JP6693284B2 - 光学測定装置 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 58
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 92
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 89
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 56
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
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Description
(1) 測定対象物に対して光を出射する光源部と、
波長選択素子を複数有し、前記光源部から出射された光の光路上に配置する前記波長選択素子を所定のパターンで変更することで、前記測定対象物に対して照射する光のモードを変更するモード選択機構と、
前記モード選択機構を経た前記光源部からの光が照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記モード選択機構の動作を制御すると共に、前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果を取得して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する制御部と、
を有し、
前記モード選択機構から前記測定対象物に対して照射する光のモードには、モード選択機構の動作確認に用いられる基準モードが含まれ、
前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する光学測定装置、
である。
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本発明に係る光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
I(black)<I(λ1)<I(blank)
I(black)<I(λ2)<I(blank)
を満たすはずである。制御部30は、ホイール45を一周して全てのフィルタ部を光路L1上に配置して測定を行った後に、測定結果が上記の関係を満たしているかを確認する。
Claims (7)
- 測定対象物に対して光を出射する光源部と、
波長選択素子を複数有し、前記光源部から出射された光の光路上に配置する前記波長選択素子を所定のパターンで変更することで、前記測定対象物に対して照射する光のモードを変更するモード選択機構と、
前記モード選択機構を経た前記光源部からの光が照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記モード選択機構の動作を制御すると共に、前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果を取得して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する制御部と、
を有し、
前記モード選択機構から前記測定対象物に対して照射する光のモードには、モード選択機構の動作確認に用いられる基準モードが含まれ、
前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する光学測定装置。 - 前記基準モードには、前記光源部からの光を遮断するモードが含まれる請求項1に記載の光学測定装置。
- 前記基準モードには、前記光源部からの光を全て前記測定対象物に対して出射するモードが含まれる請求項1又は2に記載の光学測定装置。
- 前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構における前記波長選択素子の変更動作の前記所定のパターンからのずれを検知する請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 前記モード選択機構は、前記波長選択素子として機能するフィルタが複数取り付けられたフィルタホイールである請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 前記光源部から出射する光には、可視光が含まれ、
前記波長選択素子には、前記測定対象物に対して照射する光の成分に可視光を含めることが可能な素子が含まれている請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、前記モード選択機構の動作が適切ではないと判定した場合に、前記モード選択機構の動作を適切な状態に復帰させる請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016115570A JP6693284B2 (ja) | 2016-06-09 | 2016-06-09 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016115570A JP6693284B2 (ja) | 2016-06-09 | 2016-06-09 | 光学測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017219480A JP2017219480A (ja) | 2017-12-14 |
JP6693284B2 true JP6693284B2 (ja) | 2020-05-13 |
Family
ID=60657521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016115570A Active JP6693284B2 (ja) | 2016-06-09 | 2016-06-09 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6693284B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08226852A (ja) * | 1995-02-21 | 1996-09-03 | Kdk Corp | フィルタロータの原点検出方法 |
US7016525B2 (en) * | 2002-05-02 | 2006-03-21 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for continuously varying wavelength illumination |
JP2012215609A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Yokogawa Electric Corp | 培養細胞観察用顕微鏡装置 |
US20150042822A1 (en) * | 2013-08-12 | 2015-02-12 | Tu Le | Inflatable photo booth |
-
2016
- 2016-06-09 JP JP2016115570A patent/JP6693284B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017219480A (ja) | 2017-12-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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