JP2016143766A - 単結晶部材の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】単結晶部材の加工方法であって、パルスレーザー光線のピークエネルギー密度を1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定し、パルスレーザー光線の集光点を単結晶部材の上面から所定位置に位置付けてパルスレーザー光線を照射し、単結晶部材の上面から細孔と該細孔をシールドする非晶質とを成長させてシールドトンネルを形成する。
【選択図】図6
Description
パルスレーザー光線のピークエネルギー密度を1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定し、
パルスレーザー光線の集光点を単結晶部材の上面から所定位置に位置付けてパルスレーザー光線を照射し、単結晶部材の上面から細孔と該細孔をシールドする非晶質とを成長させてシールドトンネルを形成する、
ことを特徴とする単結晶部材の加工方法が提供される。
先ず、光デバイスウエーハ2を環状のフレームに装着されたダイシングテープの表面に貼着するウエーハ支持工程を実施する。即ち、図2に示すように、環状のフレーム3の内側開口部を覆うように外周部が装着されたダイシングテープ30の表面に光デバイスウエーハ2の裏面2bを貼着する。従って、ダイシングテープ30の表面に貼着された光デバイスウエーハ2は、表面2aが上側となる。
先ず、上述した図3に示すレーザー加工装置4のチャックテーブル41上に光デバイスウエーハ2が貼着されたダイシングテープ30側を載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、ダイシングテープ30を介して光デバイスウエーハ2をチャックテーブル41上に保持する(ウエーハ保持工程)。従って、チャックテーブル41に保持された光デバイスウエーハ2は、表面2aが上側となる。なお、図3においてはダイシングテープ30が装着された環状のフレーム3を省いて示しているが、環状のフレーム3はチャックテーブル41に配設された適宜のフレーム保持手段に保持される。このようにして、光デバイスウエーハ2を吸引保持したチャックテーブル41は、図示しない加工送り手段によって撮像手段43の直下に位置付けられる。
なお、上述した実施形態においては光デバイスウエーハ2の表面2aを上側にしてチャックテーブル41に保持し、光デバイスウエーハ2の表面2aの側から分割予定ライン22に沿ってパルスレーザー光線を照射してシールドトンネル23を形成する例を示したが、光デバイスウエーハ2の裏面を上側にしてチャックテーブル41に保持し、光デバイスウエーハ2の裏面側から分割予定ライン22に沿ってパルスレーザー光線を照射してシールドトンネル23を形成してもよい。
なお、ピークエネルギー密度は、
平均出力(W)/{繰り返し周波数(Hz)×スポット面積(cm2)×パルス幅(s) }によって求めることができる。
以下、パルスレーザー光線LBのピークエネルギー密度を1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定された理由について説明する。
条件1・・・単結晶部材:サファイア基板(厚み400μm)
条件2・・・パルスレーザー光線の波長を1030nmに設定
条件3・・・パルスレーザー光線の繰り返し周波数を100kHzに設定
条件4・・・パルスレーザー光線のスポット径を10μmに設定
条件5・・・パルスレーザー光線の平均出力を5Wに設定
条件6・・・変数:パルスレーザー光線のパルス幅
上記条件に従ってパルス幅を0.1〜100psまで変化させながらサファイア基板にパルスレーザー光線を照射し、加工状態を観察した。
パルス幅が0.1〜0.6psまではサファイア基板の内部にボイドが形成された。
パルス幅が0.6〜63psまではサファイア基板の内部に細孔と細孔をシールドする非晶質とからなるシールドトンネルが形成された。
パルス幅が64〜100psまではサファイア基板の内部が溶融した。
以上の実験結果から、パルス幅が0.6〜63psの範囲においてサファイア基板の内部に細孔と細孔をシールドする非晶質とからなるシールドトンネルが形成されることが判った。
従って、上記条件においてパルス幅を0.6〜63psにしてピークエネルギー密度を求めると、1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定することでシールドトンネルが形成される。
条件1・・・単結晶部材:サファイア基板(厚み400μm)
条件2・・・パルスレーザー光線の波長を1030nmに設定
条件3・・・パルス幅10psに設定
条件4・・・パルスレーザー光線のスポット径を10μmに設定
条件5・・・パルスレーザー光線の平均出力を5Wに設定
条件6・・・変数:パルスレーザー光線の繰り返し周波数
上記条件に従って繰り返し周波数を1〜1000kHzまで変化させながらサファイア基板にパルスレーザー光線を照射し、加工状態を観察した。
繰り返し周波数が1〜6kHzまではサファイア基板の内部が破壊されクラックが放射状に形成された。
繰り返し周波数が7〜640kHzまではサファイア基板の内部に細孔と細孔をシールドする非晶質とからなるシールドトンネルが形成された。
繰り返し周波数が650〜1000kHzまではサファイア基板の内部ボイドが形成されシールドトンネルは形成されなかった。
以上の実験結果から、繰り返し周波数が7〜640kHzの範囲においてサファイア基板の内部に細孔と細孔をシールドする非晶質とからなるシールドトンネルが形成されることが判った。
従って、上記条件において繰り返し周波数が7〜640kHzにしてピークエネルギー密度を求めると、1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定することでシールドトンネルが形成される。
21:光デバイス
22:分割予定ライン
23:シールドトンネル
3:環状のフレーム
30:ダイシングテープ
4:レーザー加工装置
41:チャックテーブル
42:レーザー光線照射手段
422:パルスレーザー光線発振手段
423:出力調整手段
424:集光器
5:分割装置
Claims (2)
- 単結晶部材の加工方法であって、
パルスレーザー光線のピークエネルギー密度を1TW/cm2〜100TW/cm2の範囲に設定し、
パルスレーザー光線の集光点を単結晶部材の上面から所定位置に位置付けてパルスレーザー光線を照射し、単結晶部材の上面から細孔と該細孔をシールドする非晶質とを成長させてシールドトンネルを形成する、
ことを特徴とする単結晶部材の加工方法。 - 単結晶部材に設定された分割予定ラインに沿って該シールドトンネルを連接して形成し、単結晶部材を該シールドトンネルが形成された分割予定ラインに沿って分割する、請求項1記載の単結晶部材の加工方法。
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