JP2016118527A - Radiation detection device and radiographic imaging system - Google Patents

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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiation detection device that features reduced image noise caused by an AC magnetic field of unknown frequency and amplitude coming from a horizontal direction.SOLUTION: A radiation detection device includes: a planar detection unit having two-dimensionally arrayed elements for obtaining radiation-based electrical signals thereon to detect irradiated radiation; a drive circuit configured to drive switches for outputting electrical signals from respective elements; an acquisition circuit configured to acquire an electrical signal from each of the elements when a switch corresponding thereto is driven; a support base having the drive circuit and acquisition circuit arranged thereon; and a conductive member disposed partially in front of the detection unit viewing from a radiation source that emits radiation for imaging, and electrically connected to the ground of the drive circuit and the ground of the acquisition circuit.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、放射線を検出する放射線検出装置、およびその放射線検出装置を用いて放射線画像の撮像を行う放射線撮像システムに関する。   The present invention relates to a radiation detection apparatus that detects radiation, and a radiation imaging system that captures a radiation image using the radiation detection apparatus.

近年、放射線を電気信号に変換する変換素子が二次元のアレー状に配置されたセンサアレーを用いたフラットパネル型の放射線検出装置が普及している。このようなセンサアレーは、一般的に、画素ごとにガラス基板上に形成した変換素子と変換素子によって変換された電気信号を外部に転送するTFTなどのスイッチ素子とを有し、これらを二次元配置してアレー状として構成される。特許文献1には、このようなセンサアレーにより画像を得る手法が記載されている。この手法では、ガラス基板の外部またはその基板上にゲートドライバを複数配置し、ゲートドライバが、駆動信号線を介してスイッチ素子を駆動させる。そして、ゲートドライバと同様にガラス基板の外部またはその基板上に電荷検出用のセンスアンプを複数配置し、センスアンプが、画像信号線を介して取り出された電気信号を検出する。そして、この検出された電気信号から、画像が形成される。   In recent years, flat panel type radiation detection apparatuses using a sensor array in which conversion elements for converting radiation into electrical signals are arranged in a two-dimensional array have become widespread. Such a sensor array generally has a conversion element formed on a glass substrate for each pixel and a switch element such as a TFT for transferring an electric signal converted by the conversion element to the outside. Arranged and configured as an array. Patent Document 1 describes a method for obtaining an image using such a sensor array. In this method, a plurality of gate drivers are arranged outside or on the glass substrate, and the gate drivers drive the switch elements via the drive signal lines. Similar to the gate driver, a plurality of sense amplifiers for charge detection are arranged outside or on the glass substrate, and the sense amplifier detects an electrical signal taken out through the image signal line. An image is formed from the detected electrical signal.

このような放射線検出装置は、変換素子が微小な電荷を検出するため、以下のような課題を内在する。例えば、病院等の撮影室には、放射線検出装置とともに、放射線を放射するための装置又はその他の診断装置等が設置されており、これらの装置では大電力を使用する場合がある。すなわち、微弱な電荷を検出する装置と大電力を使用する装置が共存する環境が発生しうる。このような環境では、大電力装置からの不要電磁エネルギーが、他の機器に対する磁界ノイズとなり、これらの機器における誤動作や性能の低下を引き起こすことがある。放射線検出装置に関しては、外部から交流磁界ノイズが加えられると、撮像された画像にラインアーチファクトと呼ばれる横縞状の画像ノイズが現れる。これらのノイズは特に、大電力機器、X線発生装置のインバータなどから発生し、1kHzから100kHz程度と比較的低い周波数帯域を有する。また、これらの交流磁界ノイズは、放射線検出装置と大電力機器の設置状況又は使用状況により、さまざまな方向から到来しうる。このような交流磁界ノイズに対するノイズ対策は一般的に困難である。   Such a radiation detection apparatus has the following problems because the conversion element detects minute charges. For example, in a radiographing room such as a hospital, a radiation detecting device and a device for emitting radiation or other diagnostic devices are installed, and these devices may use high power. That is, an environment in which a device that detects a weak charge and a device that uses high power coexist can occur. In such an environment, unnecessary electromagnetic energy from the high-power device becomes magnetic field noise for other devices, which may cause malfunctions and performance degradation in these devices. Regarding the radiation detection apparatus, when AC magnetic field noise is applied from the outside, horizontal stripe-like image noise called a line artifact appears in the captured image. These noises are generated particularly from high-power devices, inverters of X-ray generators, etc., and have a relatively low frequency band of about 1 kHz to 100 kHz. Further, these AC magnetic field noises can come from various directions depending on the installation status or usage status of the radiation detection apparatus and the high power equipment. Noise countermeasures against such AC magnetic field noise are generally difficult.

従来、このような交流磁界による画像ノイズを低減するため、さまざまな手法が提案されている。特許文献2は、外部から特定の周波数および特定の振幅で到来する交流磁界に対して、暗画像と放射線画像の読み出し時間を調整し、最終的な画像から交流磁界による影響を減算処理により消去する手法を記載している。また、特許文献3は、放射線検出装置の放射線が照射される側から、導電性部材、光電変換部、シンチレータの順に配置することで電磁ノイズの影響を低減する手法を記載している。   Conventionally, various methods have been proposed to reduce image noise due to such an alternating magnetic field. Patent Document 2 adjusts the readout time of a dark image and a radiographic image with respect to an AC magnetic field arriving at a specific frequency and a specific amplitude from the outside, and erases the influence of the AC magnetic field from the final image by subtraction processing. The method is described. Patent Document 3 describes a method of reducing the influence of electromagnetic noise by arranging a conductive member, a photoelectric conversion unit, and a scintillator in this order from the radiation irradiation side of the radiation detection apparatus.

特許第4018725号公報Japanese Patent No. 4018725 特開2012−119770号公報JP 2012-119770 A 特開2012−112726号公報JP 2012-112726 A

しかしながら、特許文献2の技術では、暗画像取得時と放射線画像取得時において、交流磁界の周波数又は振幅が変化した場合は、減算処理において画像ノイズを除去することができない。さらに、暗画像取得開始から放射線画像取得開始までの時間を、外来磁界周期の整数倍にするためには、画像取得間隔を外来磁界の周期に合わせて遅らせる必要があり、撮影速度が低下するという課題があった。また、特許文献3においては、放射線入射方向からの電磁ノイズに関しては低減できるものの、放射線検出装置に水平方向から到来する交流磁界については効果を得ることが困難であるという課題があった。   However, with the technique of Patent Document 2, if the frequency or amplitude of the alternating magnetic field changes during dark image acquisition and radiological image acquisition, image noise cannot be removed in the subtraction process. Furthermore, in order to make the time from the start of dark image acquisition to the start of radiological image acquisition an integer multiple of the external magnetic field period, it is necessary to delay the image acquisition interval according to the period of the external magnetic field, and the imaging speed is reduced. There was a problem. Moreover, in patent document 3, although the electromagnetic noise from the radiation incident direction can be reduced, there is a problem that it is difficult to obtain an effect with respect to the alternating magnetic field that arrives at the radiation detection device from the horizontal direction.

本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、放射線検出装置において、周波数および振幅が未知で水平方向から到来する交流磁界に起因する画像ノイズを低減することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce image noise caused by an alternating magnetic field arriving from the horizontal direction with unknown frequency and amplitude in a radiation detection apparatus.

上記課題を解決するために、本発明の放射線検出装置は、放射線に基づく電気信号を取得する素子を二次元のアレー状に配置し、照射された放射線を検出する平面状の検出手段と、前記素子のそれぞれにおける検出結果を出力させるためのスイッチを駆動させる駆動回路と、前記スイッチが駆動されることに応じて、前記素子のそれぞれにおける前記検出結果を取得する取得回路と、前記駆動回路および前記取得回路が配置される支持基台と、放射線を照射する放射線源から見て前記検出手段の前にその一部が近接して配置されると共に、前記駆動回路のグランドおよび前記取得回路のグランドと電気的に接続される導電性部材と、を有する。   In order to solve the above-described problems, a radiation detection apparatus according to the present invention includes a planar detection unit that arranges elements for acquiring an electrical signal based on radiation in a two-dimensional array, and detects irradiated radiation, and A driving circuit for driving a switch for outputting a detection result in each of the elements; an acquisition circuit for acquiring the detection result in each of the elements in response to driving of the switch; the driving circuit; and A support base on which the acquisition circuit is disposed, a part of the support base disposed in front of the detection unit as viewed from a radiation source that emits radiation, and a ground of the drive circuit and a ground of the acquisition circuit; And a conductive member electrically connected.

本発明によれば、放射線検出装置において、周波数および振幅が未知で水平方向から到来する交流磁界に起因する画像ノイズを低減することが可能となる。   According to the present invention, in the radiation detection apparatus, it is possible to reduce image noise caused by an alternating magnetic field that is unknown in frequency and amplitude and arrives from the horizontal direction.

放射線検出装置の構造の第1の例を示す図。The figure which shows the 1st example of the structure of a radiation detection apparatus. 図1において導電性部材が放射線検出装置に接続されない場合の放射線検出装置の構造の例を示す図。The figure which shows the example of a structure of a radiation detection apparatus in case the electroconductive member is not connected to a radiation detection apparatus in FIG. 放射線検出装置の構造の第2の例を示す図。The figure which shows the 2nd example of the structure of a radiation detection apparatus. 放射線検出装置の構造の第3の例を示す図。The figure which shows the 3rd example of the structure of a radiation detection apparatus.

以下、図面を参照しながら、本発明に係る放射線検出装置について、具体的な構成と動作原理について説明する。この放射線検出装置は、例えば、放射線を放射する放射線源と、その放射された放射線を検出した放射線検出装置が出力する放射線の検出結果に対応する電気信号から放射線撮像画像を形成する放射線撮像システムにおいて用いられる。なお、放射線撮像システムは、上述の放射線源及び放射線撮像画像形成機能を全て含む1つの装置であってもよいし、その少なくとも一部が別の装置として独立して存在する構成であってもよい。また、放射線は、X線であってもよいし、他の放射線であってもよい。   Hereinafter, a specific configuration and operation principle of a radiation detection apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. This radiation detection apparatus is, for example, in a radiation imaging system that forms a radiation imaging image from a radiation source that emits radiation and an electrical signal corresponding to a detection result of radiation output by the radiation detection apparatus that has detected the emitted radiation. Used. The radiation imaging system may be a single device that includes all the radiation sources and the radiation imaging image forming functions described above, or may have a configuration in which at least a part thereof is independently present as another device. . The radiation may be X-rays or other radiation.

<<実施形態1>>
図1(a)及び(b)に、放射線検出装置の構造の第1の例を示す。図1(a)は放射線検出装置の斜視図であり、図1(b)は図1(a)におけるa−a’の断面図である。なお、図1(a)及び(b)において、一方向矢印によって三次元の座標をそれぞれXYZと指定し、放射線は図中下方、すなわちZ軸の原点側から照射されるものとする。また、ノイズ源となる交流磁界については、Z方向から到来するものを垂直方向の交流磁界、XまたはY方向から到来するものを水平方向の交流磁界と呼ぶ。
<< Embodiment 1 >>
1A and 1B show a first example of the structure of a radiation detection apparatus. 1A is a perspective view of the radiation detection apparatus, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line aa ′ in FIG. In FIGS. 1A and 1B, it is assumed that three-dimensional coordinates are designated as XYZ by a one-way arrow, and radiation is emitted from the lower side in the figure, that is, from the origin side of the Z axis. As for the AC magnetic field that becomes a noise source, what comes from the Z direction is called a vertical AC magnetic field, and what comes from the X or Y direction is called a horizontal AC magnetic field.

放射線検出装置は、例えば、放射線が照射される方向から見て、導電性部材13、センサアレー2及び支持基台12が重ねられて構成される。   The radiation detection apparatus is configured by, for example, stacking the conductive member 13, the sensor array 2, and the support base 12 when viewed from the direction in which the radiation is irradiated.

センサアレー2は、ガラス等の絶縁性表面を有する基板で構成され、1つの画素にそれぞれが対応する複数の変換素子1及びスイッチ素子3を、二次元のアレー状に配置した平面状の放射線検出部である。センサアレー2は、スイッチ素子3を駆動するための駆動信号線4と、変換素子1による放射線の検出結果を出力させるための画像信号線5とが配線される。なお、センサアレー2においては、スイッチ素子3の構造や、駆動信号線4と画像信号線5とが交差することに起因する、意図せず形成される静電容量として、寄生容量14が存在し得る。   The sensor array 2 is composed of a substrate having an insulating surface such as glass, and is a planar radiation detector in which a plurality of conversion elements 1 and switch elements 3 each corresponding to one pixel are arranged in a two-dimensional array. Part. The sensor array 2 is wired with a drive signal line 4 for driving the switch element 3 and an image signal line 5 for outputting a detection result of radiation by the conversion element 1. In the sensor array 2, there is a parasitic capacitance 14 as a capacitance formed unintentionally due to the structure of the switch element 3 and the intersection of the drive signal line 4 and the image signal line 5. obtain.

変換素子1は、放射線を電気信号に変換する素子である。スイッチ素子3はTFT等で構成される。上述のように、変換素子1とスイッチ素子3とがペアで1つの画素に対応し、このペアが、センサアレー2において、二次元のアレー状に配置されることで、複数の画素からなる放射線撮像画像を取得するための放射線検出部として機能する。駆動信号線4は、変換素子1とスイッチ素子3との組み合わせが配置される二次元のアレーにおけるそれぞれの行に対応して配置され、各行のスイッチ素子3に対して、駆動オンバイアスおよび駆動オフバイアスのいずれかを供給する。なお、駆動オフバイアスは、スイッチ素子3をオフ状態にできる電位であればよく、本実施形態では、例えば、グランドと同電位である。画像信号線5は、上述の二次元のアレーにおけるそれぞれの列ごとに配置され、駆動信号線4により駆動オンバイアスが供給されたスイッチ素子3に対応する変換素子1の電気信号、すなわち放射線の検出結果を、読み出し回路6へ伝達する。なお、変換素子1は、放射線を電気信号に直接変換する直接変換型のものと、不図示の蛍光体が放射線の照射を受けたことに応じて発する光を電気信号に変換する間接変換型のものとの、いずれであってもよい。   The conversion element 1 is an element that converts radiation into an electrical signal. The switch element 3 is composed of a TFT or the like. As described above, the conversion element 1 and the switch element 3 correspond to one pixel in a pair, and the pair is arranged in a two-dimensional array form in the sensor array 2, thereby forming radiation composed of a plurality of pixels. It functions as a radiation detection unit for acquiring a captured image. The drive signal line 4 is arranged corresponding to each row in the two-dimensional array in which the combination of the conversion element 1 and the switch element 3 is arranged, and the drive on bias and the drive off are applied to the switch element 3 in each row. Supply one of the biases. The drive off bias may be any potential that can turn off the switch element 3, and in this embodiment, for example, is the same potential as the ground. The image signal line 5 is arranged for each column in the above-described two-dimensional array, and the electrical signal of the conversion element 1 corresponding to the switch element 3 to which the drive on-bias is supplied by the drive signal line 4, that is, the detection of radiation. The result is transmitted to the reading circuit 6. The conversion element 1 includes a direct conversion type that directly converts radiation into an electric signal, and an indirect conversion type that converts light emitted when a phosphor (not shown) is irradiated with radiation into an electric signal. Any of them may be used.

読み出し回路6及び出力回路9は、支持基台12に配置される。支持基台12は、センサアレー2、読み出し回路6および出力回路9を固定し支持するための基台である。支持基台12は、導電性の金属または、昨今の軽量化の要望に対し、軽量かつ強度の高い炭素繊維強化プラスチック(CFRP)で金属メッシュを挟み込んだもの、あるいはCFRP単体等が用いられる。なお、支持基台12と、駆動信号線4及び画像信号線5は、衝撃緩衝のための部材や各種回路を放射線から遮蔽するための遮蔽部材により、放射線照射方向、すなわちZ方向に対向する面において間隔hを隔てて配置されている。   The readout circuit 6 and the output circuit 9 are disposed on the support base 12. The support base 12 is a base for fixing and supporting the sensor array 2, the readout circuit 6, and the output circuit 9. The support base 12 is made of a conductive metal, or a metal mesh sandwiched between carbon fiber reinforced plastics (CFRP) that is light and strong in response to the recent demand for weight reduction, or a single CFRP. The support base 12, the drive signal line 4, and the image signal line 5 are surfaces facing the radiation irradiation direction, that is, the Z direction by a member for shock buffering or a shielding member for shielding various circuits from radiation. In FIG. 2, they are arranged at an interval h.

読み出し回路6は、センスアンプ7と読み出し基板8とを含んで構成され、放射線の検出結果を取得するための取得回路として機能する。センスアンプ7は、画像信号線5からの電気信号をA/Dコンバータ等でデジタル信号に変換し、読み出し基板8へ伝送する。読み出し基板8は、例えば、センスアンプ7への制御信号の入出力を行い、場合によっては電力の供給をも行う。   The readout circuit 6 includes a sense amplifier 7 and a readout substrate 8 and functions as an acquisition circuit for acquiring a radiation detection result. The sense amplifier 7 converts an electrical signal from the image signal line 5 into a digital signal by an A / D converter or the like and transmits the digital signal to the readout substrate 8. For example, the reading substrate 8 inputs / outputs a control signal to / from the sense amplifier 7 and also supplies power in some cases.

出力回路9は、ゲートドライバ10と出力基板11とを含んで構成され、上述のスイッチ素子3のそれぞれを駆動させる駆動回路として機能する。ゲートドライバ10は、駆動信号線4へ、スイッチ素子3をオンとするための駆動オンバイアスと、オフとするための駆動オフバイアスとのいずれかを、選択的に印加する。ゲートドライバ10には、駆動オンバイアスと駆動オフバイアスとが入力されうる。出力基板11は、ゲートドライバ10への制御信号の入出力や電力の供給を行う。   The output circuit 9 includes a gate driver 10 and an output substrate 11 and functions as a drive circuit that drives each of the switch elements 3 described above. The gate driver 10 selectively applies either a drive on bias for turning on the switch element 3 or a drive off bias for turning off to the drive signal line 4. A drive on bias and a drive off bias can be input to the gate driver 10. The output board 11 inputs and outputs control signals to the gate driver 10 and supplies power.

センスアンプ7及びゲートドライバ10は一般的には集積回路で構成され、不図示のTCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip On Film)等のフレキシブル基板に搭載される。また、COG(Chip On Glass)と呼ばれる実装方式により、センスアンプ7及びゲートドライバ10はセンサアレー2上に搭載されてもよい。   The sense amplifier 7 and the gate driver 10 are generally constituted by an integrated circuit, and are mounted on a flexible substrate such as TCP (Tape Carrier Package) or COF (Chip On Film) (not shown). Further, the sense amplifier 7 and the gate driver 10 may be mounted on the sensor array 2 by a mounting method called COG (Chip On Glass).

導電性部材13は、センサアレー2よりも放射線照射側に配置され、放射線以外の可視光の検出防止、不図示の蛍光体の保護、及び電界性のノイズ対策等の少なくともいずれかの目的で使用される。導電性部材13は、上記目的のため、通常、変換素子1、駆動信号線4および画像信号線5に近接して配置され、放射線照射方向、すなわちZ方向において、間隔h’を隔てた位置に配置される。なお、導電性部材13は、撮影時において放射線を透過させる必要があるため、例えば、放射線透過率が99%以上となる厚さであることが必要である。導電性部材13は、例えばアルミニウムを含む、センサアレー2を覆う薄膜であり、その厚さは例えば0.1〜100μm程度である。なお、導電性部材13は、これに限定されるものではなく、放射線透過率が99%以上である導電性の材料であれば、他の材料によって形成され、又は厚さが上述の範囲外であってもよい。   The conductive member 13 is disposed on the radiation irradiation side of the sensor array 2 and is used for at least one of the purposes of preventing detection of visible light other than radiation, protecting phosphors not shown, and countermeasures against electric field noise. Is done. For the above purpose, the conductive member 13 is usually disposed in the vicinity of the conversion element 1, the drive signal line 4 and the image signal line 5, and is located at a position spaced apart by a distance h 'in the radiation irradiation direction, that is, the Z direction. Be placed. In addition, since it is necessary for the conductive member 13 to transmit radiation at the time of imaging, for example, it is necessary that the thickness be such that the radiation transmittance is 99% or more. The conductive member 13 is a thin film that covers the sensor array 2 including, for example, aluminum, and the thickness thereof is, for example, about 0.1 to 100 μm. The conductive member 13 is not limited to this, and may be formed of other materials or have a thickness outside the above range as long as the conductive material has a radiation transmittance of 99% or more. There may be.

また、導電性部材13は、本実施形態では、後述するように、交流磁界ノイズを受信する閉ループの一部、すなわち誘導電流の伝搬経路の一部としても使用される。このため、導電性部材13の一部13−1および13−2が、それぞれ読み出し回路6のグランド、出力回路9のグランドと電気的に接続される。   In this embodiment, the conductive member 13 is also used as a part of a closed loop that receives AC magnetic field noise, that is, a part of a propagation path of induced current, as will be described later. For this reason, the parts 13-1 and 13-2 of the conductive member 13 are electrically connected to the ground of the readout circuit 6 and the ground of the output circuit 9, respectively.

接続点15は、読み出し回路6および出力回路9のグランドを、支持基台12と導通させるための接続であり、導電性のビスなどを用いる。なお、本実施形態においては、例えば、読み出し回路6と出力回路9とのグランドの少なくともいずれかが、支持基台12と導通されない、すなわち電気的に接続されないように構成されうる。   The connection point 15 is a connection for electrically connecting the ground of the readout circuit 6 and the output circuit 9 to the support base 12 and uses conductive screws or the like. In the present embodiment, for example, at least one of the grounds of the readout circuit 6 and the output circuit 9 may be configured not to be electrically connected to the support base 12, that is, not electrically connected.

以下、本実施形態の放射線検出装置の動作原理について説明する。図2(a)及び(b)は、比較例として、図1の放射線検出装置から、導電性部材13と読み出し回路6および出力回路9のグランドとを電気的に接続する部分である13−1および13−2が省略された場合の放射線検出装置の構成を示す図である。図2(a)は、放射線検出装置の比較例の斜視図であり、図2(b)は、図2(a)におけるb−b’の断面図である。なお、図2(a)及び(b)において、図1(a)及び(b)と同様の構成部分には同一符号を付している。   Hereinafter, the operation principle of the radiation detection apparatus of this embodiment will be described. FIGS. 2A and 2B are portions 13-1 for electrically connecting the conductive member 13 and the ground of the readout circuit 6 and the output circuit 9 from the radiation detection apparatus of FIG. 1 as a comparative example. It is a figure which shows the structure of the radiation detection apparatus when 13-2 is abbreviate | omitted. FIG. 2A is a perspective view of a comparative example of the radiation detection apparatus, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line b-b ′ in FIG. 2A and 2B, the same components as those in FIGS. 1A and 1B are denoted by the same reference numerals.

放射線検出装置においては、電磁誘導の法則により、放射線検出装置内の閉回路を、交流磁界、すなわち変動する磁束が貫くことにより誘導起電力が発生する。さらに、誘起された誘導起電力は、閉回路のインピーダンスにより誘導電流に変換され、その誘導電流がセンスアンプ7で検出される電気信号に重畳し、これにより画像ノイズが発生する。この誘導電流は、交流磁界ノイズの磁束密度、及び貫く閉回路の断面積に比例し、閉回路のインピーダンスに反比例することが知られている。すなわち、交流磁界ノイズが貫く閉回路の断面積が小さく、かつ、閉回路のインピーダンスが高いほど、画像ノイズが発生しにくくなる。   In the radiation detection apparatus, an induced electromotive force is generated by an alternating magnetic field, that is, a changing magnetic flux, passing through a closed circuit in the radiation detection apparatus according to the law of electromagnetic induction. Further, the induced electromotive force is converted into an induced current by the impedance of the closed circuit, and the induced current is superimposed on the electric signal detected by the sense amplifier 7, thereby generating image noise. It is known that this induced current is proportional to the magnetic flux density of the alternating magnetic field noise and the cross-sectional area of the closed circuit that penetrates, and inversely proportional to the impedance of the closed circuit. That is, the smaller the cross-sectional area of the closed circuit through which the AC magnetic field noise penetrates and the higher the impedance of the closed circuit, the less the image noise is generated.

放射線検出装置においては、電磁誘導の法則により、放射線検出装置内の閉回路を、交流磁界、すなわち変動する磁束が貫くことにより誘導起電力を生じ、その誘導起電力がセンスアンプ7で検出される電気信号に重畳することにより画像ノイズが発生する。この誘導起電力は、交流磁界ノイズの磁束密度および貫く閉回路の断面積に比例することが知られている。すなわち、交流磁界ノイズが貫く閉回路の断面積が大きいほど、画像ノイズを生じることになる。   In the radiation detection apparatus, according to the law of electromagnetic induction, an induced electromotive force is generated by passing an alternating magnetic field, that is, a changing magnetic flux, through a closed circuit in the radiation detection apparatus, and the induced electromotive force is detected by the sense amplifier 7. Image noise is generated by superimposing the electric signal. This induced electromotive force is known to be proportional to the magnetic flux density of the alternating magnetic field noise and the cross-sectional area of the closed circuit that penetrates. That is, the larger the cross-sectional area of the closed circuit through which AC magnetic field noise penetrates, the more image noise is generated.

図2(b)において、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路C2を点線で示す。この閉回路C2は、出力基板11〜ゲートドライバ10〜駆動信号線4〜寄生容量14〜画像信号線5〜センスアンプ7〜読み出し基板8の経路と、出力回路9および読み出し回路6のグランドが接続される支持基台12を経由する経路とによって形成される。したがって、水平方向の交流磁界ノイズにより生じる画像ノイズは、図2(b)の斜線で示す断面積に比例した大きさとなる。なお、閉回路C2において斜線で示していない部分は、断面で見た場合に、支持基台12と同一の平面上に存在する部分である。すなわち、説明のために支持基台12より上部に描かれているが、実際には支持基台12と同一平面上に形成されている部分である。したがって、この部分は、水平方向において断面積を有しないか有していても微小であるため、水平方向の交流磁界ノイズが貫かないか、貫いたとしても微小な影響のみを与えるに過ぎない部分となる。なお、以下の説明においても、閉回路中で斜線によって示されていない部分については同様の理由により交流磁界ノイズが貫かない又は貫いたとしても微小な影響のみを与えるに過ぎない部分を示す。   In FIG. 2B, a closed circuit C2 through which horizontal AC magnetic field noise penetrates is indicated by a dotted line. In this closed circuit C2, the path of the output substrate 11 to the gate driver 10 to the drive signal line 4 to the parasitic capacitance 14 to the image signal line 5 to the sense amplifier 7 to the readout substrate 8 is connected to the ground of the output circuit 9 and the readout circuit 6. And a route passing through the support base 12. Therefore, the image noise generated by the alternating magnetic field noise in the horizontal direction has a magnitude proportional to the cross-sectional area shown by the oblique lines in FIG. In addition, the part which is not shown with the oblique line in the closed circuit C2 is a part which exists on the same plane as the support base 12 when it sees in a cross section. That is, although it is drawn above the support base 12 for explanation, it is actually a portion formed on the same plane as the support base 12. Therefore, this part has no cross-sectional area in the horizontal direction or is very small even if it has a cross-sectional area. Therefore, the horizontal direction AC magnetic field noise does not penetrate, or even if it penetrates, it has only a minute effect. It becomes. In the following description, a portion not shown by hatching in the closed circuit indicates a portion that does not penetrate the AC magnetic field noise for the same reason or has only a minute influence even if it does not penetrate.

図2(a)及び(b)では、導電性部材13は、読み出し回路6および出力回路9のグランドとそれぞれ電気的に接続する部分13−1および13−2を有しないことにより、閉回路の一部として機能しない例を示している。一方で、例えば導電性部材13の一部13−1のみが読み出し回路6のグランドに接続されていても、導電性部材13は閉回路としては機能しない。また、導電性部材13の一部13−2のみが出力回路9のグランドに接続されていても同様である。すなわち、つまり導電性部材13の一部13−1及び13−2の双方の接続がなければ、導電性部材13は閉回路として機能しない。   2A and 2B, the conductive member 13 does not have portions 13-1 and 13-2 that are electrically connected to the grounds of the readout circuit 6 and the output circuit 9, respectively. An example that does not function as a part is shown. On the other hand, for example, even when only a part 13-1 of the conductive member 13 is connected to the ground of the readout circuit 6, the conductive member 13 does not function as a closed circuit. The same applies even if only a part 13-2 of the conductive member 13 is connected to the ground of the output circuit 9. That is, in other words, unless both the parts 13-1 and 13-2 of the conductive member 13 are connected, the conductive member 13 does not function as a closed circuit.

これに対し、本実施形態に係る放射線検出装置では、導電性部材13の一部13−1が読み出し回路6のグランドに接続され、さらに導電性部材13の一部13−2が出力回路9のグランドに接続される。これにより、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路C1は、図1(b)の点線のようになる。この閉回路C1は、出力基板11〜ゲートドライバ10〜駆動信号線4〜寄生容量14〜画像信号線5〜センスアンプ7〜読み出し基板8の経路と、出力回路9および読み出し回路6のグランドが接続される導電性部材13とを含んで形成される。すなわち、本実施形態では、導電性部材13の一部13−1および13−2が出力回路9および読み出し回路6のグランドに電気的に接続されることにより、導電性部材13を経由した閉回路C1が形成される。この閉回路C1は、これまで経路としていなかった、駆動信号線4および画像信号線5に近接して配置された導電性部材13を経路の一部として使用している。そのため、従来に比べて、斜線で示した交流磁界ノイズが鎖交する断面積が大幅に小さくなっていることがわかる。これにより水平方向の交流磁界ノイズに誘起された誘導電流の一部が、断面積の小さい閉回路C1に流れることにより、画像ノイズを大幅に低減することが可能となる。   On the other hand, in the radiation detection apparatus according to this embodiment, a part 13-1 of the conductive member 13 is connected to the ground of the readout circuit 6, and a part 13-2 of the conductive member 13 is connected to the output circuit 9. Connected to ground. As a result, the closed circuit C1 through which the horizontal AC magnetic field noise penetrates is as shown by the dotted line in FIG. In the closed circuit C1, the path of the output board 11 to the gate driver 10 to the drive signal line 4 to the parasitic capacitance 14 to the image signal line 5 to the sense amplifier 7 to the readout board 8 is connected to the ground of the output circuit 9 and the readout circuit 6. And the conductive member 13 to be formed. In other words, in this embodiment, the parts 13-1 and 13-2 of the conductive member 13 are electrically connected to the ground of the output circuit 9 and the readout circuit 6, so that a closed circuit via the conductive member 13 is obtained. C1 is formed. The closed circuit C1 uses a conductive member 13 which has not been used as a path so far and is disposed close to the drive signal line 4 and the image signal line 5 as a part of the path. Therefore, it can be seen that the cross-sectional area where the alternating magnetic field noise indicated by the oblique lines is significantly smaller than the conventional one. As a result, part of the induced current induced by the horizontal AC magnetic field noise flows through the closed circuit C1 having a small cross-sectional area, so that the image noise can be greatly reduced.

また、駆動信号線4および画像信号線5と、支持基台12との間の距離h、および、駆動信号線4および画像信号線5と、導電性部材13との間の距離h’の関係は、h‘<hとしうる。このようにすることで、従来の閉回路であるC2の断面積よりも、本実施形態で形成される閉回路C1の方が、断面積が大幅に小さくなる。すなわち、水平方向の交流磁界ノイズに誘起された誘導電流がより小さくなり、より効果的に画像ノイズを低減することが可能となる。   Further, the relationship of the distance h between the drive signal line 4 and the image signal line 5 and the support base 12 and the distance h ′ between the drive signal line 4 and the image signal line 5 and the conductive member 13. May be h ′ <h. By doing in this way, the cross-sectional area of the closed circuit C1 formed in the present embodiment is significantly smaller than the cross-sectional area of the conventional closed circuit C2. That is, the induced current induced by the horizontal AC magnetic field noise becomes smaller, and the image noise can be reduced more effectively.

次に、導電率又はシート抵抗値と、面積、厚み、また、形状がメッシュ状である場合は開口率等の物理形状より算出した各部材が有するインピーダンスに注目する。支持基台12と導電性部材13において、導電性部材13のインピーダンスを、支持基台12のインピーダンスよりも低くすることで、さらに画像ノイズを低減することができる。これは、断面積の大きい閉回路C2で誘起される誘導電流を少なくし、より断面積の小さい閉回路C1への誘導電流を流すことによって得られる効果であると考えられる。   Next, attention is paid to the impedance of each member calculated from the physical shape such as the electrical conductivity or the sheet resistance value, the area, the thickness, and the physical shape such as the aperture ratio when the shape is a mesh. Image noise can be further reduced by making the impedance of the conductive member 13 lower than the impedance of the support base 12 in the support base 12 and the conductive member 13. This is considered to be an effect obtained by reducing the induced current induced in the closed circuit C2 having a large cross-sectional area and flowing the induced current to the closed circuit C1 having a smaller cross-sectional area.

<<実施形態2>>
図3は、放射線検出装置の構造の第2の例を示す。なお、図3は、構造の断面図のみを示しているが、基本的な構造は図1(a)及び(b)と同様である。なお、本実施形態において、実施形態1と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。
<< Embodiment 2 >>
FIG. 3 shows a second example of the structure of the radiation detection apparatus. FIG. 3 shows only a cross-sectional view of the structure, but the basic structure is the same as in FIGS. 1 (a) and 1 (b). In the present embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

本実施形態の放射線検出装置は、駆動オフバイアスとなる電源16がゲートドライバ10に対して電源基板17を介して印加されている点において、実施形態1と異なる。駆動オフバイアスは、実施形態1ではグランド電位としたが、本実施形態では駆動オンバイアスと駆動オフバイアスの電位差がより大きくなるような電位としている。これは、駆動オフバイアスが種々のノイズにより変動した場合に、スイッチ素子3が意図せずにオンとなることを防止し、また、スイッチ素子3の漏れ電流を少なくするためのものである。また、本実施形態の放射線検出装置は、さらに、駆動オフバイアスが出力回路9上でコンデンサ18を介してグランドと接続されている点でも実施形態1と異なる。なお、コンデンサ18の容量値は、駆動オフバイアスとなる電源16のインピーダンスを鑑みて、例えば、1.3μF〜1.0mFが用いられる。   The radiation detection apparatus according to the present embodiment is different from that according to the first embodiment in that a power supply 16 serving as a driving off bias is applied to the gate driver 10 via a power supply substrate 17. The driving off bias is a ground potential in the first embodiment, but in this embodiment, the driving off bias is set to a potential at which the potential difference between the driving on bias and the driving off bias becomes larger. This is to prevent the switch element 3 from being turned on unintentionally when the drive off bias fluctuates due to various noises, and to reduce the leakage current of the switch element 3. The radiation detection apparatus of the present embodiment is further different from that of the first embodiment in that the drive off bias is connected to the ground via the capacitor 18 on the output circuit 9. Note that the capacitance value of the capacitor 18 is, for example, 1.3 μF to 1.0 mF in view of the impedance of the power supply 16 serving as a driving off bias.

図3において、実施形態1の説明と同様に、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路C3を点線で示す。閉回路C3は、出力基板11〜ゲートドライバ10〜駆動信号線4〜寄生容量14〜画像信号線5〜センスアンプ7〜読み出し基板8の経路を含む。また、閉回路C3内で、駆動オフバイアスとなっているゲートドライバ10に関して、出力回路9からコンデンサ18を介して出力回路9のグランドへ伝搬経路が形成される。そして、出力回路9および読み出し回路6のグランドが接続される導電性部材13の一部13−1および13−2によって、これらの経路と導電性部材13とを電気的に接続することにより、導電性部材13を経由した閉回路C3が形成される。   In FIG. 3, the closed circuit C3 through which the horizontal AC magnetic field noise penetrates is indicated by a dotted line as in the description of the first embodiment. The closed circuit C3 includes a path from the output substrate 11 to the gate driver 10 to the drive signal line 4 to the parasitic capacitance 14 to the image signal line 5 to the sense amplifier 7 to the readout substrate 8. In addition, a propagation path is formed from the output circuit 9 to the ground of the output circuit 9 from the output circuit 9 via the capacitor 18 with respect to the gate driver 10 that is driving off bias in the closed circuit C3. Then, by electrically connecting these paths and the conductive member 13 by the portions 13-1 and 13-2 of the conductive member 13 to which the ground of the output circuit 9 and the readout circuit 6 are connected, the conductive member 13 A closed circuit C3 is formed via the sexual member 13.

このように、本実施形態に係る放射線検出装置では、実施形態1と同様に、従来に比べて、斜線で示した交流磁界ノイズが鎖交する断面積が大幅に小さくなっていることがわかる。これにより水平方向の交流磁界ノイズに誘起された誘導電流の一部が、断面積の小さい閉回路C3に流れることにより、画像ノイズを大幅に低減することが可能となる。   As described above, in the radiation detection apparatus according to the present embodiment, as in the first embodiment, it can be seen that the cross-sectional area where the alternating magnetic field noise indicated by the oblique lines is significantly smaller than the conventional one. As a result, part of the induced current induced by the horizontal AC magnetic field noise flows through the closed circuit C3 having a small cross-sectional area, so that the image noise can be greatly reduced.

また、駆動信号線4および画像信号線5と、支持基台12との間の距離h、および、駆動信号線4および画像信号線5と、導電性部材13との間の距離h’の関係は、h‘<hとしうる。このようにすることで、従来の閉回路であるC2の断面積よりも、本実施形態で形成される閉回路C3の方が、断面積が大幅に小さくなる。すなわち、水平方向の交流磁界ノイズに誘起された誘導電流がより小さくなり、より効果的に画像ノイズを低減することが可能となる。   Further, the relationship of the distance h between the drive signal line 4 and the image signal line 5 and the support base 12 and the distance h ′ between the drive signal line 4 and the image signal line 5 and the conductive member 13. May be h ′ <h. By doing so, the cross-sectional area of the closed circuit C3 formed in this embodiment is significantly smaller than the cross-sectional area of the conventional closed circuit C2. That is, the induced current induced by the horizontal AC magnetic field noise becomes smaller, and the image noise can be reduced more effectively.

さらに、支持基台12と導電性部材13において、導電性部材13のインピーダンスを、支持基台12のインピーダンスよりも低くすることで、さらに画像ノイズを低減することができる。これは、断面積の大きい閉回路C2で誘起される誘導電流を少なくし、より断面積の小さい閉回路C3への誘導電流を流すことによって得られる効果であると考えられる。   Furthermore, in the support base 12 and the conductive member 13, image noise can be further reduced by making the impedance of the conductive member 13 lower than the impedance of the support base 12. This is considered to be an effect obtained by reducing the induced current induced in the closed circuit C2 having a large cross-sectional area and flowing the induced current to the closed circuit C3 having a smaller cross-sectional area.

<<実施形態3>>
図4は、放射線検出装置の構造の第3の例を示す。なお、図4は、構造の断面図のみを示しているが、基本的な構造は図1(a)及び(b)と同様である。なお、本実施形態において、実施形態1又は2と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略する。
<< Embodiment 3 >>
FIG. 4 shows a third example of the structure of the radiation detection apparatus. Note that FIG. 4 shows only a cross-sectional view of the structure, but the basic structure is the same as FIGS. 1 (a) and 1 (b). In addition, in this embodiment, about the structure similar to Embodiment 1 or 2, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

本実施形態の放射線検出装置は、導電性部材13が、導電性部材13の一部13−2を介して駆動オフバイアスである電源16と出力回路9上で接続され、導電性部材13が駆動オフバイアスと同電位となっている点で、実施形態1及び2と異なる。また、本実施形態の放射線検出装置は、さらに、導電性部材13の一部13−1により、読み出し回路6上で、コンデンサ18を介してグランドと接続されている点で、実施形態1及び2と異なる。なお、コンデンサ18の容量値に関しては、駆動オフバイアスとなる電源16のインピーダンス等を鑑みて、例えば、1.3μF〜1.0mFが用いられる。   In the radiation detection apparatus of the present embodiment, the conductive member 13 is connected on the output circuit 9 with the power supply 16 that is a driving off bias via a part 13-2 of the conductive member 13, and the conductive member 13 is driven. It differs from the first and second embodiments in that it has the same potential as the off bias. In addition, the radiation detection apparatus according to the present embodiment is further connected to the ground via the capacitor 18 on the readout circuit 6 by the part 13-1 of the conductive member 13, as described in the first and second embodiments. And different. For the capacitance value of the capacitor 18, for example, 1.3 μF to 1.0 mF is used in view of the impedance of the power supply 16 that is a driving off bias.

図4において、実施形態1及び2の説明と同様に、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路C4を点線で示す。閉回路C4は、ゲートドライバ10〜駆動信号線4〜寄生容量14〜画像信号線5〜センスアンプ7の経路を含む。また、閉回路C4内で、ゲートドライバ10の駆動オフバイアスへ流入または流出する電流は、出力回路9上で接続された導電性部材13の一部13−2を経由し、導電性部材13〜導電性部材13の一部13−1の経路で読み出し回路6へ到達する。この電流は読み出し回路6上のコンデンサ18を介し読み出し回路6のグランドへと到達する。以上の経路により、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路C4が形成される。   In FIG. 4, similarly to the description of the first and second embodiments, the closed circuit C4 through which the horizontal AC magnetic field noise penetrates is indicated by a dotted line. The closed circuit C4 includes paths of the gate driver 10 to the drive signal line 4 to the parasitic capacitance 14 to the image signal line 5 to the sense amplifier 7. In the closed circuit C4, a current flowing into or out of the driving off bias of the gate driver 10 passes through a part 13-2 of the conductive member 13 connected on the output circuit 9, and the conductive members 13 to The readout circuit 6 is reached through a path of a part 13-1 of the conductive member 13. This current reaches the ground of the readout circuit 6 via the capacitor 18 on the readout circuit 6. By the above path, a closed circuit C4 through which horizontal AC magnetic field noise penetrates is formed.

このように、本実施形態に係る放射線検出装置でも、実施形態1及び2と同様に、水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路の断面積を縮小することができる。このため、本実施形態に係る放射線検出装置により、水平方向の交流磁界ノイズに起因して生じる画像ノイズを大幅に低減することができる。   Thus, also in the radiation detection apparatus according to the present embodiment, the cross-sectional area of the closed circuit through which the horizontal AC magnetic field noise penetrates can be reduced as in the first and second embodiments. For this reason, the radiation detection apparatus according to the present embodiment can significantly reduce image noise caused by horizontal AC magnetic field noise.

なお、以上の各実施形態では、1つの駆動信号線4および1つの画像信号線5を経る1本の配線に対してのみ水平方向の交流磁界ノイズが貫く閉回路を点線で示したが、全ての駆動信号線4および画像信号線5の組み合わせに対して同様の閉回路が存在する。そして、これら全ての閉回路を水平方向の交流磁界ノイズが貫くことで生じた誘導起電力の積算がセンスアンプ7で検出され画像ノイズを生じる。しかしながら、上述の各実施形態に係る放射線検出装置であれば、これらの全ての駆動信号線4および画像信号線5の組み合わせに対応する全ての閉回路に対して、閉回路の断面積を縮小し、交流電磁ノイズに起因する画像ノイズを低減することができる。   In each of the above embodiments, the closed circuit through which the horizontal AC magnetic field noise penetrates only one wiring passing through one drive signal line 4 and one image signal line 5 is shown by a dotted line. A similar closed circuit exists for the combination of the drive signal line 4 and the image signal line 5. Then, the integration of the induced electromotive force generated by the horizontal AC magnetic field noise penetrating all these closed circuits is detected by the sense amplifier 7 to generate image noise. However, in the case of the radiation detection apparatus according to each of the above-described embodiments, the cross-sectional area of the closed circuit is reduced with respect to all the closed circuits corresponding to the combinations of all these drive signal lines 4 and image signal lines 5. Image noise caused by AC electromagnetic noise can be reduced.

なお、上述の各実施形態に係る放射線検出装置によれば、閉回路の断面積を縮小することにより交流磁界ノイズに起因する誘導起電力を低減するものであるため、撮像時においてノイズ低減のための特段の制御は不要となる。また、鎖交する磁界ノイズの量を減らすことによる誘導起電力の低減効果であるため、交流磁界ノイズの振幅及び周波数によらずその効果を得ることが可能である。このように、上述の各実施形態の放射線検出装置によれば、外部から到来する交流磁界ノイズの周波数や振幅が未知の場合においても、撮影動作速度の低下を生じずに、水平方向の電磁ノイズによる撮影画像への影響を低減することが可能となる。   In addition, according to the radiation detection apparatus according to each of the above-described embodiments, the induced electromotive force due to the AC magnetic field noise is reduced by reducing the cross-sectional area of the closed circuit. This special control is unnecessary. Further, since the effect of reducing the induced electromotive force is obtained by reducing the amount of magnetic field noise interlinked, it is possible to obtain the effect regardless of the amplitude and frequency of the AC magnetic field noise. As described above, according to the radiation detection apparatus of each of the above-described embodiments, even when the frequency and amplitude of the AC magnetic field noise coming from the outside are unknown, the horizontal electromagnetic noise does not occur without causing a reduction in the imaging operation speed. It is possible to reduce the influence on the captured image due to.

なお、以上の実施形態において、導電性部材13の一部13−1は、線状で読み出し回路6の一点でグランドと接続されているが、これに限定されるものではない。導電性部材13は、例えば、読み出し回路6のグランドと、複数個所で接続されてもよいし、面状に接続されてもよい。同様に、導電性部材13の一部13−2は、出力回路9のグランドと、複数個所で接続されてもよいし、面状に接続されてもよい。   In the above embodiment, the part 13-1 of the conductive member 13 is linear and connected to the ground at one point of the readout circuit 6, but is not limited thereto. For example, the conductive member 13 may be connected to the ground of the readout circuit 6 at a plurality of locations, or may be connected in a planar shape. Similarly, a part 13-2 of the conductive member 13 may be connected to the ground of the output circuit 9 at a plurality of locations, or may be connected in a planar shape.

また、上述の各実施形態では、読み出し回路6のグランドと出力回路9のグランドとの少なくともいずれかが、支持基台12に電気的に接続されないように構成することができる。これは、支持基台12をCFRPなどの導電性をほとんど持たない材料や非導電性の材料に変更することでも達成できる。つまり、支持基台12を介した閉回路のインピーダンスを無限大(又は非常に大きい値)にすることで、導電性部材13を介した閉回路のインピーダンスよりも大幅に高くすることと同等の効果を得ることができる。これにより、放射線検出装置において、支持基台12を介した閉回路が形成されることを防ぐことにより、更なる画像ノイズの低減が可能となる。   In each of the above-described embodiments, at least one of the ground of the readout circuit 6 and the ground of the output circuit 9 can be configured not to be electrically connected to the support base 12. This can also be achieved by changing the support base 12 to a material having little conductivity such as CFRP or a non-conductive material. That is, by making the impedance of the closed circuit via the support base 12 infinite (or a very large value), an effect equivalent to making it significantly higher than the impedance of the closed circuit via the conductive member 13 is achieved. Can be obtained. Thereby, in the radiation detection apparatus, it is possible to further reduce image noise by preventing the formation of a closed circuit via the support base 12.

以下、上述の各実施形態の効果を検証するため、人体の撮影に用いるカセッテ型のX線デジタル画像撮像装置に上述の各実施形態に係る放射線検出装置を用いた場合の、ノイズ量の評価結果を示す。本評価では、X線デジタル画像撮像装置の外形寸法は384(幅)x460(奥行き)x15(厚さ)mmの物を使用した。また、変換素子はおおよそ2800x3400画素を持つ。以下の評価結果例では、外部からの水平方向の交流磁界ノイズとして、1m四方のループコイルを用いて25.04kHzの正弦波電流を印加した場合の例を示している。   Hereinafter, in order to verify the effect of each embodiment described above, the evaluation result of the noise amount when the radiation detection apparatus according to each embodiment described above is used for the cassette type X-ray digital image capturing apparatus used for imaging the human body Indicates. In this evaluation, an X-ray digital image pickup apparatus having an outer dimension of 384 (width) × 460 (depth) × 15 (thickness) mm was used. The conversion element has approximately 2800 × 3400 pixels. In the following example of evaluation results, an example in which a sine wave current of 25.04 kHz is applied as a horizontal AC magnetic field noise from the outside using a 1 m square loop coil is shown.

[評価1]
実施形態1の放射線検出装置を用いたX線デジタル画像撮影装置において、図1(a)及び(b)における間隔h及びh’を、それぞれh=約3mm、h’=約500μmとした。また、導電性部材13の材質はアルミニウムとし、その厚さは30μmとした。また、導電性部材13は、読み出し回路6の読み出し基板8および出力回路9の出力基板11のそれぞれ一点において、導電性のビスによりグランドに電気的に接続されるものとした。
[Evaluation 1]
In the X-ray digital imaging apparatus using the radiation detection apparatus of Embodiment 1, the intervals h and h ′ in FIGS. 1A and 1B are set to h = about 3 mm and h ′ = about 500 μm, respectively. The material of the conductive member 13 is aluminum and the thickness is 30 μm. In addition, the conductive member 13 is electrically connected to the ground with a conductive screw at one point on each of the readout substrate 8 of the readout circuit 6 and the output substrate 11 of the output circuit 9.

このような構成において、撮影した画像ノイズ量を、比較例となる図2における画像ノイズ量と比較した。実施形態1の放射線検出装置を用いることにより、図2における画像ノイズ量を100%とした場合に、X方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを58%に、Y方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを87%にまで低減することができた。すなわち、実施形態1の放射線検出装置により、X方向及びY方向からの交流磁界ノイズを、それぞれ42%及び13%だけ低減する効果が得られることを確認できた。   In such a configuration, the captured image noise amount was compared with the image noise amount in FIG. 2 as a comparative example. By using the radiation detection apparatus of the first embodiment, when the amount of image noise in FIG. 2 is 100%, the image noise due to the AC magnetic field noise from the X direction is 58%, and the AC magnetic field noise from the Y direction is It was possible to reduce the image noise caused by the noise to 87%. That is, it was confirmed that the radiation detection apparatus according to the first embodiment has an effect of reducing the AC magnetic field noise from the X direction and the Y direction by 42% and 13%, respectively.

[評価2]
本評価では、評価1と異なり、実施形態1の放射線検出装置において、接続点15に非導電性の樹脂ネジ等を用いて、読み出し回路6及び出力回路9のグランドの少なくともいずれかが支持基台12と電気的に接続されないようにした。これは、支持基台12を介した閉回路のインピーダンスを無限大(又は非常に大きい値)にすることで、導電性部材13を介した閉回路のインピーダンスよりも大幅に高くすることと同等である。これにより、閉回路C1が形成される点は図1と同様であるが、誘導電流の一部が支持基台12を流れることなく、全て導電性部材13を経由した閉回路C1に流れるため、断面積低減効果をより大きくすることができるはずである。
[Evaluation 2]
In this evaluation, unlike the evaluation 1, in the radiation detection apparatus according to the first embodiment, a non-conductive resin screw or the like is used for the connection point 15 and at least one of the grounds of the readout circuit 6 and the output circuit 9 is a support base. 12 was not electrically connected. This is equivalent to making the impedance of the closed circuit through the support base 12 infinite (or a very large value) to be significantly higher than the impedance of the closed circuit through the conductive member 13. is there. Thereby, the point where the closed circuit C1 is formed is the same as in FIG. 1, but a part of the induced current does not flow through the support base 12 but all flows into the closed circuit C1 via the conductive member 13. It should be possible to increase the cross-sectional area reduction effect.

このような構成において、撮影した画像ノイズ量を、比較例となる図2における画像ノイズ量と比較した。この結果、上述のような構成により、図2における画像ノイズ量を100%とした場合に、X方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを45%に、Y方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを87%にまで低減することができた。すなわち、実施形態1の放射線検出装置により、X方向及びY方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを、それぞれ55%及び13%だけ低減する効果が得られることを確認できた。   In such a configuration, the captured image noise amount was compared with the image noise amount in FIG. 2 as a comparative example. As a result, with the configuration as described above, when the amount of image noise in FIG. 2 is 100%, the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction is 45%, and the AC magnetic field noise from the Y direction is caused. Image noise can be reduced to 87%. That is, it was confirmed that the radiation detection apparatus according to the first embodiment has an effect of reducing the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction and the Y direction by 55% and 13%, respectively.

[評価3]
実施形態2の放射線検出装置をX線デジタル画像撮影装置において用いた場合についての評価を行った。本評価では、導電性部材13の一部13−1と読み出し回路6、又は導電性部材13の一部13−2と出力回路9の少なくともいずれかが電気的に接続されず、コンデンサ18が電源基板17上に実装された放射線検出装置が用いられる場合を比較対象とした。
[Evaluation 3]
The case where the radiation detection apparatus of Embodiment 2 was used in the X-ray digital imaging device was evaluated. In this evaluation, at least one of the part 13-1 of the conductive member 13 and the readout circuit 6 or the part 13-2 of the conductive member 13 and the output circuit 9 is not electrically connected, and the capacitor 18 is connected to the power source. The case where a radiation detection device mounted on the substrate 17 was used was set as a comparison target.

その結果、比較例を100%とした場合、コンデンサ18が1.3μFの場合、X方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを90%に、Y方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを97%にまで低減することができた。すなわち、実施形態2の放射線検出装置により、比較例と比して、X方向及びY方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを、それぞれ10%及び3%だけ低減する効果が得られることを確認できた。   As a result, when the comparative example is 100%, when the capacitor 18 is 1.3 μF, the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction is set to 90%, and the image noise caused by the AC magnetic field noise from the Y direction is set. Can be reduced to 97%. That is, the radiation detection apparatus according to the second embodiment can reduce the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction and the Y direction by 10% and 3%, respectively, as compared with the comparative example. It could be confirmed.

また、コンデンサ18が69.3μFの場合において、X方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを75%、Y方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを71%に低減することができた。すなわち、実施形態2の放射線検出装置により、比較例と比して、X方向及びY方向からの交流磁界ノイズに起因する画像ノイズを、それぞれ25%及び29%だけ低減する効果が得られることを確認できた。   Further, when the capacitor 18 is 69.3 μF, the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction can be reduced to 75%, and the image noise caused by the AC magnetic field noise from the Y direction can be reduced to 71%. . That is, the radiation detection apparatus according to the second embodiment can reduce the image noise caused by the AC magnetic field noise from the X direction and the Y direction by 25% and 29%, respectively, as compared with the comparative example. It could be confirmed.

1:変換素子、2:センサアレー、3:スイッチ素子、4:駆動信号線、5:画像信号線、6:読み出し回路、7:センスアンプ、8:読み出し基板、9:出力回路、10:ゲートドライバ、11:出力基板、12:支持基台、13:導電性部材   1: conversion element, 2: sensor array, 3: switch element, 4: drive signal line, 5: image signal line, 6: readout circuit, 7: sense amplifier, 8: readout substrate, 9: output circuit, 10: gate Driver 11: Output board 12: Support base 13: Conductive member

Claims (11)

放射線検出装置であって、
放射線に基づく電気信号を取得する素子を二次元のアレー状に配置し、照射された放射線を検出する平面状の検出手段と、
前記素子のそれぞれにおける前記電気信号を出力させるためのスイッチを駆動させる駆動回路と、
前記スイッチが駆動されることに応じて、前記素子のそれぞれにおける前記電気信号を取得する取得回路と、
前記駆動回路および前記取得回路が配置される支持基台と、
放射線を照射する放射線源から見て前記検出手段の前にその一部が近接して配置されると共に、前記駆動回路のグランドおよび前記取得回路のグランドと電気的に接続される導電性部材と、
を有することを特徴とする放射線検出装置。
A radiation detection device comprising:
Planar detection means for detecting the irradiated radiation by arranging the elements for acquiring the electrical signal based on the radiation in a two-dimensional array,
A drive circuit for driving a switch for outputting the electrical signal in each of the elements;
An acquisition circuit for acquiring the electrical signal in each of the elements in response to the switch being driven;
A support base on which the drive circuit and the acquisition circuit are disposed;
A conductive member that is partly disposed in front of the detection means as viewed from a radiation source that emits radiation, and that is electrically connected to the ground of the drive circuit and the ground of the acquisition circuit;
A radiation detection apparatus comprising:
前記支持基台は、前記支持基台と前記検出手段との間の距離が、前記検出手段と前記導電性部材との間の距離より大きくなる位置に配置される、
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。
The support base is disposed at a position where a distance between the support base and the detection means is larger than a distance between the detection means and the conductive member.
The radiation detection apparatus according to claim 1.
前記支持基台のインピーダンスが、前記導電性部材のインピーダンスよりも高い、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置。
The impedance of the support base is higher than the impedance of the conductive member,
The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein:
前記駆動回路には、前記スイッチをオフにするための駆動オフバイアスが入力され、
前記駆動オフバイアスと前記駆動回路のグランドとの間には、コンデンサが接続され、前記導電性部材は、前記駆動回路のグランドおよび前記取得回路のグランドと電気的に接続される、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
A driving off bias for turning off the switch is input to the driving circuit,
A capacitor is connected between the drive off bias and the ground of the drive circuit, and the conductive member is electrically connected to the ground of the drive circuit and the ground of the acquisition circuit.
The radiation detection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
前記駆動回路には、前記スイッチをオフにするための駆動オフバイアスが入力され、
前記導電性部材は、前記駆動回路において前記駆動オフバイアスに接続され、前記導電性部材は、さらに、前記駆動オフバイアスと前記取得回路のグランドとの間に配置されるコンデンサを介して当該取得回路のグランドと電気的に接続される、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
A driving off bias for turning off the switch is input to the driving circuit,
The conductive member is connected to the drive off bias in the drive circuit, and the conductive member is further connected to the acquisition circuit via a capacitor disposed between the drive off bias and the ground of the acquisition circuit. Electrically connected to the ground,
The radiation detection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein
前記コンデンサは、1.3μFから1.0mFの容量を有する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の放射線検出装置。
The capacitor has a capacitance of 1.3 μF to 1.0 mF;
The radiation detection apparatus according to claim 4 or 5, wherein
前記支持基台は、前記放射線源から見て前記検出手段の後に配置される、
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
The support base is disposed after the detection means when viewed from the radiation source;
The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein
前記駆動回路のグランドと前記取得回路のグランドとの少なくともいずれかが、前記支持基台と電気的に接続されないように構成される、
ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
At least one of the ground of the drive circuit and the ground of the acquisition circuit is configured not to be electrically connected to the support base.
The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein
前記導電性部材の前記一部は、前記検出手段を覆う薄膜の部分を有する、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
The part of the conductive member has a thin film portion covering the detection means,
The radiation detection apparatus according to claim 1, wherein the radiation detection apparatus is a radiation detection apparatus.
前記導電性部材は、前記駆動回路のグランドと前記取得回路のグランドとの少なくともいずれかと、複数個所において電気的に接続される、
ことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の放射線検出装置。
The conductive member is electrically connected at a plurality of locations with at least one of the ground of the drive circuit and the ground of the acquisition circuit.
The radiation detection apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein:
請求項1から10のいずれか1項に記載の放射線検出装置と、
前記放射線検出装置に放射線を照射する照射手段と、
前記取得回路が取得した前記電気信号に基づいて、放射線撮像画像を形成する形成手段と、
を有することを特徴とする放射線撮像システム。
The radiation detection apparatus according to any one of claims 1 to 10,
Irradiating means for irradiating the radiation detecting device with radiation;
Forming means for forming a radiation image based on the electrical signal acquired by the acquisition circuit;
A radiation imaging system comprising:
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