JP2016130667A - 光学測定方法及び光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置100及び光学測定方法では、複数の反射板からの反射光の情報を撮像部20において取得することで、制御部30では、1以上の反射板からの反射光の情報を測定対象物3からの反射光の情報の補正に利用することができるため、測定対象物3からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】光学測定装置100及び光学測定方法では、複数の反射板からの反射光の情報を撮像部20において取得することで、制御部30では、1以上の反射板からの反射光の情報を測定対象物3からの反射光の情報の補正に利用することができるため、測定対象物3からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学測定方法及び光学測定装置に関する。
測定対象物に対して照明光を照射することによって生じる反射光を撮像する機能を有し、撮像された画像を測定対象物に係る分析に利用する画像撮影装置では、測定対象物からの反射光が変動することにより測定対象物の画像の精度が低下する場合がある。これに対して、特許文献1では、撮像部の視野の一部に基準反射板を配置して、撮像により得られた画像のうち、基準反射板の画像部分の値を用いて測定対象物の画像部分の値を補正する構成が示されている。
しかしながら、測定対象物からの反射光の強度が変化した場合、特に基準反射板からの反射光の強度と、測定対象物からの反射光の強度と、が異なる場合について、測定精度に改善の余地があった。
本発明は上記を鑑みてなされたものであり、測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置を提供することを目的とする。
本願発明は、
(1)測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、
反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、
前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、
を備える光学測定方法、
(2)測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、
を備える光学測定装置であって、
前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、
前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する光学測定装置、
である。
(1)測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、
反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、
前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、
を備える光学測定方法、
(2)測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、
を備える光学測定装置であって、
前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、
前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する光学測定装置、
である。
本発明によれば、測定精度の向上が可能な光学測定方法及び光学測定装置が提供される。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本願の光学測定方法は、(1)測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、を備えることを特徴とする。
上記のような構成を有することで、1以上の反射板からの反射光の情報を、測定対象物からの反射光の情報の補正に利用することができる。測定対象物からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
(2)(1)の光学測定方法において、前記対象物撮像ステップにおける前記測定対象物からの反射光の情報の取得と、前記反射板撮像ステップにおける前記複数の反射板からの反射光の情報の取得と、が同時に行われる態様とすることができる。
上記のように、対象物撮像ステップと反射板撮像ステップとを同時に行う構成を備えている場合、測定対象物からの反射光の情報をリアルタイムに補正することが可能となる。
(3)(1)又は(2)の光学測定方法において、前記対象物撮像ステップにおいて取得された反射光の情報に基づいて、光源から出射する前記測定光の光量を制御する光源制御ステップを更に備える態様とすることができる。
上記のように、光源からの測定光の光量の制御を行う構成を更に備えることで、より高い精度での測定が可能となる。
(4)(1)又は(2)の光学測定方法において、前記撮像部は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備える受光部を含み、前記複数の受光素子のうちの一部の受光素子で前記測定対象物からの反射光の情報を取得し、前記一部の受光素子とは異なる受光素子で前記複数の反射板からの前記反射光の情報を取得する態様とすることができる。
上記のように、複数の受光素子のうちの一部の受光素子で測定対象物からの反射光の情報を取得すると共に、一部の受光素子とは異なる受光素子で複数の反射板からの反射光の情報を取得する態様とすることで、一部の受光素子により取得される測定対象物からの反射光の情報と、他の受光素子により取得される複数の反射板からの反射光の情報とを区別して取り扱うことが容易となる。また、対象物撮像ステップと反射板撮像ステップとを同時に行うこともできる。
(5)(1)の光学測定方法において、前記撮像部は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備える受光部を含み、前記複数の受光素子の各々で取得した前記測定対象物からの反射光の情報を、当該受光素子で取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する態様とすることができる。
上記のように、複数の受光素子の各々で取得した反射板からの反射光の情報を用いて、当該受光素子で取得した測定対象物からの反射光の情報を補正することにより、受光素子毎の特性を考慮した補正が可能となる。
また、本願の光学測定装置は、(6)測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、を備える光学測定装置であって、前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正することを特徴とする。
上記のような構成を有することで、1以上の反射板からの反射光の情報を、測定対象物からの反射光の情報の補正に利用することができる。測定対象物からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。
[本願発明の実施形態の詳細]
本発明に係る光学測定方法及び光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本発明に係る光学測定方法及び光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
本発明の一形態に係る光学測定方法を用いる光学測定装置100について図1を用いて説明する。本実施形態に係る光学測定装置100は、ベルトコンベア2上に載置された測定対象物3に対して測定光を照射して測定対象物3からの反射光についての分析を行う装置である。光学測定装置100の測定対象物3としては、例えば、食品、薬品、工業製品等が挙げられるが特に限定されない。
光学測定装置100は、測定光を測定対象物3に対して照射することにより得られる拡散反射光のスペクトルを測定し、そのスペクトルに基づいて測定対象物3を検査する。このため、光学測定装置100は、光源10、撮像部20、及び制御部30(補正手段)を備える。また、測定対象物3の近傍には互いに異なる反射率を有する複数種類の反射板から構成された複合反射板4が配置される。複合反射板4については後述する。
光源10は、測定光をベルトコンベア2上における所定の照射領域へ向けて照射する。光源10が照射する測定光の波長範囲は、測定対象物3によって適宜選択される。測定光としては、例えば近赤外光を用いることができるが、可視光であってもよい。測定光が近赤外光である場合、具体的には、波長範囲が800nm〜2500nmの近赤外光が好適に用いられ、特に波長範囲が1000nm〜2300nmの光が好適に用いられる。測定光の波長範囲については、測定対象物3に応じて適宜選定することが好ましい。光源10としては例えばハロゲンランプ等が好適に用いられる。
なお、照射領域とは、測定対象物3を載置するベルトコンベア2の表面(載置面2b)の一部の領域である。この照射領域は、載置面2bの搬送方向2aと垂直な幅方向に広がり、載置面2bの一方の端から他方の端までを覆う領域である。
なお、本実施形態では、光源10から出射される光が照射領域に対して直接照射される構成について説明するが、光源10からの光を例えばシリンドリカルレンズ等を介してライン上に整形して出射する構成としてもよい。
光源10から出力された測定光L1は、照射領域上に載置された測定対象物3により拡散反射される。そして、その一部が、拡散反射光L2として撮像部20に入射する。
撮像部20は、ハイパースペクトル画像を取得するハイパースペクトルセンサとしての機能を有する構成として実現することができる。ここで、本実施形態におけるハイパースペクトル画像について図2を用いて説明する。図2は、ハイパースペクトル画像についてその概略を説明する図である。図2に示すように、ハイパースペクトル画像とは、N個の画素P1〜PNにより構成されている画像である。図2ではそのうちの一例として2個の画素Pn及びPmについて具体的に示している。画素Pn及びPmには、それぞれ複数の強度データからなるスペクトル情報Sn及びSmが含まれている。この強度データとは、特定の波長(又は波長帯域)におけるスペクトル強度を示すデータであり、図2では、15個の強度データがスペクトル情報Sn及びSmとして保持されていて、これらを重ね合わせた状態で示している。このように、ハイパースペクトル画像は、画像を構成する画素毎に、それぞれ複数の強度データを持つという特徴から、画像としての二次元的要素と、スペクトルデータとしての要素をあわせ持った三次元的構成のデータである。なお、本実施形態では、ハイパースペクトル画像とは、1画素あたり少なくとも5つの波長帯域における強度データを保有している画素によって構成された画像のことをいう。
図2では測定対象物3もあわせて示している。すなわち、図2においてPnは測定対象物3を撮像した画素であり、Pmは背景材料(例えば、ベルトコンベアや搬送容器)を撮像した画素である。このように、撮像部20では、測定対象物3だけでなく背景材料を撮像した画像も取得される。したがって、測定対象物3の分類に係る処理においては、背景材料を撮像した画素を特定しその画素で取得されたスペクトルデータは、測定対象物3を撮像した画素で取得されたスペクトルデータとは区別して取り扱われる。
図1に戻り、本実施形態に係る撮像部20は、カメラレンズ24と、スリット21と、分光器22と、受光部23と、を備える。この撮像部20は、その視野領域20s(撮像領域)がベルトコンベア2の搬送方向2aと垂直な方向に延びている。撮像部20の視野領域20sは、載置面2bにおける光源10による測定光L1の照射領域に含まれるライン状の領域であって、スリット21を通過した拡散反射光L2が受光部23上に像を結ぶ領域である。
スリット21は、視野領域20sと平行な方向に開口が設けられる。撮像部20のスリット21に入射した拡散反射光L2は、分光器22へ入射する。
分光器22は、スリット21及び視野領域20sの延在方向に垂直な方向に拡散反射光L2を分光する。分光器22により分光された光は、受光部23によって受光される。
受光部23は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備え、各受光素子が光を受光する。これにより、受光部23がベルトコンベア2上の幅方向に沿った各位置で反射した拡散反射光L2の各波長の光をそれぞれ受光することとなる。各受光素子は、受光した光の強度に応じた信号を位置と波長とからなる二次元平面状の一点に関する情報として出力する。この受光部23の受光素子から出力される信号が、ハイパースペクトル画像に係る画素毎のスペクトルデータとして、撮像部20から制御部30に送られる。
なお、撮像部20は、ハイパースペクトルセンサには限定されない。撮像部20は、画素毎に単一波長又は複数波長の光強度情報を取得する機能を有していればよく、その構成は適宜変更することができる。
制御部30は、入力された信号により拡散反射光L2の反射光スペクトルを得て、この得られたスペクトルに基づいて検査を行う。そして、この制御部30による分析の結果は、例えば制御部30に接続されるモニタや、プリンタ等に出力することによって、この光学測定装置100のオペレータに通知される。
制御部30では、拡散反射光L2の反射光スペクトルを検査に用いる際に、測定対象物3に係る反射光スペクトル(反射光に係る情報)を、複合反射板4に含まれる複数の反射板に対して測定光L1を照射することで得られる反射板からの反射光スペクトル(反射光に係る情報)から選ばれる1以上の反射光スペクトル(反射光に係る情報)に基づいて補正する。
また、制御部30は、光源10と接続されて、光源10から出射する測定光L1の光量を制御する機能を備えていてもよい。測定精度を向上させるためには、撮像部20により受光の強度が所定の範囲内となることが好ましい。したがって、測定対象物3の光学特性に応じて、光源10から出射する測定光L1の光量を制御する。なお、制御部30による測定光L1の光量の制御とは、測定対象物3の光学特性に応じて予め光量を設定するものを指しているのではなく、制御部30により取得された拡散反射光L2のうち測定対象物3からの拡散反射光の情報に基づいて光量を制御することを指している。すなわち、制御部30は、測定対象物3からの拡散反射光の情報に基づいて、光源10からの測定光L1の光量をアクティブ制御する(光源制御ステップ)構成とすることができる。
制御部30は、CPU(Central Processing Unit)、主記憶装置であるRAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)、検出部等の他の機器との間の通信を行う通信モジュール、並びにハードディスク等の補助記憶装置等のハードウェアを備えるコンピュータとして構成される。そして、これらの構成要素が動作することにより、制御部30としての機能が発揮される。
次に、視野領域20sに配置される複合反射板4について説明する。図3に示すように、複合反射板4は互いに反射率が異なる3つの領域(反射板)4a,4b,4cを含んで構成される。3つの領域4a,4b,4cは、ベルトコンベア2の搬送方向2aに沿って延在していて、搬送方向2aに対して直交する撮像部20の視野領域20sにおいて測定対象物3と重ならない位置に配置される。これにより、複合反射板4に含まれる3つの反射板4a,4b,4cからの反射光は、撮像部20において測定対象物3からの反射光とは区別してそれぞれ受光される。3つの反射板4a,4b,4cとしては、例えば、ホワイト標準反射板、20%グレー標準反射板、40%グレー反射板等のように、濃淡が異なる反射板を組み合わせることができる。3つの反射板4a,4b,4cは、それぞれその幅(視野領域20sに沿った幅)が、受光部23の受光素子の2画素分以上であることが好ましい。この場合、複数画素において受光された反射光の情報を平均化処理した後に利用することも可能となり、信頼性が向上する。なお、複数の反射板が隣接して配置される必要はなく、例えば、測定対象物3の両側に互いに異なる反射率を有する反射板が配置される構成であってもよい。
互いに反射率が異なる3つの反射板からの反射光は、測定対象物3からの反射光スペクトルの補正を行うために用いられる。なお、反射光に基づく補正とは、測定対象物3からの反射光の検出感度を調整することをいう。例えば、測定対象物3からの反射光の強度が弱い場合には、SN比が低くなるため、計測精度が劣化する可能性がある。このような場合、検出光量が規定値以上となるように光源10からの光量を増すことで、検出光のSN比を改善させる方法がある。しかしながら、この場合、ホワイト板からの基準光が強すぎてセンサ出力が飽和する問題が生じる。そこで、本実施形態に係る光学測定装置100では、複数の反射板から1以上の反射板を選択し、当該反射板からの反射光の強度を用いて、測定対象物3からの反射光の検出感度を調整することで、測定精度が向上される。
上記の光学測定装置100による光学測定方法を、図4を参照しながら説明する。図4に示すように、測定対象物3に対して測定光を照射することで、測定対象物3からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得する(S01:対象物撮像ステップ)。このときの測定光の強度は、測定対象物3の光学測定に応じて設定される。また、測定光を複合反射板4に対しても照射することによって、複合反射板4を構成する複数の反射板からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得する(S02:反射板撮像ステップ)。そして、測定対象物3からの反射光の情報を、複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報により補正する(S03:補正ステップ)。なお、光学測定装置100では、測定対象物3に対して測定光を照射することで、測定対象物3からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得するステップ(S01)と、測定光を複合反射板4に対しても照射することによって、複合反射板4を構成する反射板の中から選ばれる1以上の反射板からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得するステップ(S02)とを同時に行っている。
このように、上記の光学測定装置100及び光学測定方法では、1以上の反射板からの反射光を撮像部20の情報を取得することで、1以上の反射板からの反射光の情報を補正に利用することができるため、測定対象物3からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができるため、より高い精度での測定が可能となる。具体的には、例えば、測定対象物3からの反射光の強度が変動する場合であっても、測定精度を向上させることができる。特に、本実施形態に係る光学測定装置100のように、画素毎に異なるスペクトル情報を保持する場合には、画素毎に補正に利用する反射光の情報を選択することも可能となることから、測定精度の向上が図られる。また、従来から行われている標準反射板等を用いた受光素子の出力調整に加えて、上記の構成を備えることで、測定対象物3からの反射光に応じた適切な補正を行うことができるため、測定精度がさらに向上する。
また、上記で示したように、測定対象物3に対して測定光を照射することで、測定対象物3からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得するステップ(S01)と、測定光を複合反射板4に対しても照射することによって、複合反射板4を構成する反射板の中から選ばれる1以上の反射板からの反射光の情報(反射光スペクトル)を取得するステップ(S02)とを同時に行う構成を備えている場合、測定対象物3からの反射光の情報(反射光スペクトル)をリアルタイムに補正することが可能となる。
また、制御部30により、拡散反射光L2に含まれる測定対象物3からの反射光の情報に基づいて、光源10からの測定光L1の光量をアクティブ制御する(光源制御ステップ)構成を備えている場合、光学測定装置100における測定精度がさらに向上する。上述したように、光源10からの光量の調整を行うことで受光素子によるセンサ出力が飽和してしまう可能性があるが、光学測定装置100における測定対象物からの反射光の情報に基づいて制御を行う構成とすることで、センサ出力が飽和しない範囲での制御が可能となり、より測定精度を高めることが可能となる。
なお、複数の反射板の配置は図3に示す構成に限定されない。例えば、図5に示すように、ベルトコンベア2による搬送方向2aに対して垂直に、すなわち、視野領域20sと平行となるように、互いに反射率が異なる複数の反射板4a,4b,4cを複数並べる構成にすることも可能である。この場合、同一の画素において、測定対象物3からの反射光と、複数の反射板4a,4b,4cからの反射光とを取得することができる。一般的に、2次元センサでは、光量に対するリニアリティ(線形性)の画素依存性があることから、互いに反射率が異なる複数の反射板4a,4b,4cを図5に示すような配置にした場合、画素毎にホワイトからグレーの互いに異なるレベルの反射光の情報を取得した上で補正に活用することができるため、画素依存性の保証という観点で、有効であると考えられる。
また、図3に示す構成と同様に視野領域20sに対して直交するように互いに反射率が異なる複数の反射板を配置する場合でもその構成を適宜変更することができる。
例えば、図6(A)では、ベルトコンベア2による搬送方向2aに沿ってグラデーションとなるように、反射率が互いに異なる領域が形成された反射板4dを示している。また、図6(B)では、ベルトコンベア2による搬送方向2aに沿って反射率が互いに異なる領域が複数交互に配置された反射板4eを示している。また、図6(C)では、反射板4eでは、反射率が互いに異なる領域が市松模様に複数配置された反射板4fを示している。反射板4d〜4fは、いずれも反射率が互いに異なる領域を同一の画素において撮像することが可能な構成である。このような場合、図3に示すような複合反射板4と比較して反射板が配置される領域の面積を小さくしながら、測定対象物3からの反射光の情報に応じて補正に使用する反射板の反射光の情報を選択することができる。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、ハイパースペクトル画像を撮像した場合について説明をしているが、少なくとも一波長の光の強度情報を取得すればよくその構成は適宜変更することができる。
100…光学測定装置、3…測定対象物、10…光源、20…撮像部、21…スリット、22…分光器、23…受光部、30…制御部。
Claims (6)
- 測定光を照射して得られる測定対象物からの反射光を撮像部により撮像することで、前記測定対象物からの前記反射光の情報を取得する対象物撮像ステップと、
反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を前記撮像部により撮像することで、前記複数の反射板からの反射光の情報を取得する反射板撮像ステップと、
前記対象物撮像ステップにおいて取得された前記測定対象物からの反射光の情報を、前記反射板撮像ステップにおいて取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する補正ステップと、
を備える光学測定方法。 - 前記対象物撮像ステップにおける前記測定対象物からの反射光の情報の取得と、前記反射板撮像ステップにおける前記複数の反射板からの反射光の情報の取得と、が同時に行われる請求項1記載の光学測定方法。
- 前記対象物撮像ステップにおいて取得された反射光の情報に基づいて、光源から出射する前記測定光の光量を制御する光源制御ステップを更に備える請求項1又は2記載の光学測定方法。
- 前記撮像部は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備える受光部を含み、
前記複数の受光素子のうちの一部の受光素子で前記測定対象物からの反射光の情報を取得し、前記一部の受光素子とは異なる受光素子で前記複数の反射板からの前記反射光の情報を取得する請求項1又は2記載の光学測定方法。 - 前記撮像部は、複数の受光素子が2次元に配列された受光面を備える受光部を含み、
前記複数の受光素子の各々で取得した前記測定対象物からの反射光の情報を、当該受光素子で取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する請求項1記載の光学測定方法。 - 測定対象物に対して、測定光を照射する光源と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像することで取得された前記測定対象物からの反射光の情報を補正する補正手段と、
を備える光学測定装置であって、
前記撮像手段は、反射率が互いに異なる複数の反射板に対して前記測定光と同じ光量の光を照射して得られる複数の反射光を撮像し、
前記補正手段は、前記測定対象物からの反射光の情報を、前記撮像手段により撮像することで取得された前記複数の反射板からの反射光の情報から選ばれる1以上の反射光の情報に基づいて補正する光学測定装置。
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