JP5554122B2 - Vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、ケーシング内に回転圧縮要素を備えた真空ポンプに関する。   The present invention relates to a vacuum pump having a rotary compression element in a casing.

一般に、ケーシング内に回転圧縮要素を備えた真空ポンプが知られている。この種の真空ポンプでは、回転圧縮要素を電動モータ等の駆動装置で駆動することによって真空を得ることができる。真空ポンプは、例えば、自動車のエンジンルームに搭載されて、ブレーキ倍力装置を作動させるための真空を発生させるために使用されている(例えば、特許文献1参照)。   In general, a vacuum pump having a rotary compression element in a casing is known. In this type of vacuum pump, a vacuum can be obtained by driving the rotary compression element with a drive device such as an electric motor. The vacuum pump is mounted, for example, in an engine room of an automobile and is used to generate a vacuum for operating a brake booster (see, for example, Patent Document 1).

特開2003−222090号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-222090

ところで、この種の真空ポンプでは、回転圧縮要素を駆動させてケーシング内で空気を圧縮することにより、ケーシング温度が上昇するため、ケーシングを冷却(放熱)することが望ましい。この場合、大きな放熱面積を確保するために、電動ポンプに取付ベースを取り付け、この取付ベースにシリンダ本体を積層してケーシングを形成する構成が考えられるが、この構成では、ケーシングが電動モータの軸方向に延び、真空ポンプが大型化してしまうという問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、放熱性を確保しつつ、ケーシングの小型化を図った真空ポンプを提供することを目的とする。
By the way, in this kind of vacuum pump, since the casing temperature rises by driving the rotary compression element and compressing air in the casing, it is desirable to cool (heat radiation) the casing. In this case, in order to secure a large heat radiation area, a configuration in which a mounting base is attached to the electric pump and a cylinder body is stacked on the mounting base to form a casing is conceivable. In this configuration, the casing is the shaft of the electric motor. There is a problem that the vacuum pump is enlarged in the direction.
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a vacuum pump in which the casing is downsized while ensuring heat dissipation.

上記目的を達成するため、本発明は、ケーシング内に回転圧縮要素を備えた真空ポンプにおいて、前記ケーシングは、ケーシング本体と、このケーシング本体内に配置されて前記回転圧縮要素が摺動するシリンダ部とを備え、前記ケーシング本体及び前記シリンダ部は、それぞれケーシング本体及びシリンダ部を貫通して当該シリンダ部内に連通する連通孔を備え、この連通孔に吸込管を設けるとともに、この吸込管の先端を前記シリンダ部の連通孔に係合させたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention provides a vacuum pump having a rotary compression element in a casing, wherein the casing includes a casing body and a cylinder portion that is disposed in the casing body and on which the rotary compression element slides. The casing main body and the cylinder part each include a communication hole that passes through the casing main body and the cylinder part and communicates with the cylinder part, and a suction pipe is provided in the communication hole, and a tip of the suction pipe is provided. It is engaged with the communicating hole of the cylinder part .

この構成によれば、前記ケーシング本体及び前記シリンダ部は、それぞれケーシング本体及びシリンダ部を貫通して当該シリンダ部内に連通する連通孔を備え、この連通孔に吸込管を設けるとともに、この吸込管の先端を前記シリンダ部の連通孔に係合させたため、例えば、ケーシング本体にシリンダ部よりも熱膨張係数の高い材料を使用した場合に、熱膨張によってシリンダ部の圧入代が減少したとしても、吸込管の先端がシリンダ部の連通孔に係合するため、当該シリンダ部の回転防止や抜け防止を実現できる。 According to this configuration, the casing main body and the cylinder part each include a communication hole that penetrates the casing main body and the cylinder part and communicates with the cylinder part, and the suction pipe is provided in the communication hole. Since the tip is engaged with the communication hole of the cylinder part, for example, when a material having a higher thermal expansion coefficient than the cylinder part is used for the casing body, even if the press-fitting allowance of the cylinder part decreases due to thermal expansion, Since the tip of the tube engages with the communication hole of the cylinder part, it is possible to prevent rotation and prevention of the cylinder part from being rotated.

この構成において、前記ケーシングは、前記回転圧縮要素よりも熱伝導性の高い材料で形成されたケーシング本体と、このケーシング本体内に圧入されるシリンダ部とを備えても良い。この構成によれば、ケーシング本体内にシリンダ部を圧入してケーシングを構成しているため、このケーシングの小型化を図ることができる。また、ケーシング本体が回転圧縮要素よりも熱伝導性の高い材料で形成されているため、回転圧縮要素が作動した際に発生した熱がケーシング本体に速やかに伝達できることにより、ケーシング本体から十分に放熱することができる。
In this configuration, the casing may include a casing body formed of a material having higher thermal conductivity than the rotary compression element, and a cylinder portion that is press-fitted into the casing body . According to this configuration, since the casing is configured by press-fitting the cylinder portion into the casing body , the casing can be reduced in size. In addition, since the casing body is made of a material having higher thermal conductivity than the rotary compression element, the heat generated when the rotary compression element is activated can be quickly transferred to the casing body, so that the casing body can sufficiently dissipate heat. can do.

また、前記シリンダ部は、前記回転圧縮要素と略同等の熱膨張係数を有する材質で形成しても良い。この構成によれば、温度変化に伴う回転圧縮要素とシリンダ部とのクリアランスの変化を抑制することができ、当該回転圧縮要素の外周面とシリンダ部の内周面との接触を防止できる。   The cylinder portion may be formed of a material having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the rotary compression element. According to this configuration, it is possible to suppress a change in the clearance between the rotary compression element and the cylinder portion due to a temperature change, and it is possible to prevent contact between the outer peripheral surface of the rotary compression element and the inner peripheral surface of the cylinder portion.

また、前記ケーシング本体には、前記回転圧縮要素の回転中心から偏心した位置に前記シリンダ部が配置され、このシリンダ部の前記回転中心側の周縁部に当該シリンダ部に連通する膨張室が形成されていても良い。この構成によれば、膨張室をケーシング本体の外部に設ける必要がなく、ケーシング本体の小型化を図ることができ、ひいては真空ポンプの小型化を図ることができる。   In the casing body, the cylinder portion is disposed at a position eccentric from the rotation center of the rotary compression element, and an expansion chamber communicating with the cylinder portion is formed at a peripheral portion on the rotation center side of the cylinder portion. May be. According to this configuration, there is no need to provide an expansion chamber outside the casing body, and the casing body can be downsized, and the vacuum pump can be downsized.

本発明によれば、ケーシング本体内にシリンダ部を圧入してケーシングを構成しているため、このケーシングの小型化を図ることができる。また、ケーシング本体が回転圧縮要素よりも熱伝導性の高い材料で形成されているため、回転圧縮要素が作動した際に発生した熱がケーシング本体に速やかに伝達できることにより、ケーシング本体から十分に放熱することができる。   According to the present invention, since the casing is configured by press-fitting the cylinder portion into the casing body, the casing can be downsized. In addition, since the casing body is made of a material having higher thermal conductivity than the rotary compression element, the heat generated when the rotary compression element is activated can be quickly transferred to the casing body, so that the casing body can sufficiently dissipate heat. can do.

本実施形態に係る真空ポンプの側部部分断面図である。It is a side fragmentary sectional view of the vacuum pump concerning this embodiment. 真空ポンプをその前側から見た図である。It is the figure which looked at the vacuum pump from the front side. ケーシング本体の背面側を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the back side of a casing main body. Aは、電動モータとポンプ本体との連結構造を示す図であり、Bは、その連結構造の変形例である。A is a figure which shows the connection structure of an electric motor and a pump main body, B is a modification of the connection structure.

以下、図面を参照して、本発明に係る好適な実施の形態について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る真空ポンプ1の側部部分断面図である。図2は、図1の真空ポンプ1をその前側(同図中の右側)から見た図である。ただし、図2は、シリンダ室Sの構成を示すべく、ポンプカバー24,サイドプレート26等の部材を取り外した状態を図示している。また、図2では、取付部材40を取り外した状態を示している。なお、以下では、説明の便宜上、図1および図2の上部にそれぞれ矢印で示す方向が、真空ポンプ1の上下前後左右を示すものとして説明する。また、前後方向については軸方向、左右方向については幅方向ともいう。
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments according to the invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a side partial sectional view of a vacuum pump 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view of the vacuum pump 1 of FIG. 1 as viewed from the front side (right side in the figure). However, FIG. 2 illustrates a state in which members such as the pump cover 24 and the side plate 26 are removed in order to show the configuration of the cylinder chamber S. Moreover, in FIG. 2, the state which removed the attachment member 40 is shown. In the following description, for convenience of explanation, it is assumed that the directions indicated by the arrows at the top of FIGS. The front-rear direction is also referred to as the axial direction, and the left-right direction is also referred to as the width direction.

図1に示す真空ポンプ1は、回転式のベーン型真空ポンプであり、例えば、自動車等のブレーキ倍力装置(図示略)の負圧源として使用される。この場合、真空ポンプ1は、通常、エンジンルーム内に配置されて、真空タンク(図示略)を介してブレーキ倍力装置に配管接続される。なお、自動車等に用いる真空ポンプ1の使用範囲は、例えば、−60kPa〜−80kPaである。   A vacuum pump 1 shown in FIG. 1 is a rotary vane type vacuum pump, and is used as a negative pressure source of a brake booster (not shown) such as an automobile. In this case, the vacuum pump 1 is usually disposed in the engine room and connected to the brake booster via a vacuum tank (not shown). In addition, the use range of the vacuum pump 1 used for a motor vehicle etc. is -60kPa--80kPa, for example.

図1に示すように、真空ポンプ1は電動モータ10と、この電動モータ10に配置されたポンプ本体20とを備えており、これら電動モータ10及びポンプ本体20が一体に連結された状態で、取付部材40によって自動車等の車体50に固定支持されている。
取付部材40は、ポンプ本体20の幅方向に延びる矩形の突出溝41Aを設けた取付板41と、この取付板41の前端及び後端にそれぞれ固定される防振ゴム42,42とを備える。これら防振ゴム42,42は、車体に形成された孔部に嵌入して保持される。取付板41は、突出溝41Aでポンプ本体20の下面にボルト43で固定されている。
As shown in FIG. 1, the vacuum pump 1 includes an electric motor 10 and a pump main body 20 disposed on the electric motor 10, and the electric motor 10 and the pump main body 20 are integrally connected, The mounting member 40 is fixedly supported on a vehicle body 50 such as an automobile.
The mounting member 40 includes a mounting plate 41 provided with a rectangular protruding groove 41A extending in the width direction of the pump main body 20, and anti-vibration rubbers 42 and 42 fixed to the front end and the rear end of the mounting plate 41, respectively. These anti-vibration rubbers 42 and 42 are fitted and held in holes formed in the vehicle body. The mounting plate 41 is fixed to the lower surface of the pump body 20 with a bolt 43 by a protruding groove 41A.

電動モータ10は、略円筒形状に形成されたケース11の一方の端部(前端)の略中心からポンプ本体20側(前側)に向かって延びる出力軸12を有している。出力軸12は、前後方向に延びる回転中心X1を基準として回転する。出力軸12の先端部12Aには、ポンプ本体20の後述するロータ27に嵌合し、当該ロータ27の回り止めとなるスプライン部12Bが形成されている。なお、出力軸12の外表面にキーを設けてロータ27の空回りを防止することも可能である。
電動モータ10は、電源(図示略)の投入により、出力軸12が、図2中の矢印R方向(反時計回り)に回転し、これにより、ロータ27を回転中心X1を中心として同方向(矢印R方向)に回転させるようになっている。
The electric motor 10 has an output shaft 12 that extends from the approximate center of one end (front end) of the case 11 formed in a substantially cylindrical shape toward the pump body 20 (front side). The output shaft 12 rotates with reference to a rotation center X1 extending in the front-rear direction. A spline portion 12 </ b> B is formed at the tip end portion 12 </ b> A of the output shaft 12 so as to be fitted to a rotor 27, which will be described later, of the pump main body 20 and to prevent the rotor 27 from rotating. It is also possible to provide a key on the outer surface of the output shaft 12 to prevent the rotor 27 from spinning freely.
In the electric motor 10, when the power source (not shown) is turned on, the output shaft 12 rotates in the direction of arrow R in FIG. 2 (counterclockwise), thereby rotating the rotor 27 in the same direction around the rotation center X1 ( It is designed to rotate in the direction of arrow R).

ケース11は、有底円筒形状に形成されたケース本体60と、このケース本体60の開口を塞ぐカバー体61とを備え、ケース本体60は、その周縁部60Aが外方に折り曲げて形成されている。カバー体61は、ケース本体60の開口と略同径に形成された円板部61Aと、この円板部61Aの周縁に連なり、ケース本体60の内周面に嵌まる円筒部61Bと、この円筒部61Bの周縁を外方に折り曲げて形成した屈曲部61Cとを備えて一体に形成され、円板部61A及び円筒部61Bがケース本体60内に進入し、屈曲部61Cが、ケース本体60の周縁部60Aに当接して固定されている。これにより、電動モータ10には、ケース11の一方の端部(前端)が内側に窪み、ポンプ本体20がインロー嵌合される嵌合穴部63が形成される。
また、円板部61Aの略中央には、出力軸12が貫通する貫通孔61Dと、この出力軸12を軸支するベアリング62の外輪を保持する凹部61Eが形成されている。
The case 11 includes a case main body 60 formed in a bottomed cylindrical shape and a cover body 61 that closes the opening of the case main body 60. The case main body 60 is formed by bending the peripheral edge portion 60A outward. Yes. The cover body 61 includes a disc part 61A formed to have substantially the same diameter as the opening of the case body 60, a cylindrical part 61B that is connected to the periphery of the disc part 61A and fits on the inner peripheral surface of the case body 60, and The cylindrical portion 61B is integrally formed with a bent portion 61C formed by bending the periphery of the cylindrical portion 61B outward. The disc portion 61A and the cylindrical portion 61B enter the case main body 60, and the bent portion 61C is inserted into the case main body 60. The peripheral edge portion 60A is abutted and fixed. As a result, one end (front end) of the case 11 is recessed inward in the electric motor 10, and a fitting hole 63 into which the pump body 20 is fitted in is formed.
A through hole 61D through which the output shaft 12 passes and a recess 61E that holds the outer ring of the bearing 62 that pivotally supports the output shaft 12 are formed in the approximate center of the disc portion 61A.

ポンプ本体20は、図1に示すように、電動モータ10のケース11の前側に形成された嵌合穴部63に嵌合されるケーシング本体22と、このケーシング本体22内に圧入されてシリンダ室Sを形成するシリンダ部23と、当該ケーシング本体22を前側から覆うポンプカバー24とを備えている。本実施形態ではケーシング本体22、シリンダ部23及びポンプカバー24を備えて、真空ポンプ1のケーシング31を構成している。   As shown in FIG. 1, the pump body 20 includes a casing body 22 that is fitted into a fitting hole 63 formed on the front side of the case 11 of the electric motor 10, and a cylinder chamber that is press-fitted into the casing body 22. The cylinder part 23 which forms S, and the pump cover 24 which covers the said casing main body 22 from the front side are provided. In this embodiment, the casing body 22, the cylinder portion 23, and the pump cover 24 are provided to constitute a casing 31 of the vacuum pump 1.

ケーシング本体22は、例えば、アルミニウム等の熱伝導性の高い金属材料を用いて、図2に示すように、前側から見た形状が上記した回転中心X1を略中心とした上下方向に長い略矩形に形成されている。ケーシング本体22の上部には、このケーシング本体22に設けられたシリンダ室S内に連通する連通孔22Aが形成され、この連通孔22Aには真空吸込ニップル(吸込管)30が圧入されている。この真空吸込ニップル30は、図1に示すように、略L字状に屈曲されたパイプであり、当該真空吸込ニップル30の一端30Aには、外部機器(例えば、真空タンク(図示略))から負圧空気を供給するための管またはチューブが接続される。本実施形態では、真空吸込ニップル30をケーシング本体22の連通孔22Aに圧入しているため、車両のように事前に外部機器の配置される位置が判明する場合には、この外部機器が配置される方向に一端30Aを向けて圧入すればよく、簡単な構成で、負圧空気を供給するための管またはチューブの引き出し方向を自由に設定することができる。   As shown in FIG. 2, the casing main body 22 is made of a metal material having high thermal conductivity such as aluminum, and the shape viewed from the front side is a substantially rectangular shape that is long in the vertical direction with the rotation center X1 as the center. Is formed. A communication hole 22A communicating with the cylinder chamber S provided in the casing body 22 is formed in the upper portion of the casing body 22, and a vacuum suction nipple (suction pipe) 30 is press-fitted into the communication hole 22A. As shown in FIG. 1, the vacuum suction nipple 30 is a pipe bent in an approximately L shape. One end 30A of the vacuum suction nipple 30 is connected to an external device (for example, a vacuum tank (not shown)). A tube or tube for supplying negative pressure air is connected. In this embodiment, since the vacuum suction nipple 30 is press-fitted into the communication hole 22A of the casing main body 22, when the position where the external device is arranged is known in advance like a vehicle, the external device is arranged. It is only necessary to press-fit with the one end 30A facing in the direction in which the pipe or tube for supplying negative pressure air can be freely set with a simple configuration.

ケーシング本体22には、前後方向に延びる軸心X2を基準とした孔部22Bが形成され、この孔部22Bに円筒状に形成されたシリンダ部23が圧入されている。軸心X2は、上述の電動モータ10の出力軸12の回転中心X1に対して平行で、かつ、図2に示すように、回転中心X1に対して左側斜め上方に偏心している。本構成では、回転中心X1を中心とする後述のロータ27の外周面27Bが、軸心X2を基準に形成されているシリンダ部23の内周面23Aに接するように軸心X2が偏心されている。
シリンダ部23は、ロータ27と同一の金属材料(本実施形態では、鉄)で形成されている。この構成では、シリンダ部23とロータ27とは熱膨張係数が同じなので、シリンダ部23及びロータ27の温度変化にかかわらず、ロータ27が回転した際の当該ロータ27の外周面27Bとシリンダ部23の内周面23Aとの接触を防止することができる。さらに、シリンダ部23とロータ27とは熱膨張係数が同じなので、ロータ27の側面とシリンダ部23の後端および前端にそれぞれ配置されるサイドプレート25,26(後述する)とのクリアランスを安定させることができる。
また、ケーシング本体22に形成された孔部22Bにシリンダ部23を圧入することにより、ケーシング本体22の前後方向の長さ範囲内でシリンダ部23を収容することができるため、このシリンダ部23がケーシング本体22から突出することが防止され、ケーシング本体22の小型化を図ることができる。
更に、ケーシング本体22はロータ27よりも熱伝導性の高い材料で形成されている。これによれば、ロータ27及びベーン28が回転駆動した際に発生した熱がケーシング本体22に速やかに伝達できることにより、ケーシング本体22から十分に放熱することができる。
The casing body 22 is formed with a hole 22B with reference to the axial center X2 extending in the front-rear direction, and a cylinder 23 formed in a cylindrical shape is press-fitted into the hole 22B. The shaft center X2 is parallel to the rotation center X1 of the output shaft 12 of the electric motor 10 described above and, as shown in FIG. In this configuration, the shaft center X2 is decentered so that an outer peripheral surface 27B of the rotor 27, which will be described later, centered on the rotation center X1 is in contact with the inner peripheral surface 23A of the cylinder portion 23 formed on the basis of the shaft center X2. Yes.
The cylinder part 23 is made of the same metal material as the rotor 27 (in this embodiment, iron). In this configuration, the cylinder portion 23 and the rotor 27 have the same thermal expansion coefficient. Therefore, regardless of the temperature changes of the cylinder portion 23 and the rotor 27, the outer peripheral surface 27B of the rotor 27 and the cylinder portion 23 when the rotor 27 rotates. It is possible to prevent contact with the inner peripheral surface 23A. Further, since the cylinder portion 23 and the rotor 27 have the same thermal expansion coefficient, the clearance between the side surface of the rotor 27 and side plates 25 and 26 (described later) disposed at the rear end and the front end of the cylinder portion 23 is stabilized. be able to.
Moreover, since the cylinder part 23 can be accommodated within the longitudinal range of the casing body 22 by press-fitting the cylinder part 23 into the hole 22B formed in the casing body 22, the cylinder part 23 is Projection from the casing body 22 is prevented, and the casing body 22 can be downsized.
Further, the casing body 22 is formed of a material having higher thermal conductivity than the rotor 27. According to this, heat generated when the rotor 27 and the vane 28 are rotationally driven can be quickly transmitted to the casing body 22, so that the casing body 22 can sufficiently dissipate heat.

また、一般に、アルミニウムの方が鉄よりも熱膨張係数が大きいため、ポンプ本体20が高温となった場合、シリンダ部23の圧入代が減少する傾向にある。このため、本構成では、シリンダ部23には、ケーシング本体22の連通孔22Aに連なる開口(連通孔)23Bが形成されており、この開口23Bに、真空吸込ニップル30の他端(先端)30Bが係合するように配置されている。これによれば、熱膨張によってシリンダ部23の圧入代が減少したとしても、真空吸込ニップル30の他端30Bがシリンダ部23の開口23Bに係合するため、当該シリンダ部23の回転防止や抜け防止を実現できる。
また、ケーシング本体22及びシリンダ部23の下部には、これらケーシング本体22及びシリンダ部23を貫通し、シリンダ室Sで圧縮された空気が吐出される吐出孔22C,23Cが設けられている。
In general, since aluminum has a larger coefficient of thermal expansion than iron, when the pump body 20 becomes hot, the press-fitting allowance of the cylinder portion 23 tends to decrease. For this reason, in this structure, the cylinder part 23 is formed with an opening (communication hole) 23B connected to the communication hole 22A of the casing body 22, and the other end (tip) 30B of the vacuum suction nipple 30 is formed in the opening 23B. Are arranged to engage. According to this, even if the press-fitting allowance of the cylinder part 23 is reduced due to thermal expansion, the other end 30B of the vacuum suction nipple 30 is engaged with the opening 23B of the cylinder part 23. Prevention can be realized.
In addition, discharge holes 22C and 23C that pass through the casing body 22 and the cylinder part 23 and discharge air compressed in the cylinder chamber S are provided in the lower part of the casing body 22 and the cylinder part 23.

シリンダ部23の後端および前端には、それぞれサイドプレート25,26が配設されている。これらサイドプレート25,26は、その直径がシリンダ部23の内周面23Aの内径よりも大きく設定されており、ガスケット25A,26Aにより付勢されて、シリンダ部23の前端及び後端にそれぞれ押し付けられている。これにより、シリンダ部23の内側は、真空吸込ニップル30に連なる開口23B及び吐出口23C,22Cを除いて、密閉されたシリンダ室Sが形成される。   Side plates 25 and 26 are disposed at the rear end and the front end of the cylinder portion 23, respectively. The side plates 25 and 26 are set to have a diameter larger than the inner diameter of the inner peripheral surface 23A of the cylinder portion 23, and are urged by the gaskets 25A and 26A to press against the front end and the rear end of the cylinder portion 23, respectively. It has been. Thus, a sealed cylinder chamber S is formed inside the cylinder portion 23 except for the opening 23B and the discharge ports 23C and 22C connected to the vacuum suction nipple 30.

シリンダ部23の内側のシリンダ室Sには、ロータ27が配設されている。ロータ27は、厚肉円筒形状に形成されていて、その内周面27Aには、上述のスプライン部12Bが形成された出力軸12が嵌合されている。このスプライン嵌合の構成により、ロータ27は出力軸12と一体となって回転する。ロータ27の前後方向の長さは、シリンダ部23の長さ、すなわち、上述の2枚にサイドプレート25,26の相互に対向する内面間の距離と略等しく設定されている。また、ロータ27の外径は、図2に示すように、ロータ27の外周面27Bが、シリンダ部23の内周面23Aのうちの右斜め下方に位置する部分と微小なクリアランスを保つように設定されている。これにより、図2に示すように、ロータ27の外周面27Bと、シリンダ部23の内周面23Aとの間には、三日月形状の空間が構成される。   A rotor 27 is disposed in the cylinder chamber S inside the cylinder portion 23. The rotor 27 is formed in a thick cylindrical shape, and the output shaft 12 on which the above-described spline portion 12B is formed is fitted to the inner peripheral surface 27A. With this spline fitting configuration, the rotor 27 rotates integrally with the output shaft 12. The length of the rotor 27 in the front-rear direction is set to be approximately equal to the length of the cylinder portion 23, that is, the distance between the inner surfaces of the two side plates 25 and 26 facing each other. Further, as shown in FIG. 2, the outer diameter of the rotor 27 is such that the outer peripheral surface 27B of the rotor 27 maintains a minute clearance with the portion of the inner peripheral surface 23A of the cylinder portion 23 that is located obliquely downward to the right. Is set. Thereby, as shown in FIG. 2, a crescent-shaped space is formed between the outer peripheral surface 27 </ b> B of the rotor 27 and the inner peripheral surface 23 </ b> A of the cylinder portion 23.

ロータ27には、三日月形状の空間を区画する複数(本例では5枚)のベーン28が設けられている。ベーン28は、板状に形成されていて、その前後方向の長さは、ロータ27と同様、2枚のサイドプレート25,26の相互に対向する内面間の距離と略等しくなるように設定されている。これらベーン28は、ロータ27に設けられたガイド溝27Cから出入り自在に配設されている。各ベーン28は、ロータ27の回転に伴い、遠心力によってガイド溝27Cに沿って外側へ突出し、その先端をシリンダ部23の内周面23Aに当接させる。これにより、上述の三日月形状の空間は、相互に隣接する2枚のベーン28,28と、ロータ27の外周面27Bと、シリンダ部23の内周面23Aとによって囲まれる5つの圧縮室Pに区画される。これら圧縮室Pは、出力軸12の回転に伴うロータ27の矢印R方向の回転に伴い、同方向に回転し、その容積が、開口23B近傍で大きく、一方、吐出口23Cで小さくなる。つまり、ロータ27,ベーン28の回転により、開口23Bから1つの圧縮室Pに吸入された空気は、ロータ27の回転に伴って回転しつつ圧縮されて、吐出口23Cから吐出される。本構成では、ロータ27及び複数のベーン28を備えて回転圧縮要素を構成する。   The rotor 27 is provided with a plurality (five in this example) of vanes 28 that divide a crescent-shaped space. The vane 28 is formed in a plate shape, and its length in the front-rear direction is set to be approximately equal to the distance between the mutually facing inner surfaces of the two side plates 25, 26, similar to the rotor 27. ing. These vanes 28 are disposed so as to freely enter and exit from guide grooves 27 </ b> C provided in the rotor 27. As the rotor 27 rotates, each vane 28 protrudes outward along the guide groove 27 </ b> C by centrifugal force, and the tip of the vane 28 comes into contact with the inner peripheral surface 23 </ b> A of the cylinder portion 23. As a result, the crescent-shaped space described above is divided into five compression chambers P surrounded by the two vanes 28 and 28 adjacent to each other, the outer peripheral surface 27B of the rotor 27, and the inner peripheral surface 23A of the cylinder portion 23. Partitioned. These compression chambers P rotate in the same direction as the rotor 27 rotates in the direction of arrow R accompanying the rotation of the output shaft 12, and the volume of the compression chamber P increases near the opening 23B, and decreases at the discharge port 23C. That is, the air sucked into one compression chamber P from the opening 23B by the rotation of the rotor 27 and the vane 28 is compressed while being rotated with the rotation of the rotor 27, and is discharged from the discharge port 23C. In this configuration, the rotary compression element is configured by including the rotor 27 and the plurality of vanes 28.

本構成では、シリンダ部23は、図2に示すように、このシリンダ部23の軸心X2が回転中心X1に対して左側斜め上方に偏心してケーシング本体22に形成されている。このため、ケーシング本体22には、シリンダ部23が偏心したのと反対の方向に、吐出口23C、22Cに連通する膨張室33が形成されている。この膨張室33は、シリンダ部23の外周面に沿って三日月状に形成されており、吐出口23C、22Cに近傍する部分は更に下方に膨出して、ポンプカバー24に形成された排気口24Aに連通している。本構成では、回転中心X1に対して、シリンダ部23を偏心させてケーシング本体22内に形成しているため、このケーシング本体22内に吐出口23C、22Cに連通する膨張室33を形成することができる。このため、膨張室33をケーシング本体22の外部に設ける必要がなく、ケーシング本体22の小型化を図ることができ、ひいては真空ポンプ1の小型化を図ることができる。また、吐出口23C、22から吐出された空気は、膨張室33内に導かれて膨張することにより、騒音が低減される。   In this configuration, as shown in FIG. 2, the cylinder portion 23 is formed in the casing body 22 such that the axial center X2 of the cylinder portion 23 is eccentrically inclined leftward and upward with respect to the rotation center X1. For this reason, the casing body 22 is formed with an expansion chamber 33 communicating with the discharge ports 23C and 22C in the direction opposite to the direction in which the cylinder portion 23 is eccentric. The expansion chamber 33 is formed in a crescent shape along the outer peripheral surface of the cylinder portion 23, and portions near the discharge ports 23 </ b> C and 22 </ b> C further bulge downward, and an exhaust port 24 </ b> A formed in the pump cover 24. Communicating with In this configuration, since the cylinder portion 23 is eccentrically formed in the casing body 22 with respect to the rotation center X1, the expansion chamber 33 communicating with the discharge ports 23C and 22C is formed in the casing body 22. Can do. For this reason, it is not necessary to provide the expansion chamber 33 outside the casing body 22, the casing body 22 can be downsized, and the vacuum pump 1 can be downsized. Further, the air discharged from the discharge ports 23C and 22 is introduced into the expansion chamber 33 and expands, whereby noise is reduced.

ポンプカバー24は、前側のサイドプレート26にガスケット26Aを介して配置され、ケーシング本体22にボルト34で固定されている。ケーシング本体22の前面には、図2に示すように、シリンダ部23や膨張室33を囲んでシール溝22Dが形成され、このシール溝22Dには環状のシール材35が配置されている。ポンプカバー24には、膨張室33に対応する位置に排気口24Aが設けてある。この排気口24Aは、膨張室33に流入した空気を機外(真空ポンプ1の外部)に排出するためのものであり、この排気口24Aは、機外からポンプ内への空気の逆流を防止するためのチェックバルブ29が取り付けられている。   The pump cover 24 is disposed on the front side plate 26 via a gasket 26 </ b> A, and is fixed to the casing body 22 with bolts 34. As shown in FIG. 2, a seal groove 22D is formed on the front surface of the casing body 22 so as to surround the cylinder portion 23 and the expansion chamber 33, and an annular seal material 35 is disposed in the seal groove 22D. The pump cover 24 is provided with an exhaust port 24 </ b> A at a position corresponding to the expansion chamber 33. This exhaust port 24A is for exhausting the air that has flowed into the expansion chamber 33 to the outside of the machine (outside the vacuum pump 1), and this exhaust port 24A prevents the backflow of air from the outside of the machine into the pump. A check valve 29 is attached.

図3は、ケーシング本体22を背面から見た斜視図である。
上記したように、真空ポンプ1は、電動モータ10とポンプ本体20とを連結して構成されており、電動モータ10の出力軸12に連結されたロータ27及びベーン28がポンプ本体20のシリンダ部23内で摺動する。このため、ポンプ本体20を電動モータ10の出力軸12の回転中心X1に合わせて組み付けることが重要である。
このため、本実施形態では、上記したように、電動モータ10は、ケース11の一端側に出力軸12の回転中心X1を中心とした嵌合穴部63が形成されている。一方、ケーシング本体22の背面には、図3に示すように、シリンダ室Sの周囲に後方へ突出した円筒状の嵌合部22Fが一体に形成されている。この嵌合部22Fは、電動モータ10の出力軸12の回転中心X1と同心に形成されており、電動モータ10の嵌合穴部63にインロー嵌合する外径に形成されている。
このため、この構成では、電動モータ10の嵌合穴部63にケーシング本体22の嵌合部22Fを嵌め込むだけで、簡単に中心位置を合わせることができるため、電動モータ10とポンプ本体20との組み付け作業を容易に行うことができる。また、ケーシング本体22の背面には、嵌合部22Fの周囲にシール溝22Eが形成され、このシール溝22Eには環状のシール材36が配置されている。
FIG. 3 is a perspective view of the casing body 22 as seen from the back.
As described above, the vacuum pump 1 is configured by connecting the electric motor 10 and the pump main body 20, and the rotor 27 and the vane 28 connected to the output shaft 12 of the electric motor 10 are the cylinder portion of the pump main body 20. 23 slides in. For this reason, it is important to assemble the pump body 20 in accordance with the rotation center X1 of the output shaft 12 of the electric motor 10.
For this reason, in the present embodiment, as described above, the electric motor 10 has the fitting hole 63 formed around the rotation center X1 of the output shaft 12 on one end side of the case 11. On the other hand, as shown in FIG. 3, a cylindrical fitting portion 22 </ b> F that protrudes rearward around the cylinder chamber S is integrally formed on the back surface of the casing body 22. The fitting portion 22 </ b> F is formed concentrically with the rotation center X <b> 1 of the output shaft 12 of the electric motor 10, and has an outer diameter that fits in the fitting hole portion 63 of the electric motor 10.
For this reason, in this configuration, the center position can be easily adjusted by simply fitting the fitting portion 22F of the casing main body 22 into the fitting hole portion 63 of the electric motor 10, so that the electric motor 10 and the pump main body 20 Can be easily assembled. In addition, a seal groove 22E is formed around the fitting portion 22F on the back surface of the casing body 22, and an annular seal material 36 is disposed in the seal groove 22E.

本構成では、電動モータ10とポンプ本体20とをインロー嵌合することにより、これらを仮固定できるため、ポンプカバー24を固定するためのボルト34でケーシング本体22及び電動モータ10のケース11をまとめて固定することができる。
具体的には、図4Aに示すように、ケース本体60の周縁部60Aに雌ねじ部60A1を設け、この雌ねじ部60A1にボルト34を螺合することにより、1本のボルト34でポンプカバー24、ケーシング本体22及び電動モータ10のケース11をまとめて固定する。この場合、雌ねじ部60A1の厚みを周縁部60Aの板厚よりも厚く形成することで、ポンプカバー24、ケーシング本体22及び電動モータ10のケース11を強固に固定することができる。
また、図4Bに示すように、雌ねじ部60A1をケーシング本体22側に突出させて形成するととともに、この雌ねじ部60A1をカバー体61の屈曲部61Cに形成した孔部60C1内に収容しても良い。この構成によれば、雌ねじ部60A1が真空ポンプ1の表面に突出して露出することがなく、デザイン性の向上を図ることができる。
In this configuration, since the electric motor 10 and the pump main body 20 can be temporarily fixed by fitting them together, the casing main body 22 and the case 11 of the electric motor 10 are combined with a bolt 34 for fixing the pump cover 24. Can be fixed.
Specifically, as shown in FIG. 4A, a female screw portion 60A1 is provided on the peripheral edge portion 60A of the case main body 60, and the bolt 34 is screwed to the female screw portion 60A1, whereby the pump cover 24, The casing body 22 and the case 11 of the electric motor 10 are fixed together. In this case, the pump cover 24, the casing body 22, and the case 11 of the electric motor 10 can be firmly fixed by forming the female screw portion 60 </ b> A <b> 1 to be thicker than the peripheral thickness 60 </ b> A.
Further, as shown in FIG. 4B, the female screw portion 60A1 may be formed so as to protrude toward the casing body 22, and the female screw portion 60A1 may be accommodated in the hole 60C1 formed in the bent portion 61C of the cover body 61. . According to this configuration, the female thread portion 60A1 does not protrude from the surface of the vacuum pump 1 and is exposed, so that the design can be improved.

以上、説明したように、本実施形態によれば、ケーシング内にロータ27やベーン28を備えた真空ポンプ1において、ケーシングは、ロータ27やベーン28よりも熱伝導性の高い材料で形成されたケーシング本体22と、このケーシング本体22内に圧入されてロータ27やベーン28が摺動するシリンダ部23とを備えたため、ケーシング本体22内にシリンダ部23を圧入してケーシング31を構成することにより、このケーシング31の小型化を図ることができる。また、ケーシング本体22がロータ27やベーン28も熱伝導性の高い材料で形成されているため、ロータ27やベーン28が駆動した際に発生した熱がケーシング本体22に速やかに伝達できることにより、ケーシング本体22から十分に放熱することができる。   As described above, according to the present embodiment, in the vacuum pump 1 including the rotor 27 and the vane 28 in the casing, the casing is formed of a material having higher thermal conductivity than the rotor 27 and the vane 28. Since the casing main body 22 and the cylinder portion 23 that is press-fitted into the casing main body 22 and the rotor 27 and the vane 28 slide are provided, the cylinder portion 23 is press-fitted into the casing main body 22 to constitute the casing 31. The casing 31 can be downsized. Further, since the casing body 22 is also formed of a material having high thermal conductivity for the rotor 27 and the vane 28, the heat generated when the rotor 27 and the vane 28 are driven can be quickly transmitted to the casing body 22, thereby the casing. Heat can be sufficiently radiated from the main body 22.

また、本実施形態によれば、ケーシング本体22及びシリンダ部23は、それぞれケーシング本体22及びシリンダ部23を貫通して当該シリンダ部23内に連通する連通孔22A,開口23Bを備え、この連通孔22Aに真空吸込ニップル30を圧入するとともに、この真空吸込ニップル30の他端30Bをシリンダ部23の開口23Bに係合させたため、例えば、ケーシング本体22に熱膨張係数の高いアルミニウム、シリンダ部23に熱膨張係数の低い鉄を用いた場合に、熱膨張によってシリンダ部23の圧入代が減少したとしても、真空吸込ニップル30の他端30Bがシリンダ部23の開口23Bに係合するため、当該シリンダ部23の回転防止や抜け防止を実現できる。   Further, according to the present embodiment, the casing main body 22 and the cylinder part 23 include the communication hole 22A and the opening 23B that penetrate the casing main body 22 and the cylinder part 23 and communicate with the cylinder part 23, respectively. Since the vacuum suction nipple 30 is press-fitted into 22A and the other end 30B of the vacuum suction nipple 30 is engaged with the opening 23B of the cylinder portion 23, for example, the casing main body 22 has aluminum with a high thermal expansion coefficient, the cylinder portion 23 has When iron having a low thermal expansion coefficient is used, even if the press-fitting allowance of the cylinder portion 23 is reduced due to thermal expansion, the other end 30B of the vacuum suction nipple 30 is engaged with the opening 23B of the cylinder portion 23. It is possible to prevent the portion 23 from rotating and coming off.

また、本実施形態によれば、シリンダ部23は、ロータ27と略同等の熱膨張係数を有する材質で形成されているため、温度変化に伴うロータ27の側面とサイドプレート25,26とのクリアランスの変化及びシリンダ部23の内周面23Aとロータ27の外周面27が接触する事を防ぐことができる。   Further, according to the present embodiment, since the cylinder portion 23 is formed of a material having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the rotor 27, the clearance between the side surface of the rotor 27 and the side plates 25 and 26 due to temperature change. And the contact between the inner peripheral surface 23A of the cylinder part 23 and the outer peripheral surface 27 of the rotor 27 can be prevented.

また、本実施形態によれば、ケーシング本体22には、ロータ27の回転中心X1から偏心した位置にシリンダ部23が配置され、このシリンダ部23の回転中心X1側の周縁部に当該シリンダ部23に連通する膨張室33が形成されているため、膨張室33をケーシング本体22の外部に設ける必要がなく、ケーシング本体22の小型化を図ることができ、ひいては真空ポンプ1の小型化を図ることができる。   In addition, according to the present embodiment, the cylinder body 23 is arranged in the casing body 22 at a position eccentric from the rotation center X1 of the rotor 27, and the cylinder section 23 is arranged at the peripheral edge of the cylinder section 23 on the rotation center X1 side. Since the expansion chamber 33 communicating with the expansion chamber 33 is formed, it is not necessary to provide the expansion chamber 33 outside the casing body 22, so that the casing body 22 can be downsized and the vacuum pump 1 can be downsized. Can do.

以上、本発明を実施するための最良の実施の形態について述べたが、本発明は既述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。例えば、本実施形態では、真空ポンプ1として、ベーン型の真空ポンプを用いているが、回転圧縮要素を備えるものであれば、例えば、スクロール型のものを用いてもよい。   Although the best embodiment for carrying out the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and changes can be made based on the technical idea of the present invention. It is. For example, in the present embodiment, a vane type vacuum pump is used as the vacuum pump 1, but a scroll type may be used as long as it includes a rotary compression element.

1 真空ポンプ
10 電動モータ
20 ポンプ本体
22 ケーシング本体
22A 連通孔
22B 孔部
22C 吐出孔
22F 嵌合部
23 シリンダ部
23B 開口(連通孔)
23C 吐出口
24 ポンプカバー
27 ロータ(回転圧縮要素)
28 ベーン(回転圧縮要素)
30 真空吸込ニップル(吸込管)
30B 他端(先端)
31 ケーシング
33 膨張室
63 嵌合穴部
60A1 部
60C1 孔部
P 圧縮室
S シリンダ室
X1 回転中心
X2 軸心
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 10 Electric motor 20 Pump main body 22 Casing main body 22A Communication hole 22B Hole part 22C Discharge hole 22F Fitting part 23 Cylinder part 23B Opening (communication hole)
23C Discharge port 24 Pump cover 27 Rotor (rotary compression element)
28 Vane (Rotary compression element)
30 Vacuum suction nipple (suction pipe)
30B The other end (tip)
31 Casing 33 Expansion chamber 63 Fitting hole 60A1 60C1 Hole P Compression chamber S Cylinder chamber X1 Center of rotation X2 Axis center

Claims (4)

ケーシング内に回転圧縮要素を備えた真空ポンプにおいて、
前記ケーシングは、ケーシング本体と、このケーシング本体内に配置されて前記回転圧縮要素が摺動するシリンダ部とを備え、前記ケーシング本体及び前記シリンダ部は、それぞれケーシング本体及びシリンダ部を貫通して当該シリンダ部内に連通する連通孔を備え、この連通孔に吸込管を設けるとともに、この吸込管の先端を前記シリンダ部の連通孔に係合させたことを特徴とする真空ポンプ。
In a vacuum pump with a rotary compression element in the casing,
The casing includes a casing body and a cylinder portion that is disposed in the casing body and on which the rotary compression element slides, and the casing body and the cylinder portion pass through the casing body and the cylinder portion, respectively, and A vacuum pump comprising a communication hole communicating with a cylinder part, a suction pipe provided in the communication hole, and a tip of the suction pipe engaged with the communication hole of the cylinder part .
前記ケーシングは、前記回転圧縮要素よりも熱伝導性の高い材料で形成されたケーシング本体と、このケーシング本体内に圧入されるシリンダ部とを備えることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the casing includes a casing main body formed of a material having higher thermal conductivity than the rotary compression element, and a cylinder portion press-fitted into the casing main body. . 前記シリンダ部は、前記回転圧縮要素と略同等の熱膨張係数を有する材質で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。   The vacuum pump according to claim 1 or 2, wherein the cylinder part is formed of a material having a thermal expansion coefficient substantially equal to that of the rotary compression element. 前記ケーシング本体には、前記回転圧縮要素の回転中心から偏心した位置に前記シリンダ部が配置され、このシリンダ部の前記回転中心側の周縁部に当該シリンダ部に連通する膨張室が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の真空ポンプ。   In the casing body, the cylinder portion is arranged at a position eccentric from the rotation center of the rotary compression element, and an expansion chamber communicating with the cylinder portion is formed at a peripheral portion of the cylinder portion on the rotation center side. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9841023B2 (en) 2012-05-21 2017-12-12 Nabtesco Automotive Corporation Vacuum pump
JP6072454B2 (en) 2012-07-26 2017-02-01 株式会社ミクニ Electric pump
JP6297119B2 (en) * 2016-11-07 2018-03-20 ナブテスコオートモーティブ株式会社 Vacuum pump
JP7152295B2 (en) * 2018-12-19 2022-10-12 株式会社ミクニ vacuum pump
JP7243528B2 (en) 2019-08-29 2023-03-22 株式会社デンソー vane pump

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5927185U (en) * 1982-08-10 1984-02-20 三菱電機株式会社 pump equipment
JPS6260994A (en) * 1985-09-11 1987-03-17 Hitachi Ltd Rotary vane type vacuum pump
JPS62276295A (en) * 1986-05-26 1987-12-01 Hitachi Ltd Rotary vane type pump
JP2837814B2 (en) * 1994-11-14 1998-12-16 オリオン機械株式会社 Vacuum pump silencer
JP2005307902A (en) * 2004-04-23 2005-11-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd Rotary vane vacuum-pump

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