JP2016112745A

JP2016112745A - Holder, holder unit and scribing device

Info

Publication number: JP2016112745A
Application number: JP2014252233A
Authority: JP
Inventors: 貴裕地主; Takahiro Jinushi; 吉也佐々木; Kichiya Sasaki
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2014-12-12
Filing date: 2014-12-12
Publication date: 2016-06-23
Anticipated expiration: 2034-12-12
Also published as: TWI675808B; CN105690579A; TW201623171A; KR20160072016A; JP6515518B2; CN105690579B

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a holder, holder unit and scribing device stabilizing the formation position of a scribing line so as not to deviate from a desired position by movement of a scribing wheel in a pin shaft direction.SOLUTION: A holder unit 30 comprises: a scribing wheel 40; a pin shaft 50 penetrated by the through-hole of the scribing wheel; a pair of holding parts 63a, 63b formed to the lower part 62 of a holder body 60; and the pin holes 66a, 66b in which the pin shaft is inserted. In the holding part 63a, an air hole 70 for sucking or discharging air is formed at a position facing the side face 41a of the scribing wheel.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、ガラス基板等の脆性材料基板の分断において、脆性材料基板の表面にスクライブラインを形成する際に用いるホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a holder, a holder unit, and a scribing device that are used when a scribe line is formed on the surface of a brittle material substrate in dividing a brittle material substrate such as a glass substrate.

ガラス基板等の脆性材料基板を所望の寸法に分断する際、一般的にスクライブ装置が用いられる。このスクライブ装置は、スクライビングホイールを保持するためのホルダにスクライビングホイールを取り付けて使用される。また、このスクライビングホイールは、ホルダの保持部に形成されたピン孔と、スクライビングホイールの側面に形成された貫通孔とに、円柱状のピン軸を挿入することで、保持部間（保持溝）に保持される。 When a brittle material substrate such as a glass substrate is divided into desired dimensions, a scribing device is generally used. This scribing device is used by attaching the scribing wheel to a holder for holding the scribing wheel. In addition, this scribing wheel has a cylindrical pin shaft inserted into a pin hole formed in a holder holding part and a through hole formed in a side surface of the scribing wheel, so that the holding part (holding groove) Retained.

そして、ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、回転自在に保持されており、脆性材料基板の表面を回転しながら進むことで、脆性材料基板にスクライブラインを形成する。なお、このようなスクライブ装置として、例えば、特許文献１に記載されているようなスクライブ装置がある。 The scribing wheel attached to the holder is rotatably held, and proceeds while rotating on the surface of the brittle material substrate, thereby forming a scribe line in the brittle material substrate. An example of such a scribing device is a scribing device described in Patent Document 1.

国際特許公開ＷＯ２００７／０６３９７９号公報International Patent Publication No. WO2007 / 063979

ホルダに取り付けられたスクライビングホイールは、上述のようにスクライブラインを形成するために保持溝で回転する必要がある。したがって、保持溝の幅はスクライビングホイールの厚みより若干広くなっており、スクライビングホイールと保持部との間にはクリアランスが確保されている。具体的には、スクライビングホイールの厚みが０．６５ｍｍの場合には、保持溝の幅は０．０２ｍｍ程度広くなっている。このように、スクライビングホイールと保持部との間にクリアランスが存在することによって、スクライビングホイールは、回転自在に保持される。 The scribing wheel attached to the holder needs to rotate in the holding groove in order to form a scribe line as described above. Therefore, the width of the holding groove is slightly larger than the thickness of the scribing wheel, and a clearance is secured between the scribing wheel and the holding portion. Specifically, when the thickness of the scribing wheel is 0.65 mm, the width of the holding groove is increased by about 0.02 mm. As described above, the clearance exists between the scribing wheel and the holding portion, so that the scribing wheel is rotatably held.

一方で、このクリアランスによって、スクライビングホイールは、ホルダ溝内でピン軸に沿って０．０２ｍｍ程度移動できることになってしまう。したがって、スクライブラインを形成する際に、スクライビングホイールがピン軸方向に移動してしまうことで、スクライブラインの形成位置が安定しなくなり、従来のスクライブ装置では、スクライブラインが所望の位置からずれるということが問題となっていた。 On the other hand, this clearance allows the scribing wheel to move about 0.02 mm along the pin axis within the holder groove. Therefore, when the scribe line is formed, the scribing wheel moves in the pin axis direction, so that the formation position of the scribe line becomes unstable, and in the conventional scribe device, the scribe line is shifted from a desired position. Was a problem.

本発明は、上述したスクライビングホイールがピン軸方向に移動することによりスクライブラインの形成位置がずれるという問題点に鑑みてなされたものであって、スクライブイラインの形成位置を安定させ、所望の位置からのずれが生じないようにするホルダ、ホルダユニット及びスクライブ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the problem that the formation position of the scribe line is shifted due to the movement of the above-described scribing wheel in the pin axis direction, and the formation position of the scribe line is stabilized to a desired position. It is an object of the present invention to provide a holder, a holder unit, and a scribing device that prevent deviation from the above.

上記目的を達成するため、本発明のホルダは、本体部と、前記本体部の下方に形成された一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されたピン孔と、を備え、スクライビングホイールの貫通孔に貫通されるとともに前記ピン孔に挿通されるピン軸により、前記保持部間に前記スクライビングホイールを回転自在に保持するためのホルダであって、前記保持部には、前記スクライビングホイールを保持した際に、前記スクライビングホールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a holder of the present invention comprises a main body part, a pair of holding parts formed below the main body part, and pin holes that are located on the same axis and are respectively formed in the holding parts. And a holder for rotatably holding the scribing wheel between the holding portions by a pin shaft that is inserted through the through hole of the scribing wheel and is inserted into the pin hole. A vent hole for discharging or sucking air is formed at a position facing the side surface of the scribing hole when the scribing wheel is held.

本発明のホルダによれば、スクライビングホイールが保持部に保持された状態で通気孔を介して空気を排出又は吸引することによって、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、ホルダは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the holder of the present invention, by discharging or sucking air through the vent hole while the scribing wheel is held by the holding portion, the clearance between the scribing wheel and the holding portion in the pin axis direction of the scribing wheel is achieved. Movement will be restricted. Therefore, the holder can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダは、前記通気孔が、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とする。 The holder of the present invention is characterized in that the vent hole is formed only in one of the pair of holding portions.

本発明のホルダによれば、スクライビングホイールが一方の保持部へ引き寄せられるため、スクライビングホイールのピン軸方向への移動がより規制される。したがって、ホルダは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the holder of the present invention, since the scribing wheel is drawn to one holding portion, the movement of the scribing wheel in the pin axis direction is further restricted. Therefore, the holder can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダは、前記通気孔が、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする。 Further, in the holder of the present invention, the vent hole is connected to a side air passage formed on an outer side surface of the holding portion, and the side air passage includes a main body air passage formed inside the main body portion. It is characterized by being connected.

本発明のホルダによれば、通気孔へとつながる通気路をホルダの加工によって簡単に形成することができる。 According to the holder of the present invention, an air passage leading to the air hole can be easily formed by processing the holder.

また、本発明のホルダは、前記通気孔を前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする。 The holder of the present invention is characterized in that the pin hole serves as the vent hole.

本発明のホルダによれば、ピン孔内に空気の流れが生じるため、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸へ付着することを防止することができる。また、スクライビングホイールの中央部において空気の流れが生じることにより、スクライブ中のスクライビングホイールの傾きが抑制される。 According to the holder of the present invention, since an air flow is generated in the pin hole, the cullet generated when the scribe line is formed can be prevented from adhering to the pin shaft. In addition, since the air flow is generated in the center of the scribing wheel, the inclination of the scribing wheel during scribe is suppressed.

また、本発明のホルダユニットは、スクライビングホイールと、前記スクライビングホイールの貫通孔に貫通されたピン軸と、本体部と、前記本体部の下方に形成され前記スクライビングホイールを保持する一対の保持部と、同軸上に位置し前記保持部にそれぞれ形成されるとともに前記ピン軸が挿通されたピン孔と、を有するホルダと、を備えたホルダユニットであって、前記保持部には、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔が形成されていることを特徴とする。 Further, the holder unit of the present invention includes a scribing wheel, a pin shaft penetrating through the through hole of the scribing wheel, a main body portion, and a pair of holding portions that are formed below the main body portion and hold the scribing wheel. A holder unit having a pin hole positioned on the same axis and formed in the holding part and through which the pin shaft is inserted, wherein the holding part includes the scribing wheel. A vent hole for discharging or sucking air is formed at a position facing the side surface.

本発明のホルダユニットによれば、通気孔を介して空気を排出又は吸引することによって、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、ホルダユニットは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the holder unit of the present invention, movement of the scribing wheel in the pin axis direction due to the clearance between the scribing wheel and the holding portion is restricted by discharging or sucking air through the vent hole. Therefore, the holder unit can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダユニットは、前記通気孔が、一対の前記保持部の一方にのみ形成されていることを特徴とする。 The holder unit of the present invention is characterized in that the vent hole is formed only in one of the pair of holding portions.

本発明のホルダユニットによれば、スクライビングホイールが一方の保持部へ引き寄せられるため、スクライビングホイールのピン軸方向への移動がより規制される。したがって、ホルダユニットは、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the holder unit of the present invention, since the scribing wheel is drawn to one holding portion, the movement of the scribing wheel in the pin axis direction is further restricted. Therefore, the holder unit can stabilize the formation position of the scribe line.

また、本発明のホルダユニットは、前記通気孔が、前記保持部の外側側面に形成された側面通気路とつながっており、前記側面通気路は、前記本体部の内部に形成された本体通気路とつながっていることを特徴とする。 In the holder unit of the present invention, the vent hole is connected to a side vent path formed on the outer side surface of the holding portion, and the side vent path is a main body vent path formed inside the main body portion. It is connected with.

本発明のホルダユニットによれば、通気孔へとつながる通気路をホルダの加工によって簡単に形成することができる。 According to the holder unit of the present invention, the air passage leading to the air hole can be easily formed by processing the holder.

また、本発明のホルダユニットは、前記側面通気路が、前記保持部の外側側面に固定された止め金によって表面が塞がれていることを特徴とする。 The holder unit of the present invention is characterized in that the surface of the side air passage is closed by a clasp fixed to the outer side surface of the holding portion.

本発明のホルダユニットによれば、側面通気路の表面を樹脂や溶接等で塞ぐ場合に比べ簡単に塞ぐことができる。また、この止め金はピン軸の抜け防止としても利用することができる。 According to the holder unit of the present invention, the surface of the side air passage can be easily blocked as compared with the case where the surface is closed with resin or welding. In addition, this clasp can be used to prevent the pin shaft from coming off.

また、本発明のホルダユニットは、前記通気孔を前記ピン孔が兼ねていることを特徴とする。 The holder unit of the present invention is characterized in that the air hole is also used as the pin hole.

本発明のホルダユニットによれば、ピン孔内に空気の流れが生じるため、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸へ付着することを防止することができる。また、スクライビングホイールの中央部において空気の流れが生じることにより、スクライブ中のスクライビングホイールの傾きが抑制される。 According to the holder unit of the present invention, since an air flow is generated in the pin hole, it is possible to prevent the cullet generated when the scribe line is formed from adhering to the pin shaft. In addition, since the air flow is generated in the center of the scribing wheel, the inclination of the scribing wheel during scribe is suppressed.

また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダを備え、前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とする。また、本発明のスクライブ装置は、上記のホルダユニットを備え、前記通気孔を介して空気の排出又は吸引を行う吸排気部を有することを特徴とする。 The scribing device of the present invention includes the above holder, and has an intake / exhaust portion that exhausts or sucks air through the vent hole. The scribing apparatus of the present invention includes the holder unit described above, and has an intake / exhaust portion that exhausts or sucks air through the vent hole.

本発明のスクライブ装置によれば、吸排気部によって空気の排出又は吸引を行うことにより、スクライビングホイールと保持部とのクリアランスによるスクライビングホイールのピン軸方向への移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置は、スクライブラインの形成位置を安定させることができる。 According to the scribing device of the present invention, movement of the scribing wheel in the pin axis direction due to the clearance between the scribing wheel and the holding unit is restricted by discharging or sucking air by the intake / exhaust unit. Therefore, the scribe device can stabilize the formation position of the scribe line.

実施形態１のスクライブ装置の概略図である。1 is a schematic diagram of a scribing apparatus according to Embodiment 1. FIG. 図２（Ａ）は実施形態１のホルダユニットの正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニットの側面図である。FIG. 2A is a front view of the holder unit of the first embodiment, and FIG. 2B is a side view of the holder unit. 図３（Ａ）は実施形態１のホルダユニットを構成するホルダの正面図であり、図３（Ｂ）はホルダの側面図であり、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のIIIＣ−IIIＣ線の断面図である。3A is a front view of the holder constituting the holder unit of the first embodiment, FIG. 3B is a side view of the holder, and FIG. 3C is IIIC-IIIC in FIG. 3B. It is sectional drawing of a line. 図４（Ａ）は図３（Ｂ）の領域Ｐの拡大図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で示した場所の下方側からの斜視図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のIVＣ−IVＣ線の断面図である。4A is an enlarged view of a region P in FIG. 3B, and FIG. 4B is a perspective view from the lower side of the location shown in FIG. 4A, and FIG. These are sectional drawings of the IVC-IVC line of Drawing 4 (A). 実施形態２のホルダの要部拡大側面図である。It is a principal part enlarged side view of the holder of Embodiment 2. FIG.

以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための一例を示すものであり、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではない。本発明は、特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態にも適応できるものである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiment shown below shows an example for embodying the technical idea of the present invention, and is not intended to specify the present invention to this embodiment. The present invention is also applicable to other embodiments within the scope of the claims.

［実施形態１］
図１は、本発明の実施形態に係るスクライブ装置１の概略図である。スクライブ装置１は、移動台１０を備えている。移動台１０は、ボールネジ１１と螺合されており、モータの駆動によりこのボールネジ１１が回転することで、一対の案内レール１２に沿ってｙ軸方向に移動可能となっている。 [Embodiment 1]
FIG. 1 is a schematic view of a scribing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The scribing apparatus 1 includes a moving table 10. The moving table 10 is screwed with a ball screw 11 and is movable in the y-axis direction along the pair of guide rails 12 by rotating the ball screw 11 by driving a motor.

移動台１０の上面には、モータ１３が設置されている。モータ１３は、上部に位置するテーブル１４をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ１３により水平回転可能なテーブル１４は、図示しない真空吸着手段を備えており、テーブル１４上に載置された脆性材料基板１５をこの真空吸着手段によって保持する。 A motor 13 is installed on the upper surface of the movable table 10. The motor 13 rotates the table 14 positioned at the upper part on the xy plane and positions it at a predetermined angle. The table 14 that can be rotated horizontally by the motor 13 includes vacuum suction means (not shown), and holds the brittle material substrate 15 placed on the table 14 by the vacuum suction means.

この脆性材料基板１５は、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスからなるセラミック基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等である。また、脆性材料基板１５は、基板の表面又は内部に薄膜或いは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。また、脆性材料基板１５は、その表面に脆性材料に該当しない薄膜等が付着されていても構わない。 The brittle material substrate 15 is a glass substrate, a ceramic substrate made of low-temperature fired ceramics or high-temperature fired ceramics, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, a quartz substrate, or the like. Further, the brittle material substrate 15 may be one in which a thin film or a semiconductor material is attached to or included in the surface or inside of the substrate. The brittle material substrate 15 may have a thin film or the like not corresponding to the brittle material attached to the surface thereof.

スクライブ装置１は、テーブル１４に載置された脆性材料基板１５の上方に、この脆性材料基板１５の表面に形成されたアライメントマークを撮像する二台のＣＣＤカメラ１６を備えている。移動台１０とその上部のテーブル１４とを跨ぐように、ブリッジ１７が支柱１８ａ、１８ｂに架設されている。 The scribing apparatus 1 includes two CCD cameras 16 that image alignment marks formed on the surface of the brittle material substrate 15 above the brittle material substrate 15 placed on the table 14. A bridge 17 is installed on the columns 18a and 18b so as to straddle the movable table 10 and the table 14 on the upper side thereof.

ブリッジ１７にはガイド１９が取り付けられており、スクライブヘッド２０はこのガイド１９に案内されてｘ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド２０の下端には、ホルダ６０にスクライビングホイール４０が保持されているホルダユニット３０が取り付けられている。 A guide 19 is attached to the bridge 17, and the scribe head 20 is installed so as to move in the x-axis direction while being guided by the guide 19. A holder unit 30 in which a scribing wheel 40 is held by a holder 60 is attached to the lower end of the scribe head 20.

ここで、スクライブ装置１を用いて脆性材料基板１５へスクライブラインを形成する工程の概略を説明する。まず、スクライブヘッド２０に取り付けられたホルダ６０にスクライビングホイール４０を取り付ける。そして、スクライブ装置１は、一対のＣＣＤカメラ１６によって脆性材料基板１５の位置決めを行う。次いで、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０を所定の位置に移動させ、スクライビングホイール４０に対して所定の荷重を印加して、脆性材料基板１５へ接触させる。そして、スクライブ装置１は、スクライブヘッド２０をＸ軸方向に移動させることにより、脆性材料基板１５の表面に所定のスクライブラインを形成する。なお、スクライブ装置１は、必要に応じてテーブル１４を回動ないしＹ軸方向に移動し、上記の場合と同様にしてスクライブラインを形成する。 Here, an outline of a process of forming a scribe line on the brittle material substrate 15 using the scribe device 1 will be described. First, the scribing wheel 40 is attached to the holder 60 attached to the scribe head 20. The scribing apparatus 1 positions the brittle material substrate 15 with a pair of CCD cameras 16. Next, the scribing apparatus 1 moves the scribing head 20 to a predetermined position, applies a predetermined load to the scribing wheel 40, and contacts the brittle material substrate 15. Then, the scribe device 1 forms a predetermined scribe line on the surface of the brittle material substrate 15 by moving the scribe head 20 in the X-axis direction. The scribing device 1 rotates the table 14 or moves in the Y-axis direction as necessary to form a scribe line in the same manner as described above.

次に、ホルダユニット３０の詳細について図を用いて説明する。図２（Ａ）はホルダユニット３０の正面図であり、図２（Ｂ）はホルダユニット３０の側面図である。また、図３（Ａ）はホルダユニット３０を構成するホルダ６０の正面図であり、図３（Ｂ）はホルダ６０の側面図であり、図３（Ｃ）は図３（Ｂ）のIIIＣ−IIIＣ線に沿った断面図である。また、図４（Ａ）は、図３（Ｂ）の一点鎖線で囲った領域Ｐの拡大図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）で示した場所の下方側からの斜視図であり、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のIVＣ−IVＣ線に沿った断面図である。なお、図４（Ｃ）は、ホルダ３０の断面図とともにホルダユニット３０を構成する他の部品についても一部示している。また、スクライブラインを形成する際のホルダユニット３０の進行方向は、図２（Ｂ）の矢印Ｄで示した方向となる。 Next, details of the holder unit 30 will be described with reference to the drawings. FIG. 2A is a front view of the holder unit 30, and FIG. 2B is a side view of the holder unit 30. 3A is a front view of the holder 60 constituting the holder unit 30, FIG. 3B is a side view of the holder 60, and FIG. 3C is IIIC- in FIG. 3B. It is sectional drawing along the IIIC line. 4A is an enlarged view of a region P surrounded by a dashed line in FIG. 3B, and FIG. 4B is a perspective view from the lower side of the place shown in FIG. 4A. FIG. 4C is a cross-sectional view taken along line IVC-IVC in FIG. FIG. 4C also shows a part of other parts constituting the holder unit 30 together with the cross-sectional view of the holder 30. Moreover, the advancing direction of the holder unit 30 when forming the scribe line is the direction indicated by the arrow D in FIG.

ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０と、図４（Ｃ）に示されているピン軸５０と、ホルダ６０と、が一体となったものである。なお、図２にはスクライブヘッド２０に内蔵され、ホルダユニット３０をスクライブヘッド２０に取り付けるためのホルダジョイント（図示せず）を構成する二つのベアリング２１ａ、２１ｂと、円筒形のスペーサ２２が示されている。 The holder unit 30 is one in which a scribing wheel 40, a pin shaft 50 shown in FIG. 4C, and a holder 60 are integrated. FIG. 2 shows two bearings 21 a and 21 b that are built in the scribe head 20 and constitute a holder joint (not shown) for attaching the holder unit 30 to the scribe head 20, and a cylindrical spacer 22. ing.

スクライビングホイール４０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円板状の部材である。また、スクライビングホイール４０にはピン軸５０が貫通するための貫通孔が円板の両側面４１ａ、４１ｂの中心に形成されている。また、スクライビングホイール４０には稜線を形成するＶ字状の刃が外周部に形成されている。また、本実施形態のスクライビングホイール４０は、厚さが約０．６５ｍｍであり、外径が約２．０ｍｍ、貫通孔４１の径が約０．８ｍｍ、刃４３の刃先角が約１３０°である。 The scribing wheel 40 is a disk-shaped member made of, for example, sintered diamond or cemented carbide. Further, the scribing wheel 40 is formed with a through hole through which the pin shaft 50 penetrates at the center of both side surfaces 41a and 41b of the disk. Further, the scribing wheel 40 has a V-shaped blade that forms a ridge line on the outer peripheral portion. Further, the scribing wheel 40 of this embodiment has a thickness of about 0.65 mm, an outer diameter of about 2.0 mm, a diameter of the through hole 41 of about 0.8 mm, and a cutting edge angle of the blade 43 of about 130 °. is there.

なお、スクライビングホイール４０は、焼結ダイヤモンドや超硬合金で形成されたものの他に、単結晶ダイヤモンドや多結晶ダイヤモンドからなるものもある。 The scribing wheel 40 may be made of single crystal diamond or polycrystalline diamond in addition to those formed of sintered diamond or cemented carbide.

ピン軸５０は、例えば焼結ダイヤモンドや超硬合金等で形成された、円柱状の部材であり、図４（Ｃ）に示すように一端が尖頭形状の尖頭部５１になっている。また、本実施形態のピン軸５０の径は約０．８ｍｍとなっている。 The pin shaft 50 is a columnar member made of, for example, sintered diamond or cemented carbide, and has a pointed head 51 with one end as shown in FIG. Further, the diameter of the pin shaft 50 of this embodiment is about 0.8 mm.

ホルダ６０は、例えばＳＵＳ３０３等の金属で形成されたものである。ホルダ６０は、本体部を形成する上方側のホルダ上部６１と、下方側のホルダ下部６２で構成されている。ホルダ上部６１は、上記したホルダジョイントを構成する二つのべアリング２１ａ、２１ｂと、スペーサ２２に挿入される。 The holder 60 is made of a metal such as SUS303, for example. The holder 60 includes an upper holder upper portion 61 and a lower holder lower portion 62 that form a main body. The holder upper portion 61 is inserted into the two bearings 21 a and 21 b and the spacer 22 constituting the holder joint described above.

ホルダ下部６２は、例えば図３（Ｂ）に示すように側面視において下方側では徐々に幅が狭くなる台形状となっている。ホルダ下部６２の台形状部分は、図３（Ａ）に示すように正面視において下方が開放されており、一対の保持部６３ａ、６３ｂと、保持部６３ａ、６３ｂの間に位置する保持溝６４が形成されている。 For example, as shown in FIG. 3 (B), the holder lower part 62 has a trapezoidal shape whose width gradually decreases on the lower side in a side view. As shown in FIG. 3A, the trapezoidal portion of the holder lower part 62 is open at the bottom in front view, and the holding groove 64 positioned between the pair of holding parts 63a and 63b and the holding parts 63a and 63b. Is formed.

また、保持部６３ａ、６３ｂには、円柱体６５ａ、６５ｂがロウ付けによってそれぞれ同軸位置で固定されている。そして、円柱体６５ａ、６５ｂには、ピン軸５０が挿通されるピン孔６６ａ、６６ｂが同軸位置に形成されている。したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ａとは保持部６３ａの円柱体６５ａと対向し、側面４１ｂとは保持部６３ｂの円柱体６５ｂと対向することになり、側面４１ａと対向する円柱体６５ａの対向面が保持壁６７ａとなり、側面４１ｂと対向する円柱体６５ｂの対向面が保持壁６７ｂとなる。なお、各図において円柱体６５ａ、６５ｂは、左右の斜め線によるハッチングで示している。 In addition, cylindrical bodies 65a and 65b are fixed to the holding portions 63a and 63b at the coaxial positions by brazing. Further, pin holes 66a and 66b through which the pin shaft 50 is inserted are formed in the cylindrical bodies 65a and 65b at coaxial positions. Accordingly, the side surface 41a of the scribing wheel 40 faces the cylindrical body 65a of the holding portion 63a, and the side surface 41b faces the cylindrical body 65b of the holding portion 63b, and the opposing surface of the cylindrical body 65a that faces the side surface 41a. Becomes the holding wall 67a, and the facing surface of the cylindrical body 65b facing the side surface 41b becomes the holding wall 67b. In each figure, the cylindrical bodies 65a and 65b are indicated by hatching with left and right diagonal lines.

また、この円柱体６５ａ、６５ｂは、スクライビングホイール４０の側面４１との摩擦を抑え回転精度の維持を図るために取り付けられており、焼結ダイヤモンドや超硬合金からなるものである。したがって、この円柱体６５ａ、６５ｂは必須なものではなく、スクライビングホイール４０の材質等との関係で保持部６３ａ、６３ｂに設けられる。なお、この円柱体６５ａ、６５ｂの取付方法等は、具体的には特開２０１１−２４０５４０号公報に記載されている方法を採用することができる。また、円柱体６５ａ、６５ｂは、取付工程において下端側が切断されることになる。したがって、円柱体６５ａ、６５ｂは、各図において下端が切断された状態で示している。 The cylindrical bodies 65a and 65b are attached in order to suppress friction with the side surface 41 of the scribing wheel 40 and maintain rotational accuracy, and are made of sintered diamond or cemented carbide. Accordingly, the cylindrical bodies 65a and 65b are not essential, and are provided in the holding portions 63a and 63b in relation to the material of the scribing wheel 40 and the like. In addition, the method described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2011-240540 can be specifically employ | adopted for the attachment method etc. of this cylindrical body 65a, 65b. Further, the cylindrical bodies 65a and 65b are cut at the lower end side in the attaching step. Therefore, the cylindrical bodies 65a and 65b are shown in a state where the lower ends are cut in the respective drawings.

以上のような構成のホルダ６０は、スクライビングホイール４０がピン軸５０方向に移動することによるスクライブラインの形成位置のずれを防止するため、スクライビングホイール４０の側面４１ａを保持壁６７ａから常に引き離すために空気を排出することのできる通気孔７０或いは側面４１ａを保持壁６７ａへ引き付けるために空気を吸引することのできる通気孔７０を更に備えている。以下に通気孔７０に関して説明する。 The holder 60 having the above-described configuration is used for always pulling the side surface 41a of the scribing wheel 40 away from the holding wall 67a in order to prevent displacement of the scribe line formation position due to the scribing wheel 40 moving in the direction of the pin shaft 50. In order to attract the air vent 70 capable of discharging air or the side surface 41a to the holding wall 67a, a vent hole 70 capable of sucking air is further provided. The vent hole 70 will be described below.

まず、ホルダ上部６１とホルダ下部６２の内部には本体通気路７１が形成されている。この本体通気路７１は、図３（Ｃ）に示すように、ホルダ上部６１の内部中央を上下に伸びるとともに、ホルダ下部６２の保持溝６４の少し上まで達している。またホルダジョイントを構成するスペーサ２２の位置と対応する位置に、本体通気路７１へつながる分岐通気路７１ａが等間隔に４つ形成されている。 First, a main body air passage 71 is formed inside the holder upper portion 61 and the holder lower portion 62. As shown in FIG. 3C, the main body air passage 71 extends up and down in the center inside the holder upper portion 61 and reaches a little above the holding groove 64 of the holder lower portion 62. In addition, four branch air passages 71a connected to the main body air passage 71 are formed at equal intervals at positions corresponding to the positions of the spacers 22 constituting the holder joint.

また、ホルダ下部６２には、右側面と左側面との間を貫通するネジ取付孔６８が形成されている。また、図３（Ｂ）に示すように、保持部６３ａの外側側面Ｓにはピン孔６６ａとネジ取付孔６８との間を結ぶ側面通気路７２が形彫り放電加工により形成されている。 The holder lower part 62 is formed with a screw attachment hole 68 penetrating between the right side surface and the left side surface. Further, as shown in FIG. 3B, a side air passage 72 connecting the pin hole 66a and the screw mounting hole 68 is formed on the outer side surface S of the holding portion 63a by sculpting electric discharge machining.

そして、この側面通気路７２の途中には本体通気路７１へとつながる連結孔７３が形成されている。 A connecting hole 73 connected to the main body air passage 71 is formed in the middle of the side air passage 72.

このように、ホルダ６０には、ホルダ上部６１の分岐通気路７１ａから始まり、分岐通気路７１ａから本体通気路７１へ、本体通気路７１から連結孔７３へ、連結孔７３から側面通気路７２へと達する通気経路が形成されている。そして、側面通気路７２とピン孔６６ａとが重なることで、ホルダ６０は、通気経路とピン孔６６ａとがつながる構成となっている。そして、本実施形態において通気孔７０は、ピン孔６６ａが兼ねる構成となっている。 As described above, the holder 60 starts from the branch air passage 71a in the holder upper portion 61, from the branch air passage 71a to the main body air passage 71, from the main body air passage 71 to the connection hole 73, and from the connection hole 73 to the side air passage 72. A ventilation path is formed. And the side surface ventilation path 72 and the pin hole 66a overlap, and the holder 60 becomes a structure where a ventilation path and the pin hole 66a connect. In the present embodiment, the vent hole 70 is configured to double as the pin hole 66a.

このようなホルダ６０を用いて、スクライビングホイール４０の貫通孔にピン軸５０を通したものを一対の保持部６３ａ、６３ｂのピン孔６６ａ、６６ｂに挿通し、図２に示すように、ネジ取付孔６８と固定ネジ８０ａ、８０ｂを用いて止め金８１ａ、８１ｂをそれぞれ取り付けることで、ホルダユニット３０は構成されている。 Using such a holder 60, a pin shaft 50 passed through the through hole of the scribing wheel 40 is inserted into the pin holes 66a and 66b of the pair of holding portions 63a and 63b, and as shown in FIG. The holder unit 30 is configured by attaching the stoppers 81a and 81b using the holes 68 and the fixing screws 80a and 80b, respectively.

なお、この止め金８１ａ、８１ｂは、図４（Ｃ）に示すように、ピン軸５０が落ちないようピン孔６６ａ、６６ｂをそれぞれ閉塞するためのものである。 The clasps 81a and 81b are for closing the pin holes 66a and 66b so that the pin shaft 50 does not fall, as shown in FIG. 4C.

そして、更に、止め金８１ａは、ピン孔６６ａを閉塞した際に、保持部６３ａの外側側面に露出した側面通気路７２の表面を塞ぐことになる。なお、側面通気路７２の表面は、止め金８１ａではなく、樹脂や溶接等他の方法によって塞いでも構わないが、ピン孔６６ａを閉塞する止め金８１ａを利用することにより簡単に塞ぐことができる。 Further, the stopper plate 81a closes the surface of the side air passage 72 exposed on the outer side surface of the holding portion 63a when the pin hole 66a is closed. The surface of the side air passage 72 may be closed not by the stopper plate 81a but by other methods such as resin or welding, but can be easily closed by using the stopper plate 81a that closes the pin hole 66a. .

ホルダユニット３０は、止め金８１ａを取り付けることで通気経路が気密状態となり、ピン孔６６ａを兼ねる通気孔７０から通気経路を介して空気の排出或いは吸引を行うことができるようになっている。 The holder unit 30 is provided with a clasp 81a so that the ventilation path becomes airtight, and air can be discharged or sucked from the ventilation hole 70 also serving as the pin hole 66a through the ventilation path.

そして、ホルダユニット３０は、外部から分岐通気路７１ａへ空気を送り込むことでホルダ６０の通気経路を介して通気孔７０であるピン孔６６ａから空気を排出することができる。このピン孔６６ａから排出された空気は、スクライビングホイール４０の側面４１ａをピン軸５０に沿って押すことになるため、側面４１ａは保持壁６７ａから引き離され、側面４１ｂは保持壁６７ｂ側へと押し付けられることになる。 The holder unit 30 can discharge air from the pin hole 66a which is the vent hole 70 through the vent path of the holder 60 by sending air from the outside to the branch vent path 71a. The air discharged from the pin hole 66a pushes the side surface 41a of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50, so the side surface 41a is pulled away from the holding wall 67a, and the side surface 41b is pressed toward the holding wall 67b. Will be.

したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと保持壁６７ｂとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されるため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。なお、図４（Ｃ）の破線矢印Ｅは、通気経路を利用して通気孔７０から空気を排出した時の空気の流れを概念的に示したものである。 Accordingly, the clearance between the side surface 41b of the scribing wheel 40 and the holding wall 67b becomes zero, and the movement of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50 is restricted when the scribe line is formed. Therefore, the scribe line can be formed at a desired position. The broken line arrow E in FIG. 4C conceptually shows the air flow when the air is discharged from the vent hole 70 using the vent path.

また反対に、ホルダユニット３０は、分岐通気路７１ａから空気を引き出すことで、ホルダ６０の通気経路を介して通気孔７０であるピン孔６６ａから空気を吸引することができる。このピン孔６６ａから空気を吸引することで、スクライビングホイール４０の側面４１ａをピン軸５０に沿って引き付けることになるため、側面４１ａは保持壁６７ａへと引き付けられることになる。 On the other hand, the holder unit 30 can suck air from the pin hole 66a which is the vent hole 70 through the vent path of the holder 60 by drawing air from the branch vent path 71a. By sucking air from the pin hole 66a, the side surface 41a of the scribing wheel 40 is attracted along the pin shaft 50, so that the side surface 41a is attracted to the holding wall 67a.

したがって、スクライビングホイール４０の側面４１ａと保持壁６７ａとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されるため、スクライブ装置１はスクライブラインの形成位置が安定することになり、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。 Accordingly, the clearance between the side surface 41a of the scribing wheel 40 and the holding wall 67a becomes zero, and the movement of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50 is restricted when forming the scribe line. Therefore, the scribe line can be formed at a desired position.

以上のように、通気孔７０となるピン孔６６ａから空気を排出又は吸引するために、スクライブ装置１は、図３（Ｃ）に示すように本体通気路７１、側面通気路７２等からなる通気経路を利用している。そのため、スクライブ装置１は、通気孔７０へ空気を送ったり通気孔７０から空気を吸い上げたりするための吸排気部２３と、吸排気部２３からスクライブヘッド２０内へとつながる導管２４と、を備えている。また、図２に示すようにスペーサ２２には連通孔２５が設けられている。スクライブヘッド２０内においてホルダ上部６１は比較的気密性がよくスクライブヘッド２０内に収まっている。したがって、ホルダ６０の通気経路とスクライブヘッド２０内とは、吸排気部２３からスクライブヘッド２０内へ空気を送る或いは吸排気部２３から空気を吸うことにより連通孔２５と分岐通気路７１ａとを介して空気が流れるようになっている。 As described above, in order to discharge or suck air from the pin hole 66a serving as the vent hole 70, the scribing apparatus 1 has a vent including the main body vent path 71, the side vent path 72 and the like as shown in FIG. You are using a route. Therefore, the scribe device 1 includes an intake / exhaust portion 23 for sending air to the vent hole 70 and sucking air from the vent hole 70, and a conduit 24 connected from the intake / exhaust portion 23 into the scribe head 20. ing. As shown in FIG. 2, the spacer 22 is provided with a communication hole 25. In the scribe head 20, the holder upper part 61 is relatively airtight and fits in the scribe head 20. Therefore, the ventilation path of the holder 60 and the inside of the scribe head 20 are connected via the communication hole 25 and the branch ventilation path 71a by sending air from the intake / exhaust part 23 into the scribe head 20 or sucking air from the intake / exhaust part 23. Air is flowing.

なお、通気孔７０から排出された時の風圧があまり強過ぎると、かえってスクライビングホイール４０の回転を妨げてしまう可能性もある。したがって、空気を排出或いは吸引する際、このような点等も考慮して吸排気部からの風量は決定される。本実施形態において、０．０５ＭＰａ程度の風圧で空気を送ってみたところ、スクライブ装置１は良好なスクライブラインを形成することができた。 Note that if the wind pressure when discharged from the vent hole 70 is too strong, the rotation of the scribing wheel 40 may be hindered. Therefore, when air is discharged or sucked, the air volume from the intake / exhaust section is determined in consideration of such points. In the present embodiment, when air was sent at a wind pressure of about 0.05 MPa, the scribe device 1 was able to form a good scribe line.

また、吸排気部２３には例えば圧縮空気を供給するコンプレッサーが用いられる。そのほか、真空ポンプ、吸気ファンや排気ファン等を用いることができる。なお、吸排気部２２３とスクライブヘッド２０との間に圧力センサーや圧力調整用のレギュレーターを設けてもよい。また、本実施形態のような通気孔７０を介してスクライビングホイール４０の側面４１ａに空気を排出又は吸引するスクライブ装置１とは全く異なるが、ホルダやホルダ周りから空気を排出又は吸引するスクライブ装置として、例えば特開２０００−２４７６６７号公報や特開２００８−９４６３５号公報に記載されているものが知られている。したがって、スクライブ装置１が備える吸排気部２３や導管２４の具体的構成としては、このような文献に記載されている構成を採用することができる。 For the intake / exhaust portion 23, for example, a compressor for supplying compressed air is used. In addition, a vacuum pump, an intake fan, an exhaust fan, or the like can be used. Note that a pressure sensor or a regulator for pressure adjustment may be provided between the intake / exhaust unit 223 and the scribe head 20. In addition, the scribing apparatus 1 is different from the scribing apparatus 1 that discharges or sucks air to the side surface 41a of the scribing wheel 40 through the vent hole 70 as in the present embodiment. For example, those described in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2000-247667 and 2008-94635 are known. Therefore, as a specific configuration of the intake / exhaust portion 23 and the conduit 24 included in the scribe device 1, a configuration described in such a document can be employed.

このように、本実施形態のホルダ６０は、本体部を形成するホルダ下部６２に形成された一対の保持部６３ａ、６３ｂを有しており、この保持部６３ａには、スクライビングホイール４０を保持した際にスクライビングホイール４０の側面４１ａと対向する位置に空気を排出又は吸引するための通気孔７０が形成されている。したがって、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０を保持した状態で通気孔７０からスクライビングホイール４０の側面４１ａへ空気を排出することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと保持壁６７ｂとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置１は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。 Thus, the holder 60 of the present embodiment has a pair of holding portions 63a and 63b formed in the holder lower portion 62 that forms the main body portion, and the holding portion 63a holds the scribing wheel 40. At the same time, a vent hole 70 for discharging or sucking air is formed at a position facing the side surface 41 a of the scribing wheel 40. Therefore, the holder unit 30 discharges air from the vent hole 70 to the side surface 41a of the scribing wheel 40 while holding the scribing wheel 40, so that the clearance between the side surface 41b of the scribing wheel 40 and the holding wall 67b becomes zero. When the scribe line is formed, the movement of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50 is restricted. Therefore, the scribe device 1 can stabilize the formation position of the scribe line and form the scribe line at a desired position.

また、反対にスクライビングホイール４０を保持した状態で通気孔７０からスクライビングホイール４０の側面４１ａから空気を吸引することによって、ホルダユニット３０は、スクライビングホイール４０の側面４１ａと保持壁６７ａとのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。したがって、スクライブ装置１は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。 On the other hand, by sucking air from the side surface 41a of the scribing wheel 40 through the vent hole 70 while holding the scribing wheel 40, the holder unit 30 has zero clearance between the side surface 41a of the scribing wheel 40 and the holding wall 67a. Thus, when the scribe line is formed, the movement of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50 is restricted. Therefore, the scribe device 1 can stabilize the formation position of the scribe line and form the scribe line at a desired position.

また、本実施形態では、ピン孔６６ａを通気孔７０として利用する構成となっている。したがって、スクライブ装置１は、ピン孔６６ａ内に空気の流れが生じ、スクライブラインを形成した際に生じたカレットがピン軸５０に付着することを防ぐことができる。また、スクライブ装置１は、ピン孔６６ａから空気の排出或いは吸引を行うことにより、スクライビングホイール４０の側面４１ａに対して均等に力を加えることができる。 In the present embodiment, the pin hole 66 a is used as the vent hole 70. Therefore, the scribing apparatus 1 can prevent the cullet generated when the air flow is generated in the pin hole 66 a and the scribe line is formed from adhering to the pin shaft 50. The scribing device 1 can apply a force evenly to the side surface 41a of the scribing wheel 40 by discharging or sucking air from the pin hole 66a.

また、スクライビングホイール４０が斜めになった状態でスクライブラインを形成すると、クラックが基板の厚さ方向に対し斜め方向に形成される、所謂ソゲと呼ばれる現象が発生してしまう。そしてソゲが発生すると、脆性材料基板１５の切断面も斜めになってしまうため、所望の位置で分断することができなくなってしまう。しかしながら、本実施形態のホルダユニット３０は、ピン孔６６ａを通気孔７０として利用する構成となっている。したがって、ホルダユニット３０は、ピン孔６６ａから空気の排出或いは吸引を行うことにより、スクライビングホイール４０の側面４１ａに対して均等に力を加えることができ、スクライビングホイール４０を直立させることができる。そのため、スクライブ装置１は、ソゲが発生し難いスクライブラインを形成することができる。 In addition, when the scribe line is formed in a state where the scribing wheel 40 is inclined, a so-called so-called phenomenon occurs in which cracks are formed in an oblique direction with respect to the thickness direction of the substrate. When soge is generated, the cut surface of the brittle material substrate 15 is also inclined, so that it cannot be divided at a desired position. However, the holder unit 30 of the present embodiment is configured to use the pin hole 66 a as the vent hole 70. Therefore, the holder unit 30 can apply a force evenly to the side surface 41a of the scribing wheel 40 by discharging or sucking air from the pin hole 66a, and the scribing wheel 40 can be erected. Therefore, the scribe device 1 can form a scribe line that is less likely to cause sogging.

［実施形態２］
次に他の実施形態のホルダユニットについて図を用いて説明する。図５は実施形態２のホルダユニットを構成するホルダ１６０のホルダ下部１６２の要部拡大側面図である。 [Embodiment 2]
Next, a holder unit according to another embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is an enlarged side view of the main part of the holder lower part 162 of the holder 160 constituting the holder unit of the second embodiment.

このホルダユニットは、実施形態１のホルダユニット３０と略同様の構成となっている。したがって、ホルダユニット３０と異なる点について説明する。また、実施形態１と同様の構成については一部同じ符号を用いて説明する。 This holder unit has substantially the same configuration as the holder unit 30 of the first embodiment. Therefore, differences from the holder unit 30 will be described. In addition, the same components as those in the first embodiment will be described using the same reference numerals.

実施形態１のホルダユニット３０は、ホルダ６０に形成された通気孔７０をピン孔６６ａが兼ねる構成となっている。一方、本実施形態のホルダユニットは、ホルダ１６０のホルダ下部１６２に形成されたピン孔１６６ａと通気孔１７０は別々に設けられている。 The holder unit 30 according to the first embodiment is configured such that the vent hole 70 formed in the holder 60 serves as the pin hole 66a. On the other hand, in the holder unit of the present embodiment, the pin hole 166a and the vent hole 170 formed in the holder lower part 162 of the holder 160 are provided separately.

ピン孔１６６ａは実施形態１のピン孔６６ａと同様に保持部１６３ａにロウ付けされた円柱体１６５ａに形成されている。一方、通気孔１７０は、ピン孔１６６ａの周りに等間隔で三つ形成されている。 The pin hole 166a is formed in a cylindrical body 165a brazed to the holding portion 163a, like the pin hole 66a of the first embodiment. On the other hand, three air holes 170 are formed at equal intervals around the pin hole 166a.

そして、実施形態１の側面通気路７２は、保持部６３ａの外側側面にピン孔６６ａとネジ取付孔６８との間を結ぶように形成されているが、本実施形態の側面通気路１７２は、図５に示すように保持部１６３ａの外側側面にネジ取付孔１６８と三つの通気孔１７０とを結ぶように形彫り放電加工により形成されている。また、この側面通気路１７２の途中には本体通気路へとつながる連結孔１７３が形成されている。 The side air passage 72 of the first embodiment is formed on the outer side surface of the holding portion 63a so as to connect the pin hole 66a and the screw mounting hole 68. The side air passage 172 of the present embodiment is As shown in FIG. 5, it is formed by die-sinking electric discharge machining so as to connect the screw mounting hole 168 and the three vent holes 170 to the outer side surface of the holding portion 163a. Further, a connecting hole 173 connected to the main body air passage is formed in the middle of the side air passage 172.

ホルダユニットは、ホルダ１６０のネジ取付孔１６８を利用して図示していない止め金を取り付ける。ホルダユニットは、止め金によりピン孔１６６ａを閉塞するとともに、側面通気路１７２の表面を塞ぎ、側面通気路１７２で構成される通気路を介して三つの通気孔１７０から空気の排出或いは吸引を行うことができるようになる。 The holder unit uses a screw attachment hole 168 of the holder 160 to attach a clasp (not shown). The holder unit closes the pin hole 166a with a clasp, closes the surface of the side air passage 172, and discharges or sucks air from the three air holes 170 through the air passage constituted by the side air passages 172. Will be able to.

したがって、ホルダユニットは、ホルダ１６０に形成された通気孔１７０から空気を排出することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ｂと、保持部１６３ａとは反対側の保持部の保持壁（図示せず）とのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。そして、このホルダユニットを備えるスクライブ装置は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。 Therefore, the holder unit discharges air from the vent hole 170 formed in the holder 160, whereby the side surface 41b of the scribing wheel 40 and the holding wall (not shown) of the holding portion opposite to the holding portion 163a. Thus, when the scribe line is formed, the movement of the scribing wheel 40 along the pin shaft 50 is restricted. And the scribing apparatus provided with this holder unit has a stable scribe line formation position, and can form a scribe line at a desired position.

また、反対にホルダユニットは、通気孔１７０から空気を吸引することによって、スクライビングホイール４０の側面４１ａと、保持部１６３ａ側の保持壁とのクリアランスがゼロになり、スクライブラインを形成する際、ピン軸５０に沿ったスクライビングホイール４０の移動が規制されることになる。そして、このホルダユニットを備えるスクライブ装置は、スクライブラインの形成位置が安定し、所望の位置へスクライブラインを形成することができる。 On the other hand, when the holder unit sucks air from the vent hole 170, the clearance between the side surface 41a of the scribing wheel 40 and the holding wall on the holding portion 163a side becomes zero, and when the scribe line is formed, The movement of the scribing wheel 40 along the axis 50 is restricted. And the scribing apparatus provided with this holder unit has a stable scribe line formation position, and can form a scribe line at a desired position.

また、本実施形態のホルダユニットは、実施形態１の通気孔７０とは異なり、ピン孔１６６ａとは別に通気孔１７０をホルダ１６０に有する構成になっている。したがって、通気孔１７０を通過する空気の流れがピン軸５０に影響を与え難くなる。また、ピン孔１６６ａとは別の設計となるため、本実施形態のホルダユニットは、通気孔１７０の数や位置、形状を自由に形成することができる。したがって、このホルダユニットは、空気の排出或いは吸引により適した通気孔１７０を採用することができる。 Further, unlike the vent hole 70 of the first embodiment, the holder unit of the present embodiment is configured to have the vent hole 170 in the holder 160 separately from the pin hole 166a. Accordingly, the air flow passing through the vent hole 170 is less likely to affect the pin shaft 50. Moreover, since it becomes a design different from the pin hole 166a, the holder unit of this embodiment can freely form the number, position, and shape of the vent holes 170. Therefore, this holder unit can employ a vent hole 170 that is more suitable for discharging or sucking air.

なお、上記の実施形態において、例えば、実施形態１の通気孔７０は、一対の保持部６３ａ、６３ｂの内、保持部６３ａに形成されている。つまり、通気孔７０は保持部６３ａ側にだけ形成されているが、本発明は、通気孔７０が保持部６３ａ、６３ｂの両方に形成される構成でも構わない。この場合、保持部６３ｂ側に側面通気路７２と、この側面通気路７２と本体通気路７１とを連結孔７３を介してつなぐことになる。 In the above embodiment, for example, the vent hole 70 of the first embodiment is formed in the holding portion 63a of the pair of holding portions 63a and 63b. That is, although the vent hole 70 is formed only on the holding portion 63a side, the present invention may be configured such that the vent hole 70 is formed in both the holding portions 63a and 63b. In this case, the side air passage 72 is connected to the holding portion 63b side, and the side air passage 72 and the main body air passage 71 are connected via the connecting hole 73.

このように保持部６３ａ、６３ｂの両側からスクライビングホイール４０の側面４１ａ、４１ｂのそれぞれに保持部６３ａ、６３ｂの通気孔７０から空気を排出或いは吸引することで、スクライビングホイール４０の位置は、保持溝６４の略中央に安定して位置することになる。また、スクライビングホイール４０の側面４１ａ、４１ｂの両側で空気の流れが生じているので、スクライビングホイール４０の表面やピン軸５０の表面にカレットが付着し難くなる。 Thus, by discharging or sucking air from the vent holes 70 of the holding portions 63a and 63b to the side surfaces 41a and 41b of the scribing wheel 40 from both sides of the holding portions 63a and 63b, the position of the scribing wheel 40 is changed to the holding groove. It will be stably located in the approximate center of 64. In addition, since air flows are generated on both sides of the side surfaces 41 a and 41 b of the scribing wheel 40, the cullet is difficult to adhere to the surface of the scribing wheel 40 and the surface of the pin shaft 50.

また、例えば、実施形態１のホルダ６０は、本体通気路７１や側面通気路７２等を形成し、通気孔７０へつながる通気経路を備える構成となっている。しかしながら、本発明は、例えば、ホルダに形成された通気孔とスクライブ装置１の吸排気部２３とを直接チューブ等の導管２４でつなぐ等して、ホルダに通気経路を設けない構成としても構わない。 Further, for example, the holder 60 according to the first embodiment has a configuration in which a main body air passage 71, a side air passage 72, and the like are formed and an air passage leading to the air hole 70 is provided. However, the present invention may be configured such that the ventilation path is not provided in the holder, for example, by directly connecting the vent hole formed in the holder and the intake / exhaust portion 23 of the scribe device 1 with a conduit 24 such as a tube. .

１…スクライブ装置
１０…移動台
１１…ボールネジ
１２…案内レール
１３…モータ
１４…テーブル
１５…脆性材料基板
１６…ＣＣＤカメラ
１７…ブリッジ
１８ａ、１８ｂ…支柱
１９…ガイド
２０…スクライブヘッド
２１ａ、２１ｂ…ベアリング
２２…スペーサ
２３…吸排気部
２４…導管
２５…連通孔
３０…ホルダユニット
４０…スクライビングホイール
４１ａ、４１ｂ…側面
５０…ピン軸
５１…尖頭部
６０、１６０…ホルダ
６１…ホルダ上部
６２、１６２…ホルダ下部
６３ａ、６３ｂ、１６３ａ…保持部
６４…保持溝
６５ａ、６５ｂ、１６５ａ…円柱体
６６ａ、６６ｂ、１６６ａ…ピン孔
６７ａ、６７ｂ…保持壁
６８、１６８…ネジ取付孔
７０、１７０…通気孔
７１…本体通気路
７１ａ…分岐通気路
７２、１７２…側面通気路
７３、１７３…連結孔
８０ａ、８０ｂ…固定ネジ
８１ａ、８１ｂ…止め金
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Scribe device 10 ... Moving stand 11 ... Ball screw 12 ... Guide rail 13 ... Motor 14 ... Table 15 ... Brittle material board 16 ... CCD camera 17 ... Bridge 18a, 18b ... Support column 19 ... Guide 20 ... Scribe head 21a, 21b ... Bearing DESCRIPTION OF SYMBOLS 22 ... Spacer 23 ... Intake / exhaust part 24 ... Conduit 25 ... Communication hole 30 ... Holder unit 40 ... Scribing wheel 41a, 41b ... Side 50 ... Pin shaft 51 ... Pointed head 60, 160 ... Holder 61 ... Holder upper part 62, 162 ... Lower holder 63a, 63b, 163a ... Holding part 64 ... Holding groove 65a, 65b, 165a ... Cylindrical body 66a, 66b, 166a ... Pin hole 67a, 67b ... Holding wall 68, 168 ... Screw mounting hole 70, 170 ... Vent hole 71 ... Main body ventilation path 71a ... Branch ventilation path 72, 172 ... side Surface air passage 73, 173 ... Connection hole 80a, 80b ... Fixing screw 81a, 81b ... Clasp

Claims

The main body,
A pair of holding portions formed below the main body portion;
A pin hole located on the same axis and formed in each of the holding portions, and
A holder for rotatably holding the scribing wheel between the holding portions by means of a pin shaft that passes through the through hole of the scribing wheel and is inserted into the pin hole,
The holder, wherein the holding portion is formed with a vent hole for discharging or sucking air at a position facing the side surface of the scribing hole when the scribing wheel is held.

The holder according to claim 1, wherein the vent hole is formed only in one of the pair of holding portions.

The vent hole is connected to a side air passage formed on the outer side surface of the holding portion,
The holder according to claim 1 or 2, wherein the side air passage is connected to a main body air passage formed inside the main body portion.

The holder according to any one of claims 1 to 3, wherein the air hole serves as the pin hole.

A scribing wheel,
A pin shaft penetrating through the through hole of the scribing wheel;
A main body part, a pair of holding parts that are formed below the main body part and hold the scribing wheel, and pin holes that are coaxially formed in the holding part and through which the pin shaft is inserted, respectively. A holder having,
A holder unit comprising:
The holder unit is characterized in that a vent hole for discharging or sucking air is formed at a position facing the side surface of the scribing wheel in the holding portion.

The holder unit according to claim 5, wherein the vent hole is formed only in one of the pair of holding portions.

The vent hole is connected to a side air passage formed on the outer side surface of the holding portion,
The holder unit according to claim 5 or 6, wherein the side air passage is connected to a main body air passage formed inside the main body portion.

The holder unit according to any one of claims 5 to 7, wherein a surface of the side air passage is closed by a stopper fixed to an outer side surface of the holding portion.

The holder unit according to any one of claims 5 to 8, wherein the air hole serves as the pin hole.

A holder according to any one of claims 1 to 4, comprising:
A scribing device comprising an intake / exhaust portion for discharging or sucking air through the vent hole.

A holder unit according to any one of claims 5 to 9,
A scribing device comprising an intake / exhaust portion for discharging or sucking air through the vent hole.