JP2016148264A

JP2016148264A - Vacuum pump

Info

Publication number: JP2016148264A
Application number: JP2015024495A
Authority: JP
Inventors: 田中　克典; Katsunori Tanaka; 克典田中
Original assignee: Nabtesco Automotive Corp
Current assignee: Nabtesco Automotive Corp
Priority date: 2015-02-10
Filing date: 2015-02-10
Publication date: 2016-08-18
Anticipated expiration: 2035-02-10
Also published as: JP6714971B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump that can reduce noise associated with exhaust.SOLUTION: A vacuum pump comprises: a body 12 including a cylinder 61 that houses a rotor, an outlet side communicating hole 64 that discharges air from the inside of the cylinder 61, and a first exhaust groove 45 through which the air discharged from the outlet side communicating hole 64 passes; and a pump cover 13 that closes the body 12 to form an expansion chamber 90 in which the air expands, together with the first exhaust groove 45. The pump cover 13 includes: a cylindrical part 81; and a closing lid part 80 that closes an opening at one end of the cylindrical part 81. A radial rib 82 is provided on the inside of the pump cover 13.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、回転体の回転により空気を排出する真空ポンプに関する。 The present invention relates to a vacuum pump that discharges air by rotation of a rotating body.

従来、ベーンポンプ等の真空ポンプとしては、モータ等の駆動機に取り付けられるケーシング（ボディ）と、このケーシングのシリンダ室内に駆動機により回転する回転体とを備える真空ポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, as a vacuum pump such as a vane pump, a vacuum pump including a casing (body) attached to a driving machine such as a motor and a rotating body that is rotated by the driving machine in a cylinder chamber of the casing is known (for example, Patent Document 1).

この種の真空ポンプは、外部からシリンダ室に空気を取り込む入口と、シリンダ室において圧縮された空気を外部へ排出する出口とを備える。真空ポンプは、駆動機により回転体をシリンダ室内で回転させることによって、真空ポンプの入口に接続された装置内にある空気を排出して、その装置内を減圧する。 This type of vacuum pump includes an inlet that takes air into the cylinder chamber from the outside and an outlet that discharges air compressed in the cylinder chamber to the outside. The vacuum pump rotates the rotating body in the cylinder chamber by a driving machine, thereby discharging the air in the device connected to the inlet of the vacuum pump and reducing the pressure in the device.

特許文献１に記載の真空ポンプでは、ケーシングの開口部に平板状のポンプカバーが配置されることによってシリンダ室から出口までの通路が形成されている。 In the vacuum pump described in Patent Document 1, a plate-shaped pump cover is disposed in the opening of the casing to form a passage from the cylinder chamber to the outlet.

特開２０１２−１６７５９０号公報JP 2012-167590 A

ところで、上記のような真空ポンプでは、シリンダ室内において回転体によって圧縮された空気が出口から排出される際に、騒音が発生するため、空気の排出に伴う騒音を低減することのできる真空ポンプが求められている。なお、こうした課題は、ベーンポンプに限らず、回転体を備える真空ポンプにおいても同様に存在する。 By the way, in the vacuum pump as described above, noise is generated when the air compressed by the rotating body in the cylinder chamber is discharged from the outlet. Therefore, there is a vacuum pump that can reduce the noise accompanying the discharge of air. It has been demanded. Such a problem exists not only in the vane pump but also in a vacuum pump including a rotating body.

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、排気に伴う騒音を低減することのできる真空ポンプを提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a vacuum pump that can reduce noise accompanying exhaust.

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について説明する。
上記課題を解決する真空ポンプは、回転体を収容するシリンダ部と、前記シリンダ部内から空気を排出するシリンダ部出口と、前記シリンダ部出口から排出された空気が通過する排気溝と、を有するボディと、前記ボディを閉蓋して、前記排気溝とともに空気が膨張する空間を形成するポンプカバーと、を備え、前記ポンプカバーは、円筒部と、当該円筒部の一端開口部を閉蓋する閉蓋部と、を有し、前記ポンプカバーの内側には、リブが設けられていることをその要旨としている。 Hereinafter, means for solving the above-described problems and the effects thereof will be described.
A vacuum pump that solves the above-mentioned problem is a body having a cylinder part that accommodates a rotating body, a cylinder part outlet that discharges air from within the cylinder part, and an exhaust groove through which air discharged from the cylinder part outlet passes. And a pump cover that closes the body and forms a space in which air expands together with the exhaust groove. The pump cover closes the cylindrical portion and one end opening of the cylindrical portion. The gist of the invention is that a rib is provided inside the pump cover.

上記構成では、円筒部と閉蓋部とを有するポンプカバーとしたので、円筒部の分だけボディから閉蓋部が離間して、ポンプカバー内に空間を持たせることができるようになる。これにより、シリンダ部出口から排出された空気がポンプカバー内の空間において膨張することができ、排気音を低減することができるようになる。また、ポンプカバーの内側にリブを設けたので、ポンプカバーの強度が向上して、振動を抑制することができるので、閉蓋部の振動による騒音を低減することができる。 In the above configuration, since the pump cover having the cylindrical portion and the lid portion is provided, the lid portion is separated from the body by the amount corresponding to the cylindrical portion, so that a space can be provided in the pump cover. Thereby, the air discharged from the cylinder part outlet can be expanded in the space in the pump cover, and the exhaust noise can be reduced. Further, since the rib is provided on the inner side of the pump cover, the strength of the pump cover is improved and the vibration can be suppressed, so that the noise due to the vibration of the closing cover can be reduced.

上記真空ポンプについて、前記リブは、前記閉蓋部の中央から前記円筒部に向かって延びる放射状に形成されていることが好ましい。
上記構成では、ポンプカバーの内側に放射状のリブを設けたので、閉蓋部自体の強度を高めることができ、ひいては閉蓋部の振動による騒音を抑制することができるようになる。 About the said vacuum pump, it is preferable that the said rib is radially formed extending toward the said cylindrical part from the center of the said closed cover part.
In the above configuration, since the radial ribs are provided on the inner side of the pump cover, the strength of the lid portion itself can be increased, and consequently noise due to vibration of the lid portion can be suppressed.

上記真空ポンプについて、前記ポンプカバーの内側には、空気の流れを収縮する絞りが設けられていることが好ましい。
上記構成では、ポンプカバーの内側に絞りが設けられているので、空気が収縮されて、その後膨張することで、騒音を低減することができるようになる。 About the said vacuum pump, it is preferable to provide the aperture | diaphragm | constriction which shrink | contracts the flow of air inside the said pump cover.
In the above configuration, since the throttle is provided inside the pump cover, the air is contracted and then expanded, so that noise can be reduced.

上記真空ポンプについて、前記ボディには、外部に空気を排出する出口が備えられていることが好ましい。
上記構成では、ボディに外部に空気を排出する出口を設けたので、シリンダ部出口から排出された空気が排気溝及びポンプカバーの内側の空間に進入して膨張されたあとに出口から排出されるようになり、排気に伴う騒音をさらに低減することができるようになる。 In the vacuum pump, the body is preferably provided with an outlet for discharging air to the outside.
In the above configuration, since the outlet for exhausting air to the outside is provided in the body, the air exhausted from the cylinder part outlet enters the space inside the exhaust groove and the pump cover and is then exhausted from the outlet. As a result, the noise accompanying the exhaust can be further reduced.

上記真空ポンプについて、前記シリンダ部は、前記ボディの前記ポンプカバー側の端面から突出しないことが好ましい。
上記構成では、シリンダ部がボディのポンプカバー側の端面から突出しないので、ボディのポンプカバー側とポンプカバーとによって形成される空間を大きく確保することができるようになる。 About the said vacuum pump, it is preferable that the said cylinder part does not protrude from the end surface by the side of the said pump cover of the said body.
In the above configuration, since the cylinder portion does not protrude from the end face of the body on the pump cover side, a large space formed by the pump cover side of the body and the pump cover can be secured.

本発明によれば、排気に伴う騒音を低減することができる。 According to the present invention, noise accompanying exhaust can be reduced.

真空ポンプの一実施形態についてその全体を示す斜視図。The perspective view which shows the whole about one Embodiment of a vacuum pump. 同実施形態の真空ポンプについて内部構造を示す断面図。Sectional drawing which shows an internal structure about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプについてポンプカバーを取り外した状態の斜視図。The perspective view of the state which removed the pump cover about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプについてポンプカバーの内側の構造を示す斜視図。The perspective view which shows the structure inside a pump cover about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプ内の空気の流れを説明する図２における５−５断面図。5-5 sectional drawing in FIG. 2 explaining the flow of the air in the vacuum pump of the embodiment.

以下、図１〜図５を参照して、真空ポンプの一実施形態を説明する。
まず図１を参照して、真空ポンプの全体構成について詳述する。
図１に示すように、真空ポンプは、モータ１１と、モータ１１の出力軸側に組み付けられるボディ１２と、ボディ１２の開口部を閉蓋するポンプカバー１３とを備える。この真空ポンプは、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気を油と接触させないドライポンプである。 Hereinafter, an embodiment of the vacuum pump will be described with reference to FIGS.
First, the overall configuration of the vacuum pump will be described in detail with reference to FIG.
As shown in FIG. 1, the vacuum pump includes a motor 11, a body 12 assembled on the output shaft side of the motor 11, and a pump cover 13 that closes the opening of the body 12. This vacuum pump is a dry pump that does not use the lubricating oil in the pump chamber so that the air taken in does not come into contact with the oil.

ボディ１２は、アルミニウム等の金属から形成された円柱状の部品である。ボディ１２には、ボディ１２内に空気を取り込むボディ入口２０と、ボディ１２から空気を排出するボディ出口２１とが設けられている。ボディ入口２０及びボディ出口２１は、ボディ１２の側面、すなわちモータ１１の回転軸の軸方向に沿った面に設けられている。ボディ入口２０には、減圧対象となるタンク等に接続される接続管１４が挿入されている。 The body 12 is a cylindrical part formed from a metal such as aluminum. The body 12 is provided with a body inlet 20 that takes air into the body 12 and a body outlet 21 that discharges air from the body 12. The body inlet 20 and the body outlet 21 are provided on the side surface of the body 12, that is, the surface along the axial direction of the rotating shaft of the motor 11. A connecting pipe 14 connected to a tank or the like to be decompressed is inserted into the body inlet 20.

ポンプカバー１３は、アルミニウム等の金属から形成され、円筒状の円筒部８１と、円筒部８１の一方の端部を閉塞する閉蓋部８０とを備えている。円筒部８１の外周の２箇所には、ボルト１６を貫通させるためのボルト貫通部５０が設けられている。ボルト１６は、例えば六角穴付ボルトである。ポンプカバー１３の開口端がボディ１２の一面であるカバー側の上面２４に当接させた状態で、ポンプカバー１３がボディ１２に対して組み付けられる。ボディ１２の上面２４には、ポンプ室２７を囲んで環状のシール溝２４ａが形成されている。このシール溝２４ａには環状のシール材４０が配置されている。ボルト１６がボルト貫通部５０に貫通されるとともに、ボディ１２に形成された螺子孔１２ａに螺着されることにより、ポンプカバー１３がボディ１２の上面２４に固定されている。ボディ１２の外壁部１２ｂには、真空ポンプを外部装置等に取り付けるための一対の取付部１２ｃが設けられている。 The pump cover 13 is formed of a metal such as aluminum and includes a cylindrical part 81 having a cylindrical shape and a closing cover part 80 that closes one end of the cylindrical part 81. Bolt penetrating portions 50 for penetrating the bolts 16 are provided at two locations on the outer periphery of the cylindrical portion 81. The bolt 16 is, for example, a hexagon socket head cap screw. The pump cover 13 is assembled to the body 12 with the open end of the pump cover 13 in contact with the upper surface 24 on the cover side, which is one surface of the body 12. An annular seal groove 24 a is formed on the upper surface 24 of the body 12 so as to surround the pump chamber 27. An annular seal member 40 is disposed in the seal groove 24a. The pump 16 is fixed to the upper surface 24 of the body 12 by the bolt 16 being penetrated through the bolt penetrating portion 50 and screwed into the screw hole 12 a formed in the body 12. A pair of attachment portions 12 c for attaching the vacuum pump to an external device or the like is provided on the outer wall portion 12 b of the body 12.

図２に示すように、ボディ１２には、モータ１１の回転軸Ｘ１の軸方向に孔が形成された収容壁２５が設けられている。収容壁２５の中心軸Ｘ２は、モータ１１の回転軸Ｘ１に対してずれた位置に形成されている。収容壁２５の内側は、ポンプ室２７に相当する。この収容壁２５は、ポンプとして機能するポンプ部６０を収容する。ポンプ部６０は、円筒状のシリンダ６１と、円柱状の回転体であるロータ７２とを備える。シリンダ６１は、鉄等の金属製である。ボディ１２の収容壁２５には、シリンダ６１が鋳込まれている。具体的には、シリンダ６１を金型に設置した状態で、この金型に注湯することにより当該シリンダ６１を一体に鋳込んだボディ１２が鋳造される。ボディ１２の回転軸Ｘ１方向の長さＨ１は、シリンダ６１の回転軸Ｘ１方向の長さＨ２よりも長くなっている。このため、このシリンダ６１がボディ１２から突出せず、ボディ１２の小型化を図ることができる。更に、ボディ１２はロータ７２よりも熱伝導性の高い材料で形成されている。これによれば、ポンプ部６０において発生した熱がボディ１２に速やかに伝達されて、ボディ１２から放熱することができる。また、ポンプカバー１３が熱伝導性の高い材料で形成されているので、ポンプ部６０において発生した熱がポンプカバー１３に速やかに伝達されて、ポンプカバー１３から放熱することができる。 As shown in FIG. 2, the body 12 is provided with a housing wall 25 in which a hole is formed in the axial direction of the rotation axis X <b> 1 of the motor 11. The central axis X <b> 2 of the housing wall 25 is formed at a position shifted from the rotational axis X <b> 1 of the motor 11. The inside of the storage wall 25 corresponds to the pump chamber 27. The housing wall 25 houses a pump unit 60 that functions as a pump. The pump unit 60 includes a cylindrical cylinder 61 and a rotor 72 that is a columnar rotating body. The cylinder 61 is made of metal such as iron. A cylinder 61 is cast in the housing wall 25 of the body 12. Specifically, the body 12 in which the cylinder 61 is integrally cast is cast by pouring the mold 61 with the cylinder 61 installed in the mold. A length H1 of the body 12 in the direction of the rotation axis X1 is longer than a length H2 of the cylinder 61 in the direction of the rotation axis X1. For this reason, the cylinder 61 does not protrude from the body 12, and the body 12 can be downsized. Further, the body 12 is made of a material having higher thermal conductivity than the rotor 72. According to this, the heat generated in the pump unit 60 can be quickly transmitted to the body 12 and radiated from the body 12. Further, since the pump cover 13 is formed of a material having high thermal conductivity, the heat generated in the pump unit 60 can be quickly transmitted to the pump cover 13 and radiated from the pump cover 13.

シリンダ６１の内側には、ロータ７２が回動可能に収容されている。ロータ７２は、鉄等の金属製であり、軸孔７４と、５つのベーン収容溝７５とが形成されている（図３参照）。軸孔７４の内周面と出力軸１５の先端とには、互いが噛合するスプライン溝（図示略）が形成されている。ベーン収容溝７５には、カーボン製の板状のベーン７３が出没自在にそれぞれ収容されている。 A rotor 72 is rotatably accommodated inside the cylinder 61. The rotor 72 is made of metal such as iron, and has a shaft hole 74 and five vane accommodation grooves 75 (see FIG. 3). Spline grooves (not shown) that mesh with each other are formed on the inner peripheral surface of the shaft hole 74 and the tip of the output shaft 15. In the vane accommodation groove 75, carbon plate-like vanes 73 are accommodated so as to be able to appear and retract.

シリンダ６１のボディ１２側の開口は、ボディ側プレート７０によって閉塞されている。また、シリンダ６１のポンプカバー１３側の開口は、カバー側プレート７１によって閉塞されている。ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１は、ベーン７３に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。ボディ側プレート７０には、モータ１１の出力軸１５を貫挿する孔７０ａが形成されている。ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１の直径は、シリンダ６１の内径よりも大きく設定されている。ボディ側プレート７０及びカバー側プレート７１は、ウェーブワッシャ７９によりそれぞれ付勢されて、シリンダ６１の各開口にそれぞれ押し付けられている。なお、ウェーブワッシャ７９の替わりにシールリングを設けても良い。 The opening on the body 12 side of the cylinder 61 is closed by the body side plate 70. Further, the opening on the pump cover 13 side of the cylinder 61 is closed by the cover side plate 71. The body side plate 70 and the cover side plate 71 are made of a material such as carbon having a small friction coefficient with respect to the vane 73, and are formed in a disc shape. The body side plate 70 is formed with a hole 70 a through which the output shaft 15 of the motor 11 is inserted. The diameters of the body side plate 70 and the cover side plate 71 are set larger than the inner diameter of the cylinder 61. The body side plate 70 and the cover side plate 71 are respectively urged by the wave washer 79 and pressed against each opening of the cylinder 61. A seal ring may be provided in place of the wave washer 79.

図３に示すように、収容壁２５には、ポンプ室２７に空気を取り込むためのポンプ室入口３０と、ポンプ室２７から空気を排出するためのポンプ室出口３１とが貫通形成されている。ポンプ室入口３０は、ボディ入口２０に連通されている。 As shown in FIG. 3, a pump chamber inlet 30 for taking air into the pump chamber 27 and a pump chamber outlet 31 for discharging air from the pump chamber 27 are formed through the housing wall 25. The pump chamber inlet 30 communicates with the body inlet 20.

ポンプ室出口３１は、収容壁２５の外側に設けられた第１排気溝４５に連通している。第１排気溝４５は、収容壁２５の外周面に沿ってポンプ室入口３０から遠い位置に形成されている。ボディ出口２１は、収容壁２５の外側に設けられた第２排気溝４６に連通している。このボディ出口２１には、ボディ１２内への空気の逆流を防止するためのチェックバルブ２２が装着されている。 The pump chamber outlet 31 communicates with a first exhaust groove 45 provided outside the accommodation wall 25. The first exhaust groove 45 is formed at a position far from the pump chamber inlet 30 along the outer peripheral surface of the housing wall 25. The body outlet 21 communicates with a second exhaust groove 46 provided outside the accommodation wall 25. A check valve 22 for preventing a backflow of air into the body 12 is attached to the body outlet 21.

シリンダ６１には、ポンプ室２７のポンプ室入口３０に対応する位置に形成された入口側連通孔６２と、ポンプ室出口３１とに対応する位置に形成された出口側連通孔６４とが形成されている。シリンダ６１の内側は、接続管１４に連なる入口側連通孔６２及び出口側連通孔６４を除いて、密閉されたポンプ室２７が形成されている。なお、出口側連通孔６４がシリンダ出口に相当する。 The cylinder 61 is formed with an inlet side communication hole 62 formed at a position corresponding to the pump chamber inlet 30 of the pump chamber 27 and an outlet side communication hole 64 formed at a position corresponding to the pump chamber outlet 31. ing. Inside the cylinder 61, a sealed pump chamber 27 is formed except for the inlet side communication hole 62 and the outlet side communication hole 64 that are continuous with the connection pipe 14. The outlet side communication hole 64 corresponds to the cylinder outlet.

図２に示すように、第１排気溝４５、第２排気溝４６、及びポンプカバー１３の内側によって膨張室９０が形成されている。この膨張室９０に流入した圧縮空気は、当該膨張室９０内で膨張、分散して当該膨張室９０の放射状リブ８２に衝突して乱反射する。これにより、圧縮空気の音エネルギーが減衰されるため、排気する際の騒音及び振動の低減を図ることができる。 As shown in FIG. 2, an expansion chamber 90 is formed by the first exhaust groove 45, the second exhaust groove 46, and the inside of the pump cover 13. The compressed air flowing into the expansion chamber 90 expands and disperses in the expansion chamber 90, collides with the radial ribs 82 of the expansion chamber 90, and is irregularly reflected. Thereby, since the sound energy of compressed air is attenuated, noise and vibration during exhaust can be reduced.

次に図３を参照して、ポンプ部６０の動作について説明する。ポンプ室２７には、ポンプ室２７内に偏心させて取り付けられたロータ７２によって、略三日月状の空間７８が形成される。 Next, the operation of the pump unit 60 will be described with reference to FIG. In the pump chamber 27, a substantially crescent-shaped space 78 is formed by a rotor 72 attached eccentrically in the pump chamber 27.

図３に示すように、モータ１１の駆動によりロータ７２が回転すると、ベーン７３が遠心力によりベーン収容溝７５に沿ってロータ７２の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ６１の内周面６１ａに当接させる。これにより、ポンプ室２７内の略三日月状の空間７８が、５枚のベーン７３と、ロータ７２の外周面と、シリンダ６１の内周面６１ａとによって囲まれる５つの圧縮室に区画される。 As shown in FIG. 3, when the rotor 72 is rotated by driving the motor 11, the vane 73 protrudes radially outward of the rotor 72 along the vane receiving groove 75 by centrifugal force, and the tip thereof is the inner peripheral surface 61 a of the cylinder 61. Abut. Thus, a substantially crescent-shaped space 78 in the pump chamber 27 is partitioned into five compression chambers surrounded by the five vanes 73, the outer peripheral surface of the rotor 72, and the inner peripheral surface 61 a of the cylinder 61.

これらの圧縮室は、ロータ７２の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口３０近傍で大きくなり、ポンプ室出口３１で小さくなる。つまり、ポンプ室入口３０から１つの圧縮室に吸入された空気は、ロータ７２の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口３１から吐出される。ポンプ部６０では、ロータ７２及びベーン７３がシリンダ６１内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口３１から圧縮空気が間欠的に吐出される。 These compression chambers move in the same direction as the rotor 72 rotates. When the compression chamber moves, the volume of the compression chamber increases near the pump chamber inlet 30 and decreases at the pump chamber outlet 31. That is, the air sucked into one compression chamber from the pump chamber inlet 30 is compressed as the rotor 72 rotates, and is discharged from the pump chamber outlet 31. In the pump unit 60, the rotor 72 and the vane 73 rotate in the cylinder 61 to compress the air, so that the compressed air is intermittently discharged from the pump chamber outlet 31.

次に図４及び図５を参照して、ポンプカバー１３について説明する。
図４に示すように、ポンプカバー１３の内側には、放射状リブ８２が形成されている。放射状リブ８２は、閉蓋部８０の中央に設けられた環状リブ８３と、環状リブ８３から円筒部８１に向かって直線状に延びる複数（本実施形態では１２個）の直線リブ８４とからなる。放射状リブ８２が閉蓋部８０を補強しているので、閉蓋部８０は振動が抑制されている。これにより、閉蓋部８０の振動に伴う騒音が抑制される。 Next, the pump cover 13 will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
As shown in FIG. 4, radial ribs 82 are formed inside the pump cover 13. The radial rib 82 includes an annular rib 83 provided at the center of the lid portion 80, and a plurality (12 in this embodiment) of linear ribs 84 extending linearly from the annular rib 83 toward the cylindrical portion 81. . Since the radial ribs 82 reinforce the lid portion 80, vibrations of the lid portion 80 are suppressed. Thereby, the noise accompanying the vibration of the lid part 80 is suppressed.

また、図２に示すように、環状リブ８３は、閉蓋部８０からの高さが直線リブ８４よりも低くなっている。ポンプカバー１３がボディ１２に組み付けられてポンプカバー１３の円筒部８１がボディ１２の端部に当接されるとき、環状リブ８３とカバー側プレート７１との間に隙間Ｇが設けられる。このため、環状リブ８３が低くなっていることでできた隙間Ｇを介して直線リブ８４によって区画された空間同士を空気が行き来することができる。この隙間Ｇは、通過した際の上流側及び下流側に圧力差を発生させる絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。 As shown in FIG. 2, the annular rib 83 is lower than the straight rib 84 in the height from the lid portion 80. When the pump cover 13 is assembled to the body 12 and the cylindrical portion 81 of the pump cover 13 is brought into contact with the end of the body 12, a gap G is provided between the annular rib 83 and the cover side plate 71. For this reason, the air can go back and forth between the spaces defined by the straight ribs 84 through the gaps G formed by the annular ribs 83 being lowered. The gap G functions as a throttle that generates a pressure difference between the upstream side and the downstream side when it passes, and contracts the air flow.

図５に示すように、直線リブ８４によって区画された空間のうち、第１排気溝４５と連通している空間を第１空間Ｓ１とし、第２排気溝４６と連通している空間を第２空間Ｓ２とし、第１排気溝４５及び第２排気溝４６とも連通していない空間を第３空間Ｓ３とする。環状リブ８３によって区画された空間を第４空間Ｓ４とする。 As shown in FIG. 5, among the spaces defined by the straight ribs 84, the space communicating with the first exhaust groove 45 is defined as a first space S1, and the space communicating with the second exhaust groove 46 is defined as a second space. A space that is not in communication with the first exhaust groove 45 and the second exhaust groove 46 is referred to as a third space S3. A space defined by the annular rib 83 is referred to as a fourth space S4.

ポンプカバー１３がボディ１２に組み付けられたときに、第１排気溝４５と第２排気溝４６とを区画している区画壁４７に直線リブ８４の一つが当接する。このため、第１排気溝４５に流入した空気は、直線リブ８４によって区画された第１空間Ｓ１から環状リブ８３によって区画された第４空間Ｓ４と直線リブ８４によって区画された第２空間Ｓ２とを経由しなければ第２排気溝４６に到達することができないようになっている。よって、ポンプ室２７から第１排気溝４５に排出された空気がボディ出口２１から排出されるまでに流れる距離を長くすることができる。 When the pump cover 13 is assembled to the body 12, one of the linear ribs 84 abuts on the partition wall 47 that partitions the first exhaust groove 45 and the second exhaust groove 46. For this reason, the air that has flowed into the first exhaust groove 45 is divided into the fourth space S4 partitioned by the annular rib 83 from the first space S1 partitioned by the straight rib 84 and the second space S2 partitioned by the linear rib 84. The second exhaust groove 46 cannot be reached without passing through. Therefore, the distance that the air discharged from the pump chamber 27 to the first exhaust groove 45 flows before being discharged from the body outlet 21 can be increased.

次に図３及び図５を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
図３に示すように、モータ１１の駆動によりロータ７２が回転すると、矢印Ｆ１に示すように、接続管１４を介して、ボディ入口２０、ポンプ室入口３０、及び入口側連通孔６２を通過してポンプ室２７内へ空気が取り込まれる。ベーン７３等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、矢印Ｆ２に示すように、圧縮されて、矢印Ｆ３に示すように、ポンプ室出口３１から第１排気溝４５へ排出されて膨張する。 Next, the operation of the vacuum pump will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 3, when the rotor 72 is rotated by driving the motor 11, it passes through the body inlet 20, the pump chamber inlet 30, and the inlet side communication hole 62 through the connection pipe 14 as indicated by an arrow F <b> 1. Thus, air is taken into the pump chamber 27. The air sucked into the compression chamber partitioned by the vane 73 or the like is compressed as indicated by an arrow F2, and is discharged from the pump chamber outlet 31 to the first exhaust groove 45 and expands as indicated by an arrow F3. .

図５に示すように、第１排気溝４５へ排出された空気は、矢印Ｆ４に示すように、第１排気溝４５から直線リブ８４によって区画された第１空間Ｓ１を通過して、第１空間Ｓ１から隙間Ｇによって収縮されて、環状リブ８３によって区画された第４空間Ｓ４へ流入して膨張する。そして、環状リブ８３に区画された第４空間Ｓ４に流入した空気は、矢印Ｆ５に示すように、環状リブ８３に区画された第４空間Ｓ４内で旋回し、矢印Ｆ６に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、直線リブ８４によって区画された第３空間Ｓ３内に流入して膨張する。続いて、第３空間Ｓ３内に流入した空気は、矢印Ｆ７に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、環状リブ８３によって区画された第４空間Ｓ４へ流入して膨張する。また、環状リブ８３に区画された第４空間Ｓ４に流入した空気は、矢印Ｆ８に示すように、隙間Ｇによって収縮されて、直線リブ８４によって区画された第２空間Ｓ２内に流入して膨張しつつ、第２排気溝４６に流入する。 As shown in FIG. 5, the air exhausted into the first exhaust groove 45 passes through the first space S1 defined by the straight ribs 84 from the first exhaust groove 45, as indicated by the arrow F4, and the first exhaust The space S1 is contracted by the gap G, flows into the fourth space S4 defined by the annular rib 83, and expands. Then, the air flowing into the fourth space S4 partitioned by the annular rib 83 swirls within the fourth space S4 partitioned by the annular rib 83 as indicated by an arrow F5, and a gap is formed as indicated by an arrow F6. It contracts by G, flows into the third space S3 defined by the straight ribs 84, and expands. Subsequently, the air flowing into the third space S3 is contracted by the gap G as shown by an arrow F7, flows into the fourth space S4 defined by the annular rib 83, and expands. In addition, the air that has flowed into the fourth space S4 defined by the annular rib 83 is contracted by the gap G as shown by an arrow F8, and flows into the second space S2 defined by the linear rib 84 to expand. However, it flows into the second exhaust groove 46.

図３に示すように、第２排気溝４６へ流入した空気は、矢印Ｆ９に示すように、ボディ出口２１のチェックバルブ２２を介して外部に排出される。
この種の真空ポンプでは、ベーン７３を備えたロータ７２が回転することにより、ポンプ室出口３１からは圧縮空気が間欠的に吐出されるため、ポンプ室出口３１からボディ出口２１までの距離が短いと、一定の基本周波数で圧力脈動が生じることによりボディ出口２１において騒音が発生することがある。 As shown in FIG. 3, the air flowing into the second exhaust groove 46 is discharged to the outside through the check valve 22 of the body outlet 21 as indicated by an arrow F9.
In this type of vacuum pump, since the rotor 72 provided with the vane 73 rotates, compressed air is intermittently discharged from the pump chamber outlet 31, so the distance from the pump chamber outlet 31 to the body outlet 21 is short. Then, noise may be generated at the body outlet 21 due to pressure pulsation occurring at a certain basic frequency.

膨張室９０を備えた上記真空ポンプでは、ポンプ室出口３１から排出された空気の多くは、ポンプカバー１３の内側に設けられた直線リブ８４によって区画された空間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４において膨張し、合わせて隙間Ｇによって収縮される。すなわち、ポンプ室出口３１からボディ出口２１までの間に、空気は、膨張と収縮とを複数回繰り返す。その結果、空気の脈動が減衰され、振動に起因する騒音が抑制される。また、空気が膨張室９０内において空間Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４及び隙間Ｇを通過しながら膨張と収縮とを繰り返すことで、放熱することができる。 In the vacuum pump provided with the expansion chamber 90, much of the air discharged from the pump chamber outlet 31 is expanded in the spaces S 1, S 2, S 3 and S 4 defined by the straight ribs 84 provided inside the pump cover 13. At the same time, it is contracted by the gap G. That is, between the pump chamber outlet 31 and the body outlet 21, the air repeats expansion and contraction a plurality of times. As a result, air pulsation is attenuated, and noise caused by vibration is suppressed. Further, heat can be dissipated by repeating expansion and contraction while air passes through the spaces S1, S2, S3, S4 and the gap G in the expansion chamber 90.

以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）円筒部８１と閉蓋部８０とを有するポンプカバー１３としたので、円筒部８１の分だけボディ１２から閉蓋部８０が離間して、ポンプカバー１３内に空間を持たせることができるようになる。これにより、出口側連通孔６４から排出された空気がポンプカバー１３内の空間において膨張することができ、排気音を低減することができるようになる。また、ポンプカバー１３の内側に放射状リブ８２を設けたので、ポンプカバー１３の強度が向上して、振動を抑制することができるので、閉蓋部８０の振動による騒音を低減することができる。 As described above, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) Since the pump cover 13 has the cylindrical part 81 and the closing cover part 80, the closing cover part 80 is separated from the body 12 by the amount of the cylindrical part 81, so that a space is provided in the pump cover 13. become able to. Thereby, the air discharged from the outlet side communication hole 64 can be expanded in the space in the pump cover 13, and the exhaust noise can be reduced. Further, since the radial ribs 82 are provided inside the pump cover 13, the strength of the pump cover 13 can be improved and vibration can be suppressed, so that noise due to vibration of the closing cover 80 can be reduced.

（２）ポンプカバー１３の内側に放射状リブ８２を設けたので、閉蓋部８０自体の強度を高めることができ、ひいては閉蓋部８０の振動による騒音を抑制することができるようになる。 (2) Since the radial ribs 82 are provided inside the pump cover 13, the strength of the lid portion 80 itself can be increased, and consequently noise due to vibration of the lid portion 80 can be suppressed.

（３）ポンプカバー１３の内側に絞りとして機能する隙間Ｇが設けられているので、空気が収縮されて、その後膨張することで、騒音を低減することができるようになる。
（４）ボディ１２に外部に空気を排出するボディ出口２１を設けたので、出口側連通孔６４から排出された空気が第１排気溝４５、第２排気溝４６、及びポンプカバー１３の内側の空間（膨張室９０）に進入して膨張されたあとにボディ出口２１から排出されるようになり、排気に伴う騒音をさらに低減することができるようになる。 (3) Since the gap G that functions as a throttle is provided inside the pump cover 13, the air is contracted and then expanded, so that noise can be reduced.
(4) Since the body outlet 21 for discharging air to the outside is provided in the body 12, the air discharged from the outlet side communication hole 64 is disposed inside the first exhaust groove 45, the second exhaust groove 46, and the pump cover 13. After entering the space (expansion chamber 90) and being inflated, it is discharged from the body outlet 21, and noise associated with exhaust can be further reduced.

（５）シリンダ６１がボディ１２のポンプカバー１３側の上面２４から突出しないので、ボディ１２のポンプカバー１３側とポンプカバー１３とによって形成される空間（膨張室９０）を大きく確保することができるようになる。 (5) Since the cylinder 61 does not protrude from the upper surface 24 of the body 12 on the pump cover 13 side, a large space (expansion chamber 90) formed by the pump cover 13 side of the body 12 and the pump cover 13 can be secured. It becomes like this.

なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもができる。
・上記実施形態では、シリンダ６１がボディ１２のポンプカバー１３側の端面（上面２４）から突出しないようにしたが、ボディ１２とポンプカバー１３とによって形成される空間に余裕があれば、シリンダ６１がボディ１２から突出してもよい。 In addition, the said embodiment can also be implemented with the following forms which changed this suitably.
In the above embodiment, the cylinder 61 does not protrude from the end surface (upper surface 24) of the body 12 on the pump cover 13 side. However, if there is room in the space formed by the body 12 and the pump cover 13, the cylinder 61 May protrude from the body 12.

・上記実施形態では、真空ポンプの外部に空気を排出する出口をボディ１２に設けたが、ボディ１２ではなくポンプカバーに出口を設けてもよい。
・上記実施形態では、絞りとして機能するように環状リブ８３を直線リブ８４よりも低くしたが、環状リブ８３と直線リブ８４とを同じ高さにしてもよい。 In the above embodiment, the outlet for discharging air to the outside of the vacuum pump is provided in the body 12, but the outlet may be provided in the pump cover instead of the body 12.
In the above embodiment, the annular rib 83 is set lower than the straight rib 84 so as to function as a diaphragm. However, the annular rib 83 and the straight rib 84 may have the same height.

・上記構成において、ポンプカバー１３の内側に設けた直線リブ８４の数量は、１２個に限らず、任意に設定可能である。
・上記実施形態では、ポンプカバー１３の内側に放射状リブ８２を設けたが、放射状リブ８２のうち環状リブ８３を省略して、直線リブ８４のみにしてもよい。 In the above configuration, the number of linear ribs 84 provided inside the pump cover 13 is not limited to 12 and can be arbitrarily set.
In the above embodiment, the radial ribs 82 are provided inside the pump cover 13, but the annular ribs 83 may be omitted from the radial ribs 82 and only the linear ribs 84 may be used.

・上記実施形態では、ポンプカバー１３の内側に、環状リブ８３と直線リブ８４とを有する放射状リブ８２を設けたが、環状リブ８３と直線リブ８４との組み合わせに限らず、ポンプカバー１３の内側の膨張室９０に流入した空気が撹拌されるような他の形状であってもよい。 In the above embodiment, the radial rib 82 having the annular rib 83 and the linear rib 84 is provided on the inner side of the pump cover 13, but the inner side of the pump cover 13 is not limited to the combination of the annular rib 83 and the linear rib 84. Other shapes may be employed such that the air flowing into the expansion chamber 90 is agitated.

・上記実施形態では、ボディ１２を鋳造する際にシリンダ６１を一緒に鋳込んだが、シリンダ６１とボディ１２との組み付け方法はこれに限らず、例えばシリンダ６１をボディ１２に対して圧入して螺子止めしてもよい。 In the above embodiment, when the body 12 is cast, the cylinder 61 is cast together. However, the method of assembling the cylinder 61 and the body 12 is not limited to this. For example, the cylinder 61 is press-fitted into the body 12 and screwed. You may stop it.

・上記実施形態では、真空ポンプをベーンポンプに具体化したが、ベーンポンプ以外の種類のポンプであってもよい。例えば、回転体として互いに噛合する１対のギアを備えるギアポンプであってもよい。 -In above-mentioned embodiment, although the vacuum pump was actualized to the vane pump, types of pumps other than a vane pump may be sufficient. For example, a gear pump including a pair of gears that mesh with each other as a rotating body may be used.

・上記実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、騒音が低減されているため、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。 -Since the vacuum pump of the said embodiment is a dry pump and noise is reduced, it can be used as a vacuum source of a versatile apparatus. For example, it can also be used for a vacuum source used for a booster of a vehicle brake system, a vacuum source for a packaging machine, a printing machine, a bookbinding machine, a labeling vacuum source, a robot vacuum source, or the like.

１１…モータ、１２…ボディ、１２ａ…螺子孔、１２ｂ…外壁部、１２ｃ…取付部、１３…ポンプカバー、１４…接続管、１５…出力軸、１６…ボルト、２０…ボディ入口、２１…ボディ出口、２２…チェックバルブ、２４…上面、２４ａ…シール溝、２５…収容壁、２７…ポンプ室、３０…ポンプ室入口、３１…ポンプ室出口、４０…シール材、４５…第１排気溝、４６…第２排気溝、４７…区画壁、５０…ボルト貫通部、６０…ポンプ部、６１…シリンダ、６１ａ…内周面、６２…入口側連通孔、６４…出口側連通孔、７０…ボディ側プレート、７０ａ…孔、７１…カバー側プレート、７２…ロータ、７３…ベーン、７４…軸孔、７５…ベーン収容溝、７８…空間、７９…ウェーブワッシャ、８０…閉蓋部、８１…円筒部、８２…放射状リブ、８３…環状リブ、８４…直線リブ、９０…膨張室、Ｇ…隙間、Ｈ１…長さ、Ｈ２…長さ、Ｓ１…第１空間、Ｓ２…第２空間、Ｓ３…第３空間、Ｓ４…第４空間、Ｘ１…回転軸、Ｘ２…中心軸。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Motor, 12 ... Body, 12a ... Screw hole, 12b ... Outer wall part, 12c ... Mounting part, 13 ... Pump cover, 14 ... Connection pipe, 15 ... Output shaft, 16 ... Bolt, 20 ... Body inlet, 21 ... Body Outlet, 22 ... Check valve, 24 ... Upper surface, 24a ... Seal groove, 25 ... Housing wall, 27 ... Pump chamber, 30 ... Pump chamber inlet, 31 ... Pump chamber outlet, 40 ... Sealing material, 45 ... First exhaust groove, 46 ... second exhaust groove, 47 ... partition wall, 50 ... bolt penetration part, 60 ... pump part, 61 ... cylinder, 61a ... inner peripheral surface, 62 ... inlet side communication hole, 64 ... outlet side communication hole, 70 ... body Side plate, 70a ... hole, 71 ... cover side plate, 72 ... rotor, 73 ... vane, 74 ... shaft hole, 75 ... vane receiving groove, 78 ... space, 79 ... wave washer, 80 ... closed lid, 81 ... cylinder Part, 82 ... radial 83, annular rib, 84 ... linear rib, 90 ... expansion chamber, G ... gap, H1 ... length, H2 ... length, S1 ... first space, S2 ... second space, S3 ... third space, S4 ... 4th space, X1 ... rotation axis, X2 ... center axis.

Claims

A body having a cylinder part that accommodates the rotating body, a cylinder part outlet that discharges air from within the cylinder part, and an exhaust groove through which the air discharged from the cylinder part outlet passes;
A pump cover that closes the body and forms a space in which air expands together with the exhaust groove,
The pump cover has a cylindrical part and a closing part that closes one end opening of the cylindrical part,
A vacuum pump characterized in that a rib is provided inside the pump cover.

The vacuum pump according to claim 1, wherein the ribs are formed in a radial shape extending from the center of the lid portion toward the cylindrical portion.

The vacuum pump according to claim 1 or 2,
A vacuum pump characterized in that a throttle for contracting air flow is provided inside the pump cover.

In the vacuum pump as described in any one of Claims 1-3,
The said body is provided with the exit which discharges | emits air outside, The vacuum pump characterized by the above-mentioned.

In the vacuum pump as described in any one of Claims 1-4,
The vacuum pump, wherein the cylinder part does not protrude from an end surface of the body on the pump cover side.