JP7015070B2 - Scribe head and scribe device - Google Patents

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JP7015070B2 JP2020024622A JP2020024622A JP7015070B2 JP 7015070 B2 JP7015070 B2 JP 7015070B2 JP 2020024622 A JP2020024622 A JP 2020024622A JP 2020024622 A JP2020024622 A JP 2020024622A JP 7015070 B2 JP7015070 B2 JP 7015070B2
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Description

本発明は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドおよびスクライブ装置に関する。 The present invention relates to a scribe head and a scribe device for forming a scribe line on a substrate.

ガラス基板等の脆性材料基板を分断する分断工程は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板を分断するブレイク工程とからなる。スクライブ工程では、スクライブヘッドを備えたスクライブ装置が用いられる。 The dividing step for dividing a brittle material substrate such as a glass substrate includes a scribe step for forming a scribe line on the surface of the substrate and a break step for dividing the substrate along the formed scribe line. In the scribe process, a scribe device equipped with a scribe head is used.

以下の特許文献１に開示されているスクライブヘッドは、ベースプレートと、ベースプレートに対して垂直に取り付けられたトッププレートおよびボトムプレートと、スクライビングホイールを保持するチップホルダと、チップホルダを昇降させる昇降機構と、を備える。昇降機構は、サーボモータと、カップリングと、ボールネジと、スライドブロックと、リニアウェイと、から構成される。昇降機構は、トッププレートおよびボトムプレートの間に設けられる。 The scribe head disclosed in Patent Document 1 below includes a base plate, a top plate and a bottom plate mounted perpendicular to the base plate, a tip holder for holding the scribing wheel, and an elevating mechanism for raising and lowering the tip holder. , Equipped with. The elevating mechanism includes a servomotor, a coupling, a ball screw, a slide block, and a linear way. The elevating mechanism is provided between the top plate and the bottom plate.

サーボモータのモータ軸には、カップリングを介してボールネジが取り付けられ、ベースプレートにはトッププレートとボトムプレートとの間にスライドブロックがリニアウェイを介して上下動自在に取り付けられている。スライドブロックにはボールネジのナット部が取り付けられ、サーボモータの回転に伴ってスライドブロックを上下動させることができる。スライドブロックの下方には、ボトムプレートを貫通して下向きにチップホルダが設けられている。 A ball screw is attached to the motor shaft of the servomotor via a coupling, and a slide block is attached to the base plate between the top plate and the bottom plate so as to be movable up and down via a linear way. A ball screw nut is attached to the slide block, and the slide block can be moved up and down as the servo motor rotates. Below the slide block, a chip holder is provided so as to penetrate the bottom plate and face downward.

上記の構成により、特許文献１のスクライブヘッドは、サーボモータが回転駆動するとボールネジが回転して、スライドブロックが上下方向に移動する。これにより、チップホルダに保持されているスクライビングホイールが基板に当接する。 With the above configuration, in the screen head of Patent Document 1, when the servomotor is rotationally driven, the ball screw rotates and the slide block moves in the vertical direction. As a result, the scribing wheel held by the chip holder comes into contact with the substrate.

特開２０１２－０２５５９５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-025595

近年、スマートフォン等の機器に用いられる基板として、薄型の基板の需要が高まっている。このような薄型の基板を分断する場合、基板の破損を防止するため、スクライブ荷重は低荷重に調節される。 In recent years, there has been an increasing demand for thin substrates as substrates used in devices such as smartphones. When such a thin substrate is divided, the scribe load is adjusted to a low load in order to prevent the substrate from being damaged.

しかし、特許文献１に記載のスクライブヘッドでは、スライドブロックがリニアウェイに上下動自在に支持されているため、サーボモータの駆動時に、スライドブロックとリニアウェイとの間に摩擦抵抗が生じる。この摩擦抵抗により、スクライブ荷重を所定値に調節することが妨げられる。特に、上記した薄型の基板に対して、低荷重に調節することは困難である。 However, in the scribe head described in Patent Document 1, since the slide block is supported by the linear way so as to be vertically movable, frictional resistance is generated between the slide block and the linear way when the servomotor is driven. This frictional resistance prevents the scribe load from being adjusted to a predetermined value. In particular, it is difficult to adjust the load to a low load with respect to the above-mentioned thin substrate.

かかる課題に鑑み、本発明は、基板に対するカッターホイールの荷重を精度よく調節して、基板にスクライブラインを形成することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。 In view of these problems, it is an object of the present invention to provide a scribe head and a scribe device capable of accurately adjusting the load of a cutter wheel on a substrate to form a scribe line on the substrate.

本発明の第１の態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブヘッドに関する。本態様に係るスクライブヘッドは、基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイールと、前記カッターホイールを前記基板の表面に対し接近および離間させる移動機構と、前記移動機構に空気圧を供給する圧力付与部と、を備え、前記移動機構は、第１移動子と、第２移動子と、前記第１移動子および前記第２移動子を所定の間隔で支持する支持部と、前記第１移動子、前記第２移動子、および前記支持部を収容し、前記第１移動子と前記第２移動子の間の位置に外部に連通する開口を有する筒部と、前記第１移動子および前記第２移動子の移動を前記カッターホイールに伝達するための伝達部と、を含み、前記第１移動子および前記第２移動子と前記筒部の内側面との間に隙間を設け、前記圧力付与部は、前記筒部の内部空間のうち、前記第１移動子に対して前記支持部と反対側の第１空間と、前記第２移動子に対して前記支持部と反対側の第２空間とに、個別に、空気圧を供給する。 A first aspect of the present invention relates to a scribe head that forms a scribe line on the surface of a substrate. The scribing head according to this embodiment has a cutter wheel for forming a scribing line on the surface of the substrate, a moving mechanism for moving the cutter wheel closer to and away from the surface of the substrate, and a pressure for supplying air pressure to the moving mechanism. The moving mechanism includes a first mover, a second mover, a support part that supports the first mover and the second mover at predetermined intervals, and the first move. A tubular portion that accommodates the child, the second mover, and the support portion and has an opening that communicates with the outside at a position between the first mover and the second mover, and the first mover and the said portion. A transmission portion for transmitting the movement of the second mover to the cutter wheel is provided, and a gap is provided between the first mover and the second mover and the inner surface of the cylinder portion to provide the pressure. Of the internal space of the cylinder portion, the imparting portion is the first space on the side opposite to the support portion with respect to the first mover and the second space on the side opposite to the support portion with respect to the second mover. Air pressure is individually supplied to the space.

本態様に係るスクライブヘッドによれば、筒部の内部空間において、第１空間と第２空間との間に圧力差を持たせることにより、カッターホイールに付与される荷重を設定できる。このとき、第１空間および第２空間に供給された空気は、第１移動子および第２移動子と筒部の内側面との間の隙間を通って、筒部の開口から排出される。このように、隙間を空気が通ることにより、第１移動子および第２移動子は、筒部の内側面から離れる方向に圧力を受け、この圧力が均衡した位置に調心される。 According to the scribe head according to this aspect, the load applied to the cutter wheel can be set by providing a pressure difference between the first space and the second space in the internal space of the cylinder portion. At this time, the air supplied to the first space and the second space is discharged from the opening of the cylinder portion through the gap between the first mover and the second mover and the inner side surface of the cylinder portion. As the air passes through the gap in this way, the first mover and the second mover receive pressure in a direction away from the inner side surface of the tubular portion, and are centered at a position where the pressure is in equilibrium.

したがって、第１移動子および第２移動子は、筒部の内側面から離間した状態で調心位置に支持される。このように、第１移動子および第２移動子は、筒部の内側面に対して無接触の状態で支持されるため、移動時に摩擦抵抗を受けない。よって、第１空間と第２空間との間の圧力差によって、カッターホイールの荷重を微細かつ安定的に調節できる。 Therefore, the first mover and the second mover are supported at the centering position in a state of being separated from the inner side surface of the tubular portion. As described above, since the first mover and the second mover are supported in a non-contact state with respect to the inner surface of the tubular portion, they are not subjected to frictional resistance during movement. Therefore, the load of the cutter wheel can be finely and stably adjusted by the pressure difference between the first space and the second space.

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記第１移動子および前記第２移動子は球であり、前記筒部の内側面は円柱形状であるよう構成され得る。 In the scribe head according to this embodiment, the first mover and the second mover may be formed to be a sphere, and the inner surface of the cylinder portion may be configured to have a cylindrical shape.

本態様に係るスクライブヘッドによれば、第１移動子および第２移動子と筒部の内側面との隙間がなだらかに小さくなるため、隙間に空気を円滑に流通させ得る。また、内部空間において、最大径の緯線の全周に亘って隙間を均一にできるため、第１移動子および第２移動子の調心が円滑に行われ、且つ、全周に亘って非接触の状態にできる。よって、第１移動子および第２移動子を、非接触の状態で円滑に移動させ得る。 According to the scribe head according to this aspect, since the gap between the first mover and the second mover and the inner surface of the cylinder portion is gently reduced, air can be smoothly circulated in the gap. Further, in the internal space, since the gap can be made uniform over the entire circumference of the parallel of the maximum diameter, the alignment of the first mover and the second mover is smoothly performed, and the contact is not made over the entire circumference. Can be in the state of. Therefore, the first mover and the second mover can be smoothly moved in a non-contact state.

この場合、前記第１移動子および前記第２移動子は同径であり、前記筒部の内側面の径は一定であるよう構成され得る。 In this case, the first mover and the second mover may have the same diameter, and the diameter of the inner surface of the cylinder may be constant.

この構成によれば、第１空間と第２空間が同径であるため、圧力差の調節を容易に行い得る。また、同種の球を第１移動子および第２移動子に使えるので、移動機構の構成を簡素化でき、移動機構の組み立て作業が容易になる。 According to this configuration, since the first space and the second space have the same diameter, the pressure difference can be easily adjusted. Further, since the same type of sphere can be used for the first mover and the second mover, the configuration of the movement mechanism can be simplified and the assembly work of the movement mechanism becomes easy.

また、前記第１移動子および前記第２移動子は磁性材料により形成され、前記支持部は、前記第１移動子および前記第２移動子の離間方向の両端に磁石を含み得る。 Further, the first mover and the second mover are formed of a magnetic material, and the support portion may include magnets at both ends of the first mover and the second mover in the separation direction.

この構成によれば、第１移動子および第２移動子が、支持部に対して離間方向に垂直な方向に移動可能となる。このため、支持部が筒部の径方向に移動不能であっても、第１移動子および第２移動子は、隙間に空気が流れることにより、支持部に対して相対的に移動して、調心位置に位置付けられる。 According to this configuration, the first mover and the second mover can move in the direction perpendicular to the separation direction with respect to the support portion. Therefore, even if the support portion cannot move in the radial direction of the tubular portion, the first mover and the second mover move relative to the support portion due to the flow of air in the gap. Positioned at the centering position.

よって、第１移動子および第２移動子を円滑かつ適正に調心でき、その結果、第１移動子および第２移動子をより適切に、非接触な状態に設定できる。 Therefore, the first mover and the second mover can be smoothly and appropriately aligned, and as a result, the first mover and the second mover can be set to a more appropriate and non-contact state.

この場合、前記第１移動子および前記第２移動子のそれぞれに対する前記磁石の接触面は、平面であるよう構成され得る。 In this case, the contact surface of the magnet with respect to each of the first mover and the second mover may be configured to be flat.

この構成によれば、第１移動子および第２移動子が磁石に点接触するため、支持部に対して第１移動子および第２移動子が移動しやすくなる。よって、第１移動子および第２移動子と筒部の内側面との隙間を流れる空気からの圧力により、第１移動子および第２移動子を円滑に調心位置に移動させることができる。 According to this configuration, since the first mover and the second mover make point contact with the magnet, the first mover and the second mover can easily move with respect to the support portion. Therefore, the first mover and the second mover can be smoothly moved to the centering position by the pressure from the air flowing through the gap between the first mover and the second mover and the inner side surface of the cylinder portion.

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記伝達部は、前記開口を介して前記支持部に接続されるよう構成され得る。 In the scribe head according to this aspect, the transmission portion may be configured to be connected to the support portion via the opening.

本態様に係るスクライブヘッドによれば、筒部に形成されている開口が空気の排出と支持部に対する伝達部の接続に共用されるため、筒部の構成を簡素化できる。 According to the scribe head according to this aspect, since the opening formed in the tubular portion is shared for the air discharge and the connection of the transmission portion to the support portion, the configuration of the tubular portion can be simplified.

本態様に係るスクライブヘッドは、さらに、前記カッターホイールの前記基板に対する荷重を測定する測定部を備えるよう構成され得る。 The scribe head according to this aspect may be further configured to include a measuring unit for measuring the load of the cutter wheel on the substrate.

本態様に係るスクライブヘッドによれば、測定部を備えるため、スクライブラインを形成する直前に、カッターホイールの基板に対する荷重を測定できる。よって、スクライブライン形成時におけるスクライブ荷重の信頼度を高めることができる。 According to the scribe head according to this aspect, since the measuring unit is provided, the load on the substrate of the cutter wheel can be measured immediately before forming the scribe line. Therefore, the reliability of the scribe load at the time of forming the scribe line can be increased.

この場合、前記測定部は、前記カッターホイールの前記基板に対する荷重を測定するロードセルと、前記伝達部に連結され、前記ロードセルに当接する当接部材と、を含み、前記第１空間と前記第２空間との圧力差により前記第１移動子および前記第２移動子が前記第２空間側に移動して前記カッターホイールが前記基板に当接すると、前記ロードセルは前記当接部材から離間するよう構成され得る。 In this case, the measuring unit includes a load cell that measures the load of the cutter wheel on the substrate, and a contact member that is connected to the transmission unit and abuts on the load cell, and includes the first space and the second space. When the first mover and the second mover move to the second space side due to the pressure difference with the space and the cutter wheel comes into contact with the substrate, the load cell is configured to be separated from the contact member. Can be done.

この構成によれば、カッターホイールが基板の表面に当接すると、ロードセルは当接部材から離間する。このとき、ロードセルは、当接部材から離間する直前の荷重を測定する。この測定値と予め設定されたスクライブ荷重とを比較することにより、たとえば、圧力付与部から第１空間と第２空間とに適切に空気圧を供給して、適正なスクライブ荷重に補正することができる。これにより、スクライブライン形成時におけるスクライブ荷重の信頼度をより高めることができる。 According to this configuration, when the cutter wheel abuts on the surface of the substrate, the load cell separates from the abutting member. At this time, the load cell measures the load immediately before it separates from the contact member. By comparing this measured value with the preset scribe load, for example, air pressure can be appropriately supplied from the pressure applying portion to the first space and the second space to correct the scribe load. .. As a result, the reliability of the scribe load at the time of forming the scribe line can be further improved.

本発明の第２の態様は、基板に対してスクライブを行うスクライブ装置に関する。本態様に係るスクライブ装置は、基板を戴置する戴置部と、前記基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドを移動させる移送部と、を備え、前記スクライブヘッドは、基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイールと、前記カッターホイールを前記基板の表面に対し接近および離間させる移動機構と、前記移動機構に空気圧を供給する圧力付与部と、を備え、前記移動機構は、第１移動子と第２移動子と、前記第１移動子および第２移動子を所定の間隔で支持する支持部と、前記第１移動子、前記第２移動子および前記支持部を収容し、前記第１移動子と前記第２移動子の間の位置に外部に連通する開口を有する筒部と、前記第１移動子および第２移動子の移動を前記カッターホイールに伝達するための伝達部と、を含み、前記第１移動子および前記第２移動子と前記筒部の内側面との間に隙間を設け、前記圧力付与部は、前記筒部の内部空間のうち、前記第１移動子に対して前記支持部と反対側の第１空間と、前記第２移動子に対して前記支持部と反対側の第２空間とに、個別に、空気圧を供給する。 A second aspect of the present invention relates to a scribe device that scribes a substrate. The scribe device according to this embodiment includes a mounting portion on which a substrate is placed, a scribe head for forming a scribe line on the substrate, and a transfer portion for moving the scribe head. A cutter wheel for forming a scribe line on the surface of a substrate, a moving mechanism for moving the cutter wheel closer to and away from the surface of the substrate, and a pressure applying unit for supplying air pressure to the moving mechanism are provided. The movement mechanism includes a first mover and a second mover, a support portion that supports the first mover and the second mover at predetermined intervals, and the first mover, the second mover, and the support. A tubular portion that accommodates a portion and has an opening that communicates with the outside at a position between the first mover and the second mover, and transmits the movement of the first mover and the second mover to the cutter wheel. A gap is provided between the first mover and the second mover and the inner side surface of the cylinder portion, and the pressure applying portion is formed in the internal space of the cylinder portion. Air pressure is individually supplied to the first space opposite the support portion to the first mover and to the second space opposite the support portion to the second mover.

本態様に係るスクライブ装置は、第１の態様と同様の効果を奏する。 The scribe device according to this aspect has the same effect as that of the first aspect.

以上のとおり、本発明によれば、基板に対するカッターホイールの荷重を精度よく調節して、基板にスクライブラインを形成することが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribe head and a scribe device capable of accurately adjusting the load of the cutter wheel on the substrate to form a scribe line on the substrate.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects or significance of the present invention will be further clarified by the description of the embodiments shown below. However, the embodiments shown below are merely examples for implementing the present invention, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

図１は、実施形態に係るスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a scribe device according to an embodiment. 図２は、実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the scribe head according to the embodiment. 図３（ａ）～（ｃ）は、実施形態に係るスクライブヘッドのカッター機構の構成を説明するための図である。図３（ａ）は、実施形態に係るカッター機構の構成を示す斜視図である。図３（ｂ）は、実施形態に係るスクライブヘッドのカッター機構の一部をＸ軸正側から見た場合の断面図である。図３（ｃ）は、実施形態に係るスクライブヘッドのカッター機構の一部をＹ軸正側から見た場合の側面図である。3 (a) to 3 (c) are diagrams for explaining the configuration of the cutter mechanism of the scribe head according to the embodiment. FIG. 3A is a perspective view showing the configuration of the cutter mechanism according to the embodiment. FIG. 3B is a cross-sectional view of a part of the cutter mechanism of the scribe head according to the embodiment when viewed from the positive side of the X-axis. FIG. 3C is a side view of a part of the cutter mechanism of the scribe head according to the embodiment when viewed from the positive side of the Y axis. 図４は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の構成を示す分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view showing the configuration of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. 図５（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の構成を説明するための図である。図５（ａ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの筒部内に収容されている部材の分解斜視図である。図５（ｂ）は、実施形態に係る移動機構のうち伝達部を、図５（ａ）とは異なる方向から見た場合の斜視図である。5 (a) and 5 (b) are diagrams for explaining the configuration of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. FIG. 5A is an exploded perspective view of a member housed in the cylinder portion of the scribe head according to the embodiment. FIG. 5B is a perspective view of the transmission unit of the moving mechanism according to the embodiment when viewed from a direction different from that of FIG. 5A. 図６（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の構成を説明するための図である。図６（ａ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構をＹ軸負側から見た場合の断面図である。図６（ｂ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の上面図である。6 (a) and 6 (b) are diagrams for explaining the configuration of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. FIG. 6A is a cross-sectional view of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment when viewed from the negative side of the Y-axis. FIG. 6B is a top view of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. 図７は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の構成を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing the configuration of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. 図８は、実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the scribe head according to the embodiment. 図９（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構を説明するための図である。図９（ａ）は、実施形態に係る移動機構をＸ軸負側から見た場合の断面図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）の一部を拡大した模式図である。9 (a) and 9 (b) are diagrams for explaining the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment. FIG. 9A is a cross-sectional view of the moving mechanism according to the embodiment when viewed from the negative side of the X-axis. FIG. 9B is an enlarged schematic view of a part of FIG. 9A. 図１０は、実施形態に係るスクライブヘッドの構成を示すブロック図である。FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a scribe head according to an embodiment. 図１１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の動作を説明するための断面図である。11 (a) and 11 (b) are cross-sectional views for explaining the operation of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment, respectively. 図１２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構の動作を説明するための断面図である。12 (a) and 12 (b) are cross-sectional views for explaining the operation of the moving mechanism of the scribe head according to the embodiment, respectively. 図１３は、実施形態に係るスクライブヘッドの側面図である。FIG. 13 is a side view of the scribe head according to the embodiment. 図１４（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係るスクライブヘッドの移動機構および測定部の動作を説明するための正面図である。14 (a) and 14 (b) are front views for explaining the operation of the moving mechanism and the measuring unit of the scribe head according to the embodiment, respectively.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、鉛直方向に平行である。上方および下方は、それぞれＺ軸正方向およびＺ軸負方向に対応する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, the X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other are added to each figure. The Z axis is parallel to the vertical direction. The upper and lower parts correspond to the Z-axis positive direction and the Z-axis negative direction, respectively.

また、本実施形態では、基板Ｆは、Ｘ－Ｙ平面に平行に載置されており、カッターホイールが基板Ｆに接近および離間するように、スクライブヘッドは動作する。以下の説明では、基板Ｆに接近する方向は、単に「下方」と称され、基板Ｆから離間する方向は、単に「上方」と称される場合がある。そのため、本実施形態では、スクライブヘッドの各構成が上下方向に移動するとは、基板に対して接近および離間することと同義である。 Further, in the present embodiment, the substrate F is placed parallel to the XY plane, and the scribe head operates so that the cutter wheel approaches and separates from the substrate F. In the following description, the direction approaching the substrate F may be simply referred to as "downward" and the direction away from the substrate F may be simply referred to as "upward". Therefore, in the present embodiment, moving each configuration of the scribe head in the vertical direction is synonymous with approaching and separating from the substrate.

＜実施形態＞
図１は、スクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。 <Embodiment>
FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of the scribe device 1.

図１に示すように、スクライブ装置１は、移動台２と、スクライブヘッド１０と、を備えている。移動台２は、ボールネジ３と螺合されている。移動台２は、一対の案内レール４によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータの駆動によりボールネジ３が回転することで、移動台２が、一対の案内レール４に沿ってＹ軸方向に移動する。 As shown in FIG. 1, the scribe device 1 includes a moving table 2 and a scribe head 10. The moving table 2 is screwed with the ball screw 3. The moving table 2 is supported by a pair of guide rails 4 so as to be movable in the Y-axis direction. When the ball screw 3 is rotated by the drive of the motor, the moving table 2 moves in the Y-axis direction along the pair of guide rails 4.

移動台２の上面には、モータ５が設置されている。モータ５は、上部に位置する載置部６をＸＹ平面で回転させて所定角度に位置決めする。モータ５により水平回転可能な載置部６は、図示しない真空吸着手段を備えている。載置部６上に載置された基板Ｆは、この真空吸着手段によって、載置部６上に保持される。 A motor 5 is installed on the upper surface of the moving table 2. The motor 5 rotates the mounting portion 6 located at the upper part in the XY plane and positions it at a predetermined angle. The mounting portion 6 that can be horizontally rotated by the motor 5 includes a vacuum suction means (not shown). The substrate F mounted on the mounting portion 6 is held on the mounting portion 6 by this vacuum suction means.

スクライブ装置１は、移動台２とその上部の載置部６とを跨ぐように、ブリッジ７が支柱８ａ、８ｂに架設されている。ブリッジ７には、レール９が取り付けられている。レール９とスクライブヘッド１０とは、移送部１１を介して接続され、移送部１１がレール９をスライド移動することにより、スクライブヘッド１０は、Ｘ軸方向に移動するように設置されている。 In the scribe device 1, a bridge 7 is erected on columns 8a and 8b so as to straddle the moving table 2 and the mounting portion 6 above the moving table 2. A rail 9 is attached to the bridge 7. The rail 9 and the scribe head 10 are connected via a transfer unit 11, and the transfer unit 11 slides and moves the rail 9, so that the scribe head 10 is installed so as to move in the X-axis direction.

スクライブ装置１を用いて基板Ｆの表面Ｆ１にスクライブラインを形成する場合、まず、カッターホイール１０１が取り付けられたホルダユニット１１０がスクライブヘッド１０に取り付けられる。 When forming a scribe line on the surface F1 of the substrate F by using the scribe device 1, first, the holder unit 110 to which the cutter wheel 101 is attached is attached to the scribe head 10.

スクライブ装置１は、スクライブヘッド１０を所定の位置に移動させ、カッターホイール１０１に対して所定の荷重を印加して、基板Ｆへ接触させる。その後、スクライブ装置１は、スクライブヘッド１０をＸ軸方向に移動させることにより、基板Ｆにスクライブラインを形成する。 The scribe device 1 moves the scribe head 10 to a predetermined position, applies a predetermined load to the cutter wheel 101, and brings the scribe head 10 into contact with the substrate F. After that, the scribe device 1 forms a scribe line on the substrate F by moving the scribe head 10 in the X-axis direction.

スクライブ装置１は、必要に応じて載置部６を回動ないしＹ軸方向に移動可能である。上記では、スクライブヘッド１０がＸ軸方向に移動し、載置部６がＹ軸方向に移動すると共に、回転するスクライブ装置１について示したが、スクライブ装置１はスクライブヘッド１０と載置部６とが相対的に移動するものであればよい。たとえば、スクライブヘッド１０が固定され、載置部６がＸ軸、Ｙ軸方向に移動し、かつ回転するスクライブ装置１であってもよい。 The scribe device 1 can rotate or move the mounting portion 6 in the Y-axis direction as needed. In the above, the scribe device 1 that rotates while the scribe head 10 moves in the X-axis direction and the mounting portion 6 moves in the Y-axis direction is shown. However, the scribe device 1 includes the scribe head 10 and the mounting portion 6. Anything that moves relatively is sufficient. For example, the scribe head 10 may be fixed, and the mounting portion 6 may be a scribe device 1 that moves and rotates in the X-axis and Y-axis directions.

次に、スクライブヘッド１０の構成について説明する。 Next, the configuration of the scribe head 10 will be described.

図２は、スクライブヘッド１０の構成を示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the scribe head 10.

図２に示すように、スクライブヘッド１０は、プレート１２と、カッター機構１００と、移動機構２００と、測定部３００と、撮像部４００と、圧力付与部５００と、を備える。なお、測定部３００は図８で示され、圧力付与部５００は図１０で示される。 As shown in FIG. 2, the scribe head 10 includes a plate 12, a cutter mechanism 100, a moving mechanism 200, a measuring unit 300, an imaging unit 400, and a pressure applying unit 500. The measuring unit 300 is shown in FIG. 8, and the pressure applying unit 500 is shown in FIG.

プレート１２は、スクライブヘッド１０を支持する。スクライブヘッド１０は、プレート１２に支持された状態で、スクライブ装置１の移送部１１（図１参照）に取り付けられる。 The plate 12 supports the scribe head 10. The scribe head 10 is attached to the transfer unit 11 (see FIG. 1) of the scribe device 1 in a state of being supported by the plate 12.

カッター機構１００は、基板Ｆの表面Ｆ１にスクライブラインを形成するカッターホイール１０１（図３（ａ）～（ｃ）参照）を保持する。移動機構２００は、カッターホイール１０１を基板Ｆの表面Ｆ１に接近および離間させる。測定部３００（図８参照）は、基板Ｆに対するカッターホイール１０１の荷重（スクライブ荷重）を測定する。撮像部４００は、基板Ｆと載置部６とを位置合わせするために用いられる。以下、各構成について説明する。 The cutter mechanism 100 holds a cutter wheel 101 (see FIGS. 3A to 3C) that forms a scribe line on the surface F1 of the substrate F. The moving mechanism 200 brings the cutter wheel 101 closer to and further from the surface F1 of the substrate F. The measuring unit 300 (see FIG. 8) measures the load (scribe load) of the cutter wheel 101 with respect to the substrate F. The image pickup unit 400 is used to align the substrate F with the mounting unit 6. Hereinafter, each configuration will be described.

図３（ａ）は、カッター機構１００の構成を示す斜視図である。 FIG. 3A is a perspective view showing the configuration of the cutter mechanism 100.

図３（ａ）に示すように、カッター機構１００は、ホルダユニット１１０と、ジョイント１２０と、受け部１３０と、ブロック部材１４０と、カバー１５０と、を備える。カッターホイール１０１は、ホルダユニット１１０に保持される。 As shown in FIG. 3A, the cutter mechanism 100 includes a holder unit 110, a joint 120, a receiving portion 130, a block member 140, and a cover 150. The cutter wheel 101 is held by the holder unit 110.

図３（ｂ）は、ホルダユニット１１０およびジョイント１２０について、Ｙ－Ｚ平面に平行な平面で切断した場合の断面を、Ｘ軸正側から見た場合の断面図である。なお、図３（ｂ）では、ジョイント１２０にホルダユニット１１０が装着されている部分のみが示されている。また、ホルダユニット１１０のうち、ジョイント１２０から突出している部分は側面図で示されている。図３（ｃ）は、ホルダユニット１１０のうち、ジョイント１２０から突出している部分について、Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断した場合の断面を、Ｙ軸正側から見た場合の側面図である。 FIG. 3B is a cross-sectional view of the holder unit 110 and the joint 120 when cut in a plane parallel to the YY plane and viewed from the positive side of the X-axis. Note that FIG. 3B shows only the portion where the holder unit 110 is mounted on the joint 120. Further, the portion of the holder unit 110 that protrudes from the joint 120 is shown in the side view. FIG. 3C is a side view of the holder unit 110 protruding from the joint 120 when the cross section is cut in a plane parallel to the XX plane and viewed from the positive side of the Y axis. be.

図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、ホルダユニット１１０は、上記したカッターホイール１０１と、ホルダ１１１と、ピン軸１１２と、を備える。 As shown in FIGS. 3B and 3C, the holder unit 110 includes the cutter wheel 101, the holder 111, and the pin shaft 112 described above.

ホルダ１１１は、傾斜面１１１ｃが形成されている上部１１１ａがジョイント１２０に装着される。ホルダ１１１の下部１１１ｂには、カッターホイール１０１を保持するための側壁１１３ａ、１１３ｂがＸ軸方向に向かい合って形成されている。側壁１１３ａ、１１３ｂは、Ｘ軸方向から見た場合に、下端に向かって幅が狭くなる台形形状に形成されている。側壁１１３ａ、１１３ｂとの間に溝１１４が形成されている。 In the holder 111, the upper portion 111a on which the inclined surface 111c is formed is mounted on the joint 120. Side walls 113a and 113b for holding the cutter wheel 101 are formed on the lower portion 111b of the holder 111 so as to face each other in the X-axis direction. The side walls 113a and 113b are formed in a trapezoidal shape whose width narrows toward the lower end when viewed from the X-axis direction. A groove 114 is formed between the side walls 113a and 113b.

側壁１１３ａ、１１３ｂの下端には、円形の孔１１５ａ、１１５ｂが溝１１４を跨ぐようにして同軸上に形成されている。孔１１５ａ、１１５ｂの中心軸は、Ｘ軸に平行である。孔１１５ａ、１１５ｂと、カッターホイール１０１の孔１０１ａとが同一直線上に並ぶように、カッターホイール１０１を溝１１４に挿入する。そして、孔１１５ａ、１１５ｂと、カッターホイール１０１の孔１０１ａとに、孔１０１ａ、孔１１５ａ、１１５ｂよりも小さい径を有するピン軸１１２が通される。ピン軸１１２の両端部のそれぞれは側壁１１３ａ、１１３ｂで係止される。このようにして、カッターホイール１０１は、ホルダユニット１１０に回転可能に保持される。 At the lower ends of the side walls 113a and 113b, circular holes 115a and 115b are formed coaxially so as to straddle the groove 114. The central axes of the holes 115a and 115b are parallel to the X axis. The cutter wheel 101 is inserted into the groove 114 so that the holes 115a and 115b and the holes 101a of the cutter wheel 101 are aligned on the same straight line. Then, a pin shaft 112 having a diameter smaller than that of the holes 101a and 115a and 115b is passed through the holes 115a and 115b and the holes 101a of the cutter wheel 101. Both ends of the pin shaft 112 are locked by the side walls 113a and 113b, respectively. In this way, the cutter wheel 101 is rotatably held by the holder unit 110.

なお、図３（ｃ）では、ピン軸１１２は一点鎖線で示され、孔１１５ａ、１１５ｂは、破線で示されている。 In FIG. 3C, the pin shaft 112 is shown by a chain double-dashed line, and the holes 115a and 115b are shown by broken lines.

ホルダ１１１は、上部１１１ａと下部１１１ｂとが一体的に形成されている。または、上部１１１ａと下部１１１ｂとが別体であってもよい。 The holder 111 is integrally formed with an upper portion 111a and a lower portion 111b. Alternatively, the upper portion 111a and the lower portion 111b may be separate bodies.

図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、ジョイント１２０の下面には、上方（Ｚ軸正側）に向かって開口する円形の穴１２１が形成されている。穴１２１の最奥部１２１ａに磁石１２２が設置されている。また、穴１２１の内部には、穴１２１の中心軸Ｇ１と垂直な方向に位置決めピン１２３が設けられる。穴１２１にホルダ１１１の上部１１１ａが挿入されることにより、ホルダユニット１１０がジョイント１２０に装着される。 As shown in FIGS. 3 (b) and 3 (c), a circular hole 121 that opens upward (on the positive side of the Z axis) is formed on the lower surface of the joint 120. A magnet 122 is installed in the innermost portion 121a of the hole 121. Further, inside the hole 121, a positioning pin 123 is provided in a direction perpendicular to the central axis G1 of the hole 121. The holder unit 110 is attached to the joint 120 by inserting the upper portion 111a of the holder 111 into the hole 121.

ホルダ１１１は、少なくとも上部１１１ａが磁性材料により形成されている。このため、上部１１１ａが穴１２１に挿入されると、上部１１１ａが磁石１２２に吸引され、上部１１１ａの傾斜面１１１ｃがピン１２３に当接する。 At least the upper portion 111a of the holder 111 is formed of a magnetic material. Therefore, when the upper portion 111a is inserted into the hole 121, the upper portion 111a is attracted to the magnet 122, and the inclined surface 111c of the upper portion 111a abuts on the pin 123.

また、中心軸Ｇ１を挟んで位置決めピン１２３とは反対側であってジョイント１２０の下方に、ホルダ１１１の上部１１１ａに向かってボルト１２４が嵌められている。これにより、ホルダ１１１の傾斜面１１１ｃが位置決めピン１２３に適切に当接する。 Further, a bolt 124 is fitted below the joint 120 on the opposite side of the central axis G1 from the positioning pin 123 toward the upper portion 111a of the holder 111. As a result, the inclined surface 111c of the holder 111 appropriately abuts on the positioning pin 123.

図３（ａ）に示すように、受け部１３０は、筒状の部材であり、下面に孔１３１が形成されている。孔１３１にジョイント１２０が嵌められる。受け部１３０の上方にブロック部材１４０が接続部材１４１を介して設けられている。 As shown in FIG. 3A, the receiving portion 130 is a cylindrical member, and a hole 131 is formed on the lower surface thereof. The joint 120 is fitted in the hole 131. A block member 140 is provided above the receiving portion 130 via the connecting member 141.

ブロック部材１４０には、Ｌ字状のカバー１５０が装着される。カバー１５０のＸ軸負側の側面に移動機構２００が連結される（図２参照）。 An L-shaped cover 150 is attached to the block member 140. The moving mechanism 200 is connected to the side surface of the cover 150 on the negative side of the X-axis (see FIG. 2).

図４は、移動機構２００の構成を説明するための分解斜視図である。 FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining the configuration of the moving mechanism 200.

図４に示すように、移動機構２００は、筒部２１０と、第１移動子２２０と、第２移動子２２１と、支持部２２２と、磁石２２３、２２４と、伝達部２３０と、を備えている。 As shown in FIG. 4, the moving mechanism 200 includes a tubular portion 210, a first moving element 220, a second moving element 221, a supporting portion 222, magnets 223 and 224, and a transmitting portion 230. There is.

筒部２１０は、矩形状の箱体のＸ軸負側の側面２１０ａに、Ｚ軸方向に沿って突部２１１が一体的に設けられた形状である。筒部２１０は、上面から下面にかけて第１移動子２２０および第２移動子２２１を収容するための内部空間２１２が形成されている。内部空間２１２を形成する筒部２１０の内側面２１２ａの形状は円柱形状であり、また、筒部２１０の内側面２１２ａの径はＺ軸方向に沿って一定である。また、筒部２１０の上面および下面の開口のそれぞれに、蓋２１３が設けられている。 The tubular portion 210 has a shape in which a protrusion 211 is integrally provided on the side surface 210a on the negative side of the X-axis of a rectangular box body along the Z-axis direction. The tubular portion 210 is formed with an internal space 212 for accommodating the first mover 220 and the second mover 221 from the upper surface to the lower surface. The shape of the inner side surface 212a of the tubular portion 210 forming the internal space 212 is a cylindrical shape, and the diameter of the inner side surface 212a of the tubular portion 210 is constant along the Z-axis direction. Further, a lid 213 is provided at each of the openings on the upper surface and the lower surface of the tubular portion 210.

突部２１１のＸ軸正側の側面２１１ａの中央部分には、トラック形状の開口２１４が形成されている。開口２１４は、内部空間２１２に連通するように形成されている。これにより、内部空間２１２は開口２１４を介して筒部２１０の外部へと連通している。 A track-shaped opening 214 is formed in the central portion of the side surface 211a on the positive side of the X-axis of the protrusion 211. The opening 214 is formed so as to communicate with the internal space 212. As a result, the internal space 212 communicates with the outside of the tubular portion 210 through the opening 214.

筒部２１０のＹ軸負側の側面２１０ｂには、内部空間２１２に連通する孔２１０ｃ、２１０ｄが形成されている（図７参照）。孔２１０ｃ、２１０ｄに、管５０１、５０２が取り付けられている。管５０１、５０２は、後述の圧力付与部５００（図１０参照）から供給される空気圧を筒部２１０の内部空間２１２に供給する。 Holes 210c and 210d communicating with the internal space 212 are formed on the side surface 210b on the negative side of the Y-axis of the tubular portion 210 (see FIG. 7). Pipes 501 and 502 are attached to the holes 210c and 210d. The pipes 501 and 502 supply the air pressure supplied from the pressure applying portion 500 (see FIG. 10), which will be described later, to the internal space 212 of the tubular portion 210.

図５（ａ）は、筒部２１０の内部空間２１２に収容される各部材の構成を示す分解斜視図である。図５（ｂ）は、図４で示した伝達部２３０をＸ軸負側から見た場合の斜視図である。 FIG. 5A is an exploded perspective view showing the configuration of each member housed in the internal space 212 of the tubular portion 210. FIG. 5B is a perspective view of the transmission unit 230 shown in FIG. 4 when viewed from the negative side of the X-axis.

図４、図５（ａ）に示すように、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、磁性材料から形成される球であり、同一の径となるように形成されている。第１移動子２２０および第２移動子２２１の径は、筒部２１０の内側面２１２ａの径よりも僅かに小さい。 As shown in FIGS. 4 and 5A, the first mover 220 and the second mover 221 are spheres formed of a magnetic material and are formed to have the same diameter. The diameters of the first mover 220 and the second mover 221 are slightly smaller than the diameter of the inner side surface 212a of the tubular portion 210.

支持部２２２は、第１移動子２２０および第２移動子２２１を所定距離だけ離間させて支持する。支持部２２２は円柱形状の部材であり、Ｚ軸方向の中央部分に、Ｘ軸方向に貫通する孔２２５が形成されている。本実施形態では、支持部２２２は第１移動子２２０および第２移動子２２１の径よりも小さく形成されている。なお、支持部２２２の径は、筒部２１０の内側面２１２ａの径よりも小さければ、第１移動子２２０および第２移動子２２１の径と同一または大きくても構わない。 The support portion 222 supports the first mover 220 and the second mover 221 by separating them by a predetermined distance. The support portion 222 is a cylindrical member, and a hole 225 penetrating in the X-axis direction is formed in the central portion in the Z-axis direction. In the present embodiment, the support portion 222 is formed to be smaller than the diameter of the first mover 220 and the second mover 221. The diameter of the support portion 222 may be the same as or larger than the diameter of the first mover 220 and the second mover 221 as long as the diameter of the support portion 222 is smaller than the diameter of the inner side surface 212a of the tubular portion 210.

支持部２２２の両端には、孔２２５に連通する円形状の凹部２２２ａ、２２２ｂが形成されている。凹部２２２ａ、２２２ｂには、孔２２５に連通するネジ孔２２２ｃ、２２２ｄ（図６（ａ）参照）が形成されており、磁石２２３、２２４は凹部２２２ａ、２２２ｂに嵌め込まれる。 Circular recesses 222a and 222b communicating with the hole 225 are formed at both ends of the support portion 222. The recesses 222a and 222b are formed with screw holes 222c and 222d (see FIG. 6A) that communicate with the holes 225, and the magnets 223 and 224 are fitted into the recesses 222a and 222b.

また、支持部２２２の孔２２５に後述するピン２３２（図５（ｂ）参照）を挿入したとき、ピン２３２を孔２２５内で止めるために、ネジ２２６が用いられる。ネジ２２６は、ネジ孔２２２ｄ（図６（ａ）参照）に挿入されてネジ留めされる。 Further, when a pin 232 (see FIG. 5B) described later is inserted into the hole 225 of the support portion 222, a screw 226 is used to fix the pin 232 in the hole 225. The screw 226 is inserted into the screw hole 222d (see FIG. 6A) and screwed.

磁石２２３、２２４は円柱形状であり、磁石２２３、２２４のそれぞれに第１移動子２２０および第２移動子２２１のそれぞれが接触する。第１移動子２２０は磁石２２３の上面２２３ａに接触する。第２移動子２２１は磁石２２４の下面２２４ａに接触する。上面２２３ａおよび下面２２４ａは、Ｘ－Ｙ平面に平行な面に形成されている。また、磁石２２３、２２４のサイズは同一である。 The magnets 223 and 224 have a cylindrical shape, and the first mover 220 and the second mover 221 are in contact with each of the magnets 223 and 224, respectively. The first mover 220 comes into contact with the upper surface 223a of the magnet 223. The second mover 221 comes into contact with the lower surface 224a of the magnet 224. The upper surface 223a and the lower surface 224a are formed on a plane parallel to the XY plane. Further, the magnets 223 and 224 have the same size.

図４、図５（ｂ）に示すように、伝達部２３０は、Ｘ軸負側の側面に、Ｚ軸方向に延びる溝２３１が形成されている。溝２３１の幅および深さは一定である。溝２３１の幅は、図４の突部２１１の幅よりも僅かに大きい。溝２３１の底面２３１ａの中央部分にはピン２３２が設けられている。ピン２３２は、支持部２２２に形成されている孔２２５に挿入される。このため、ピン２３２は、孔２２５の径と同一か若干小さくなるように形成されている。 As shown in FIGS. 4 and 5B, the transmission portion 230 has a groove 231 extending in the Z-axis direction formed on the side surface on the negative side of the X-axis. The width and depth of the groove 231 are constant. The width of the groove 231 is slightly larger than the width of the protrusion 211 in FIG. A pin 232 is provided at the center of the bottom surface 231a of the groove 231. The pin 232 is inserted into the hole 225 formed in the support portion 222. Therefore, the pin 232 is formed so as to be the same as or slightly smaller than the diameter of the hole 225.

伝達部２３０は、溝２３１を挟んで側壁２３３、２３４がＹ軸方向に向かい合って形成されている。溝２３１のＹ軸方向の長さは、筒部２１０の突部２１１のＹ軸方向の長さと同一である（図６（ｂ）、図７参照）。 The transmission portion 230 is formed so that the side walls 233 and 234 face each other in the Y-axis direction with the groove 231 interposed therebetween. The length of the groove 231 in the Y-axis direction is the same as the length of the protrusion 211 of the tubular portion 210 in the Y-axis direction (see FIGS. 6 (b) and 7).

次に、移動機構２００の組み立て方について説明する。 Next, how to assemble the moving mechanism 200 will be described.

図６（ａ）は、移動機構２００およびプレート１２をＸ－Ｚ平面に平行な平面で切断した場合の断面を、Ｙ軸正側から見た場合の断面図である。 FIG. 6A is a cross-sectional view when the moving mechanism 200 and the plate 12 are cut in a plane parallel to the XX plane and viewed from the positive side of the Y-axis.

図６（ａ）に示すように、筒部２１０の内部空間２１２に支持部２２２が収容される。このとき、支持部２２２の孔２２５が筒部２１０の開口２１４から視認されるように、支持部２２２は内部空間２１２に収容される。また、支持部２２２は、支持部２２２の中心軸が内部空間２１２の中心軸と一致するように、内部空間２１２に収容される。 As shown in FIG. 6A, the support portion 222 is housed in the internal space 212 of the tubular portion 210. At this time, the support portion 222 is housed in the internal space 212 so that the hole 225 of the support portion 222 can be visually recognized from the opening 214 of the tubular portion 210. Further, the support portion 222 is housed in the internal space 212 so that the central axis of the support portion 222 coincides with the central axis of the internal space 212.

このように配置された支持部２２２の孔２２５に伝達部２３０のピン２３２が挿入される。このとき、ピン２３２のＸ軸負側の端部が孔２２５のＸ軸負側から突出しないように挿入される。こうして、ピン２３２が孔２２５に挿入されると、支持部２２２のネジ孔２２２ｄにネジ２２６が挿入され、ピン２３２はネジ２２６によって孔２２５内の上方に押し付けられる。これにより、ピン２３２は支持部２２２に固定される。よって、ピン２３２を介して伝達部２３０と支持部２２２とが連結される。 The pin 232 of the transmission unit 230 is inserted into the hole 225 of the support unit 222 thus arranged. At this time, the end of the pin 232 on the negative side of the X-axis is inserted so as not to protrude from the negative side of the X-axis of the hole 225. Thus, when the pin 232 is inserted into the hole 225, the screw 226 is inserted into the screw hole 222d of the support portion 222, and the pin 232 is pressed upward in the hole 225 by the screw 226. As a result, the pin 232 is fixed to the support portion 222. Therefore, the transmission portion 230 and the support portion 222 are connected via the pin 232.

このようにしてピン２３２が支持部２２２の孔２２５内で固定されると、ピン２３２のＸ軸負側の端部が孔２２５のＸ軸負側から突出しないため、ピン２３２は筒部２１０の内側面２１２ａに接触しない。 When the pin 232 is fixed in the hole 225 of the support portion 222 in this way, the end of the pin 232 on the negative X-axis side does not protrude from the negative side of the X-axis of the hole 225, so that the pin 232 is the tubular portion 210. Does not contact the inner surface 212a.

支持部２２２が内部空間２１２に収容されると、磁石２２３の上面２２３ａが凹部２２２ａから露出するように、支持部２２２の凹部２２２ａに磁石２２３が嵌め込まれる。同様に、磁石２２４の下面２２４ａが凹部２２２ｂから露出するように、支持部２２２の凹部２２２ｂに磁石２２４が嵌め込まれる。 When the support portion 222 is housed in the internal space 212, the magnet 223 is fitted into the recess 222a of the support portion 222 so that the upper surface 223a of the magnet 223 is exposed from the recess 222a. Similarly, the magnet 224 is fitted into the recess 222b of the support portion 222 so that the lower surface 224a of the magnet 224 is exposed from the recess 222b.

磁石２２３、２２４が支持部２２２に設置されると、第１移動子２２０が内部空間２１２に収容される。第１移動子２２０は磁性材料から形成されているため、磁石２２３に吸引されることにより、磁石２２３を介して支持部２２２に支持される。このとき、第１移動子２２０は磁石２２３に対してＺ軸方向に離間することはない。第２移動子２２１も同様にして磁石２２４を介して支持部２２２に支持される。 When the magnets 223 and 224 are installed in the support portion 222, the first mover 220 is housed in the internal space 212. Since the first mover 220 is made of a magnetic material, it is attracted to the magnet 223 and is supported by the support portion 222 via the magnet 223. At this time, the first mover 220 does not separate from the magnet 223 in the Z-axis direction. The second mover 221 is also supported by the support portion 222 via the magnet 224 in the same manner.

上記のようにして、第１移動子２２０、第２移動子２２１、支持部２２２、および磁石２２３、２２４が筒部２１０の内部空間２１２に収容されると、第１移動子２２０および第２移動子２２１の全周と内部空間２１２との間に隙間が形成され、支持部２２２の全周と内部空間２１２との間に隙間が形成される。 As described above, when the first mover 220, the second mover 221, the support portion 222, and the magnets 223 and 224 are housed in the internal space 212 of the tubular portion 210, the first mover 220 and the second mover A gap is formed between the entire circumference of the child 221 and the internal space 212, and a gap is formed between the entire circumference of the support portion 222 and the internal space 212.

図６（ｂ）は、図６（ａ）の移動機構２００をＺ軸正側から見た場合の上面図である。 FIG. 6B is a top view of the moving mechanism 200 of FIG. 6A when viewed from the positive side of the Z axis.

上記のとおり、支持部２２２の孔２２５に挿入されたピン２３２は、孔２２５から突出しないよう、支持部２２２のネジ孔２２２ｄに挿入されたネジ２２６で押さえ付けられている（図６（ａ）参照）。このため、図６（ｂ）に示すように、伝達部２３０の溝２３１が筒部２１０の突部２１１に嵌まると、筒部２１０の側面２１１ａと溝２３１の底面２３１ａとの間に隙間が生じる。このため、伝達部２３０の側壁２３３、２３４と筒部２１０の側面２１０ａとの間にも隙間が生じる。なお、図６（ｂ）中の矢印は、隙間が形成されている箇所を指している。 As described above, the pin 232 inserted into the hole 225 of the support portion 222 is pressed by the screw 226 inserted into the screw hole 222d of the support portion 222 so as not to protrude from the hole 225 (FIG. 6A). reference). Therefore, as shown in FIG. 6B, when the groove 231 of the transmission portion 230 fits into the protrusion 211 of the cylinder portion 210, a gap is created between the side surface 211a of the cylinder portion 210 and the bottom surface 231a of the groove 231. Occurs. Therefore, a gap is also formed between the side wall 233 and 234 of the transmission portion 230 and the side surface 210a of the cylinder portion 210. The arrow in FIG. 6B points to a place where a gap is formed.

こうして、筒部２１０の内部空間２１２に第１移動子２２０、第２移動子２２１、支持部２２２、および磁石２２３、２２４が収容された後、図４に示した２つの蓋２１３が、内部空間２１２の上面および下面の開口に装着されて、内部空間２１２の上面および下面が塞がれる。これにより、図７に示すように、移動機構２００の組み立てが完了する。 In this way, after the first mover 220, the second mover 221 and the support part 222, and the magnets 223 and 224 are housed in the internal space 212 of the tubular part 210, the two lids 213 shown in FIG. 4 have the internal space. Attached to the openings on the upper and lower surfaces of the 212, the upper and lower surfaces of the interior space 212 are closed. As a result, as shown in FIG. 7, the assembly of the moving mechanism 200 is completed.

このように、移動機構２００が組み立てられると、筒部２１０のＸ軸負側の側面がプレート１２に取り付けられる。これにより、移動機構２００がプレート１２に固定される（図２参照）。 When the moving mechanism 200 is assembled in this way, the side surface on the negative side of the X-axis of the tubular portion 210 is attached to the plate 12. As a result, the moving mechanism 200 is fixed to the plate 12 (see FIG. 2).

なお、図６（ａ）では、ネジ２２６は支持部２２２のネジ孔２２２ｄに挿入され、ピン２３２はネジ２２６で下方から押さえ付けられていたが、ネジ孔２２２ｃにネジ２２６が挿入されてもよい。この場合、ピン２３２は、ネジ２２６に上方から押さえ付けられる。または、ネジ孔２２２ｃ、２２２ｄのそれぞれにネジ２２６が挿入され、ピン２３２が上下方向から押さえ付けられて、支持部２２２の孔２２５内に固定されてもよい。 In FIG. 6A, the screw 226 is inserted into the screw hole 222d of the support portion 222, and the pin 232 is pressed from below by the screw 226, but the screw 226 may be inserted into the screw hole 222c. .. In this case, the pin 232 is pressed against the screw 226 from above. Alternatively, a screw 226 may be inserted into each of the screw holes 222c and 222d, and the pin 232 may be pressed from above and below to be fixed in the hole 225 of the support portion 222.

図８は、スクライブヘッド１０の構成を示す斜視図である。ただし、説明の便宜上、図８では、カッター機構１００および撮像部４００は省略されている。 FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the scribe head 10. However, for convenience of explanation, the cutter mechanism 100 and the imaging unit 400 are omitted in FIG.

図８に示すように、測定部３００は、ロードセル３１０と、当接部材３２０と、台３３０と、を備えている。 As shown in FIG. 8, the measuring unit 300 includes a load cell 310, an abutting member 320, and a base 330.

ロードセル３１０は、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接したとき、カッターホイール１０１が基板Ｆに対して付与する荷重（スクライブ荷重）を測定する。ロードセル３１０の上面には突起３１１が設けられている。 The load cell 310 measures the load (scribe load) applied to the substrate F by the cutter wheel 101 when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. A protrusion 311 is provided on the upper surface of the load cell 310.

当接部材３２０は、ロードセル３１０の突起３１１に当接するブロック部材である。また、当接部材３２０は、下面にナット３２１が設けられている。台３３０は、ロードセル３１０が載置される台であり、プレート１２に固定されている。 The contact member 320 is a block member that contacts the protrusion 311 of the load cell 310. Further, the contact member 320 is provided with a nut 321 on the lower surface thereof. The table 330 is a table on which the load cell 310 is placed and is fixed to the plate 12.

なお、図８では、当接部材３２０のナット３２１が、ロードセル３１０の突起３１１に当接している状態が図示されている。測定部３００の動作に関しては、追って図１４（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。 Note that FIG. 8 shows a state in which the nut 321 of the contact member 320 is in contact with the protrusion 311 of the load cell 310. The operation of the measuring unit 300 will be described later with reference to FIGS. 14 (a) and 14 (b).

図２に戻り、撮像部４００は、プレート１２に装着されている。撮像部４００は、基板Ｆの載置部６における位置決めを行う際に用いられる。撮像部４００によって撮像された画像により、ユーザは載置部６に基板Ｆが適切に位置付けられているかを把握することができる。 Returning to FIG. 2, the image pickup unit 400 is mounted on the plate 12. The image pickup unit 400 is used when positioning the substrate F in the mounting portion 6. From the image captured by the imaging unit 400, the user can grasp whether the substrate F is properly positioned on the mounting unit 6.

上記したカッター機構１００、移動機構２００、および測定部３００は、以下のようにして連結される。 The cutter mechanism 100, the moving mechanism 200, and the measuring unit 300 described above are connected as follows.

図４、図８に示すように、伝達部２３０のＸ軸正側の側面に、カッター機構１００のカバー１５０のＸ軸負側の側面（図２、図３（ａ）参照）が当接され、伝達部２３０とカバー１５０とが図示されないボルトで固定される。これにより、図２に示すように、カッター機構１００と移動機構２００とが連結される。 As shown in FIGS. 4 and 8, the side surface of the cover 150 of the cutter mechanism 100 on the negative side of the X-axis (see FIGS. 2 and 3A) is in contact with the side surface of the transmission unit 230 on the positive side of the X-axis. , The transmission unit 230 and the cover 150 are fixed by bolts (not shown). As a result, as shown in FIG. 2, the cutter mechanism 100 and the moving mechanism 200 are connected.

また、図８に示すように、伝達部２３０のＹ軸正側の側面に、当接部材３２０のＹ軸負側の側面が当接され、当接部材３２０のＹ軸正側の側面に形成されている孔から図示されないボルトが挿入されて、伝達部２３０と当接部材３２０とが連結される。 Further, as shown in FIG. 8, the side surface of the contact member 320 on the negative side of the Y axis is abutted against the side surface of the transmission unit 230 on the positive side of the Y axis, and is formed on the side surface of the contact member 320 on the positive side of the Y axis. A bolt (not shown) is inserted through the hole to connect the transmission portion 230 and the contact member 320.

こうして、図２に示すように、カッター機構１００および当接部材３２０は、移動機構２００の伝達部２３０に連結される。よって、伝達部２３０が基板Ｆに対して上下方向に移動すると、カッター機構１００および当接部材３２０も基板Ｆに対して上下方向に移動する。図６（ａ）を参照して説明したとおり、伝達部２３０は、支持部２２２にピン２３２を介して連結されており、支持部２２２は、第１移動子２２０および第２移動子２２１を支持する。したがって、伝達部２３０の移動は、第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動に起因する。 Thus, as shown in FIG. 2, the cutter mechanism 100 and the contact member 320 are connected to the transmission unit 230 of the moving mechanism 200. Therefore, when the transmission unit 230 moves in the vertical direction with respect to the substrate F, the cutter mechanism 100 and the contact member 320 also move in the vertical direction with respect to the substrate F. As described with reference to FIG. 6A, the transmission unit 230 is connected to the support unit 222 via a pin 232, and the support unit 222 supports the first mover 220 and the second mover 221. do. Therefore, the movement of the transmission unit 230 is due to the movement of the first mover 220 and the second mover 221.

そこで、第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動について説明する。 Therefore, the movement of the first mover 220 and the second mover 221 will be described.

図９（ａ）、（ｂ）は、筒部２１０の内部空間２１２における第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動と、内部空間２１２に供給される空気の流れ方を説明するための図である。 9 (a) and 9 (b) are for explaining the movement of the first mover 220 and the second mover 221 in the internal space 212 of the tubular portion 210 and the flow of air supplied to the internal space 212. It is a figure.

図９（ａ）は、内部空間２１２に第１移動子２２０等が収容された筒部２１０をＹ－Ｚ平面に平行な平面で切断した場合の断面を、Ｘ軸正側から見た場合の断面図である。なお、図９（ａ）では、支持部２２２の孔２２５に伝達部２３０のピン２３２が嵌められている。すなわち、支持部２２２と伝達部２３０とが連結されている。また、図９（ａ）では、管５０１、５０２は省略されている。図９（ｂ）は、図９（ａ）で示された第１移動子２２０付近を拡大した模式図である。 FIG. 9A shows a cross section of the tubular portion 210 in which the first mover 220 and the like are housed in the internal space 212 cut in a plane parallel to the YZ plane when viewed from the positive side of the X axis. It is a sectional view. In FIG. 9A, the pin 232 of the transmission portion 230 is fitted in the hole 225 of the support portion 222. That is, the support portion 222 and the transmission portion 230 are connected. Further, in FIG. 9A, pipes 501 and 502 are omitted. 9 (b) is an enlarged schematic view of the vicinity of the first mover 220 shown in FIG. 9 (a).

なお、以下の説明では、「第１移動子２２０に対して支持部２２２とは反対側」は、「第１移動子２２０のＺ軸正側」を意味し、単に「第１移動子２２０の上方」または「第１移動子２２０の上側」と記載される場合がある。また、「第２移動子２２１に対して支持部２２２側」は、「第２移動子２２１のＺ軸負側」を意味し、単に「第２移動子２２１の下方」または「第２移動子２２１の下側」と記載される場合がある。 In the following description, "the side opposite to the support portion 222 with respect to the first mover 220" means "the Z-axis positive side of the first mover 220", and simply "the first mover 220. It may be described as "upper" or "upper side of the first mover 220". Further, "support portion 222 side with respect to the second mover 221" means "Z-axis negative side of the second mover 221", and is simply "below the second mover 221" or "second mover". It may be described as "below 221".

図９（ａ）に示すように、筒部２１０の内部空間２１２に、第１移動子２２０、第２移動子２２１、支持部２２２、磁石２２３、２２４が収容され、伝達部２３０のピン２３２が支持部２２２の孔２２５に挿入される。このような内部空間２１２において、第１移動子２２０に対して支持部２２２の反対側に配置される第１空間Ｒ１と、第２移動子２２１を介して支持部２２２と反対側に配置される第２空間Ｒ２とに、圧力付与部５００（図１０参照）から個別に、空気圧が矢印の方向に供給される。 As shown in FIG. 9A, the first mover 220, the second mover 221 and the support part 222, the magnets 223 and 224 are housed in the internal space 212 of the tubular part 210, and the pin 232 of the transmission part 230 is accommodated. It is inserted into the hole 225 of the support portion 222. In such an internal space 212, the first space R1 arranged on the opposite side of the support portion 222 with respect to the first mover 220 and the first space R1 arranged on the opposite side of the support portion 222 via the second mover 221. Air pressure is individually supplied to the second space R2 from the pressure applying portion 500 (see FIG. 10) in the direction of the arrow.

図９（ｂ）中の矢印の方向に示すように、圧力付与部５００（図１０参照）から供給される空気は、管５０１から孔２１０ｃを通り、第１空間Ｒ１に供給される。第１空間Ｒ１において、第１移動子２２０と内部空間２１２（筒部２１０の内側面２１２ａ）との間には隙間が生じている。このため、第１空間Ｒ１に供給された空気の一部はこの隙間を通る。また、上記のとおり、筒部２１０の開口２１４は内部空間２１２と連通するように形成されているため、第１移動子２２０と内部空間２１２との間の隙間を通った空気は、開口２１４から筒部２１０の外部へと排出される。 As shown in the direction of the arrow in FIG. 9B, the air supplied from the pressure applying portion 500 (see FIG. 10) is supplied from the pipe 501 through the hole 210c to the first space R1. In the first space R1, there is a gap between the first mover 220 and the internal space 212 (inner side surface 212a of the tubular portion 210). Therefore, a part of the air supplied to the first space R1 passes through this gap. Further, as described above, since the opening 214 of the tubular portion 210 is formed so as to communicate with the internal space 212, the air passing through the gap between the first mover 220 and the internal space 212 flows from the opening 214. It is discharged to the outside of the cylinder portion 210.

図９（ｂ）は、説明のために、第１移動子２２０と内部空間２１２との間の隙間が大きく図示されていたが、実際の隙間の間隔は非常に微小である。よって、第１空間Ｒ１に供給された空気のうち、筒部２１０の外部へと排出される空気は少量である。このため、第１空間Ｒ１に圧力付与部５００（図１０参照）から空気圧が供給されると、第１移動子２２０が支持部２２２に向かって押圧される。 In FIG. 9B, the gap between the first mover 220 and the internal space 212 is shown to be large for the sake of explanation, but the actual gap is very small. Therefore, of the air supplied to the first space R1, the amount of air discharged to the outside of the tubular portion 210 is small. Therefore, when air pressure is supplied to the first space R1 from the pressure applying portion 500 (see FIG. 10), the first mover 220 is pressed toward the support portion 222.

図９（ｂ）に図示されていないが、第２空間Ｒ２に圧力付与部５００（図１０参照）から空気が供給されると、少量の空気が第２移動子２２１と内部空間２１２との間の隙間を通り、開口２１４から筒部２１０の外部へと排出される。これと同時に、第２空間Ｒ２に圧力付与部５００から空気圧が供給されると、第２移動子２２１は支持部２２２に向かって押圧される。 Although not shown in FIG. 9B, when air is supplied to the second space R2 from the pressure applying portion 500 (see FIG. 10), a small amount of air is introduced between the second mover 221 and the internal space 212. It is discharged from the opening 214 to the outside of the tubular portion 210 through the gap of. At the same time, when air pressure is supplied to the second space R2 from the pressure applying portion 500, the second mover 221 is pressed toward the support portion 222.

よって、第１空間Ｒ１に供給される空気圧が第２空間Ｒ２に供給される空気圧よりも高い場合、第１移動子２２０に付与される押圧力の方が第２移動子２２１に付与される押圧力よりも大きいため、第１移動子２２０は第２移動子２２１の方に向かって移動する。すなわち、第１移動子２２０を支持する支持部２２２および支持部２２２に支持されている第２移動子２２１は、第１移動子２２０とともに下方に移動する。 Therefore, when the air pressure supplied to the first space R1 is higher than the air pressure supplied to the second space R2, the pressing force applied to the first mover 220 is applied to the second moving element 221. Since it is greater than the pressure, the first mover 220 moves towards the second mover 221. That is, the support portion 222 that supports the first mover 220 and the second mover 221 supported by the support portion 222 move downward together with the first mover 220.

これとは逆に、第２空間Ｒ２に供給される空気圧が第１空間Ｒ１に供給される空気圧よりも高い場合、第２移動子２２１に付与される押圧力の方が第１移動子２２０に付与される押圧力よりも大きいため、第２移動子２２１は第１移動子２２０の方に向かって移動する。すなわち、支持部２２２および支持部２２２に支持されている第１移動子２２０は、第２移動子２２１とともに上方に移動する。 On the contrary, when the air pressure supplied to the second space R2 is higher than the air pressure supplied to the first space R1, the pressing force applied to the second mover 221 is applied to the first mover 220. Since it is larger than the pressing force applied, the second mover 221 moves toward the first mover 220. That is, the first mover 220 supported by the support portion 222 and the support portion 222 moves upward together with the second mover 221.

このように、圧力付与部５００から第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に、個別に供給される空気圧の大きさによって、第１移動子２２０および第２移動子２２１が内部空間２１２を上下方向に移動する。 In this way, the first mover 220 and the second mover 221 move the internal space 212 in the vertical direction depending on the magnitude of the air pressure individually supplied from the pressure applying portion 500 to the first space R1 and the second space R2. Moving.

第１移動子２２０および第２移動子２２１が内部空間２１２を上下方向に移動すると、支持部２２２も上下方向に移動する。図２、図８を参照して説明したとおり、伝達部２３０を介して支持部２２２にカッター機構１００が連結されている。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動が伝達部２３０を介してカッター機構１００に伝達される。したがって、カッター機構１００は、第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動とともに移動する。 When the first mover 220 and the second mover 221 move up and down in the internal space 212, the support portion 222 also moves up and down. As described with reference to FIGS. 2 and 8, the cutter mechanism 100 is connected to the support portion 222 via the transmission portion 230. Therefore, the movement of the first mover 220 and the second mover 221 is transmitted to the cutter mechanism 100 via the transmission unit 230. Therefore, the cutter mechanism 100 moves with the movement of the first mover 220 and the second mover 221.

このようにカッター機構１００が上下方向に移動すると、カッター機構１００に保持されているカッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接する。カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接するとき、カッターホイール１０１から基板Ｆに荷重（スクライブ荷重）が付与される。つまり、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２に供給される空気圧の圧力差により、カッターホイール１０１に基板Ｆに対するスクライブ荷重が生じる。 When the cutter mechanism 100 moves in the vertical direction in this way, the cutter wheel 101 held by the cutter mechanism 100 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. When the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F, a load (scribe load) is applied from the cutter wheel 101 to the substrate F. That is, a scribe load is generated on the substrate F on the cutter wheel 101 due to the pressure difference between the air pressures supplied to the first space R1 and the second space R2.

また、伝達部２３０に測定部３００の当接部材３２０が連結されている。このため、カッター機構１００と同様に、当接部材３２０は、第１移動子２２０および第２移動子２２１の移動とともに移動する。 Further, the contact member 320 of the measuring unit 300 is connected to the transmitting unit 230. Therefore, similarly to the cutter mechanism 100, the contact member 320 moves with the movement of the first mover 220 and the second mover 221.

また、圧力付与部５００から第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給される空気の一部は、第１移動子２２０および第２移動子２２１と筒部２１０の内側面２１２ａとの間に生じている隙間を通る。このため、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａから離れる方向に圧力を受けて、この圧力が均衡した位置に調心される。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａから離間した状態で、調心位置に支持される。 Further, a part of the air supplied from the pressure applying portion 500 to the first space R1 and the second space R2 is generated between the first mover 220 and the second mover 221 and the inner side surface 212a of the cylinder portion 210. Pass through the gap. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 receive pressure in a direction away from the inner side surface 212a of the tubular portion 210, and are centered at a position where the pressure is in equilibrium. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 are supported at the centering position in a state of being separated from the inner side surface 212a of the tubular portion 210.

このように、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａと非接触の状態で支持部２２２に支持されるため、移動時に摩擦抵抗を受けない。このため、第１移動子２２０および第２移動子２２１が内部空間２１２を、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２との間の圧力差によって上下方向に移動するとき、摩擦抵抗に妨げられることなく、円滑に移動できる。上記のとおり、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２とに供給される空気圧の圧力差により、カッターホイール１０１に基板Ｆに対するスクライブ荷重が生じる。したがって、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２との圧力差によって、カッターホイール１０１の基板Ｆに対するスクライブ荷重を微細かつ安定的に調節できる。 As described above, since the first mover 220 and the second mover 221 are supported by the support portion 222 in a non-contact state with the inner side surface 212a of the tubular portion 210, they do not receive frictional resistance during movement. Therefore, when the first mover 220 and the second mover 221 move in the internal space 212 in the vertical direction due to the pressure difference between the first space R1 and the second space R2, they are not hindered by the frictional resistance. , Can move smoothly. As described above, the pressure difference between the air pressures supplied to the first space R1 and the second space R2 causes a scribe load on the substrate F on the cutter wheel 101. Therefore, the scribe load of the cutter wheel 101 on the substrate F can be finely and stably adjusted by the pressure difference between the first space R1 and the second space R2.

図１０は、スクライブヘッド１０の構成を示すブロック図である。 FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the scribe head 10.

図１０に示すように、スクライブヘッド１０は、図２に示したプレート１２、カッターホイール１０１、移動機構２００、測定部３００、および撮像部４００と、を備え、さらに、制御部５１０と、圧力付与部５００と、駆動部５２０と、を備える。 As shown in FIG. 10, the scribe head 10 includes a plate 12, a cutter wheel 101, a moving mechanism 200, a measuring unit 300, and an imaging unit 400 shown in FIG. 2, and further includes a control unit 510 and pressure application. A unit 500 and a drive unit 520 are provided.

圧力付与部５００は、図示しない空圧源を含み、筒部２１０の内部空間２１２すなわち第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に、個別に空気圧を供給する。 The pressure applying portion 500 includes an air pressure source (not shown), and individually supplies air pressure to the internal space 212 of the tubular portion 210, that is, the first space R1 and the second space R2.

駆動部５２０は、プレート１２を基板Ｆに対して上下方向に移動させる。上記したとおり、プレート１２には、移動機構２００の筒部２１０および測定部３００の台３３０が固定されている。このため、プレート１２が上下方向に移動すると、筒部２１０、台３３０、および台３３０に載置されているロードセル３１０が上下方向に移動する。 The drive unit 520 moves the plate 12 in the vertical direction with respect to the substrate F. As described above, the cylinder portion 210 of the moving mechanism 200 and the base 330 of the measuring portion 300 are fixed to the plate 12. Therefore, when the plate 12 moves in the vertical direction, the tubular portion 210, the table 330, and the load cell 310 mounted on the table 330 move in the vertical direction.

制御部５１０は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク等のメモリを含んでいる。制御部５１０は、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。 The control unit 510 includes an arithmetic processing circuit such as a CPU and a memory such as a ROM, RAM, and a hard disk. The control unit 510 controls each unit according to a program stored in the memory.

次に、スクライブヘッド１０の動作について、図１１（ａ）～図１４を参照して説明する。なお、これらの動作は、図１０の制御部５１０により行われる。 Next, the operation of the scribe head 10 will be described with reference to FIGS. 11 (a) to 14 (14). These operations are performed by the control unit 510 of FIG.

図１１（ａ）、（ｂ）、図１２（ａ）、（ｂ）は、プレート１２および移動機構２００をＸ－Ｚ平面に平行な面で切断した断面であって、Ｙ軸負側から見た場合の断面を模式的に示した断面図である。 11 (a), (b), 12 (a), and 12 (b) are cross sections of the plate 12 and the moving mechanism 200 cut along a plane parallel to the XX plane, and are viewed from the negative side of the Y axis. It is sectional drawing which showed typically the cross section in the case of.

また、図１３は、基板Ｆの表面Ｆ１にカッターホイール１０１が当接したときの、スクライブヘッド１０をＹ軸負側から見た場合の側面図である。 Further, FIG. 13 is a side view of the scribe head 10 when the cutter wheel 101 abuts on the surface F1 of the substrate F when viewed from the negative side of the Y axis.

制御部５１０が圧力付与部５００に、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２のそれぞれに略同一の空気圧を供給させた場合、第１移動子２２０、第２移動子２２１、および伝達部２３０は、図１１（ａ）に示すように、Ｚ軸方向において基板Ｆの表面Ｆ１に対して位置Ｍ０に位置付けられる。 When the control unit 510 causes the pressure applying unit 500 to supply substantially the same air pressure to each of the first space R1 and the second space R2, the first mover 220, the second mover 221 and the transmission unit 230 As shown in FIG. 11A, the substrate F is positioned at the position M0 with respect to the surface F1 of the substrate F in the Z-axis direction.

図１１（ｂ）に示すように、制御部５１０が圧力付与部５００に、第２空間Ｒ２の方が第１空間Ｒ１よりも圧力が高くなるように、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に個別に空気圧を供給させた場合、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差により、第２移動子２２１は上方に押圧される。よって、第２移動子２２１および第１移動子２２０は、上方に移動する。これにより、伝達部２３０は、基板Ｆの表面Ｆ１に対して位置Ｍ０よりも第１空間Ｒ１側の位置Ｍ１に位置付けられる。 As shown in FIG. 11B, the control unit 510 is connected to the pressure applying unit 500, and the second space R2 is connected to the first space R1 and the second space R2 so that the pressure is higher than that of the first space R1. When the air pressure is individually supplied, the second mover 221 is pressed upward due to the pressure difference between the first space R1 and the second space R2. Therefore, the second mover 221 and the first mover 220 move upward. As a result, the transmission unit 230 is positioned at the position M1 on the first space R1 side of the position M0 with respect to the surface F1 of the substrate F.

図１２（ａ）に示すように、制御部５１０が圧力付与部５００に、第１空間Ｒ１の方が第２空間Ｒ２よりも圧力が高くなるように、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に個別に空気圧を供給させた場合、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差により、第１移動子２２０は下方に押圧される。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１は下方に移動する。 As shown in FIG. 12A, the control unit 510 is connected to the pressure applying unit 500, and the first space R1 is connected to the first space R1 and the second space R2 so that the pressure is higher than that of the second space R2. When the air pressure is individually supplied, the first mover 220 is pressed downward due to the pressure difference between the first space R1 and the second space R2. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 move downward.

そして、伝達部２３０が基板Ｆの表面Ｆ１に対して位置Ｍ２に位置付けられる。このとき、図１３に示すように、カッター機構１００のカッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接する。このとき、プレート１２は、基板Ｆの表面Ｆ１に対してＺ軸方向の位置Ｎ０に位置付けられている。 Then, the transmission unit 230 is positioned at the position M2 with respect to the surface F1 of the substrate F. At this time, as shown in FIG. 13, the cutter wheel 101 of the cutter mechanism 100 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. At this time, the plate 12 is positioned at the position N0 in the Z-axis direction with respect to the surface F1 of the substrate F.

図１３に示すように基板Ｆの表面Ｆ１にカッターホイール１０１が当接すると、図１２（ｂ）に示すように、制御部５１０は駆動部５２０にプレート１２を基板Ｆの表面Ｆ１に対して位置Ｎ０から位置Ｎ１に移動させる。プレート１２には筒部２１０が連結されているため、プレート１２の移動とともに筒部２１０も移動する。 When the cutter wheel 101 abuts on the surface F1 of the substrate F as shown in FIG. 13, the control unit 510 positions the plate 12 on the drive unit 520 with respect to the surface F1 of the substrate F as shown in FIG. 12 (b). Move from N0 to position N1. Since the tubular portion 210 is connected to the plate 12, the tubular portion 210 moves with the movement of the plate 12.

図１４（ａ）、（ｂ）は、スクライブヘッド１０をＸ軸正側から見た場合を模式的に示した正面図である。ただし、図１４（ａ）、（ｂ）では、カッター機構１００および撮像部４００は省略されており、プレート１２、移動機構２００、および測定部３００のみ図示されている。 14 (a) and 14 (b) are front views schematically showing the case where the scribe head 10 is viewed from the positive side of the X-axis. However, in FIGS. 14A and 14B, the cutter mechanism 100 and the imaging unit 400 are omitted, and only the plate 12, the moving mechanism 200, and the measuring unit 300 are shown.

図１４（ａ）に示すように、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接するまでの間、当接部材３２０のナット３２１がロードセル３１０の突起３１１に当接する。この間、ロードセル３１０はカッターホイール１０１の荷重を測定する。 As shown in FIG. 14A, the nut 321 of the contact member 320 comes into contact with the protrusion 311 of the load cell 310 until the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. During this time, the load cell 310 measures the load of the cutter wheel 101.

そして、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると（図１３参照）、図１４（ｂ）に示すように、プレート１２が基板Ｆの表面Ｆ１に対して位置Ｎ０から下方に移動して位置Ｎ１に位置する。プレート１２には、ロードセル３１０を支持する台３３０が連結されているため、プレート１２が移動すると台３３０も移動する。これにより、台３３０が支持するロードセル３１０も移動するため、当接部材３２０の突起３１１からロードセル３１０が離間する。これは、図１２（ｂ）の状態に対応する。 Then, when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F (see FIG. 13), the plate 12 moves downward from the position N0 with respect to the surface F1 of the substrate F as shown in FIG. 14 (b). It is located at position N1. Since the table 330 that supports the load cell 310 is connected to the plate 12, when the plate 12 moves, the table 330 also moves. As a result, the load cell 310 supported by the base 330 also moves, so that the load cell 310 is separated from the protrusion 311 of the contact member 320. This corresponds to the state of FIG. 12 (b).

このように、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると、ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する。すなわち、ロードセル３１０は、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接するまでの間、カッターホイール１０１の荷重を測定している。したがって、ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する直前に測定された荷重は、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接したときの荷重である。すなわち、このときの測定値は、カッターホイール１０１の基板Ｆに対するスクライブ荷重である。 In this way, when the cutter wheel 101 abuts on the surface F1 of the substrate F, the load cell 310 separates from the abutting member 320. That is, the load cell 310 measures the load of the cutter wheel 101 until the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. Therefore, the load measured immediately before the load cell 310 separates from the contact member 320 is the load when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. That is, the measured value at this time is the scribe load on the substrate F of the cutter wheel 101.

制御部５１０は、ロードセル３１０による測定結果（ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する直前に測定されたスクライブ荷重）により、予め設定されたスクライブ荷重と比較して、スクライブ荷重を校正する。 The control unit 510 calibrates the scribe load by comparing with the preset scribe load based on the measurement result by the load cell 310 (the scribe load measured immediately before the load cell 310 separates from the contact member 320).

次に、スクライブ荷重の校正について説明する。 Next, calibration of the scribe load will be described.

所定のスクライブ荷重で基板Ｆにスクライブラインを形成することが設定された場合、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差によって得られる推力が所定のスクライブ荷重となるように、制御部５１０は圧力付与部５００に、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に空気圧を供給させる。このような所定のスクライブ荷重を得るために必要な空気圧（圧力付与部５００により第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給される空気圧）は、予め算出することが可能である。 When it is set to form a scribe line on the substrate F with a predetermined scribe load, the control unit 510 sets the thrust obtained by the pressure difference between the first space R1 and the second space R2 to be the predetermined scribe load. The pressure applying portion 500 is made to supply air pressure to the first space R1 and the second space R2. The air pressure required to obtain such a predetermined scribe load (air pressure supplied to the first space R1 and the second space R2 by the pressure applying unit 500) can be calculated in advance.

しかしながら、理論上計算された空気圧が第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給されたとしても、たとえば、基板Ｆの種類やカッターホイール１０１の仕様や状態等がスクライブ荷重の変動に影響することにより、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差から所定のスクライブ荷重を得ることができない場合がある。そこで、所定のスクライブ荷重を得るため、予め試験等を繰り返し行うことで、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給される空気圧の校正値が算出されたデータテーブルが作成される。このようなデータテーブルは、スクライブヘッド１０を制御するための制御部５１０に記憶される。所定のスクライブ荷重が設定されると、制御部５１０はデータテーブルを参照して、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に適切な空気圧を圧力付与部５００に供給させる。このように、制御部５１０にデータテーブルが備えられている場合、所定のスクライブ荷重に設定することが可能である。 However, even if the theoretically calculated air pressure is supplied to the first space R1 and the second space R2, for example, the type of the substrate F, the specifications and the state of the cutter wheel 101, etc. affect the fluctuation of the scribe load. , A predetermined scribe load may not be obtained from the pressure difference between the first space R1 and the second space R2. Therefore, in order to obtain a predetermined scribe load, a data table in which the calibration values of the air pressures supplied to the first space R1 and the second space R2 are calculated is created by repeating tests and the like in advance. Such a data table is stored in the control unit 510 for controlling the scribe head 10. When a predetermined scribe load is set, the control unit 510 refers to the data table and causes the first space R1 and the second space R2 to supply appropriate air pressure to the pressure applying unit 500. As described above, when the control unit 510 is provided with a data table, it is possible to set a predetermined scribe load.

一方、図１４（ａ）に示すように、本実施形態に搭載されているロードセル３１０は、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接するまでの間、当接部材３２０に当接された状態で、カッターホイール１０１の荷重を継続して測定している。 On the other hand, as shown in FIG. 14A, the load cell 310 mounted in the present embodiment is in contact with the contact member 320 until the cutter wheel 101 abuts on the surface F1 of the substrate F. Then, the load of the cutter wheel 101 is continuously measured.

そして、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると（図１３参照）、図１４（ｂ）に示すように、ロードセル３１０と当接部材３２０とが離間する。このため、ロードセル３１０から当接部材３２０が離間する直前に測定された荷重は、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接したときの荷重、すなわち、スクライブ荷重に相当する。 Then, when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F (see FIG. 13), the load cell 310 and the contact member 320 are separated from each other as shown in FIG. 14 (b). Therefore, the load measured immediately before the contact member 320 separates from the load cell 310 corresponds to the load when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F, that is, the scribe load.

制御部５１０は、このようにして測定されたスクライブ荷重と設定されたスクライブ荷重とを比較して、所定のスクライブ荷重が基板Ｆに付与されるよう、圧力付与部５００に適切な空気圧を供給させる。 The control unit 510 compares the scribe load measured in this way with the set scribe load, and causes the pressure application unit 500 to supply an appropriate air pressure so that a predetermined scribe load is applied to the substrate F. ..

このように、本実施形態のスクライブヘッド１０は、スクライブラインを形成する直前のスクライブ荷重を測定できる。つまり、スクライブラインを形成する際、必ずスクライブ荷重が測定されるため、その都度、適切な圧力が第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給される。このため、上記したようなデータテーブルは不要である。 As described above, the scribe head 10 of the present embodiment can measure the scribe load immediately before forming the scribe line. That is, since the scribe load is always measured when the scribe line is formed, an appropriate pressure is supplied to the first space R1 and the second space R2 each time. Therefore, the data table as described above is unnecessary.

また、データテーブルを参照してスクライブ荷重が調節されると、スクライブ動作の直前であらためてスクライブ荷重の測定が行われていない場合がある。この場合、基板Ｆにスクライブ荷重が付与されてはいるが、真に所定のスクライブ荷重が付与されているのか不明である。 Further, when the scribe load is adjusted with reference to the data table, the scribe load may not be measured again immediately before the scribe operation. In this case, although the scribe load is applied to the substrate F, it is unknown whether a predetermined scribe load is really applied.

これに対し、本実施形態のスクライブヘッド１０は、スクライブ動作を行う直前のスクライブ荷重が必ず測定される。よって、スクライブ荷重の信頼性が高まり、設定されたスクライブ荷重でスクライブラインを形成することができる。 On the other hand, in the scribe head 10 of the present embodiment, the scribe load immediately before the scribe operation is always measured. Therefore, the reliability of the scribe load is improved, and the scribe line can be formed with the set scribe load.

＜実施形態の効果＞
本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。 <Effect of embodiment>
According to this embodiment, the following effects are achieved.

図２、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、スクライブヘッド１０は、圧力付与部５００から第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に、個別に、空気圧を供給する。 As shown in FIGS. 2, 6 (a) and 6 (b), the scribe head 10 individually supplies air pressure from the pressure applying portion 500 to the first space R1 and the second space R2.

これにより、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差によって、第１移動子２２０および第２移動子２２１が上下方向、つまり、基板Ｆと反対側が基板Ｆ側に移動する。これにより、第１移動子２２０および第２移動子２２１と伝達部２３０を介して連結されているカッター機構１００が上下方向に移動する。よって、カッターホイール１０１は基板Ｆに対して上下方向に移動する。 As a result, the pressure difference between the first space R1 and the second space R2 causes the first mover 220 and the second mover 221 to move in the vertical direction, that is, the side opposite to the board F moves to the board F side. As a result, the cutter mechanism 100 connected to the first mover 220 and the second mover 221 via the transmission unit 230 moves in the vertical direction. Therefore, the cutter wheel 101 moves in the vertical direction with respect to the substrate F.

この場合、第１移動子２２０および第２移動子２２１と筒部２１０の内側面２１２ａとの間に隙間が生じている。このため、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に圧力付与部５００から供給された空気は、この隙間を通って開口２１４から筒部２１０の外部へ排気される。 In this case, a gap is formed between the first mover 220 and the second mover 221 and the inner side surface 212a of the tubular portion 210. Therefore, the air supplied from the pressure applying portion 500 to the first space R1 and the second space R2 is exhausted from the opening 214 to the outside of the tubular portion 210 through this gap.

このように、隙間を空気が通ることにより、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａから離れる方向に圧力を受け、この圧力が均衡した位置に調心される。したがって、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａから離間した状態で、調心位置に支持される。第１移動子２２０および第２移動子２２１は、筒部２１０の内側面２１２ａに対して非接触の状態で支持されるため、移動している間、摩擦抵抗を受けない。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、内部空間２１２を滑らかに移動できる。このため、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２との間の圧力差によって、カッターホイール１０１のスクライブ荷重を微細かつ安定的に調節できる。 As the air passes through the gap in this way, the first mover 220 and the second mover 221 receive pressure in a direction away from the inner side surface 212a of the tubular portion 210, and are centered at a position where the pressure is balanced. To. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 are supported at the centering position in a state of being separated from the inner side surface 212a of the tubular portion 210. Since the first mover 220 and the second mover 221 are supported in a non-contact state with respect to the inner side surface 212a of the tubular portion 210, they are not subjected to frictional resistance while moving. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 can smoothly move in the internal space 212. Therefore, the scribe load of the cutter wheel 101 can be finely and stably adjusted by the pressure difference between the first space R1 and the second space R2.

図５（ａ）に示すように、第１移動子２２０および第２移動子２２１は球であり、筒部２１０の内部空間２１２は円柱形状である。 As shown in FIG. 5A, the first mover 220 and the second mover 221 are spheres, and the internal space 212 of the tubular portion 210 has a cylindrical shape.

この構成により、第１移動子２２０および第２移動子２２１と筒部２１０の内側面２１２ａとの隙間がなだらかに小さくなるため、第１空間Ｒ１と第２空間Ｒ２とに圧力付与部５００から供給される空気を円滑に流通させ得る。また、筒部２１０の内側面２１２ａの最大径の緯線の全周に亘って隙間を均一にできるため、第１移動子２２０および第２移動子２２１の調心が円滑に行われ、且つ、第１移動子２２０および第２移動子２２１の全周に亘って非接触の状態にできる。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、内部空間２１２を非接触の状態で円滑に上下方向に移動することができる
図５（ａ）、図６（ａ）に示すように、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、同径に形成されており、筒部２１０の内側面２１２ａの径は一定である。 With this configuration, the gap between the first mover 220 and the second mover 221 and the inner side surface 212a of the tubular portion 210 is gently reduced, so that the first space R1 and the second space R2 are supplied from the pressure applying portion 500. The air that is produced can be smoothly distributed. Further, since the gap can be made uniform over the entire circumference of the latitude line having the maximum diameter of the inner side surface 212a of the tubular portion 210, the first mover 220 and the second mover 221 can be smoothly aligned and the first mover 221 is aligned. It can be in a non-contact state over the entire circumference of the 1 mover 220 and the 2nd mover 221. Therefore, as shown in FIGS. 5 (a) and 6 (a), the first mover 220 and the second mover 221 can smoothly move the internal space 212 in the vertical direction in a non-contact state. The first mover 220 and the second mover 221 are formed to have the same diameter, and the diameter of the inner side surface 212a of the tubular portion 210 is constant.

この構成により、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２の圧力差の調節が容易になる。また、同種の球を第１移動子２２０および第２移動子２２１として使用できるので、移動機構２００構成を簡素化でき、組み立て作業が容易にできる。 With this configuration, it becomes easy to adjust the pressure difference between the first space R1 and the second space R2. Further, since the same type of sphere can be used as the first mover 220 and the second mover 221, the movement mechanism 200 configuration can be simplified and the assembly work can be facilitated.

第１移動子２２０および第２移動子２２１は磁性材料により形成され、支持部２２２は第１移動子２２０および第２移動子２２１の離間方向の両端に磁石２２３、２２４を備える。 The first mover 220 and the second mover 221 are formed of a magnetic material, and the support portion 222 includes magnets 223 and 224 at both ends of the first mover 220 and the second mover 221 in the separation direction.

この構成により、第１移動子２２０および第２移動子２２１が、支持部２２２に対して、離間方向に垂直な方向に移動可能になる。このため、支持部２２２が筒部２１０の径方向に移動不能であっても、第１移動子２２０および第２移動子２２１は、隙間に空気が流れることにより、支持部２２２に対して相対的に移動して、調心位置に位置付けられる。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１を円滑かつ適正に調心できる。その結果、内部空間２１２において、第１移動子２２０および第２移動子２２１をより適切に非接触な状態に設定できる。 With this configuration, the first mover 220 and the second mover 221 can move in a direction perpendicular to the separation direction with respect to the support portion 222. Therefore, even if the support portion 222 cannot move in the radial direction of the tubular portion 210, the first mover 220 and the second mover 221 are relative to the support portion 222 due to the air flowing in the gap. Moves to and is positioned at the centering position. Therefore, the first mover 220 and the second mover 221 can be smoothly and appropriately aligned. As a result, in the internal space 212, the first mover 220 and the second mover 221 can be set to a more appropriately non-contact state.

図５（ａ）、図６（ａ）に示すように、第１移動子２２０および第２移動子２２１に対する磁石２２３の上面２２３ａおよび磁石２２４の下面２２４ａは平面である。 As shown in FIGS. 5A and 6A, the upper surface 223a of the magnet 223 and the lower surface 224a of the magnet 224 with respect to the first mover 220 and the second mover 221 are flat surfaces.

この構成により、第１移動子２２０および第２移動子２２１が磁石２２３、２２４に点接触するため、支持部２２２に対して第１移動子２２０および第２移動子２２１が移動しやすくなる。よって、第１移動子２２０および第２移動子２２１と筒部２１０の内側面２１２ａとの隙間を流れる空気からの圧力により、第１移動子２２０および第２移動子２２１を円滑に調心位置に移動させることができる。 With this configuration, the first mover 220 and the second mover 221 make point contact with the magnets 223 and 224, so that the first mover 220 and the second mover 221 can easily move with respect to the support portion 222. Therefore, the pressure from the air flowing through the gap between the first mover 220 and the second mover 221 and the inner side surface 212a of the tubular portion 210 causes the first mover 220 and the second mover 221 to be smoothly aligned. Can be moved.

図４、図６（ａ）に示すように、伝達部２３０は開口２１４を介して支持部２２２に接続される。 As shown in FIGS. 4 and 6A, the transmission portion 230 is connected to the support portion 222 via the opening 214.

この構成により、開口２１４は、第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に供給された空気の排出と、伝達部２３０の接続とに共用されるため、筒部２１０の構成を簡素化できる。 With this configuration, the opening 214 is shared with the discharge of the air supplied to the first space R1 and the second space R2 and the connection of the transmission unit 230, so that the configuration of the tubular unit 210 can be simplified.

また、たとえば、第１空間Ｒ１の圧力が第２空間Ｒ２よりも過剰に高い場合、基板Ｆの表面Ｆ１にカッターホイール１０１が当接しているのにも関わらず、さらに基板Ｆにスクライブ荷重が付与されようとする。このような場合、基板Ｆに過剰にスクライブ荷重が付与されて、基板Ｆが破損する等の虞がある。 Further, for example, when the pressure in the first space R1 is excessively higher than that in the second space R2, a scribe load is further applied to the substrate F even though the cutter wheel 101 is in contact with the surface F1 of the substrate F. Try to be done. In such a case, an excessive scribe load may be applied to the substrate F, and the substrate F may be damaged.

しかし、伝達部２３０のピン２３２は、開口２１４の範囲内で移動可能である。つまり、伝達部２３０の移動が規制される。よって、上記のような場合、第１移動子２２０および第２移動子２２１が下方に移動しようとしても、ピン２３２が開口２１４の下端に当接するため、第１移動子２２０および第２移動子２２１はそれ以上下方への移動することができない。これにより、基板Ｆに過剰なスクライブ荷重が付与される虞は生じない。 However, the pin 232 of the transmission unit 230 is movable within the range of the opening 214. That is, the movement of the transmission unit 230 is restricted. Therefore, in the above case, even if the first mover 220 and the second mover 221 try to move downward, the pin 232 abuts on the lower end of the opening 214, so that the first mover 220 and the second mover 221 Cannot move further down. As a result, there is no possibility that an excessive scribe load is applied to the substrate F.

図６（ａ）、（ｂ）に示すように、ピン２３２がネジ２２６により支持部２２２の孔２２５内で固定されると、ピン２３２の端部が孔２２５から突出しないため、ピン２３２は筒部２１０の内側面２１２ａに接触しない。また、伝達部２３０のピン２３２が支持部２２２の孔２２５に挿入されると、筒部２１０の側面２１１ａと、溝２３１の底面２３１ａとの間に隙間が生じ、また、伝達部２３０の側壁２３３、２３４と筒部２１０の側面２１０ａとの間にも隙間が生じるように、伝達部２３０の溝２３１が突部２１１に嵌められる。 As shown in FIGS. 6A and 6B, when the pin 232 is fixed in the hole 225 of the support portion 222 by the screw 226, the end portion of the pin 232 does not protrude from the hole 225, so that the pin 232 is a cylinder. Does not come into contact with the inner side surface 212a of the portion 210. Further, when the pin 232 of the transmission portion 230 is inserted into the hole 225 of the support portion 222, a gap is created between the side surface 211a of the cylinder portion 210 and the bottom surface 231a of the groove 231 and the side wall 233 of the transmission portion 230. The groove 231 of the transmission portion 230 is fitted into the protrusion 211 so that a gap is also formed between the 234 and the side surface 210a of the cylinder portion 210.

このような構成により、伝達部２３０と筒部２１０との間の接触面積が低減される。このため、第１移動子２２０および第２移動子２２１が移動すると、伝達部２３０も移動するが、伝達部２３０と筒部２１０との間の摩擦抵抗が低減される。よって、カッターホイール１０１のスクライブ荷重をより微細に調節することができる。 With such a configuration, the contact area between the transmission portion 230 and the cylinder portion 210 is reduced. Therefore, when the first mover 220 and the second mover 221 move, the transmission unit 230 also moves, but the frictional resistance between the transmission unit 230 and the cylinder portion 210 is reduced. Therefore, the scribe load of the cutter wheel 101 can be adjusted more finely.

図１２（ｂ）～図１４（ｂ）に示すように、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると、当接部材３２０からロードセル３１０が離間する。ロードセル３１０は、当接部材３２０が離間する直前のカッターホイール１０１の荷重を測定する。この荷重は、カッターホイール１０１の基板Ｆに対するスクライブ荷重である。 As shown in FIGS. 12 (b) to 14 (b), when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F, the load cell 310 is separated from the contact member 320. The load cell 310 measures the load of the cutter wheel 101 immediately before the contact member 320 separates. This load is a scribe load on the substrate F of the cutter wheel 101.

これにより、ユーザが設定したスクライブ荷重値と、ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する直前に測定したスクライブ荷重値とが異なっていた場合、制御部５１０は、ロードセル３１０による測定値に応じて、圧力付与部５００に対して第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に適切な圧力を供給させる。このようにして、適切なスクライブ荷重が調節される。よって、スクライブ荷重の信頼性が高められた状態で、スクライブヘッド１０はスクライブラインを形成することができる。 As a result, when the screen load value set by the user and the screen load value measured immediately before the load cell 310 separates from the contact member 320 are different, the control unit 510 determines the value measured by the load cell 310. Appropriate pressure is supplied to the first space R1 and the second space R2 to the pressure applying portion 500. In this way, the appropriate scribe load is adjusted. Therefore, the scribe head 10 can form a scribe line in a state where the reliability of the scribe load is enhanced.

また、スクライブ動作を開始する際、スクライブ荷重が測定される。この測定により、所定のスクライブ荷重が基板Ｆに付与されるよう、圧力付与部５００から第１空間Ｒ１および第２空間Ｒ２に空気圧が供給される。このため、スクライブ荷重の校正値がデータ化されたデータテーブルをスクライブヘッド１０に搭載する必要はない。 In addition, the scribe load is measured when the scribe operation is started. By this measurement, air pressure is supplied from the pressure applying portion 500 to the first space R1 and the second space R2 so that a predetermined scribe load is applied to the substrate F. Therefore, it is not necessary to mount the data table in which the calibration value of the scribe load is converted into data on the scribe head 10.

また、カッターホイールが基板に当接した位置（０点位置）を検出するために、通常、カッターホイールの先端にセンサが設けられる。これにより、基板にカッターホイールが当接するとセンサが基板に接触して、０点位置が検出される。しかしながら、センサが基板に何度も接触するうちに、センサが劣化し、０点位置が正確に検出されない場合がある。このような場合、基板の表面の位置が特定されず、所定のスクライブラインを形成することができない。 Further, in order to detect the position where the cutter wheel abuts on the substrate (0 point position), a sensor is usually provided at the tip of the cutter wheel. As a result, when the cutter wheel comes into contact with the substrate, the sensor contacts the substrate and the zero point position is detected. However, as the sensor comes into contact with the substrate many times, the sensor may deteriorate and the zero point position may not be detected accurately. In such a case, the position of the surface of the substrate is not specified, and a predetermined scribe line cannot be formed.

この点、上記のとおり、本実施形態のスクライブヘッド１０では、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接するまでの間、ロードセル３１０はカッターホイール１０１の荷重を継続して測定している。そして、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると、ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する。ロードセル３１０が当接部材３２０から離間する直前に荷重値が変化する。すなわち、荷重値が変化した時点が、基板Ｆの表面Ｆ１にカッターホイール１０１が当接した時点であり、このときのカッターホイール１０１の位置が０点位置である。 In this regard, as described above, in the scribe head 10 of the present embodiment, the load cell 310 continuously measures the load of the cutter wheel 101 until the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F. Then, when the cutter wheel 101 abuts on the surface F1 of the substrate F, the load cell 310 separates from the abutting member 320. The load value changes immediately before the load cell 310 separates from the contact member 320. That is, the time when the load value changes is the time when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F, and the position of the cutter wheel 101 at this time is the 0 point position.

よって、ロードセル３１０によりスクライブ荷重が得られると同時に、０点位置が検出される。このように、センサを用いることなく、高精度にカッターホイール１０１の０点位置を検出することができる。 Therefore, the scribe load is obtained by the load cell 310, and at the same time, the 0 point position is detected. In this way, the zero point position of the cutter wheel 101 can be detected with high accuracy without using a sensor.

また、カッターホイール１０１が基板Ｆの表面Ｆ１に当接すると、プレート１２が下方に移動し、当接部材３２０のナット３２１とロードセル３１０の突起３１１とが離間する。 Further, when the cutter wheel 101 comes into contact with the surface F1 of the substrate F, the plate 12 moves downward, and the nut 321 of the contact member 320 and the protrusion 311 of the load cell 310 are separated from each other.

これにより、カッターホイール１０１は基板Ｆの表面Ｆ１に生ずるうねり（凹凸）に追従して上下方向に移動しながら、基板Ｆにスクライブラインを形成することができる。 As a result, the cutter wheel 101 can form a scribe line on the substrate F while following the waviness (unevenness) generated on the surface F1 of the substrate F and moving in the vertical direction.

また、スクライブヘッド１０が使用されていない間でも、第２空間Ｒ２には常時、圧力付与部５００から一定の空気圧が付与され得る。これにより、カッター機構１００が常時、上方に位置付けられる。すなわち、カッターホイール１０１は基板Ｆや載置部６等に対して常時、上方に位置付けられる。よって、スクライブヘッド１０の不使用時、スクライブヘッド１０が自重により落下してカッターホイール１０１が基板Ｆや載置部６等に衝突して破損することを確実に防止することができる。 Further, even when the scribe head 10 is not used, a constant air pressure can be constantly applied to the second space R2 from the pressure applying portion 500. As a result, the cutter mechanism 100 is always positioned upward. That is, the cutter wheel 101 is always positioned above the substrate F, the mounting portion 6, and the like. Therefore, when the scribe head 10 is not used, it is possible to reliably prevent the scribe head 10 from falling due to its own weight and causing the cutter wheel 101 to collide with the substrate F, the mounting portion 6, or the like and be damaged.

＜変形例＞
上記の実施形態では、載置部６が回転して基板Ｆを回転することにより、スクライブラインの形成方向を９０°変更することができるが、変形例として、カッターホイール１０１自体が９０°回転するように構成されてもよい。この場合、図３（ａ）～（ｃ）に示すカッターホイール１０１を保持するホルダユニット１１０が回転可能なように構成される。 <Modification example>
In the above embodiment, the mounting direction 6 rotates to rotate the substrate F, so that the forming direction of the scribe line can be changed by 90 °. However, as a modification, the cutter wheel 101 itself rotates by 90 °. It may be configured as follows. In this case, the holder unit 110 that holds the cutter wheel 101 shown in FIGS. 3A to 3C is configured to be rotatable.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 In addition, various modifications of the embodiment of the present invention can be made as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

１…スクライブ装置
６…載置部
１１…移送部
１０…スクライブヘッド
１００…カッター機構
１０１…カッターホイール
２００…移動機構
２１０…筒部
２１２…内部空間
２１２ａ…筒部の内側面
２１４…開口
２２０…第１移動子
２２１…第２移動子
２２２…支持部
２２３、２２４…磁石
２２３ａ…上面（接触面）
２２４ａ…下面（接触面）
２２５…孔
２３０…伝達部
２３２…ピン
３００…測定部
３１０…ロードセル
３２０…当接部材
５００…圧力付与部
Ｆ…基板
Ｒ１…第１空間
Ｒ２…第２空間 1 ... Scribe device 6 ... Mounting part 11 ... Transfer part 10 ... Scribe head 100 ... Cutter mechanism 101 ... Cutter wheel 200 ... Moving mechanism 210 ... Cylinder part 212 ... Internal space 212a ... Cylinder part inner side surface 214 ... Opening 220 ... No. 1 mover 221 ... second mover 222 ... support portion 223, 224 ... magnet 223a ... upper surface (contact surface)
224a ... Bottom surface (contact surface)
225 ... Hole 230 ... Transmission part 232 ... Pin 300 ... Measurement part 310 ... Load cell 320 ... Contact member 500 ... Pressure applying part F ... Board R1 ... First space R2 ... Second space

Claims (9)

基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイールと、
前記カッターホイールを前記基板の表面に対し接近および離間させる移動機構と、
前記移動機構に空気圧を供給する圧力付与部と、を備え、
前記移動機構は、
第１移動子と
第２移動子と、
前記第１移動子および前記第２移動子を所定の間隔で支持する支持部と、
前記第１移動子、前記第２移動子、および前記支持部を収容し、前記第１移動子と前記第２移動子の間の位置に外部に連通する開口を有する筒部と、
前記第１移動子および前記第２移動子の移動を前記カッターホイールに伝達するための伝達部と、を含み、
前記第１移動子および前記第２移動子と前記筒部の内側面との間に隙間を設け、
前記圧力付与部は、前記筒部の内部空間のうち、前記第１移動子に対して前記支持部と反対側の第１空間と、前記第２移動子に対して前記支持部と反対側の第２空間とに、個別に、空気圧を供給する、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 A cutter wheel for forming a scribe line on the surface of the board,
A moving mechanism that moves the cutter wheel closer to and away from the surface of the substrate,
A pressure applying unit that supplies air pressure to the moving mechanism is provided.
The moving mechanism is
The first mover, the second mover,
A support portion that supports the first mover and the second mover at predetermined intervals, and
A tubular portion that houses the first mover, the second mover, and the support portion, and has an opening that communicates with the outside at a position between the first mover and the second mover.
Includes a transmission unit for transmitting the movement of the first mover and the second mover to the cutter wheel.
A gap is provided between the first mover and the second mover and the inner side surface of the cylinder portion.
The pressure-applying portion is located in the first space of the internal space of the cylinder portion on the side opposite to the support portion with respect to the first mover, and on the side opposite to the support portion with respect to the second mover. Air pressure is individually supplied to the second space,
A scribe head that features that. 請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記第１移動子および前記第２移動子は球であり、
前記筒部の内側面は円柱形状である、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 In the scribe head according to claim 1,
The first mover and the second mover are spheres.
The inner surface of the tubular portion has a cylindrical shape.
A scribe head that features that. 請求項２に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記第１移動子および前記第２移動子は同径であり、
前記筒部の内側面の径は一定である、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 In the scribe head according to claim 2.
The first mover and the second mover have the same diameter and have the same diameter.
The diameter of the inner surface of the cylinder is constant.
A scribe head that features that. 請求項２または３に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記第１移動子および前記第２移動子は磁性材料により形成され、
前記支持部は、前記第１移動子および前記第２移動子の離間方向の両端に磁石を含む、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 In the scribe head according to claim 2 or 3.
The first mover and the second mover are formed of a magnetic material and are formed of a magnetic material.
The support includes magnets at both ends of the first mover and the second mover in the separating direction.
A scribe head that features that. 請求項４に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記第１移動子および前記第２移動子のそれぞれに対する前記磁石の接触面は、平面である、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 In the scribe head according to claim 4.
The contact surface of the magnet with respect to each of the first mover and the second mover is a plane.
A scribe head that features that. 請求項１ないし５の何れか一項に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記伝達部は、前記開口を介して前記支持部に接続される、
ことを特徴とするスクライブヘッド。 In the scribe head according to any one of claims 1 to 5.
The transmission portion is connected to the support portion via the opening.
A scribe head that features that. 請求項１ないし６の何れか一項に記載のスクライブヘッドにおいて、
さらに、前記カッターホイールの前記基板に対する荷重を測定する測定部を備える、
ことを特徴とする、スクライブヘッド。 In the scribe head according to any one of claims 1 to 6.
Further, a measuring unit for measuring the load of the cutter wheel on the substrate is provided.
A scribe head that features that. 請求項７に記載のスクライブヘッドにおいて、
前記測定部は、
前記カッターホイールの前記基板に対する荷重を測定するロードセルと、
前記伝達部に連結され、前記ロードセルに当接する当接部材と、を含み、
前記第１空間と前記第２空間との圧力差により前記第１移動子および前記第２移動子が前記第２空間側に移動して前記カッターホイールが前記基板に当接すると、前記ロードセルは前記当接部材から離間する、
ことを特徴とする、スクライブヘッド。 In the scribe head according to claim 7.
The measuring unit
A load cell that measures the load of the cutter wheel on the substrate, and
Includes an abutting member that is connected to the transmission and abuts on the load cell.
When the first mover and the second mover move to the second space side due to the pressure difference between the first space and the second space and the cutter wheel comes into contact with the substrate, the load cell moves. Separate from the contact member,
A scribe head that features that. 基板に対してスクライブを行うスクライブ装置であって、
前記基板を戴置する戴置部と、
前記基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドと、
前記スクライブヘッドを移動させる移送部と、を備え、
前記スクライブヘッドは、
前記基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイールと、
前記カッターホイールを前記基板の表面に対し接近および離間させる移動機構と、
前記移動機構に空気圧を供給する圧力付与部と、を備え、
前記移動機構は、
第１移動子と
第２移動子と、
前記第１移動子および第２移動子を所定の間隔で支持する支持部と、
前記第１移動子、前記第２移動子および前記支持部を収容し、前記第１移動子と前記第２移動子の間の位置に外部に連通する開口を有する筒部と、
前記第１移動子および第２移動子の移動を前記カッターホイールに伝達するための伝達部と、を含み、
前記第１移動子および前記第２移動子と前記筒部の内側面との間に隙間を設け、
前記圧力付与部は、前記筒部の内部空間のうち、前記第１移動子に対して前記支持部と反対側の第１空間と、前記第２移動子に対して前記支持部と反対側の第２空間とに、個別に、空気圧を供給する、
ことを特徴とするスクライブ装置。 A scribe device that scribes the board.
The placement part on which the board is placed and
A scribe head for forming a scribe line on the substrate,
A transfer unit for moving the scribe head is provided.
The scribe head
A cutter wheel for forming a scribe line on the surface of the substrate,
A moving mechanism that moves the cutter wheel closer to and away from the surface of the substrate,
A pressure applying unit that supplies air pressure to the moving mechanism is provided.
The moving mechanism is
The first mover, the second mover,
A support portion that supports the first mover and the second mover at predetermined intervals, and
A tubular portion that houses the first mover, the second mover, and the support portion, and has an opening that communicates with the outside at a position between the first mover and the second mover.
Includes a transmission unit for transmitting the movement of the first mover and the second mover to the cutter wheel.
A gap is provided between the first mover and the second mover and the inner side surface of the cylinder portion.
The pressure-applying portion is located in the first space of the internal space of the cylinder portion on the side opposite to the support portion with respect to the first mover, and on the side opposite to the support portion with respect to the second mover. Air pressure is individually supplied to the second space,
A scribe device that features that.
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