JP6570830B2 - Vacuum pump - Google Patents

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Description

本発明は、回転体の回転により空気を排出する真空ポンプに関する。   The present invention relates to a vacuum pump that discharges air by rotation of a rotating body.

回転体を有する真空ポンプは、回転体を収容するポンプ部と、外部からポンプ部に空気を取り込む入口と、空気を外部へ排出する出口とを備える。例えば、特許文献1に記載された真空ポンプは、ベーンポンプであって、ポンプ部に吸入した空気を、回転体であるロータに設けられた隣り合うベーンの間で圧縮して、ポンプ部の外へ排出する。   A vacuum pump having a rotating body includes a pump unit that houses the rotating body, an inlet that takes air into the pump unit from the outside, and an outlet that discharges air to the outside. For example, the vacuum pump described in Patent Document 1 is a vane pump, and compresses the air sucked into the pump unit between adjacent vanes provided in a rotor that is a rotating body, and then out of the pump unit. Discharge.

特開2003−222090号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-222090

この種の真空ポンプでは、ポンプ部によって圧縮された空気が出口から排出される際に、騒音が発生することが問題となっていた。このため、空気の排出に伴う騒音を低減できる真空ポンプが要請されていた。尚、こうした課題は、ベーンポンプに限らず、回転体を備える真空ポンプにおいては概ね共通したものである。   This type of vacuum pump has a problem that noise is generated when the air compressed by the pump unit is discharged from the outlet. For this reason, there has been a demand for a vacuum pump that can reduce noise accompanying air discharge. Such a problem is not limited to the vane pump but is generally common to vacuum pumps including a rotating body.

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、排気に伴う騒音を低減することのできる真空ポンプを提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a situation, The objective is to provide the vacuum pump which can reduce the noise accompanying exhaust_gas | exhaustion.

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する真空ポンプは、回転体を収容したポンプ部と、前記ポンプ部を収容するポンプ室、前記ポンプ室に空気を取り込むポンプ室入口、前記ポンプ室から空気を排出するポンプ室出口、及び前記ポンプ室出口から排出される空気が流入する排気溝を備えるボディと、前記ボディに組み付けられることにより前記排気溝を覆って排気通路を形成するカバーと、を備え、前記排気通路は、前記ポンプ室の外周に設けられた環状の通路であって、前記ボディの出口に連通する排気出口を備え、前記カバー及び前記ボディの少なくとも一方には、前記排気通路を区画する隔壁が備えられ、当該隔壁によって前記排気通路に沿った前記ポンプ室出口から前記排気出口までの最短長さよりも長い通路を形成することを要旨とする。
Hereinafter, means for solving the above-described problems and the effects thereof will be described.
A vacuum pump that solves the above problems includes a pump unit that houses a rotating body, a pump chamber that houses the pump unit, a pump chamber inlet that takes air into the pump chamber, a pump chamber outlet that discharges air from the pump chamber, And a body having an exhaust groove into which air discharged from the pump chamber outlet flows, and a cover that is assembled to the body to cover the exhaust groove to form an exhaust passage, An annular passage provided on the outer periphery of the pump chamber, comprising an exhaust outlet communicating with the outlet of the body, wherein at least one of the cover and the body is provided with a partition wall defining the exhaust passage, The gist is to form a passage longer than the shortest length from the pump chamber outlet to the exhaust outlet along the exhaust passage by the partition wall.

上記構成では、環状の排気通路に隔壁が設けられることによって、ポンプ室出口から排気出口までの排気通路に沿った最短長さよりも長い通路が形成されるため、その最短長さの経路に比べ、排気通路の経路長を長くすることができる。このため、排気通路内での空気の振動エネルギーを減衰する効果を高めることができるので、空気の排出に伴う騒音の低減を図ることができる。また、空気を、ポンプ室の外周方向に沿って回るように通過させて整流することで、ポンプ室出口から空気が排出される際に発生する空気の脈動や、排気通路内における空気同士の衝突等を抑制し、騒音の発生を抑制することができる。   In the above configuration, by providing the partition wall in the annular exhaust passage, a passage longer than the shortest length along the exhaust passage from the pump chamber outlet to the exhaust outlet is formed, so compared to the shortest length route, The length of the exhaust passage can be increased. For this reason, since the effect which attenuates the vibration energy of the air in an exhaust passage can be heightened, reduction of the noise accompanying discharge | emission of air can be aimed at. In addition, by rectifying the air by passing it along the outer circumferential direction of the pump chamber, air pulsation generated when the air is discharged from the pump chamber outlet, or collision of air in the exhaust passage Etc., and the generation of noise can be suppressed.

上記真空ポンプについて、前記排気溝には、前記排気通路の高さよりも低い区画壁が設けられていることが好ましい。
上記構成では、区画壁は、排気通路の高さよりも低いため、排気通路の途中に設けられることで、排気通路内の流路断面積を縮小する。この区画壁は、排気通路内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能する。排気通路を通過する空気は、区画壁以外の部分で膨張され、区画壁を通過する際に収縮する。このように排気通路内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。
In the vacuum pump, it is preferable that a partition wall lower than the height of the exhaust passage is provided in the exhaust groove.
In the above configuration, since the partition wall is lower than the height of the exhaust passage, the partition wall is provided in the middle of the exhaust passage, thereby reducing the flow path cross-sectional area in the exhaust passage. The partition wall functions as a throttle that generates a pressure difference between the upstream side and the downstream side in the exhaust passage. The air passing through the exhaust passage is expanded at a portion other than the partition wall and contracts when passing through the partition wall. As the air expands and contracts in the exhaust passage in this way, air pulsation generated when the air is discharged from the outlet of the pump chamber is attenuated, so that the noise reduction effect can be enhanced.

上記真空ポンプについて、前記カバーは、前記ボディに組み付けられたときに前記ボディ側となる面に、前記排気通路に突出する突起部を備えることが好ましい。
上記構成では、突起部は、排気通路内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能するので、排気通路を通過する空気は、突起部以外の部分で膨張され、突起部を通過する際に収縮する。このように排気通路内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。
With respect to the vacuum pump, it is preferable that the cover includes a protrusion projecting into the exhaust passage on a surface that becomes the body side when assembled to the body.
In the above configuration, the protrusion functions as a throttle that generates a pressure difference between the upstream side and the downstream side in the exhaust passage. Therefore, the air passing through the exhaust passage is expanded at a portion other than the protrusion, and the protrusion is Shrink when passing. As the air expands and contracts in the exhaust passage in this way, air pulsation generated when the air is discharged from the outlet of the pump chamber is attenuated, so that the noise reduction effect can be enhanced.

上記真空ポンプについて、前記カバーは、円筒部と、当該円筒部の一方の開口を閉塞する天井部と、を備え、当該天井部と前記ポンプ部とは離間していることが好ましい。
上記構成では、カバーの天井部とポンプ部とが離間することで、カバーの天井部とポンプ部との間に空間が設けられる。この空間によって、ポンプ部の振動がカバーの天井部に伝わる際に、振動エネルギーが減衰されるので、天井部の振動による騒音を低減することができる。また、カバーの天井部とポンプ部との間の空間により、カバーによって排気溝が覆われて形成される排気通路の容積を大きくすることができる。このため、空気の膨張効果を高めることができる。
In the vacuum pump, it is preferable that the cover includes a cylindrical portion and a ceiling portion that closes one opening of the cylindrical portion, and the ceiling portion and the pump portion are separated from each other.
In the above configuration, a space is provided between the ceiling portion of the cover and the pump portion by separating the ceiling portion of the cover and the pump portion. This space attenuates the vibration energy when the vibration of the pump part is transmitted to the ceiling part of the cover, so that the noise due to the vibration of the ceiling part can be reduced. Moreover, the space between the ceiling part of the cover and the pump part can increase the volume of the exhaust passage formed by covering the exhaust groove with the cover. For this reason, the expansion effect of air can be heightened.

上記真空ポンプについて、前記カバーの天井部にリブを備えることが好ましい。
上記構成では、天井部にリブが設けられることによって、天井部自体の強度を高めることができ、ひいては天井部自体の振動による騒音を抑制することができる。
About the said vacuum pump, it is preferable to provide a rib in the ceiling part of the said cover.
In the above configuration, the ribs are provided on the ceiling portion, whereby the strength of the ceiling portion itself can be increased, and as a result, noise due to vibration of the ceiling portion itself can be suppressed.

上記真空ポンプについて、前記カバーは樹脂からなることが好ましい。
上記構成では、カバーは、金属等に比べ吸音効果のある樹脂から形成されるため、騒音の低減効果を高めることができる。
In the vacuum pump, the cover is preferably made of resin.
In the above configuration, the cover is formed of a resin having a sound absorbing effect as compared with a metal or the like, so that the noise reduction effect can be enhanced.

本発明によれば、排気に伴う騒音を低減することができる。   According to the present invention, noise accompanying exhaust can be reduced.

真空ポンプの一実施形態についてその全体を示す斜視図。The perspective view which shows the whole about one Embodiment of a vacuum pump. 同実施形態の真空ポンプについて外カバーを取り外した状態の斜視図。The perspective view of the state which removed the outer cover about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプについて外カバーを除く部品の分解斜視図。The disassembled perspective view of components except an outer cover about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプについて外カバーを取り外した状態の平面図。The top view of the state which removed the outer cover about the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプの外カバーを開口端側からみた斜視図。The perspective view which looked at the outer cover of the vacuum pump of the embodiment from the opening end side. 同実施形態の真空ポンプの外カバーを一部切り欠いた状態の斜視図。The perspective view of the state which partially cut off the outer cover of the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプの外カバーとボディとの位置関係を説明する断面図。Sectional drawing explaining the positional relationship of the outer cover and body of the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプ内の空気の流れを説明する断面図。Sectional drawing explaining the flow of the air in the vacuum pump of the embodiment. 同実施形態の真空ポンプの図8における9−9断面図。9-9 sectional drawing in FIG. 8 of the vacuum pump of the embodiment.

以下、図1〜図9を参照して、真空ポンプの一実施形態を説明する。
まず図1及び図2を参照して、真空ポンプの全体構成について詳述する。
図1に示すように、真空ポンプは、モータ11と、モータ11の開口部を閉蓋するボディ12と、ボディ12に組み付けられる外カバー13とを備える。この真空ポンプは、内部に取り込んだ空気を潤滑油と接触させないドライポンプである。
Hereinafter, an embodiment of the vacuum pump will be described with reference to FIGS.
First, the overall structure of the vacuum pump will be described in detail with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the vacuum pump includes a motor 11, a body 12 that closes the opening of the motor 11, and an outer cover 13 that is assembled to the body 12. This vacuum pump is a dry pump in which the air taken in does not come into contact with the lubricating oil.

ボディ12は、アルミニウム等の金属から形成された部品であり、モータ11の出力軸側に設けられる。即ち、ボディ12は、モータ11のケースを閉蓋する蓋としても機能する。ボディ12には、ボディ12内に空気を取り込むボディ入口20と、ボディ12から空気を排出するボディ出口21とが設けられている。ボディ入口20には、減圧対象となるタンク等に接続される接続管14が挿入されている。   The body 12 is a part formed from a metal such as aluminum, and is provided on the output shaft side of the motor 11. That is, the body 12 also functions as a lid that closes the case of the motor 11. The body 12 is provided with a body inlet 20 that takes air into the body 12 and a body outlet 21 that discharges air from the body 12. A connecting pipe 14 connected to a tank or the like to be decompressed is inserted into the body inlet 20.

外カバー13は、樹脂製であって、円筒状の円筒部81と、円筒部81の一方の端部を閉塞する天井部80とを備えている。円筒部81の外周の4箇所には、ボルト16a〜16dを貫通させるためのボルト貫通部50が設けられている。ボルト16a〜16dは、例えば六角穴付ボルトである。外カバー13は、その開口端を、ボディ12の一面であるカバー側の側面24に当接させた状態でボディ12に対して組み付けられる。ボルト16a〜16dがボルト貫通部50に貫通されるとともに、ボディ12に形成された螺子孔12a〜12d(図2参照)に螺着されることにより、外カバー13がボディ12に固定される。   The outer cover 13 is made of resin and includes a cylindrical cylindrical portion 81 and a ceiling portion 80 that closes one end of the cylindrical portion 81. Bolt penetrating portions 50 for penetrating the bolts 16 a to 16 d are provided at four locations on the outer periphery of the cylindrical portion 81. The bolts 16a to 16d are hexagon socket head cap bolts, for example. The outer cover 13 is assembled to the body 12 with its open end in contact with the side surface 24 on the cover side, which is one surface of the body 12. The bolts 16 a to 16 d are passed through the bolt penetration part 50 and are screwed into screw holes 12 a to 12 d (see FIG. 2) formed in the body 12, so that the outer cover 13 is fixed to the body 12.

図2に示すように、ボディ12は、円筒状の外壁部12fと底部12eを備える。外壁部12fには、真空ポンプを外部装置等に取り付けるための取付部12gが備えられている。ボディ12の外壁部12fのさらに内側には、ポンプとして機能するポンプ部60を収容する円筒状の収容壁25が設けられている。収容壁25の内側は、ポンプ室27に相当する。収容壁25の先端面は、カバー側の側面24の先端面と同一面上に形成されている。ポンプ部60の高さは、ポンプ室27の高さよりも高くなっている。このため、ポンプ部60の一部は、収容壁25の先端よりも突出する状態でポンプ室27に収容されている。   As shown in FIG. 2, the body 12 includes a cylindrical outer wall portion 12f and a bottom portion 12e. The outer wall portion 12f is provided with an attachment portion 12g for attaching the vacuum pump to an external device or the like. A cylindrical housing wall 25 that houses a pump portion 60 that functions as a pump is provided further inside the outer wall portion 12 f of the body 12. The inside of the storage wall 25 corresponds to the pump chamber 27. The distal end surface of the housing wall 25 is formed on the same plane as the distal end surface of the side surface 24 on the cover side. The height of the pump unit 60 is higher than the height of the pump chamber 27. For this reason, a part of the pump unit 60 is accommodated in the pump chamber 27 so as to protrude from the tip of the accommodation wall 25.

図3を参照して、真空ポンプを構成する各部品について詳述する。図3では、外カバー13を除く部品について、モータ11の出力軸15の延出方向に並べた状態を示している。   With reference to FIG. 3, each part which comprises a vacuum pump is explained in full detail. FIG. 3 shows a state in which components other than the outer cover 13 are arranged in the extending direction of the output shaft 15 of the motor 11.

ボディ12の底部12eの中央には、モータ11の出力軸15が貫通する貫通孔28が形成されている。この貫通孔28は、ポンプ室27の底部26における中心からずれた位置に形成されている。   A through hole 28 through which the output shaft 15 of the motor 11 passes is formed in the center of the bottom 12 e of the body 12. The through hole 28 is formed at a position shifted from the center of the bottom portion 26 of the pump chamber 27.

収容壁25には、ポンプ室27に空気を取り込むためのポンプ室入口30と、ポンプ室27から空気を排出するためのポンプ室出口31とが貫通形成されている。ポンプ室入口30は、ボディ入口20に連通されている。   A pump chamber inlet 30 for taking air into the pump chamber 27 and a pump chamber outlet 31 for discharging air from the pump chamber 27 are formed through the housing wall 25. The pump chamber inlet 30 communicates with the body inlet 20.

ポンプ室出口31は、収容壁25の外側に設けられた排気溝40に連通している。排気溝40は、収容壁25の外周面に沿って円環状に形成されている。排気溝40には、排気溝40を区画する第1区画壁41、第2区画壁42、第3区画壁43が設けられている。排気溝40は、これら第1区画壁41〜第3区画壁43により、ポンプ室入口30側から順に、第1排気溝45、第2排気溝46、第3排気溝47に区画されている。第1区画壁41〜第3区画壁43の高さは、収容壁25の高さよりも低くなっている。   The pump chamber outlet 31 communicates with an exhaust groove 40 provided outside the accommodation wall 25. The exhaust groove 40 is formed in an annular shape along the outer peripheral surface of the housing wall 25. The exhaust groove 40 is provided with a first partition wall 41, a second partition wall 42, and a third partition wall 43 that partition the exhaust groove 40. The exhaust groove 40 is partitioned into a first exhaust groove 45, a second exhaust groove 46, and a third exhaust groove 47 in order from the pump chamber inlet 30 side by the first partition wall 41 to the third partition wall 43. The height of the first partition wall 41 to the third partition wall 43 is lower than the height of the accommodation wall 25.

収容壁25の開口端側には、ボルト34a,34b,34cを取り付けるためのボルト取付部33が3個形成されている。ボルト取付部33は、収容壁25の周方向において第1区画壁41〜第3区画壁43と同じ位置に形成されている。収容壁25の外周面には、段差部48が設けられている。ボルト取付部33は、この段差部48に連続する状態で設けられている。   Three bolt mounting portions 33 for mounting the bolts 34a, 34b, 34c are formed on the opening end side of the housing wall 25. The bolt mounting portion 33 is formed at the same position as the first partition wall 41 to the third partition wall 43 in the circumferential direction of the housing wall 25. A stepped portion 48 is provided on the outer peripheral surface of the housing wall 25. The bolt mounting portion 33 is provided in a state continuous with the stepped portion 48.

ボディ12のうち、第3排気溝47内であって第1区画壁41の近傍には、ボディ出口21と連通する排気出口49(図2参照)が設けられている。
ポンプ室27に収容されるポンプ部60は、シリンダ61と、回転体であるロータ72とを備える。シリンダ61は、鉄等の金属製であり、円筒状に形成されている。シリンダ61には、ポンプ室27のポンプ室入口30に対応する位置に形成された入口側連通孔62と、ポンプ室出口31とに対応する位置に形成された出口側連通孔64とが形成されている。
In the body 12, an exhaust outlet 49 (see FIG. 2) communicating with the body outlet 21 is provided in the third exhaust groove 47 and in the vicinity of the first partition wall 41.
The pump unit 60 accommodated in the pump chamber 27 includes a cylinder 61 and a rotor 72 that is a rotating body. The cylinder 61 is made of metal such as iron and is formed in a cylindrical shape. The cylinder 61 is formed with an inlet side communication hole 62 formed at a position corresponding to the pump chamber inlet 30 of the pump chamber 27 and an outlet side communication hole 64 formed at a position corresponding to the pump chamber outlet 31. ing.

シリンダ61の内側には、ベーン73を移動可能に収容したロータ72が回動可能に収容される。ロータ72は、鉄等の金属製であり、軸孔74と、5つのベーン収容溝75とが形成されている。軸孔74には、モータ11の出力軸15の先端に圧入されて、出力軸15の先端を軸孔74の内周面に押し付ける圧入ピン76が貫挿されている。圧入ピン76は、ロータ72の軸孔74に出力軸15を挿入した状態で、出力軸15の先端に圧入される。ベーン収容溝75には、カーボン製の板状のベーン73がそれぞれ収容される。   Inside the cylinder 61, a rotor 72 in which a vane 73 is movably accommodated is accommodated rotatably. The rotor 72 is made of metal such as iron, and has a shaft hole 74 and five vane receiving grooves 75 formed therein. A press-fit pin 76 that is press-fitted into the tip of the output shaft 15 of the motor 11 and presses the tip of the output shaft 15 against the inner peripheral surface of the shaft hole 74 is inserted into the shaft hole 74. The press-fit pin 76 is press-fitted into the distal end of the output shaft 15 in a state where the output shaft 15 is inserted into the shaft hole 74 of the rotor 72. Carbon vanes 73 are accommodated in the vane accommodating grooves 75, respectively.

シリンダ61の一対の開口のうち、ボディ12側の開口は、ボディ側プレート70によって閉塞される。また、シリンダ61の他方の開口は、カバー側プレート71によって閉塞される。ボディ側プレート70及びカバー側プレート71は、ベーン73に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。ボディ側プレート70は、モータ11の出力軸15を貫挿する孔70aを備えている。   Of the pair of openings of the cylinder 61, the opening on the body 12 side is closed by the body side plate 70. The other opening of the cylinder 61 is closed by the cover side plate 71. The body side plate 70 and the cover side plate 71 are made of a material such as carbon having a small friction coefficient with respect to the vane 73, and are formed in a disk shape. The body side plate 70 includes a hole 70 a through which the output shaft 15 of the motor 11 is inserted.

また、ポンプ部60は、円板状に形成されたポンプカバー77を備える。ポンプカバー77は、金属製であって、ボルト34a〜34cを貫挿するためのボルト貫挿孔77aが形成されている。ボディ12には、シリンダ61が圧入され、この圧入されたシリンダ61に、ボディ側プレート70、ロータ72、カバー側プレート71、及びポンプカバー77が組み合わされる。この状態で、ボルト34a〜34cをポンプカバー77のボルト貫挿孔77aに貫挿させるとともに、ボディ12側のボルト取付部33に螺着することにより、これらの部材がボディ12に組み付けられる。   The pump unit 60 includes a pump cover 77 formed in a disc shape. The pump cover 77 is made of metal, and is formed with bolt insertion holes 77a for inserting the bolts 34a to 34c. A cylinder 61 is press-fitted into the body 12, and a body-side plate 70, a rotor 72, a cover-side plate 71, and a pump cover 77 are combined with the press-fitted cylinder 61. In this state, the bolts 34 a to 34 c are inserted into the bolt insertion holes 77 a of the pump cover 77, and these members are assembled to the body 12 by being screwed to the bolt mounting portion 33 on the body 12 side.

次に図4を参照して、ポンプ部60の動作について説明する。ポンプ室27には、ポンプ室27内に偏心させて取り付けられたロータ72によって、略三日月状の空間78が形成される。   Next, the operation of the pump unit 60 will be described with reference to FIG. In the pump chamber 27, a substantially crescent-shaped space 78 is formed by a rotor 72 attached eccentrically in the pump chamber 27.

モータ11の駆動によりロータ72が回転すると、ベーン73が遠心力によりベーン収容溝75に沿ってロータ72の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ61の内周面61aに当接させる。これにより、ポンプ室27内の略三日月状の空間78が、5枚のベーン73と、ロータ72の外周面と、シリンダ61の内周面61aとによって囲まれる5つの圧縮室に区画される。   When the rotor 72 is rotated by driving the motor 11, the vane 73 projects outward in the radial direction of the rotor 72 along the vane receiving groove 75 due to centrifugal force, and the tip thereof is brought into contact with the inner peripheral surface 61 a of the cylinder 61. Thus, a substantially crescent-shaped space 78 in the pump chamber 27 is partitioned into five compression chambers surrounded by the five vanes 73, the outer peripheral surface of the rotor 72, and the inner peripheral surface 61 a of the cylinder 61.

これらの圧縮室は、ロータ72の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口30近傍で大きくなり、ポンプ室出口31で小さくなる。つまり、ポンプ室入口30から1つの圧縮室に吸入された空気は、ロータ72の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口31から吐出される。ポンプ部60では、ロータ72及びベーン73がシリンダ61内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口31から圧縮空気が間欠的に吐出される。   These compression chambers move in the same direction as the rotor 72 rotates. When the compression chamber moves, the volume of the compression chamber increases near the pump chamber inlet 30 and decreases at the pump chamber outlet 31. That is, the air sucked into one compression chamber from the pump chamber inlet 30 is compressed as the rotor 72 rotates, and is discharged from the pump chamber outlet 31. In the pump unit 60, the rotor 72 and the vane 73 rotate in the cylinder 61 to compress the air, so that the compressed air is intermittently discharged from the pump chamber outlet 31.

次に図5及び図6を参照して、外カバー13について説明する。
図5に示すように、外カバー13は、外カバー13の底部を構成する天井部80と、天井部80の縁に沿って設けられた円筒状の円筒部81とを備える。
Next, the outer cover 13 will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
As shown in FIG. 5, the outer cover 13 includes a ceiling portion 80 that forms the bottom of the outer cover 13, and a cylindrical cylindrical portion 81 that is provided along the edge of the ceiling portion 80.

外カバー13の天井部80のうち、ボディ12に組み付けられたときにボディ12側に配置される面には、放射状リブ88が形成されている。放射状リブ88は、天井部80の中央に設けられた環状リブ89と、環状リブ89から円筒部81に向かって直線状に延びる6つの直線リブ92とからなる。この放射状リブ88は、天井部80を補強することによって、天井部80の振動を抑制している。これにより、天井部80の振動に伴う騒音が抑制される。   Radial ribs 88 are formed on the surface of the ceiling portion 80 of the outer cover 13 that is disposed on the body 12 side when assembled to the body 12. The radial rib 88 includes an annular rib 89 provided at the center of the ceiling portion 80 and six linear ribs 92 extending linearly from the annular rib 89 toward the cylindrical portion 81. The radial ribs 88 suppress the vibration of the ceiling portion 80 by reinforcing the ceiling portion 80. Thereby, the noise accompanying the vibration of the ceiling part 80 is suppressed.

外カバー13の円筒部81には、第1突起部86と第2突起部87とが形成されている。第1突起部86及び第2突起部87は、円筒部81から外カバー13の径方向内側に向かって突出し、天井部80と連続している。   A first protrusion 86 and a second protrusion 87 are formed on the cylindrical portion 81 of the outer cover 13. The first protrusion 86 and the second protrusion 87 protrude from the cylindrical portion 81 toward the radially inner side of the outer cover 13, and are continuous with the ceiling portion 80.

外カバー13の内側には、弧状の空間である弧状空間82を区画する湾曲壁部83が形成されている。湾曲壁部83は、天井部80から突出し、その両端が円筒部81に接続した状態で形成されている。湾曲壁部83は、その内側の弧状空間82の短手方向の幅Wが、当該弧状空間82の長手方向の一方の端部85から他方の端部84にかけて大きくなるように形成されている。   A curved wall portion 83 that defines an arc-shaped space 82 that is an arc-shaped space is formed inside the outer cover 13. The curved wall portion 83 protrudes from the ceiling portion 80 and is formed in a state where both ends thereof are connected to the cylindrical portion 81. The curved wall 83 is formed such that the width W in the short direction of the arcuate space 82 on the inner side increases from one end 85 to the other end 84 in the longitudinal direction of the arcuate space 82.

湾曲壁部83によって区画される弧状空間82は、外カバー13がボディ12に組み付けられたときに、第1排気溝45と向かい合う。弧状空間82と第1排気溝45は、ポンプ室27から排出された空気を膨張させる小膨張室91を構成する。   The arcuate space 82 defined by the curved wall portion 83 faces the first exhaust groove 45 when the outer cover 13 is assembled to the body 12. The arc-shaped space 82 and the first exhaust groove 45 constitute a small expansion chamber 91 that expands the air discharged from the pump chamber 27.

図6に示すように、湾曲壁部83の両方の端部84,85のうち、弧状空間82の幅Wが相対的に大きい端部84は、外カバー13がボディ12に組み付けられたときに、第1区画壁41に当接する。この端部84と第1区画壁41とによって、ポンプ室出口31と排気出口49とを隔てる隔壁90が形成される。   As shown in FIG. 6, of both ends 84 and 85 of the curved wall 83, the end 84 having a relatively large width W of the arc space 82 is when the outer cover 13 is assembled to the body 12. , Abuts on the first partition wall 41. A partition wall 90 that separates the pump chamber outlet 31 and the exhaust outlet 49 is formed by the end portion 84 and the first partition wall 41.

次に図7を参照して、外カバー13の湾曲壁部83、第1突起部86及び第2突起部87、ボディ12の第1排気溝45〜第3排気溝47について、周方向における相対位置を説明する。   Next, referring to FIG. 7, the curved wall 83, the first protrusion 86 and the second protrusion 87 of the outer cover 13, and the first exhaust groove 45 to the third exhaust groove 47 of the body 12 are relative to each other in the circumferential direction. Explain the position.

モータ11の出力軸15は、ポンプ室27の中心に対して偏心しているが、外カバー13の径方向中心と一致している。第3排気溝47の終端に形成された排気出口49と第1排気溝45の始端に形成されたポンプ室出口31とは、ボディ12の第1区画壁41及び外カバー13の湾曲壁部83の端部84で構成される隔壁90によって隔てられている。   The output shaft 15 of the motor 11 is eccentric with respect to the center of the pump chamber 27, but coincides with the radial center of the outer cover 13. The exhaust outlet 49 formed at the end of the third exhaust groove 47 and the pump chamber outlet 31 formed at the start of the first exhaust groove 45 are the first partition wall 41 of the body 12 and the curved wall portion 83 of the outer cover 13. Are separated by a partition wall 90 constituted by the end portions 84 of each other.

出力軸15を中心として、隔壁90の第1排気溝45側の面が位置する角度を「0°」としたとき、ポンプ室出口31は、隔壁90の位置から時計回り(方向)に角度θ1の位置に設けられる。第1排気溝45の始端は角度「0°」に位置し、第1排気溝45の終端は角度θ2に位置する。第2排気溝46は、角度θ3から角度θ4に亘って設けられる。第3排気溝47は、角度θ5から角度θ6に亘って設けられる。排気出口49は、角度θ6よりも小さい角度θ7の位置に設けられている。第1排気溝45〜第3排気溝47は、外カバー13で覆われることにより、第1膨張室96〜第3膨張室98となる。第1膨張室96〜第3膨張室98は、排気通路110を構成する。   When the angle at which the surface of the partition wall 90 on the side of the first exhaust groove 45 is centered on the output shaft 15 is “0 °”, the pump chamber outlet 31 is angled θ1 clockwise (direction) from the position of the partition wall 90. It is provided in the position. The starting end of the first exhaust groove 45 is located at an angle “0 °”, and the end of the first exhaust groove 45 is located at an angle θ2. The second exhaust groove 46 is provided from the angle θ3 to the angle θ4. The third exhaust groove 47 is provided from the angle θ5 to the angle θ6. The exhaust outlet 49 is provided at an angle θ7 smaller than the angle θ6. The first exhaust groove 45 to the third exhaust groove 47 become the first expansion chamber 96 to the third expansion chamber 98 by being covered with the outer cover 13. The first expansion chamber 96 to the third expansion chamber 98 constitute an exhaust passage 110.

即ち、第1膨張室96〜第3膨張室98からなる排気通路110は、第1区画壁41〜第3区画壁43の厚さ分も含めると、360°に亘って設けられる。また、ポンプ室出口31の位置である角度θ1から排気出口49の位置である角度θ7までの角度は、角度「θ7−θ1」である。角度「θ7−θ1」は、180°よりも大きいことが好ましい。排気通路110を長くする上では、角度「θ7−θ1」は可能な限り大きいことが望ましく、270°以上であることが好ましい。   That is, the exhaust passage 110 including the first expansion chamber 96 to the third expansion chamber 98 is provided over 360 ° when the thickness of the first partition wall 41 to the third partition wall 43 is included. The angle from the angle θ1 that is the position of the pump chamber outlet 31 to the angle θ7 that is the position of the exhaust outlet 49 is an angle “θ7−θ1”. The angle “θ7−θ1” is preferably larger than 180 °. In order to lengthen the exhaust passage 110, the angle “θ7−θ1” is desirably as large as possible, and is preferably 270 ° or more.

湾曲壁部83は、その一方の端部84を含む部分においてボディ12側と接触している。湾曲壁部83のうち、収容壁25側の壁部は、収容壁25の径方向外側に設けられ、収容壁25に当接しない。このように湾曲壁部83のうち、ボディ12側と接触する部分を最小限にすることで、ボディ12と外カバー13との接触による振動を抑制することができる。   The curved wall portion 83 is in contact with the body 12 side at a portion including the one end portion 84 thereof. Of the curved wall portion 83, the wall portion on the housing wall 25 side is provided on the radially outer side of the housing wall 25 and does not contact the housing wall 25. In this way, by minimizing the portion of the curved wall 83 that contacts the body 12 side, vibration due to contact between the body 12 and the outer cover 13 can be suppressed.

湾曲壁部83は、第1排気溝45に沿って、角度「0°」から角度θ10に亘って延びている。湾曲壁部83と第1排気溝45とによって、小膨張室91が区画される。また湾曲壁部83の終端位置である角度θ10は、第1排気溝45の終端位置である角度θ2よりも小さくなっている。これにより、第1排気溝45には、湾曲壁部83によって覆われない開口部95が設けられる。   The curved wall portion 83 extends from the angle “0 °” to the angle θ10 along the first exhaust groove 45. A small expansion chamber 91 is defined by the curved wall portion 83 and the first exhaust groove 45. Further, the angle θ10 that is the terminal position of the curved wall portion 83 is smaller than the angle θ2 that is the terminal position of the first exhaust groove 45. As a result, the first exhaust groove 45 is provided with an opening 95 that is not covered by the curved wall 83.

第1排気溝45、外カバー13、及びポンプ部60によって、第1膨張室96が区画される。第1膨張室96は、弧状空間82と第1排気溝45とで形成される小膨張室91を含む。また、第2排気溝46、外カバー13、及びポンプ部60によって、第2膨張室97が区画される。第1突起部86は、第1膨張室96と、第2膨張室97との間に設けられる。   A first expansion chamber 96 is defined by the first exhaust groove 45, the outer cover 13, and the pump unit 60. The first expansion chamber 96 includes a small expansion chamber 91 formed by the arcuate space 82 and the first exhaust groove 45. Further, the second expansion chamber 97 is defined by the second exhaust groove 46, the outer cover 13, and the pump unit 60. The first protrusion 86 is provided between the first expansion chamber 96 and the second expansion chamber 97.

第1突起部86の径方向の先端とポンプ部60との間には間隙が設けられている。第1突起部86の位置である角度θ11は、第2排気溝46の始端の位置である角度θ3よりも大きい。即ち、第1突起部86は、第2排気溝46の始端に対して、ずれた位置に設けられ、それらの間には、第1流入口99が形成されている。   A gap is provided between the radial tip of the first protrusion 86 and the pump unit 60. The angle θ11 that is the position of the first protrusion 86 is larger than the angle θ3 that is the position of the start end of the second exhaust groove 46. That is, the first protrusion 86 is provided at a position shifted from the starting end of the second exhaust groove 46, and a first inflow port 99 is formed between them.

第3排気溝47、外カバー13、及びポンプ部60によって、第3膨張室98が区画される。第2突起部87は、第2膨張室97と第3膨張室98との間に設けられる。第2突起部87の径方向の先端とポンプ部60との間には間隙が設けられている。第2突起部87が設けられた位置である角度θ12は、第2排気溝46の終端である角度θ4よりも大きく、第3排気溝47の始端である角度θ5よりも小さい。これにより、第2突起部87、ボディ12、及びポンプ部60の間には、第2流入口100が形成される。   A third expansion chamber 98 is defined by the third exhaust groove 47, the outer cover 13, and the pump unit 60. The second protrusion 87 is provided between the second expansion chamber 97 and the third expansion chamber 98. A gap is provided between the distal end of the second protrusion 87 in the radial direction and the pump unit 60. The angle θ12, which is the position where the second protrusion 87 is provided, is larger than the angle θ4, which is the end of the second exhaust groove 46, and smaller than the angle θ5, which is the start end of the third exhaust groove 47. Accordingly, the second inflow port 100 is formed between the second protrusion 87, the body 12, and the pump unit 60.

次に図8及び図9を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
図8に示すように、モータ11の駆動によりロータ72が回転すると、接続管14を介して、ポンプ室入口30からポンプ室27内へ空気が取り込まれる。ベーン73等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、圧縮されて、矢印D1に示すように、ポンプ室出口31から小膨張室91へ排出される。
Next, the operation of the vacuum pump will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 8, when the rotor 72 is rotated by driving the motor 11, air is taken into the pump chamber 27 from the pump chamber inlet 30 through the connection pipe 14. The air sucked into the compression chamber partitioned by the vane 73 or the like is compressed and discharged from the pump chamber outlet 31 to the small expansion chamber 91 as indicated by an arrow D1.

小膨張室91へ排出された空気は、ボディ12の第1区画壁41と外カバー13の湾曲壁部83とから構成される隔壁90によって、直接的にボディ出口21へ連通する排気出口49への流れが妨げられる。即ち、隔壁90によって、第1膨張室96と第3膨張室98とは、直接的に連通されていない状態となっている。このため、小膨張室91へ排出された空気は、小膨張室91内で膨張された後、矢印D2で示すように、開口部95と、外カバー13とポンプ部60との間を通過し、第1流入口99から第2膨張室97に流入する。この際、第2区画壁42は、その高さが排気通路110の高さH(図9参照)よりも低いため、空気を通過させる一方で上流側及び下流側に圧力差を発生させる絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。また、第1膨張室96と第2膨張室97との間に設けられた第1流入口99も絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。   The air discharged into the small expansion chamber 91 is directly connected to the body outlet 21 by the partition wall 90 constituted by the first partition wall 41 of the body 12 and the curved wall portion 83 of the outer cover 13. Flow is hindered. In other words, the first expansion chamber 96 and the third expansion chamber 98 are not in direct communication with each other by the partition wall 90. For this reason, after the air discharged into the small expansion chamber 91 is expanded in the small expansion chamber 91, it passes between the opening 95, the outer cover 13, and the pump unit 60 as indicated by an arrow D <b> 2. Then, it flows into the second expansion chamber 97 from the first inflow port 99. At this time, since the height of the second partition wall 42 is lower than the height H of the exhaust passage 110 (see FIG. 9), the second partition wall 42 serves as a throttle that allows air to pass while generating a pressure difference between the upstream side and the downstream side. Functions and contracts air flow. Further, the first inlet 99 provided between the first expansion chamber 96 and the second expansion chamber 97 also functions as a throttle, and contracts the air flow.

第2膨張室97に流入した空気は、再び膨張した後、矢印D3に示すように、第2流入口100を通過して、第3膨張室98に流入する。第3区画壁43は、その高さが排気通路110の高さH(図9参照)よりも低いため、空気を通過させる一方で流路断面積を縮小する絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。第2流入口100もまた、流路断面積を縮小する絞りとして機能し、空気の流れを収縮させる。第3膨張室98に流入した空気は、再び膨張した後、矢印D4に示すように、排気出口49から、連通路17に流入する。連通路17は、第3膨張室98よりも流路断面積が小さいため、連通路17に流入した空気の流れは収縮されて、矢印D5に示すように、ボディ出口21から排出される。   The air that has flowed into the second expansion chamber 97 expands again and then passes through the second inlet 100 and flows into the third expansion chamber 98 as indicated by an arrow D3. Since the height of the third partition wall 43 is lower than the height H of the exhaust passage 110 (see FIG. 9), the third partition wall 43 functions as a throttle for reducing the cross-sectional area of the flow path while allowing air to pass therethrough. Shrink. The second inlet 100 also functions as a throttle that reduces the cross-sectional area of the flow path, and contracts the air flow. The air flowing into the third expansion chamber 98 expands again and then flows into the communication passage 17 from the exhaust outlet 49 as indicated by an arrow D4. Since the communication passage 17 has a smaller flow path cross-sectional area than the third expansion chamber 98, the flow of air flowing into the communication passage 17 is contracted and discharged from the body outlet 21 as indicated by an arrow D5.

図9に示すように、ポンプ部60と外カバー13との間には、ウェーブワッシャー等の付勢部102が設けられ、ポンプ部60をボディ12側に押し付ける。また、外カバー13の天井部80とポンプ部60とは離間しているので、外カバー13の天井部80とポンプ部60との間には間隙101が設けられている。このため、ロータ72の振動は、間隙101を介して外カバー13側に伝達されるため、空気の振動エネルギーが減衰し、外カバー13の振動が抑制される。なお、小膨張室91から排出された空気の一部は、その間隙101を通って、ポンプ部60を横切り、排気出口49側へ向かう。但し、間隙101の高さは、第1膨張室96〜第3膨張室98の容積に比べ小さいため、小膨張室91から排出された空気の殆どは、第2膨張室97側へ向かう。   As shown in FIG. 9, an urging unit 102 such as a wave washer is provided between the pump unit 60 and the outer cover 13 to press the pump unit 60 against the body 12 side. Further, since the ceiling portion 80 of the outer cover 13 and the pump portion 60 are separated from each other, a gap 101 is provided between the ceiling portion 80 of the outer cover 13 and the pump portion 60. For this reason, since the vibration of the rotor 72 is transmitted to the outer cover 13 side through the gap 101, the vibration energy of air is attenuated and the vibration of the outer cover 13 is suppressed. A part of the air discharged from the small expansion chamber 91 passes through the gap 101, crosses the pump unit 60, and goes to the exhaust outlet 49 side. However, since the height of the gap 101 is smaller than the volume of the first expansion chamber 96 to the third expansion chamber 98, most of the air discharged from the small expansion chamber 91 is directed to the second expansion chamber 97 side.

この種の真空ポンプでは、ベーン73を備えたロータ72が回転することにより、ポンプ室出口31からは圧縮空気が間欠的に吐出されるため、ポンプ室出口31からボディ出口21までの距離が短いと、一定の基本周波数で圧力脈動が生じることによりボディ出口21において騒音が発生することがある。   In this type of vacuum pump, since the rotor 72 provided with the vane 73 rotates, compressed air is intermittently discharged from the pump chamber outlet 31, so the distance from the pump chamber outlet 31 to the body outlet 21 is short. Then, noise may be generated at the body outlet 21 due to pressure pulsation occurring at a certain basic frequency.

排気通路110を備えた上記真空ポンプでは、ポンプ室出口31から排出された空気の多くは、ポンプ室27の外側の円環状の排気通路110を通過した後に、ボディ出口21から排出されるため、ポンプ室出口31から排気出口49までの最短経路に比べ、ポンプ室出口31からボディ出口21までの経路長が長くなる。空気の振動エネルギーは、空気が流れる距離が長くなるほど減衰されるため、ポンプ室出口31からボディ出口21までの流路長を長くすることにより、騒音を低減することができる。   In the vacuum pump provided with the exhaust passage 110, most of the air discharged from the pump chamber outlet 31 is discharged from the body outlet 21 after passing through the annular exhaust passage 110 outside the pump chamber 27. Compared to the shortest path from the pump chamber outlet 31 to the exhaust outlet 49, the path length from the pump chamber outlet 31 to the body outlet 21 becomes longer. Since the vibration energy of air is attenuated as the distance that the air flows becomes longer, the noise can be reduced by increasing the flow path length from the pump chamber outlet 31 to the body outlet 21.

また、ポンプ室出口31からボディ出口21までの間に、空気は、膨張・収縮を複数回繰り返す。その結果、空気の脈動が減衰され、振動に起因する騒音が抑制される。さらに、空気が排気通路110を通過する際、空気は、ポンプ部60の外周を回るように旋回するため、空気を整流することができる。このため、ポンプ室出口31から空気が排出される際に発生する空気の脈動や、排気通路110内における空気同士の衝突等を抑制し、騒音の発生を抑制することができる。また、外カバー13が、金属等に比較して吸音性を有する樹脂から形成されているため、排気出口49から排出された空気の振動を抑制することができる。   Further, the air repeats expansion and contraction a plurality of times between the pump chamber outlet 31 and the body outlet 21. As a result, air pulsation is attenuated, and noise caused by vibration is suppressed. Further, when the air passes through the exhaust passage 110, the air swirls around the outer periphery of the pump unit 60, so that the air can be rectified. For this reason, the pulsation of the air generated when air is discharged from the pump chamber outlet 31, the collision of the air in the exhaust passage 110, and the like can be suppressed, and the generation of noise can be suppressed. Further, since the outer cover 13 is made of a resin having a sound absorbing property compared to metal or the like, vibration of the air discharged from the exhaust outlet 49 can be suppressed.

以上説明したように、本実施形態の真空ポンプによれば、以下の効果が得られるようになる。
(1)環状の排気通路110に隔壁90が設けられることによって、ポンプ室出口31から排気出口49までの排気通路110に沿った最短長さよりも長い通路が形成されるため、その最短長さの経路に比べ、排気通路110の経路長を長くすることができる。このため、排気通路110内での空気の振動エネルギーを減衰する効果を高めることができるので、ボディ出口21からの排気に伴う騒音の低減を図ることができる。また、空気を、ポンプ室27の外周方向に沿って回るように通過させて整流することで、ポンプ室出口31から空気が排出される際に発生する空気の脈動や、排気通路110内における空気同士の衝突等を抑制し、騒音の発生を抑制することができる。
As described above, according to the vacuum pump of the present embodiment, the following effects can be obtained.
(1) Since the partition wall 90 is provided in the annular exhaust passage 110, a passage longer than the shortest length along the exhaust passage 110 from the pump chamber outlet 31 to the exhaust outlet 49 is formed. Compared to the route, the route length of the exhaust passage 110 can be increased. For this reason, since the effect of attenuating the vibration energy of air in the exhaust passage 110 can be enhanced, noise associated with exhaust from the body outlet 21 can be reduced. Further, the air is rectified by passing along the outer peripheral direction of the pump chamber 27, thereby pulsating air generated when the air is discharged from the pump chamber outlet 31, and air in the exhaust passage 110. The collision between each other can be suppressed, and the generation of noise can be suppressed.

(2)第区画壁42及び第3区画壁43は、排気通路110の高さHよりも低いため、空気を通過させる一方で排気通路内の流路断面積を縮小し、排気通路110内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能する。排気通路110を通過する空気は、第区画壁42及び第3区画壁43以外の部分で膨張され、第区画壁42及び第3区画壁43を通過する際に収縮する。このように排気通路110内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口31から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。 (2) Since the second partition wall 42 and the third partition wall 43 are lower than the height H of the exhaust passage 110, the air passage is reduced while the cross-sectional area in the exhaust passage is reduced, and the exhaust passage 110. It functions as a throttle that generates a pressure difference between the upstream side and the downstream side. Air passing through the exhaust passage 110 is expanded by the second partition wall 4 2 and a portion other than the third partition wall 43, it shrinks as it passes through the second partition wall 4, second and third partition wall 43. As described above, the air expands and contracts in the exhaust passage 110, whereby the air pulsation generated when the air is discharged from the pump chamber outlet 31 is attenuated, so that the noise reduction effect can be enhanced.

(3)第1突起部86及び第2突起部87は、排気通路110内で上流側と下流側とに圧力差を発生させる絞りとして機能するので、排気通路110を通過する空気は、第1突起部86及び第2突起部87以外の部分で膨張され、第1突起部86及び第2突起部87を通過する際に収縮する。このように排気通路内で空気が膨張及び収縮することにより、ポンプ室出口31から空気が排出される際に発生する空気の脈動が減衰されるため、騒音の低減効果を高めることができる。   (3) Since the first protrusion 86 and the second protrusion 87 function as a throttle that generates a pressure difference between the upstream side and the downstream side in the exhaust passage 110, the air passing through the exhaust passage 110 is It is expanded at a portion other than the protrusion 86 and the second protrusion 87 and contracts when passing through the first protrusion 86 and the second protrusion 87. As the air expands and contracts in the exhaust passage in this way, air pulsation generated when the air is discharged from the pump chamber outlet 31 is attenuated, so that the noise reduction effect can be enhanced.

(4)外カバー13の天井部80とポンプ部60とが離間することで、天井部80とポンプ部60との間に間隙101が設けられる。この間隙101によって、ポンプ部60の振動が外カバー13の天井部80に伝わる際に、振動エネルギーが減衰されるので、天井部80の振動による騒音を低減することができる。また、外カバー13の天井部80とポンプ部60との間の間隙101により、外カバー13によって第1排気溝45〜第3排気溝47が覆われて形成される排気通路110の容積を大きくすることができる。このため、空気の膨張効果を高めることができる。   (4) The gap 101 is provided between the ceiling portion 80 and the pump portion 60 by separating the ceiling portion 80 of the outer cover 13 from the pump portion 60. When the vibration of the pump unit 60 is transmitted to the ceiling 80 of the outer cover 13 due to the gap 101, the vibration energy is attenuated, so that noise due to the vibration of the ceiling 80 can be reduced. The volume of the exhaust passage 110 formed by the outer cover 13 covering the first exhaust groove 45 to the third exhaust groove 47 is increased by the gap 101 between the ceiling part 80 of the outer cover 13 and the pump part 60. can do. For this reason, the expansion effect of air can be heightened.

(5)外カバー13の天井部80に放射状リブ88が設けられることによって、天井部80自体の強度を高めることができ、ひいては天井部80自体の振動による騒音を抑制することができる。   (5) By providing the radial ribs 88 on the ceiling portion 80 of the outer cover 13, the strength of the ceiling portion 80 itself can be increased, and thus noise due to vibration of the ceiling portion 80 itself can be suppressed.

(6)外カバー13は、金属等に比べ吸音効果のある樹脂から形成されるため、騒音の低減効果を高めることができる。
なお、上記実施形態は、以下のような形態をもって実施することもできる。
(6) Since the outer cover 13 is formed of a resin having a sound absorbing effect compared to metal or the like, the noise reduction effect can be enhanced.
In addition, the said embodiment can also be implemented with the following forms.

・上記実施形態では、ボディ12に形成された第1区画壁41と、外カバー13に形成された湾曲壁部83の端部84によって、ポンプ室出口31から排気出口49までの最短長さの経路を通る空気の流れを抑制する隔壁90を形成した。この態様以外に、隔壁を、ボディ12に形成された第1区画壁41のみによって形成してもよい。この場合、第1区画壁41は、第1排気溝45の高さよりも高く形成されて、外カバー13側に突出する。そして、外カバー13がボディ12に組み合された際に、第1区画壁41は、外カバー13の天井部80側に差し込まれる。また、隔壁を、外カバー13に形成された湾曲壁部83の端部84によって形成してもよい。この場合、湾曲壁部83のうち少なくとも端部84は、外カバー13の開口端よりも突出し、外カバー13がボディ12に組み合された際に、端部84は排気溝40側に差し込まれる。   In the above embodiment, the first partition wall 41 formed on the body 12 and the end 84 of the curved wall portion 83 formed on the outer cover 13 have the shortest length from the pump chamber outlet 31 to the exhaust outlet 49. A partition wall 90 that suppresses the flow of air through the path was formed. In addition to this aspect, the partition may be formed only by the first partition wall 41 formed in the body 12. In this case, the first partition wall 41 is formed higher than the height of the first exhaust groove 45 and protrudes toward the outer cover 13. When the outer cover 13 is assembled with the body 12, the first partition wall 41 is inserted into the ceiling portion 80 side of the outer cover 13. Further, the partition wall may be formed by the end portion 84 of the curved wall portion 83 formed in the outer cover 13. In this case, at least the end portion 84 of the curved wall portion 83 protrudes from the opening end of the outer cover 13, and when the outer cover 13 is assembled to the body 12, the end portion 84 is inserted into the exhaust groove 40 side. .

・上記実施形態では、排気溝40を、第1区画壁41〜第3区画壁43によって3つに区画したが、2つに区画してもよいし、4つ以上の複数に区画してもよい。
・流路断面積を縮小する絞りとして機能する外カバー13の突起部は、1つでもよく、3つ以上の複数でもよい。また、その高さや、外カバー13の径方向に沿った長さは、変更可能である。例えば、突起部は、ボディ12側に差し込まれる高さを有していてもよい。
In the above embodiment, the exhaust groove 40 is divided into three by the first partition wall 41 to the third partition wall 43. However, the exhaust groove 40 may be divided into two or may be divided into four or more. Good.
The number of protrusions of the outer cover 13 that functions as a throttle for reducing the cross-sectional area of the flow path may be one, or may be three or more. Moreover, the height and the length along the radial direction of the outer cover 13 can be changed. For example, the protrusion may have a height that is inserted into the body 12 side.

・流路断面積を縮小する絞りとして機能するボディ12の区画壁は、1つでもよく、3つ以上の複数でもよい。また、その高さや、ボディ12の径方向に沿った長さは、変更可能である。例えば、区画壁は、外カバー13側に差し込まれる高さを有していてもよい。   The number of partition walls of the body 12 that functions as a throttle for reducing the flow path cross-sectional area may be one, or a plurality of three or more. Moreover, the height and the length along the radial direction of the body 12 can be changed. For example, the partition wall may have a height inserted into the outer cover 13 side.

・外カバー13の天井部80とポンプ部60とは、接触してもよい。この場合、外カバー13の天井部80とポンプ部60との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。   -The ceiling part 80 of the outer cover 13 and the pump part 60 may contact. In this case, it is preferable that an absorbing material or the like that absorbs vibration is provided between the ceiling portion 80 of the outer cover 13 and the pump portion 60.

・外カバー13の天井部80に放射状リブ88を形成したが、これ以外の形状のリブを形成してもよい。例えば、径方向中心で交差する複数の突状を形成してもよい。また、平行に延びる複数の突状を形成してもよい。   -Although the radial rib 88 was formed in the ceiling part 80 of the outer cover 13, you may form a rib of shapes other than this. For example, a plurality of protrusions that intersect at the radial center may be formed. A plurality of protrusions extending in parallel may be formed.

・上記実施形態では、樹脂製の外カバー13を採用したが、樹脂以外の、例えば金属製の外カバー13を採用してもよい。なお、金属製の外カバー13の場合、外カバー13の天井部80とポンプ部60との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。   In the above-described embodiment, the resin outer cover 13 is employed. However, for example, a metal outer cover 13 other than resin may be employed. In the case of the metal outer cover 13, it is preferable that an absorbing material or the like that absorbs vibration is provided between the ceiling portion 80 of the outer cover 13 and the pump portion 60.

・上記実施形態では、真空ポンプは、駆動源としてモータ11を備えるようにしたが、必ずしも駆動源を備える必要はなく、外部の駆動源に接続されるものであってもよい。例えば、ロータ72に貫挿される回転軸を、エンジンのクランクシャフト側に接続してもよい。また、他の駆動装置の回転軸に連結してもよい。   In the above embodiment, the vacuum pump is provided with the motor 11 as a drive source. However, the vacuum pump is not necessarily provided with a drive source, and may be connected to an external drive source. For example, a rotating shaft inserted through the rotor 72 may be connected to the crankshaft side of the engine. Moreover, you may connect with the rotating shaft of another drive device.

・上記実施形態では、ポンプ部60を、その一部がポンプ室27から突出する状態でポンプ室27に収容したが、ポンプ部60の高さがポンプ27室の高さ以下として、ポンプ部60をポンプ室27から突出させないで収容するようにしてもよい。   In the above embodiment, the pump unit 60 is accommodated in the pump chamber 27 in a state in which a part thereof protrudes from the pump chamber 27. However, the pump unit 60 has a height equal to or lower than the height of the pump 27 chamber. May be accommodated without protruding from the pump chamber 27.

・上記実施形態では、シリンダ61とボディ12とを別体とし、シリンダ61を圧入し、ボルト34a〜34cを螺着することにより、シリンダ61を含むポンプ部60をボディ12に固定したが、シリンダ61はボディ12に鋳込まれたものであってもよい。また、シリンダ61とボディ12とを同一部材とし、シリンダ61を省略してもよい。   In the above embodiment, the cylinder 61 and the body 12 are separated from each other, and the pump 61 including the cylinder 61 is fixed to the body 12 by press-fitting the cylinder 61 and screwing the bolts 34a to 34c. 61 may be cast in the body 12. Further, the cylinder 61 and the body 12 may be the same member, and the cylinder 61 may be omitted.

・上記実施形態では、真空ポンプをベーンポンプに具体化したが、ベーンポンプ以外の種類のポンプであってもよい。例えば、回転体として互いに噛合する1対のギアを備えるギアポンプであってもよい。   -In above-mentioned embodiment, although the vacuum pump was actualized to the vane pump, types of pumps other than a vane pump may be sufficient. For example, a gear pump including a pair of gears that mesh with each other as a rotating body may be used.

・上記実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、騒音が低減されているため、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。   -Since the vacuum pump of the said embodiment is a dry pump and noise is reduced, it can be used as a vacuum source of a versatile apparatus. For example, it can also be used for a vacuum source used for a booster of a vehicle brake system, a vacuum source for a packaging machine, a printing machine, a bookbinding machine, a labeling vacuum source, a robot vacuum source, or the like.

11…モータ、12…ボディ、12a〜12d…螺子孔、12e…底部、12f…外壁部、13…外カバー、14…接続管、15…出力軸、16a〜16d…ボルト、17…連通路、20…ボディ入口、21…ボディ出口、24…側面、25…収容壁、26…底部、27…ポンプ室、28…貫挿孔、30…ポンプ室入口、31…ポンプ室出口、33…ボルト取付部、34a〜34c…ボルト、40…排気溝、41〜43…第1区画壁〜第3区画壁、45〜47…第1排気溝〜第3排気溝、48…段差部、49…排気出口、50…ボルト貫通部、60…ポンプ部、61…シリンダ、62…入口側連通孔、63…出口側連通孔、70…ボディ側プレート、70a…孔、71…カバー側プレート、73…ベーン、74…軸孔、75…ベーン収容溝、76…圧入ピン、72…ロータ、77…ポンプカバー、80…天井部、81…円筒部、82…弧状空間、83…湾曲壁部、84,85…端部、86…第1突起部、87…第2突起部、88…放射状リブ、89…環状リブ、90…隔壁、91…小膨張室、92…直線リブ、95…開口部、96〜98…第1膨張室〜第3膨張室、99…第1流入口、100…第2流入口、101…間隙。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Motor, 12 ... Body, 12a-12d ... Screw hole, 12e ... Bottom part, 12f ... Outer wall part, 13 ... Outer cover, 14 ... Connection pipe, 15 ... Output shaft, 16a-16d ... Bolt, 17 ... Communication path, DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Body inlet, 21 ... Body outlet, 24 ... Side surface, 25 ... Housing wall, 26 ... Bottom part, 27 ... Pump chamber, 28 ... Insertion hole, 30 ... Pump chamber inlet, 31 ... Pump chamber outlet, 33 ... Bolt attachment 34a to 34c ... bolt, 40 ... exhaust groove, 41-43 ... first partition wall to third partition wall, 45-47 ... first exhaust groove to third exhaust groove, 48 ... step portion, 49 ... exhaust outlet 50 ... Bolt penetration part, 60 ... Pump part, 61 ... Cylinder, 62 ... Inlet side communication hole, 63 ... Outlet side communication hole, 70 ... Body side plate, 70a ... Hole, 71 ... Cover side plate, 73 ... Vane, 74 ... shaft hole, 75 ... vane receiving groove, 6 ... Press-fit pin, 72 ... Rotor, 77 ... Pump cover, 80 ... Ceiling part, 81 ... Cylindrical part, 82 ... Arc space, 83 ... Curved wall part, 84, 85 ... End part, 86 ... First projection part, 87 2nd protrusion, 88 ... radial rib, 89 ... annular rib, 90 ... partition wall, 91 ... small expansion chamber, 92 ... linear rib, 95 ... opening, 96-98 ... 1st expansion chamber-3rd expansion chamber, 99 ... first inlet, 100 ... second inlet, 101 ... gap.

Claims (5)

回転体を収容したポンプ部と、
前記ポンプ部を収容するポンプ室、前記ポンプ室に空気を取り込むポンプ室入口、前記ポンプ室から空気を排出するポンプ室出口、及び前記ポンプ室出口から排出される空気が流入する排気溝を備えるボディと、
前記ボディに組み付けられることにより前記排気溝を覆って排気通路を形成するカバーと、を備え、
前記排気通路は、前記ポンプ室の外周に設けられた環状の通路であって、前記ボディの出口に連通する排気出口を備え、
前記カバーは、前記排気出口から排出された空気を膨張させる膨張室を区画し、前記排気通路の形状に沿って湾曲する湾曲壁部を備え、
前記ボディは、前記排気通路を区画する複数の区画壁を備え、前記区画壁は前記排気通路の高さよりも低く、一方の区画壁は当該区画壁及び前記湾曲壁部によって構成される隔壁によって前記排気通路に沿った前記ポンプ室出口から前記排気出口までの最短長さよりも長い通路を形成し、他方の区画壁は前記カバーと当接せず前記排気通路の流路断面積を縮小する
ことを特徴とする真空ポンプ。
A pump unit containing a rotating body;
A body including a pump chamber that houses the pump section, a pump chamber inlet that takes air into the pump chamber, a pump chamber outlet that discharges air from the pump chamber, and an exhaust groove into which air discharged from the pump chamber outlet flows When,
A cover that covers the exhaust groove to form an exhaust passage by being assembled to the body,
The exhaust passage is an annular passage provided on the outer periphery of the pump chamber, and includes an exhaust outlet communicating with the outlet of the body.
The cover defines an expansion chamber for expanding the air discharged from the exhaust outlet, and includes a curved wall portion that curves along the shape of the exhaust passage ,
The body includes a plurality of partition walls that partition the exhaust passage, the partition wall being lower than a height of the exhaust passage, and one partition wall is formed by a partition wall constituted by the partition wall and the curved wall portion. Forming a passage that is longer than the shortest length from the pump chamber outlet to the exhaust outlet along the exhaust passage, and the other partition wall does not contact the cover and reduces the flow passage cross-sectional area of the exhaust passage. A featured vacuum pump.
請求項に記載の真空ポンプにおいて、
前記カバーは、前記ボディに組み付けられたときに前記ボディ側となる面に、前記排気通路に突出する突起部を備える
ことを特徴とする真空ポンプ。
The vacuum pump according to claim 1 , wherein
The said cover is provided with the protrusion part which protrudes in the said exhaust passage in the surface used as the said body side when assembled | attached to the said body. The vacuum pump characterized by the above-mentioned.
請求項1又は2に記載の真空ポンプにおいて、
前記カバーは、円筒部と、当該円筒部の一方の開口を閉塞する天井部と、を備え、当該天井部と前記ポンプ部とは離間している
ことを特徴とする真空ポンプ。
The vacuum pump according to claim 1 or 2 ,
The said cover is provided with the cylindrical part and the ceiling part which obstruct | occludes one opening of the said cylindrical part, The said ceiling part and the said pump part are spaced apart. The vacuum pump characterized by the above-mentioned.
請求項1〜のいずれか1項に記載の真空ポンプにおいて、
前記カバーの天井部にリブを備える
ことを特徴とする真空ポンプ。
In the vacuum pump of any one of Claims 1-3 ,
A vacuum pump comprising a rib on the ceiling of the cover.
前記カバーは樹脂からなる
請求項1〜のいずれか1項に記載の真空ポンプ。
Vacuum pump according to any one of claims 1-4 wherein the cover made of a resin.
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