JP2017219480A - 光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) 測定対象物に対して光を出射する光源部と、
波長選択素子を複数有し、前記光源部から出射された光の光路上に配置する前記波長選択素子を所定のパターンで変更することで、前記測定対象物に対して照射する光のモードを変更するモード選択機構と、
前記モード選択機構を経た前記光源部からの光が照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記モード選択機構の動作を制御すると共に、前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果を取得して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する制御部と、
を有し、
前記モード選択機構から前記測定対象物に対して照射する光のモードには、モード選択機構の動作確認に用いられる基準モードが含まれ、
前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する光学測定装置、
である。
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本発明に係る光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
I(black)<I(λ1)<I(blank)
I(black)<I(λ2)<I(blank)
を満たすはずである。制御部30は、ホイール45を一周して全てのフィルタ部を光路L1上に配置して測定を行った後に、測定結果が上記の関係を満たしているかを確認する。
Claims (7)
- 測定対象物に対して光を出射する光源部と、
波長選択素子を複数有し、前記光源部から出射された光の光路上に配置する前記波長選択素子を所定のパターンで変更することで、前記測定対象物に対して照射する光のモードを変更するモード選択機構と、
前記モード選択機構を経た前記光源部からの光が照射された前記測定対象物を撮像する撮像部と、
前記モード選択機構の動作を制御すると共に、前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果を取得して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する制御部と、
を有し、
前記モード選択機構から前記測定対象物に対して照射する光のモードには、モード選択機構の動作確認に用いられる基準モードが含まれ、
前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構の動作が適切であるか判定する光学測定装置。 - 前記基準モードには、前記光源部からの光を遮断するモードが含まれる請求項1に記載の光学測定装置。
- 前記基準モードには、前記光源部からの光を全て前記測定対象物に対して出射するモードが含まれる請求項1又は2に記載の光学測定装置。
- 前記制御部は、前記基準モードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、前記基準モードとは異なるモードでの前記撮像部による前記測定対象物の撮像結果と、を比較して、前記モード選択機構における前記波長選択素子の変更動作の前記所定のパターンからのずれを検知する請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 前記モード選択機構は、前記波長選択素子として機能するフィルタが複数取り付けられたフィルタホイールである請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学測定装置。
- 前記光源部から出射する光には、可視光が含まれ、
前記波長選択素子には、前記測定対象物に対して照射する光の成分に可視光を含めることが可能な素子が含まれている請求項1〜5のいずれか一項に記載の光学測定装置。 - 前記制御部は、前記モード選択機構の動作が適切ではないと判定した場合に、前記モード選択機構の動作を適切な状態に復帰させる請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学測定装置。
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JP2004004055A (ja) * | 2002-05-02 | 2004-01-08 | Mitsutoyo Corp | 好適照明設定の判定方法、この判定方法を用いた検査方法、及び画像処理装置 |
JP2012215609A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Yokogawa Electric Corp | 培養細胞観察用顕微鏡装置 |
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