依存し、高濃度に添加するほどUC確率が上がることが知られている(非特許文献2参照)。
上述した電子離脱遷移であるUC過程は、希土類イオン間の距離を大きくする(希土類濃度を減少させる)ことでのみ抑制でき、UC確率の抑制は利得媒質における希土類濃度とのトレードオフとなると考えられてきた。このように、従来では、希土類などの光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、かつUC過程を減らすことができないという問題があった。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、電子脱離遷移過程が減らせるようにすることを目的とする。
本発明に係る光素子は、基底準位から励起準位へと励起された元素の電子が基底準位に戻る際の光放出による光素子であって、元素のイオンを含むフォトニック結晶から構成され、フォトニック結晶は、元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップを有する。
上記光素子において、フォトニック結晶は、元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップに加え、元素の励起準位に一致するフォトニックバンドギャップを有するものとしてもよい。
上記光学素子において、フォトニック結晶は、支持基板と、支持基板より低い屈折率の材料から構成されて元素を含み、支持基板の上に形成された元素含有層とから構成してもよい。なお、元素は、エルビウムであればよい。
以上説明したことにより、本発明によれば、光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、電子脱離遷移過程が減らせることができるという優れた効果が得られる。
図1は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す斜視図である。 図2は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す平面図である。 図3は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す断面図である。 図4は、エルビウムイオンのエネルギー準位構造を示す説明図である。 図5は、発光準位である413/2から離脱した電子の緩和による光放出を説明する説明図である。 図6は、電子の離脱準位から基底状態への発光遷移を禁止した状態のエルビウムイオンのエネルギー準位構造を示す説明図である。 図7は、実施の形態1における光素子における入射光に対する透過光強度特性を示す特性図である。 図8は、本発明の実施の形態2における光素子の構成を示す斜視図である。 図9は、本発明の実施の形態3における光素子の構成を示す斜視図である。 図10は、実施の形態3における光素子のフォトニック結晶301中の光の分散関係の計算結果を示す特性図である。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す斜視図である。また、図2は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す平面図である。また、図3は、本発明の実施の形態1における光素子の構成を示す断面図である。
この光素子は、フォトニック結晶101から構成されている。フォトニック結晶101は、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素のイオンが含まれている。また、フォトニック結晶101は、上記元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップ(Photonic bandgap:PBG)を有する。この光素子は、基底準位から励起準位へと励起された元素の電子が基底準位に戻る際の光放出による光素子である。
例えば、元素は、エルビウム(Er)であり、フォトニック結晶101は、酸化エルビウム(Er23)から構成されたフォトニック結晶本体102と、フォトニック結晶本体102に形成されて周期的に配置された柱状の複数の格子要素103とから構成されている。格子要素103は、周囲のフォトニック結晶本体102とは異なる屈折率とされている部分であり、例えば、円柱形状の中空構造である。複数の格子要素103の周期、径、および屈折率により、フォトニック結晶101のPBGが決定される。
実施の形態1では、フォトニック結晶本体102をEr23から構成しており、Erの上位準位(49/2,波長812nm)にPBGが一致するように、格子要素103は、直径R=260nm(規格化直径R’=0.7a)、格子定数a=370nm(規格化格子定数a/λ=0.435)の三角格子配列とされている。また、フォトニック結晶本体102は、板厚(厚さ)がt=300nm(規格化厚さ=t’=0.8a)としている。なお、Er23は、屈折率n=1.94である。
上述した実施の形態1によれば、光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、電子脱離遷移過程が減らせる。この点について、より詳細に説明する。以下では、実施の形態1における元素(希土類元素)がErの場合を例に説明する。まず、エルビウムイオンのエネルギー準位構造は、図4に示すものとなる。基底準位である415/2から第1励起準位の413/2に励起された電子は、ある時間の後、元の基底準位415/2へ1.5μm帯光子の放出を伴いエネルギー的に緩和する。
しかし電子離脱遷移(UC過程)の存在により一部の電子は、413/249/2→4S3/2のように、高エネルギー準位へカスケード的にエネルギー伝達していき、発光準位である413/2から離脱する。このようにして離脱した電子は、図5に示すように、移動先各上位準位に相当するエネルギーを伴った光子放出により基底準位415/2に緩和する。なお、413/249/2→4S3/2といった準位から、411/249/2などの他の中間準位へは、非発光緩和すると考えられており、例えば413/2411/2といったようなUC過程は生じない。上述したUCでは、上位エネルギー準位になるほどUC過程に必要な電子数が多くなるため、上位エネルギー準位絵のUCほどUC遷移確率は低下する(非特許文献4参照)。
ここで、電子の離脱準位から基底状態への発光遷移(例えば49/2415/2)を禁止すると、図6に示すように、励起電子はより下位のエネルギー準位に緩和する。もしくは、より上位のエネルギー準位にUCで移動する。このような状態において、上位準位への移動確率よりも下位準位への緩和確率の方を十分高くすることができれば、実効的に第1励起準位の413/2に電子が強く捕獲され光学利得の増大化が実現する。
フォトニック結晶本体102をEr23から構成した実施の形態1では、フォトニック結晶101のPBGを、ErイオンのUC過程第1上位準位(49/2)付近(波長820nm)に形成させ、これらを一致させることで上述した状態を実現している。形成されるPBGは100nmの波長幅があり、この幅の中にUC過程第1上位順位の812nmが含まれているようになる。
実施の形態1における光素子を光増幅器として使う場合、フォトニック結晶101の平面の法線方向から、フォトニック結晶101の一方の面より信号光を入射し、透過させて他方の面から出射させる。前述した各寸法としている実施の形態1における光素子における入射光に対する透過光強度特性を図7に示す。図7に示すように、目的の第1上位準位49/2近傍(図4の812nm)にPBGが形成されていることがわかる。
この状態は、49/2415/2のエネルギー緩和時間が第1励起準位からのエネルギー緩和(413/2415/2)にくらべ十分に長く光学遷移が禁制となっていることを示し、UC過程で上位準位へ励起された電子は第1励起状態へと再分布される。これにより、電子の散逸が禁止され、第1励起準位における高い光学利得が実現される。なお、PBGにより光学遷移を禁制とする準位および利得を生じさせる準位は、PBGのスケーリング則によりフォトニック結晶構造パラメータ(屈折率,波長,格子定数)を変更することで任意に選択(設定)が可能である。
また、フォトニック結晶101を構成する格子要素103の配置は、三角格子に限らず正方格子型であってもよい。また、フォトニック結晶は、準結晶型、ウッドパイル構造型などPBGを形成するものであればいずれを用いても良い。また、光素子を光増幅器として使うには信号光の他に励起光(もしくはポンプ光)が必要になる。ポンプ光は、信号光とともに、フォトニック結晶101の平面の法線方向から、フォトニック結晶101の一方の面より入射すれば良い。実施の形態1におけるポンプ光の波長は980nmであり、411/2励起になる。また、信号光やポンプ光は、フォトニック結晶101の平面の法線方向に完全に一致する必要はなく、また両者が同じ位置に入射されていれば、両者の入射角度が異なっていても構わない。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2について図8を用いて説明する。図8は、本発明の実施の形態2における光素子の構成を示す斜視図である。この光素子は、フォトニック結晶201から構成されている。また、実施の形態2では、フォトニック結晶201は、支持基板202と、支持基板202より低い屈折率の材料から構成されて支持基板202の上に形成された元素含有層203とから構成されている。また、実施の形態2では、元素含有層203が、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素のイオンを含んでいる。例えば、支持基板202は、シリコンから構成され、元素は、エルビウム(Er)であり、元素含有層203は、酸化エルビウム(Er23)から構成されている
なお、フォトニック結晶201は、上記元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップ(Photonic bandgap:PBG)を有する。フォトニック結晶201も、周期的に配置された柱状の複数の格子要素204を備える。格子要素204は、例えば、円柱形状の中空構造である。複数の格子要素204の周期および径により、フォトニック結晶201のPBGが決定される。
実施の形態2において、光は支持基板202内を導波し、支持基板202の外へ染み出した光が、元素含有層203における希土類元素の第1励起準位を励起する。ここで、屈折率n=3.48のシリコンからなる支持基板202(フォトニック結晶201)には、格子定数a=250nm(規格化格子定数a/l=0.294)、直径R=175nm(規格化直径R’=0.7a)の格子要素204が、三角格子に配列されている。これらは、公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成すれば良い。また、支持基板202の板厚は、t=200nm(規格化厚さt’=0.8a)である。このように構成したフォトニック結晶201は、UC過程第1上位準位(49/2)付近(波長λ=850nm)に、PBGを有するものとなる。
上述の実施の形態2によれば、前述した実施の形態1と同様に、フォトニック結晶201のPBGにより、元素含有層203における希土類イオンにおけるUC過程は抑制され、第1励起準位の光学利得を増大させる。なお、上述では、元素含有層203にも格子要素204を形成しているが、これに限るものではなく、元素含有層203には格子要素を形成しなくても良い。格子要素が形成されたフォトニック結晶構造が、元素含有層203に接して形成されていれば良い。また屈折率の異なる材料を、元素含有層の下部もしくは上部もしくは両方に積層した1次元光共振器型を用いても良い。
[実施の形態3]
次に、本発明の実施の形態3について図9を用いて説明する。図9は、本発明の実施の形態3における光素子の構成を示す斜視図である。この光素子は、フォトニック結晶301から構成されている。また、実施の形態3では、フォトニック結晶301は、支持基板302と、支持基板302より低い屈折率の材料から構成されて支持基板302の上に形成された元素含有層303とから構成されている。また、実施の形態3では、元素含有層303が、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素のイオンを含んでいる。例えば、支持基板202は、シリコンから構成され、元素は、エルビウム(Er)であり、元素含有層303は、酸化エルビウム(Er23)から構成されている
なお、フォトニック結晶301は、上記元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップ(Photonic bandgap:PBG)を有する。フォトニック結晶301も、周期的に配置された柱状の複数の格子要素304を備える。格子要素304は、例えば、円柱形状の中空構造である。複数の格子要素304の周期および径により、フォトニック結晶301のPBGが決定される。これらの構成は、前述した実施の形態2と同様である。
実施の形態3では、上述した構成に加え、線欠陥光導波路305を備え、線欠陥光導波路305の途中に光閉じ込め領域306を備える。線欠陥光導波路305は、周期的な間隔で設けられた格子要素304の中に、線状に連続した部分の格子要素304をなくした構造であり、この領域に光が導波する。また、光閉じ込め領域306は、個の幅方向の両脇に配置されている格子要素304の位置が、他の格子要素304に対してわずかにシフトしており、モードギャップ型共振器を構成している(非特許文献5参照)。なお、実施の形態3においては、光は支持基板302の線欠陥光導波路305の部分を導波し、ここより外へ染み出した光が、元素含有層303における希土類元素の第1励起準位を励起する。
実施の形態3では、屈折率n=3.48のシリコンからなる支持基板302(フォトニック結晶301)に、格子定数a=401nm(規格化格子定数a/l=0.261)、直径R=140nm(規格化直径R’=0.7a)の格子要素304が、三角格子に配列されている。これらは、公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成すれば良い。また、支持基板302の板厚は、t=200nm(規格化厚さt’=0.5a)である。このように構成したフォトニック結晶301(支持基板302)によれば、第1励起準位(413/2)付近(波長λ=1535nm)およびUC過程第1上位準位(49/2)付近(波長λ=850nm)の2カ所に、PBGを有するものとなる。
上述したように、実施の形態3では、フォトニック結晶301(支持基板302)が、2つのPBGを有するところに第1の特徴がある。また、実施の形態3では、線欠陥光導波路305と光閉じ込め領域306とによる共振器を備えているところに第2の特徴がある。
実施の形態3における 光素子を光増幅器として使う場合、信号光は線欠陥光導波路305の一端の端面に入力され、他端の端面より出射される。入射した信号光は、屈折率の高い方に閉じ込められるため、支持基板302の線欠陥光導波路305を伝搬することになる。また、実施の形態3における光素子を光源として使う場合には、線欠陥光導波路305の両端の端面より生成された光が出射される。
図10は、実施の形態3における光素子のフォトニック結晶301中の光の分散関係の計算結果を示す特性図である。図10に示すように、2つの規格化周波数領域でPBGが形成されていることがわかる。このように2つのPBGを備える状態で、まず、UC過程のエネルギー上位準位に2次の(高エネルギー側の)PBGを一致させ、ここからの発光遷移確率を抑制する。加えて、第1励起準位に捕獲された電子のエネルギー緩和は、基底のPBG内に形成された欠陥(共振器)モードで遷移確率を増大させることができる。
このように、実施の形態3によれば、49/2へのUC過程を上側のPBGで抑制しつつ、増幅したい413/2発光は、下側のPBGで閉じ込め導波する。なお、ポンプ光である波長980nmの光は、信号光と同じように入力され、線欠陥光導波路305に緩く閉じ込められ伝搬する。なお、PBGは、2つ以上形成されるようにすればよく、1、2、3次元PBG構造においていかなる共振器構造を用いても良い。
ところで、上述した実施の形態1,2,3では、希土類材料を用いたUC過程を例に説明したが、これに限るものではなく、高分子材料、色素溶液、捕獲原子集団など固体、液体、気体の電子離脱遷移が生じる利得媒質を有する光素子材料など、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素(イオン)を含むものであれば、いずれもでもよい。
以上に説明したように、本発明によれば、基底準位から励起準位へと励起された電子が基底準位に戻る際に光を放出する元素を含むフォトニック結晶のフォトニックバンドギャップを、元素の励起準位より上の上位準位に一致するものとしたので、光放出源となる元素のイオン濃度を高く保ちつつ、電子脱離遷移過程が減らせるようになる。
本発明によれば、利得媒質における希土類などの光を放出する元素を高濃度に維持した状態で、電子離脱遷移による励起電子の散逸を禁止し効果的に標的準位へ電子を捕獲し、実行的に光学利得を増大させることができる。また、離脱禁制準位および標的準位は形成されるPBG構造により任意に選択でき、光増幅器、レーザ、光メモリなどの多様な光素子への適用、ならびにこれら微小光素子の同一基板上への集積化が可能となる。また同時に、電子離脱が禁止されることで、光素子の低消費エネルギー化も実現できる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
101…フォトニック結晶、102…フォトニック結晶本体、103…格子要素。

Claims (4)

  1. 基底準位から励起準位へと励起された元素の電子が基底準位に戻る際の光放出による光素子であって、
    前記元素のイオンを含むフォトニック結晶から構成され、
    前記フォトニック結晶は、前記元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップを有する
    ことを特徴とする光素子。
  2. 請求項1記載の光素子において、
    前記フォトニック結晶は、前記元素の励起準位より上の上位準位に一致するフォトニックバンドギャップに加え、前記元素の励起準位に一致するフォトニックバンドギャップを有する
    ことを特徴とする光素子。
  3. 請求項1記載の光学素子において、
    前記フォトニック結晶は、
    支持基板と、
    前記支持基板より低い屈折率の材料から構成されて前記元素を含み、前記支持基板の上に形成された元素含有層と
    から構成されていることを特徴とする光素子。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光素子において、
    前記元素は、エルビウムであることを特徴とする光素子。
JP2015028251A 2015-02-17 2015-02-17 光素子 Active JP6319806B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015028251A JP6319806B2 (ja) 2015-02-17 2015-02-17 光素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015028251A JP6319806B2 (ja) 2015-02-17 2015-02-17 光素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016152285A true JP2016152285A (ja) 2016-08-22
JP6319806B2 JP6319806B2 (ja) 2018-05-09

Family

ID=56696736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015028251A Active JP6319806B2 (ja) 2015-02-17 2015-02-17 光素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6319806B2 (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1138242A (ja) * 1997-03-27 1999-02-12 Nederland Centr Org Toegepast Natuur Onder エルビウムがドープされた平面導波装置
JPH11330619A (ja) * 1998-05-18 1999-11-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光デバイス
JP2002107778A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Toshiba Corp アップコンバージョン光素子
JP2002365401A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Autocloning Technology:Kk フォトニック結晶光共振器
US6597721B1 (en) * 2000-09-21 2003-07-22 Ut-Battelle, Llc Micro-laser
JP2005260005A (ja) * 2004-03-11 2005-09-22 Fuji Xerox Co Ltd 光増幅器および光増幅装置
JP2010147484A (ja) * 2010-01-06 2010-07-01 Fujitsu Ltd 光サージ抑圧型光増幅器
JP2015014653A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 日本電信電話株式会社 フォトニック結晶共振器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1138242A (ja) * 1997-03-27 1999-02-12 Nederland Centr Org Toegepast Natuur Onder エルビウムがドープされた平面導波装置
JPH11330619A (ja) * 1998-05-18 1999-11-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光デバイス
US6597721B1 (en) * 2000-09-21 2003-07-22 Ut-Battelle, Llc Micro-laser
JP2002107778A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Toshiba Corp アップコンバージョン光素子
JP2002365401A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Autocloning Technology:Kk フォトニック結晶光共振器
JP2005260005A (ja) * 2004-03-11 2005-09-22 Fuji Xerox Co Ltd 光増幅器および光増幅装置
JP2010147484A (ja) * 2010-01-06 2010-07-01 Fujitsu Ltd 光サージ抑圧型光増幅器
JP2015014653A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 日本電信電話株式会社 フォトニック結晶共振器

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JING YOUNG YE AND MITSURU ISHIKAWA: ""Enhancement of two-photon excited fluorescence using one-dimensional photonic crystals"", APPLIED PHYSICS LETTERS, vol. 75, no. 23, JPN4006000287, 6 December 1999 (1999-12-06), pages 3605 - 3607, XP012024190, ISSN: 0003666877, DOI: 10.1063/1.125402 *
KATSUMI YOSHINO, ET AL.: ""Mechanical Tuning of the Optical Properties of Plastic Opal as a Photonic Crystal"", JPN.J.APPL.PHYS., vol. Vol.38,Part2,No.7A, JPN4006000288, 1 July 1999 (1999-07-01), pages 786 - 788, ISSN: 0003666879 *
ZHENGWEN YANG, ET AL.: ""Effect of photonic bandgap on upconversion emission in YbPO4:Er inverse opal photonic crystals"", APPLIED OPTICS, vol. 50, no. 3, JPN6017040577, 20 January 2011 (2011-01-20), pages 287 - 290, XP001559771, ISSN: 0003666876, DOI: 10.1364/AO.50.000287 *
ZHENGWEN YANG, ET AL.: ""significant reduction of upconversion emission in CaTiO3:Yb, Er inverse opals"", THIN SOLID FILMS, vol. 519, no. 16, JPN6017040578, 1 June 2011 (2011-06-01), pages 5696 - 5699, XP028385678, ISSN: 0003666878, DOI: 10.1016/j.tsf.2011.03.027 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP6319806B2 (ja) 2018-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1955383B1 (en) Light emitting slot-waveguide device
TWI231076B (en) Evanescent-field optical amplifiers and lasers
JP7264352B2 (ja) トポロジカル絶縁体レーザーシステム
Fang et al. A review of recent progress in lasers on silicon
US20050226591A1 (en) Microring and microdisk resonators for lasers fabricated on silicon wafers
JPWO2008126472A1 (ja) フォトニックバンドギャップファイバ及びファイバ増幅器
Zhang et al. Development and application of surface plasmon polaritons on optical amplification
WO2008117249A1 (en) Integrated optical waveguide amplifier or laser with rare earth ions and sensitizer elements co-doped core and related optical pumping method
US20120033294A1 (en) Optical apparatus, system and method employing an endohedral metallofullerene
Tsonev Luminescent activation of planar optical waveguides in LiNbO3 with rare earth ions Ln3+–a review
Burkley et al. Yb fiber amplifier at 972.5 nm with frequency quadrupling to 243.1 nm
WO2006036799A1 (en) Negatively refracting photonic bandgap medium with externally powered power optical gain
Zhou et al. A high-power, high-efficiency hybrid silicon-based erbium silicate-silicon nitride waveguide laser
JP6319806B2 (ja) 光素子
Subashiev et al. Modal control in semiconductor optical waveguides with uniaxially patterned layers
JP6722829B2 (ja) 単一チップ内に活性コア及びドープされたクラッドを有する固体光増幅器
JP3940553B2 (ja) アップコンバージョン光素子
JP5952130B2 (ja) 光素子の製造方法
JP2006060143A (ja) 光ファイバ型単一光子発生素子および単一光子発生装置
Vogirala et al. Efficient Optically-Pumped Semiconductor Optical Amplifier in a Coupled-Waveguide Configuration: A Novel Proposal
WO2006026073A1 (en) Amplified spontaneous emission ducts
Daldosso et al. Low-dimensional silicon as a photonic material
JP2665572B2 (ja) 能動媒質からなる光導波路を含む光源とその製造方法
Khan et al. Gain Properties of Triply-Doped Graphene-Insulator-Graphene Nanosheet Waveguide
JP6499613B2 (ja) 光導波路

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20161129

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20171019

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20171031

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180116

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180305

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180327

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180329

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6319806

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350