JPWO2007023605A1 - Surface roughness / contour shape measuring device - Google Patents

Surface roughness / contour shape measuring device Download PDF

Info

Publication number
JPWO2007023605A1
JPWO2007023605A1 JP2006534503A JP2006534503A JPWO2007023605A1 JP WO2007023605 A1 JPWO2007023605 A1 JP WO2007023605A1 JP 2006534503 A JP2006534503 A JP 2006534503A JP 2006534503 A JP2006534503 A JP 2006534503A JP WO2007023605 A1 JPWO2007023605 A1 JP WO2007023605A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cantilever
stylus
contour shape
surface roughness
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006534503A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
石井　雅文
雅文 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
Publication of JPWO2007023605A1 publication Critical patent/JPWO2007023605A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

表面粗さ／輪郭形状測定装置（１）は、カンチレバー（７）の長手方向に直交する方向を回動軸としてカンチレバー（７）を回動可能に支持する回動支持部（６２、６４、７１ａ、７１ｂ）をカンチレバー（７）の長手方向を回転軸として回転させてカンチレバー（７）の先端に設けられた触針（１１）の方向を変更する触針方向変更部（９）と、回動支持部（６２、６４、７１ａ、７１ｂ）の回転に伴って回転するカンチレバー（７）に作用する重力の影響を除去するために上記回動軸を支点とするカンチレバー（７）の重量バランスをとるバランス部材（６３）と、を備える。The surface roughness / contour shape measuring device (1) includes a rotation support portion (62, 64, 71a) that rotatably supports the cantilever (7) with a direction orthogonal to the longitudinal direction of the cantilever (7) as a rotation axis. , 71b) with the longitudinal direction of the cantilever (7) as a rotation axis, and a stylus direction changing portion (9) for changing the direction of the stylus (11) provided at the tip of the cantilever (7), and rotating In order to remove the influence of gravity acting on the cantilever (7) rotating with the rotation of the support portion (62, 64, 71a, 71b), the weight balance of the cantilever (7) with the pivot shaft as a fulcrum is taken. A balance member (63).

Description

本発明は、表面粗さ／輪郭形状測定装置に関し、特に触針を被測定物（ワーク）の表面に沿って移動させ触針の変位量を検出することにより、被測定物表面の粗さ又は輪郭形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置に関する。   The present invention relates to a surface roughness / contour shape measuring device, and in particular, by detecting the amount of displacement of the stylus by moving the stylus along the surface of the object to be measured (work), The present invention relates to a surface roughness / contour shape measuring apparatus for measuring a contour shape.

表面粗さ／輪郭形状測定装置は、被測定物（ワーク）表面に沿って、触針を有するピックアップを移動させ、触針の変位量を電気信号に変換してコンピュータ等の計算機に読み取ることで、被測定物（ワーク）表面の粗さ又は輪郭形状を測定する。このような表面粗さ／輪郭形状測定装置は、例えば日本国公開特許公報特開平２００２−１０７１４４号に開示される。図１に、従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成を示す。
表面粗さ／輪郭形状測定装置１には、ワークを載置するためのＸＹ平面に沿ったテーブル２が設けられ、テーブル２にはコラム３が立設される。そしてコラム３には可動部４が取り付けられる。コラム３には図示しないモータが内蔵されており、このモータによって可動部４をコラム３に沿って（Ｚ方向に沿って）上下に移動することが可能である。可動部４には、腕部１０を介してピックアップ６を支持するホルダ５が設けられる。可動部４もまた図示しないモータを内蔵しており、ホルダ５をＸ方向に駆動することが可能である。
腕部１０の先端には、テーブル２上に載置されたワークの表面粗さを測定するための測定子（ピックアップ）６が設けられ、このピックアップ６は、一端に触針１１を有するカンチレバー７を備える。カンチレバー７は、その長手方向が可動部４の駆動方向であるＸ方向に沿うように方向付けられてピックアップ６に設けられており、ピックアップ６は、このカンチレバー７を、触針１１が設けられる一端と反対側の他端において、カンチレバー７の長手方向と触針１１の突出方向（Ｚ方向）と直交する方向（Ｙ方向）を回動軸として、回動可能に支える。
したがって、触針１１を測定表面に接触させながら駆動部４によってＸ方向に移動させたとき、触針１１は測定表面の凹凸量にしたがってＺ方向に微動する。この変位量はカンチレバー７によって回転運動に変換されて、ピックアップ６に内蔵された差動インダクタンスや作動トランス（図示せず）に伝えられ、電気信号に変換される。そして、この電気信号をＡ／Ｄ変換器（図示せず）によってディジタル信号に変換する。
そして、測定表面の全域に亘って触針１１を移動させて、そのときにＡ／Ｄ変換器から順次出力される信号を、コンピュータ等で構成されるデータ処理装置（図示せず）で収集することにより、ワークの表面粗さを示す測定データが取得される。The surface roughness / contour shape measuring device moves a pickup having a stylus along the surface of the object to be measured (work), converts the displacement of the stylus into an electric signal, and reads it by a computer such as a computer. The roughness or contour shape of the surface of the workpiece (workpiece) is measured. Such a surface roughness / contour shape measuring apparatus is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-107144. FIG. 1 shows a basic configuration of a conventional surface roughness / contour shape measuring apparatus.
The surface roughness / contour shape measuring apparatus 1 is provided with a table 2 along the XY plane for placing a workpiece, and a column 3 is erected on the table 2. A movable portion 4 is attached to the column 3. The column 3 incorporates a motor (not shown), and the movable part 4 can be moved up and down along the column 3 (along the Z direction) by this motor. The movable part 4 is provided with a holder 5 that supports the pickup 6 via the arm part 10. The movable part 4 also incorporates a motor (not shown), and the holder 5 can be driven in the X direction.
At the tip of the arm portion 10, a measuring element (pickup) 6 for measuring the surface roughness of the workpiece placed on the table 2 is provided. The pickup 6 has a cantilever 7 having a stylus 11 at one end. Is provided. The cantilever 7 is provided in the pickup 6 so that its longitudinal direction is along the X direction that is the driving direction of the movable part 4. The pickup 6 is connected to the cantilever 7 at one end where the stylus 11 is provided. The other end of the cantilever 7 is rotatably supported with the longitudinal direction of the cantilever 7 and the direction (Y direction) perpendicular to the protruding direction (Z direction) of the stylus 11 as a rotation axis.
Therefore, when the stylus 11 is moved in the X direction by the drive unit 4 while being in contact with the measurement surface, the stylus 11 is finely moved in the Z direction according to the unevenness of the measurement surface. This amount of displacement is converted into a rotational motion by the cantilever 7, transmitted to a differential inductance or an operating transformer (not shown) built in the pickup 6, and converted into an electrical signal. The electrical signal is converted into a digital signal by an A / D converter (not shown).
Then, the stylus 11 is moved over the entire measurement surface, and signals sequentially output from the A / D converter at that time are collected by a data processing device (not shown) constituted by a computer or the like. Thus, measurement data indicating the surface roughness of the workpiece is acquired.

従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置１では、触針１１の突出方向（もしくは、触針１１の微動に伴うカンチレバー７の回転運動の回転軸方向）が特定の方向に固定されている（通常は、触針１１の突出方向は鉛直下方（Ｚ軸方向）に設定され、カンチレバー７の回転運動の回転軸はＹ軸方向に設定される）。
これは、表面粗さ／輪郭形状測定では、測定力（触針１１を測定対象表面に押しつける力）が各規格（例えばＪＩＳ規格 Ｂ０６５１）によって定められており、重力に影響されずに測定力を一定に保つには、触針１１の方向を固定した方が好適であるとの事情による。
しかしながら、触針１１の方向が固定された従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置１によってワークの様々な面の表面粗さ／輪郭形状を測定するには、各測定面に触針１１を接触させるために、ワークをテーブル２に載置する向きを変えて対応しなければならない。この作業はワークが重量物である場合に多大な労力を要するものとなる。
さらに、例えば図２Ａに示すエンジンのシリンダーブロック１００のシリンダー１０１の内面の表面形状を測定する場合に以下の問題が生じる。
図２Ｂは、図２Ａに示すシリンダー１０１の開口部の拡大断面図である。図２Ｂに示す例では、シリンダー１０１の開口部にテーパー部分（１０２、１０３）が形成されている。
このテーパー部分のうち、表面が上方を向いている１０２部分の表面粗さ／輪郭形状を計測するためには、例えば図３に示すように、図のＹ軸を回転軸としてテーパー角θ分だけワーク１００全体を傾けてテーパー部分１０２を水平にして、触針１１を表面に沿わせればよい。
一方で、表面が下方を向いているテーパー部分１０３部分の表面粗さ／輪郭形状を計測するためには、まずワーク１００全体を図のＸ軸を回転軸として１８０度回転させて、テーパー部分１０３部分の表面を上方に向ける必要がある。
ところで、表面粗さ／輪郭形状を測定する場合には、テーブル２上に載置されたワーク１００の位置が既知である必要がある。特に上述のように測定に際してワーク１００を回転させる必要がある場合には、ワーク１００を回転させる回転軸の位置及び方向が既知である必要がある。実際の回転軸が想定された回転軸から狂っていると、測定面の位置及び方向にズレが生じて誤差原因となるからである。
しかしながら、例えば図２Ａに示すシリンダーブロック１００のようないわゆる角物ワークの場合には、柱状ワークなどの場合と異なり回転軸を定めるための目標がなく、ワーク１００を回転させるための回転治具の回転軸を、想定した回転軸通りに定める作業が困難になる。したがって、従来のような触針１１の方向が固定された表面粗さ／輪郭形状測定装置１によっては、図２Ａに示すような角物ワーク各部の表面粗さ／輪郭形状を測定する作業が非常に煩雑なものとなる。
上記問題点を鑑みて、本発明は、測定面の方向に合わせて触針の方向を変えることにより、ワークの載置方向を変えることなく様々な方向の測定面を測定可能な表面粗さ／輪郭形状測定装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明による表面粗さ／輪郭形状測定装置は、カンチレバーの長手方向に直交する方向を回動軸としてカンチレバーを回動可能に支持する回動支持軸部材を、カンチレバーの長手方向を回転軸として回転させて、カンチレバーの先端に設けられた触針の方向を変更する。
さらに、回動支持部の回転に伴って回転するカンチレバーに作用する重力の影響を除去するために、カンチレバーの回動軸を支点とするカンチレバーの重量バランスをとるバランス部材を設ける。
そして、回動支持部を回転させて触針の先端が測定面に接触する方向に触針を方向づけ、その状態で測定面に触針を沿わせて表面形状を測定する。
本発明の上述した及び他の目的及び特徴は、添付図面を参照しながら以下に示される好適実施例についての説明を読むことによって、より明らかになるであろう。In the conventional surface roughness / contour shape measuring apparatus 1, the protruding direction of the stylus 11 (or the rotational axis direction of the rotational movement of the cantilever 7 accompanying fine movement of the stylus 11) is fixed in a specific direction (usually The protrusion direction of the stylus 11 is set vertically downward (Z-axis direction), and the rotation axis of the rotational movement of the cantilever 7 is set in the Y-axis direction).
In surface roughness / contour shape measurement, the measurement force (force to press the stylus 11 against the surface to be measured) is determined by each standard (for example, JIS standard B0651), and the measurement force is not affected by gravity. In order to keep it constant, the direction of the stylus 11 is preferably fixed.
However, in order to measure the surface roughness / contour shape of various surfaces of the workpiece by the conventional surface roughness / contour shape measuring device 1 in which the direction of the stylus 11 is fixed, the stylus 11 is brought into contact with each measurement surface. In order to achieve this, it is necessary to change the direction in which the work is placed on the table 2. This work requires a lot of labor when the work is heavy.
Furthermore, for example, the following problem occurs when measuring the surface shape of the inner surface of the cylinder 101 of the cylinder block 100 of the engine shown in FIG. 2A.
2B is an enlarged cross-sectional view of the opening of the cylinder 101 shown in FIG. 2A. In the example shown in FIG. 2B, tapered portions (102, 103) are formed in the opening of the cylinder 101.
In order to measure the surface roughness / contour shape of the 102 portion of the taper portion whose surface is facing upward, as shown in FIG. 3, for example, as shown in FIG. It is only necessary to incline the entire workpiece 100 so that the tapered portion 102 is horizontal and the stylus 11 is along the surface.
On the other hand, in order to measure the surface roughness / contour shape of the taper portion 103 whose surface is directed downward, first, the entire workpiece 100 is rotated 180 degrees about the X axis of the drawing as the rotation axis, and the taper portion 103. The surface of the part needs to face upward.
Incidentally, when measuring the surface roughness / contour shape, the position of the workpiece 100 placed on the table 2 needs to be known. In particular, when it is necessary to rotate the workpiece 100 during measurement as described above, the position and direction of the rotation axis that rotates the workpiece 100 needs to be known. This is because if the actual rotation axis is deviated from the assumed rotation axis, a deviation occurs in the position and direction of the measurement surface, causing an error.
However, in the case of a so-called square workpiece such as the cylinder block 100 shown in FIG. 2A, for example, unlike a columnar workpiece, there is no target for determining the rotation axis, and a rotating jig for rotating the workpiece 100 is not provided. It becomes difficult to determine the rotation axis according to the assumed rotation axis. Therefore, depending on the conventional surface roughness / contour shape measuring apparatus 1 in which the direction of the stylus 11 is fixed, the work of measuring the surface roughness / contour shape of each part of the square workpiece as shown in FIG. It becomes complicated.
In view of the above-described problems, the present invention changes the direction of the stylus in accordance with the direction of the measurement surface, so that the surface roughness / measurement surface in various directions can be measured without changing the mounting direction of the workpiece. An object is to provide a contour shape measuring apparatus.
In order to achieve the above object, a surface roughness / contour shape measuring apparatus according to the present invention includes a rotating support shaft member that rotatably supports a cantilever with a direction orthogonal to the longitudinal direction of the cantilever as a rotating shaft. The direction of the stylus provided at the tip of the cantilever is changed by rotating about the longitudinal direction of the cantilever.
Further, in order to remove the influence of gravity acting on the cantilever rotating with the rotation of the rotation support portion, a balance member for balancing the weight of the cantilever with the rotation axis of the cantilever as a fulcrum is provided.
Then, the rotation support part is rotated to direct the stylus in a direction in which the tip of the stylus contacts the measurement surface, and in this state, the surface shape is measured along the measurement surface.
The above and other objects and features of the present invention will become more apparent by reading the description of the preferred embodiment shown below with reference to the accompanying drawings.

図１は、従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。
図２Ａは、表面粗さ／輪郭形状測定装置のワークの例示となるシリンダーブロックを示す図である。
図２Ｂは、図２Ａに示すシリンダー１０１の開口部の拡大断面図である。
図３は、従来の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法の説明図である。
図４は、本発明の実施例による表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。
図５Ａは、図４に示すピックアップのＸＺ断面図である。
図５Ｂは、図５ＡのＡ−Ａ’断面図である。
図５Ｃは、図５Ａに示す固定部の斜視図である。
図６Ａは、図４に示すピックアップ回転部の斜視図である。
図６Ｂは、図６Ａに示すピックアップ回転部のＸＺ断面図である。
図７Ａは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法により測定面１１０を測定する状態を示す図である。
図７Ｂは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法により測定面１１１を測定する状態を示す図である。
図７Ｃは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法により測定面１１２を測定する状態を示す図である。
図７Ｄは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法により測定面１１３を測定する状態を示す図である。
図８Ａは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法によりテーパー部分１０２を測定する状態を示す図である。
図８Ｂは、図４の表面粗さ／輪郭形状測定装置による測定方法によりテーパー部分１０３を測定する状態を示す図である。FIG. 1 is a basic configuration diagram of a conventional surface roughness / contour shape measuring apparatus.
FIG. 2A is a diagram illustrating a cylinder block as an example of a workpiece of the surface roughness / contour shape measuring apparatus.
2B is an enlarged cross-sectional view of the opening of the cylinder 101 shown in FIG. 2A.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a measurement method using a conventional surface roughness / contour shape measuring apparatus.
FIG. 4 is a basic configuration diagram of a surface roughness / contour shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5A is an XZ sectional view of the pickup shown in FIG.
FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 5A.
FIG. 5C is a perspective view of the fixing portion shown in FIG. 5A.
6A is a perspective view of the pickup rotating unit shown in FIG.
6B is an XZ sectional view of the pickup rotating unit shown in FIG. 6A.
FIG. 7A is a diagram illustrating a state in which the measurement surface 110 is measured by the measurement method using the surface roughness / contour shape measurement apparatus of FIG.
FIG. 7B is a diagram illustrating a state in which the measurement surface 111 is measured by the measurement method using the surface roughness / contour shape measurement apparatus of FIG.
FIG. 7C is a diagram illustrating a state in which the measurement surface 112 is measured by the measurement method using the surface roughness / contour shape measurement apparatus in FIG. 4.
FIG. 7D is a diagram illustrating a state in which the measurement surface 113 is measured by the measurement method using the surface roughness / contour shape measurement apparatus of FIG.
FIG. 8A is a diagram showing a state in which the tapered portion 102 is measured by the measuring method using the surface roughness / contour shape measuring apparatus of FIG.
FIG. 8B is a diagram showing a state in which the tapered portion 103 is measured by the measuring method using the surface roughness / contour shape measuring apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…表面粗さ／輪郭形状測定装置
２…テーブル
３…コラム
４…第１可動部
６…ピックアップ
７…カンチレバー
８…第２可動部
９…ピックアップ回転部
１０…腕部
１１…触針DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface roughness / contour shape measuring apparatus 2 ... Table 3 ... Column 4 ... 1st movable part 6 ... Pickup 7 ... Cantilever 8 ... 2nd movable part 9 ... Pickup rotation part 10 ... Arm part 11 ... Stylus

以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図４は、本発明の実施例に係る表面粗さ／輪郭形状測定装置の基本構成図である。
図示するように、表面粗さ／輪郭形状測定装置１には、ワークを載置するためのＸＹ平面に沿ったテーブル２が設けられ、テーブル２にはコラム３が立設される。そしてコラム３には第１可動部４が取り付けられる。コラム３には図示しないモータが内蔵されており、このモータによって第１可動部４をコラム３に沿って（Ｚ方向に沿って）上下に移動することが可能である。
第１可動部４には第２可動部８が設けられる。第１可動部４も図示しないモータを内蔵しており、第２可動部８をＸ方向に駆動することが可能である。さらに第２可動部８には、腕部１０を介してピックアップ６を支持するピックアップ回転部９が設けられる。第２可動部８も図示しないモータを内蔵しており、ピックアップ回転部９をＹ方向に駆動することが可能である。
腕部１０の先端には測定子（ピックアップ）６が設けられ、このピックアップ６は、一端に触針１１を有するカンチレバー７を備える。カンチレバー７は、その長手方向が可動部４の駆動方向であるＸ方向に沿うように方向付けられてピックアップ６に設けられる。カンチレバー７の一端には、カンチレバーの長手方向と略直交する方向に突出する触針１１が設けられる。
ピックアップ６は、このカンチレバー７を、触針１１が設けられる一端と反対側の他端において、カンチレバー７の長手方向と触針１１の突出方向と直交する方向を回動軸として回動可能に支える。
図５Ａは、図４に示すピックアップ６のＸＺ平面側断面図であり、図５Ｂは図５ＡのＡ−Ａ’断面図である。ピックアップ６はそのケース６１の内部に、ケース６１に固定される固定部６２と、Ｙ方向に沿うピボット軸６４を回転軸として固定部６２に回動可能に支持されるバランス可動部６３と、を備える。図５Ｃは、図５Ａに示す固定部６２の形状を説明する斜視図である。
図５Ｃに示すとおり、固定部６２には、バランス可動部６３のピボット軸６４を両端から挟持するための腕部分７２ａ及び７２ｂが形成され、この腕部分７２ａ及び７２ｂのそれぞれに、ピボット軸６４を支持する軸受け７１ａ、７１ｂが取り付けられる。
また、バランス可動部６３には、カンチレバー７をバランス可動部６３に固定するためのカンチレバー取り付けピン７０が設けられる。バランス可動部６３に固定されたカンチレバー取り付けピン７０が、カンチレバー７の取り付け端に設けられた取り付け孔に挿入されることによりカンチレバー７がバランス可動部６３に固定される。
さらに、バランス可動部６３には、カンチレバー７の取り付け端と反対側の端に設けられた触針１１がワークの表面に追従しながら接触するように、カンチレバー７が固定されたバランス可動部６３を、その回動方向に付勢するためのバネ等の付勢手段６５が設けられている。図５Ａの例では、付勢手段６５は、固定部６２のバネ受け凹部６６に取り付けられた圧縮ばね６５であり、この圧縮ばね６５によってバランス可動部６３及びこれに取り付けられたカンチレバー７は、触針１１の向き（突出方向）に回動させる方向に付勢される。
したがって、ピックアップ６が第１可動部４及び第２可動部８によって移動されたとき、その触針１１は、ワークの表面の凹凸に追従するようにワークの表面上で摺動することができる。そして、ワークの表面の凹凸により生じる触針１１の変位が、カンチレバー７を介してバランス可動部６３に伝わると、バランス可動部６３はピボット軸６４を回転軸として回動する。
また、ワークの表面上を摺動する触針１１が、ワーク表面の凹凸によって変位すると、その変位量はピックアップ６に設けられた差動インダクタンスセンサによって、電気信号に変換される。この差動インダクタンスセンサは、バランス可動部６３に設けられた磁性体コア６７と、バランス可動部６３が固定部６２に支持されたとき、磁性体コア６７を挿入するように固定部６２に設けられたコア挿入口６８と、このコア挿入口６８の周囲に、磁性体コア６７を囲うように設けられた２つのコイル６９から構成される。この差動インダクタンスセンサは、バランス可動部６３の回動に伴う磁性体コア６７の動きを、２つのコイル６９のインダクタンスの差の変化として検出して、バランス可動部６３の変位量を電気的信号に変換する。
そして、測定表面の全域に亘って触針１１を移動させて、そのときにコイル６９から順次出力される信号をＡ／Ｄ変換器（図示せず）にてディジタル信号に変換し、コンピュータ等で構成されるデータ処理装置（図示せず）で収集することにより、ワークの表面粗さを示す測定データが取得される。
ここで、後述するピックアップ回転部９がピックアップ６をカンチレバー７の長手方向を回転軸として回転し、ピボット軸６４の方向（すなわちカンチレバー７及びバランス可動部６３の回動軸の方向）と鉛直方向とがなす角が変化しても、付勢手段６５によって触針１１を測定対象表面に押しつける力（すなわち測定力）が変動しないように、前記バランス可動部６３は、ピボット軸６４を支点とする、カンチレバー７、バランス可動部６３及び磁性体コア６７の組立体の重量バランスを取るように、その形状とピボット軸６４の位置を定めて構成される。
具体的には、バランス可動部６３に設けられるピボット軸６４の貫通口は、ピボット軸６４に直交する平面において、カンチレバー７、バランス可動部６３及び磁性体コア６７の組立体の重心に設けられる。
このようにピボット軸６４の位置を決定することにより、ピックアップ６の回転によってピボット軸６４の方向と鉛直方向とがなす角が変化して、カンチレバー７、バランス可動部６３及び磁性体コア６７の組立体の姿勢が変化しても、組立体には重力によるモーメントが発生しないため、付勢手段６５による測定力を一定に維持することが可能となる。
なお、ピックアップ６が第２可動部８によりＹ方向に移動され、それに伴って移動する触針１１とワークの表面との間で生じるＹ方向の摩擦力によって、カンチレバー７にヨーイングさせる力が働いても、バランス可動部６３がスムーズに回動するように、ピボット軸６４の先端は略円錐形に形成され、また軸受け７１ａ、７１ｂは、ピボット軸６４の略円錐形の先端を球面によって支持するように構成されることとしてよい。
図６Ａはピックアップ回転部９の斜視図であり、図６Ｂはピックアップ回転部６のＸＺ断面図である。ピックアップ回転部９は、第２可動部８によってＹ方向に駆動可能に支持されるケース部９１と、先端にピックアップ６が取り付けられた腕部１０を固定する回転アタッチメント部９２と、回転アタッチメント部９２を腕部１０の長手方向（すなわちカンチレバー７の長手方向）を回転軸として回転させるための駆動力を供給するモータ９３と、回転アタッチメント部９２を腕部１０の長手方向を回転軸として回転可能にケース部９１に固定するベアリング９４と、モータ９３の回転シャフト９６の回転運動を回転アタッチメント部９２に伝達するギア９５及び９７と、を備える。
モータ９３が回転するとその回転シャフト９６に生じた回転力がギア９５及び９７を伝わって回転アタッチメント部９２を回転させる。この回転アタッチメント部９２は腕部１０を介してピックアップ６に連結されているため、回転アタッチメント部９２が回転することによって、ピックアップ６はカンチレバー７の長手方向を回転軸として回転する。
すると、ピックアップ６の固定部６２に回動可能に支持されたバランス可動部６３と、このバランス可動部６３に取り付けられたカンチレバー７もまた、カンチレバー７の長手方向を回転軸として回転し、その結果として図７Ａ〜図７Ｄに示すように、触針の向き（突出方向）が変わる。
例えば、図７Ａに示すように、ＸＹ平面に平行でありかつＺ軸の正方向に向く測定面１１０の測定を行う場合には、従来の測定方法と同様に触針１１の向きをＺ軸の負方向に向けた状態にしておく。
次に、ＺＸ平面に平行でありかつＹ軸の負方向に向く測定面１１１の測定を行う場合には、図７Ｂに示すように、ピックアップ６をカンチレバー７の長手方向（Ｘ方向）を回転軸として図の矢印の方向に９０度回転させることによって、触針１１の向きをＹ軸の正方向に向けて、先端を測定面１１１に接触できるようにし、この状態で触針１１を測定面１１１上で沿わせてその表面粗さ／表面輪郭形状を測定する。
さらに、ＸＹ平面に平行でありかつＺ軸の負方向に向く測定面１１２の測定を行う場合には、図７Ｃに示すように、ピックアップ６を図の矢印の方向にさらに９０度回転させて触針１１の向きをＺ軸の正方向に向けて、先端を測定面１１２に接触できるようにし、この状態で触針１１を測定面１１２上で沿わせてその表面粗さ／表面輪郭形状を測定する。
また、ＸＺ平面に平行でありかつＹ軸の正方向に向く測定面１１３の測定を行う場合には、図７Ｄに示すように、ピックアップ６を図の矢印の方向にさらに９０度回転させて触針１１の向きをＹ軸の負方向に向けて、先端を測定面１１３に接触できるようにし、この状態で触針１１を測定面１１３上で沿わせてその表面粗さ／表面輪郭形状を測定する。
このように、測定面の方向に応じてピックアップ６を回転させ、触針１１の方向を変えることにより、従来の測定装置ではワークの向きを変えなければ測定することが不可能であった測定面を、ワークの向きを変えることなく測定することを可能とする。
また、図２及び図３を参照して上記説明した、シリンダーブロック１００のような角物ワークを測定する場合にも、測定に際してワーク１００を回転させる必要のある回転方向の数を減らし、ワーク１００を回転させるための回転治具の、回転軸の設定作業を省力化する。
例えば図２Ｂに示すシリンダー１０１の開口部のテーパー部分（１０２、１０３）の表面粗さ／輪郭形状を計測する場合を、図８Ａ及び図８Ｂを参照して説明する。
テーパー部分（１０２、１０３）のうち、表面が上方（Ｚ軸正方向）を向いている１０２部分の表面粗さ／輪郭形状を計測するためには、例えば従来の図３Ａと同様に、図のＹ軸を回転軸としてテーパー角θ分だけワーク１００全体を傾けてテーパー部分１０２を水平にして、触針１１を表面に接触させる（図８Ａ）。
一方で、表面が下方（Ｚ軸負方向）を向いているテーパー部分１０３部分の表面粗さ／輪郭形状を計測するためには、図８Ｂに示すように、図のＹ軸を回転軸としてテーパー角（−θ）分だけワーク１００全体を傾けてテーパー部分１０３を水平にするとともに、カンチレバー７を１８０度回転させて触針１１の向きをＺ軸正方向に向けることによって、触針先端がテーパー部分１０３に接触することを可能とする。
このように、従来複数方向を回転軸としてワーク１００を回転させつつ測定を行う必要があったワーク１００の表面粗さ／輪郭形状において、触針１１側の向きを変えることにより（回転させることにより）、ワーク１００の回転軸の方向を１次元減らすことが可能となる。
このように本発明によれば、カンチレバーの重量バランスをとるバランス部材を設けることにより、カンチレバーを回転させて触針の方向を変えてもカンチレバーに作用する重力の影響を除去することが可能となる。これにより触針の方向を様々な測定面の方向に合わせて変えることが可能となり、ワークの載置方向を変えることなく様々な方向の測定面を測定することが可能となる。
本発明は、表面粗さ／輪郭形状測定装置に利用可能であり、特に触針を被測定物（ワーク）の表面に沿って移動させ触針の変位量を検出することにより、被測定物表面の粗さ又は輪郭形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置に利用可能である。
以上、本発明の好適な実施態様について詳述したが、当業者が種々の修正及び変更をなし得ること、並びに、特許請求の範囲は本発明の真の精神および趣旨の範囲内にあるこの様な全ての修正及び変更を包含することは、本発明の範囲に含まれることは当業者に理解されるべきものである。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 4 is a basic configuration diagram of a surface roughness / contour shape measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
As shown in the drawing, the surface roughness / contour shape measuring apparatus 1 is provided with a table 2 along the XY plane for placing a workpiece, and a column 3 is erected on the table 2. A first movable part 4 is attached to the column 3. The column 3 incorporates a motor (not shown), and the first movable part 4 can be moved up and down along the column 3 (along the Z direction) by this motor.
The first movable part 4 is provided with a second movable part 8. The first movable part 4 also includes a motor (not shown), and the second movable part 8 can be driven in the X direction. Further, the second movable portion 8 is provided with a pickup rotating portion 9 that supports the pickup 6 via the arm portion 10. The second movable unit 8 also includes a motor (not shown), and the pickup rotating unit 9 can be driven in the Y direction.
A measuring element (pickup) 6 is provided at the tip of the arm 10, and the pickup 6 includes a cantilever 7 having a stylus 11 at one end. The cantilever 7 is provided in the pickup 6 so that its longitudinal direction is along the X direction which is the driving direction of the movable part 4. One end of the cantilever 7 is provided with a stylus 11 that protrudes in a direction substantially orthogonal to the longitudinal direction of the cantilever.
The pick-up 6 supports the cantilever 7 so that the cantilever 7 can rotate about the direction perpendicular to the longitudinal direction of the cantilever 7 and the protruding direction of the stylus 11 as a rotation axis at the other end opposite to one end where the stylus 11 is provided. .
5A is an XZ plane side sectional view of the pickup 6 shown in FIG. 4, and FIG. 5B is an AA ′ sectional view of FIG. 5A. Inside the case 61, the pickup 6 has a fixed portion 62 fixed to the case 61, and a balance movable portion 63 supported rotatably on the fixed portion 62 with a pivot shaft 64 along the Y direction as a rotation axis. Prepare. FIG. 5C is a perspective view for explaining the shape of the fixing portion 62 shown in FIG. 5A.
As shown in FIG. 5C, the fixed portion 62 is formed with arm portions 72a and 72b for sandwiching the pivot shaft 64 of the balance movable portion 63 from both ends, and the pivot shaft 64 is attached to each of the arm portions 72a and 72b. Bearings 71a and 71b to be supported are attached.
Further, the balance movable part 63 is provided with a cantilever mounting pin 70 for fixing the cantilever 7 to the balance movable part 63. The cantilever mounting pin 70 fixed to the balance movable portion 63 is inserted into a mounting hole provided at the mounting end of the cantilever 7, whereby the cantilever 7 is fixed to the balance movable portion 63.
Furthermore, the balance movable part 63 is provided with a balance movable part 63 to which the cantilever 7 is fixed so that the stylus 11 provided at the end opposite to the attachment end of the cantilever 7 contacts the surface of the workpiece. An urging means 65 such as a spring for urging in the rotating direction is provided. In the example of FIG. 5A, the urging means 65 is a compression spring 65 attached to the spring receiving recess 66 of the fixed portion 62, and the balance movable portion 63 and the cantilever 7 attached thereto are touched by the compression spring 65. The needle 11 is biased in the direction of turning in the direction (protruding direction).
Therefore, when the pickup 6 is moved by the first movable part 4 and the second movable part 8, the stylus 11 can slide on the surface of the workpiece so as to follow the unevenness of the surface of the workpiece. When the displacement of the stylus 11 caused by the unevenness of the surface of the workpiece is transmitted to the balance movable portion 63 via the cantilever 7, the balance movable portion 63 rotates about the pivot shaft 64 as a rotation axis.
Further, when the stylus 11 sliding on the surface of the workpiece is displaced by the irregularities on the surface of the workpiece, the amount of displacement is converted into an electric signal by a differential inductance sensor provided in the pickup 6. The differential inductance sensor is provided in the fixed portion 62 so that the magnetic core 67 provided in the balance movable portion 63 and the magnetic core 67 are inserted when the balance movable portion 63 is supported by the fixed portion 62. The core insertion port 68 and two coils 69 provided around the core insertion port 68 so as to surround the magnetic core 67. This differential inductance sensor detects the movement of the magnetic core 67 accompanying the rotation of the balance movable part 63 as a change in the difference between the inductances of the two coils 69, and the displacement amount of the balance movable part 63 is an electrical signal. Convert to
Then, the stylus 11 is moved over the entire surface of the measurement surface, and the signals sequentially output from the coil 69 at that time are converted into digital signals by an A / D converter (not shown), and are converted by a computer or the like. By collecting with a data processing device (not shown) configured, measurement data indicating the surface roughness of the workpiece is obtained.
Here, a pickup rotating unit 9 described later rotates the pickup 6 with the longitudinal direction of the cantilever 7 as the rotation axis, and the direction of the pivot shaft 64 (that is, the direction of the rotation axis of the cantilever 7 and the balance movable unit 63) and the vertical direction. The balance movable unit 63 uses the pivot shaft 64 as a fulcrum so that the force (that is, the measurement force) that presses the stylus 11 against the surface of the measurement object by the urging means 65 does not vary even if the angle formed by The shape and the position of the pivot shaft 64 are determined so as to balance the weight of the assembly of the cantilever 7, the balance movable part 63, and the magnetic core 67.
Specifically, the through hole of the pivot shaft 64 provided in the balance movable portion 63 is provided at the center of gravity of the assembly of the cantilever 7, the balance movable portion 63 and the magnetic core 67 on a plane orthogonal to the pivot shaft 64.
By determining the position of the pivot shaft 64 in this way, the angle formed by the direction of the pivot shaft 64 and the vertical direction is changed by the rotation of the pickup 6, and the cantilever 7, the balance movable portion 63, and the magnetic core 67 are assembled. Even if the posture of the solid body changes, no moment due to gravity is generated in the assembly, so that the measuring force by the biasing means 65 can be kept constant.
The pickup 6 is moved in the Y direction by the second movable portion 8, and the yawing force acting on the cantilever 7 is caused by the frictional force in the Y direction generated between the stylus 11 moving with the second movable portion 8 and the surface of the workpiece. In addition, the tip of the pivot shaft 64 is formed in a substantially conical shape so that the balance movable portion 63 rotates smoothly, and the bearings 71a and 71b support the substantially conical tip of the pivot shaft 64 with a spherical surface. It may be configured as follows.
FIG. 6A is a perspective view of the pickup rotating unit 9, and FIG. 6B is an XZ sectional view of the pickup rotating unit 6. The pickup rotating unit 9 includes a case unit 91 that is supported by the second movable unit 8 so as to be drivable in the Y direction, a rotating attachment unit 92 that fixes the arm unit 10 to which the pickup 6 is attached at the tip, and a rotating attachment unit 92. The motor 93 supplies a driving force for rotating the arm 10 with the longitudinal direction of the arm 10 (that is, the longitudinal direction of the cantilever 7) as a rotation axis, and the rotation attachment 92 can be rotated with the longitudinal direction of the arm 10 as the rotation axis. The bearing 94 fixed to the case part 91 and the gears 95 and 97 which transmit the rotational motion of the rotating shaft 96 of the motor 93 to the rotation attachment part 92 are provided.
When the motor 93 rotates, the rotational force generated on the rotary shaft 96 is transmitted through the gears 95 and 97 to rotate the rotary attachment unit 92. Since the rotation attachment portion 92 is connected to the pickup 6 via the arm portion 10, the pickup 6 rotates about the longitudinal direction of the cantilever 7 as the rotation axis when the rotation attachment portion 92 rotates.
Then, the balance movable part 63 rotatably supported by the fixed part 62 of the pickup 6 and the cantilever 7 attached to the balance movable part 63 also rotate about the longitudinal direction of the cantilever 7 as a rotation axis. As shown in FIGS. 7A to 7D, the direction (protruding direction) of the stylus changes.
For example, as shown in FIG. 7A, when measuring the measurement surface 110 parallel to the XY plane and facing the positive direction of the Z axis, the orientation of the stylus 11 is set to the Z axis as in the conventional measurement method. Keep it in the negative direction.
Next, when measuring the measurement surface 111 parallel to the ZX plane and facing the negative direction of the Y-axis, the pickup 6 is rotated in the longitudinal direction (X-direction) of the cantilever 7 as shown in FIG. 7B. As shown, the tip of the stylus 11 is directed in the positive direction of the Y-axis so that the tip can be brought into contact with the measurement surface 111. In this state, the stylus 11 is moved to the measurement surface 111. Measure the surface roughness / surface profile along the top.
Furthermore, when measuring the measurement surface 112 parallel to the XY plane and facing the negative direction of the Z axis, as shown in FIG. 7C, the pickup 6 is further rotated by 90 degrees in the direction of the arrow in the drawing. The tip of the needle 11 is directed in the positive direction of the Z axis so that the tip can be brought into contact with the measurement surface 112. In this state, the stylus 11 is placed on the measurement surface 112 and the surface roughness / surface contour shape is measured. To do.
When measuring the measurement surface 113 parallel to the XZ plane and facing the positive direction of the Y axis, as shown in FIG. 7D, the pickup 6 is further rotated by 90 degrees in the direction of the arrow in the drawing. The tip of the needle 11 is directed in the negative direction of the Y axis so that the tip can come into contact with the measurement surface 113. In this state, the stylus 11 is placed on the measurement surface 113 and the surface roughness / surface contour shape is measured. To do.
In this way, by rotating the pickup 6 in accordance with the direction of the measurement surface and changing the direction of the stylus 11, the measurement surface cannot be measured without changing the direction of the workpiece with the conventional measurement device. Can be measured without changing the orientation of the workpiece.
Also, when measuring a square workpiece such as the cylinder block 100 described above with reference to FIGS. 2 and 3, the number of rotational directions in which the workpiece 100 needs to be rotated during measurement is reduced. The work of setting the rotation axis of the rotating jig for rotating the tool is saved.
For example, the case of measuring the surface roughness / contour shape of the tapered portion (102, 103) of the opening of the cylinder 101 shown in FIG. 2B will be described with reference to FIGS. 8A and 8B.
In order to measure the surface roughness / contour shape of the 102 portion of the taper portion (102, 103) whose surface faces upward (Z-axis positive direction), for example, as in FIG. With the Y axis as the rotation axis, the entire workpiece 100 is tilted by the taper angle θ, the taper portion 102 is leveled, and the stylus 11 is brought into contact with the surface (FIG. 8A).
On the other hand, in order to measure the surface roughness / contour shape of the tapered portion 103 whose surface is directed downward (Z-axis negative direction), as shown in FIG. The entire workpiece 100 is inclined by an angle (−θ) to level the tapered portion 103, and the cantilever 7 is rotated 180 degrees so that the direction of the stylus 11 is directed in the positive direction of the Z axis, thereby tapering the tip of the stylus. It is possible to contact the portion 103.
As described above, by changing the direction of the stylus 11 side in the surface roughness / contour shape of the workpiece 100 that has been conventionally required to perform the measurement while rotating the workpiece 100 about a plurality of directions as rotation axes (by rotating the workpiece 100). ), The direction of the rotation axis of the workpiece 100 can be reduced by one dimension.
Thus, according to the present invention, by providing the balance member that balances the weight of the cantilever, it is possible to remove the influence of gravity acting on the cantilever even if the direction of the stylus is changed by rotating the cantilever. . Accordingly, the direction of the stylus can be changed in accordance with the direction of various measurement surfaces, and measurement surfaces in various directions can be measured without changing the placement direction of the workpiece.
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a surface roughness / contour shape measuring apparatus, and in particular, by measuring the displacement of the stylus by moving the stylus along the surface of the object to be measured (workpiece), The present invention can be used for a surface roughness / contour shape measuring apparatus for measuring the roughness or contour shape.
Although preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, various modifications and changes can be made by those skilled in the art, and the scope of the claims falls within the true spirit and scope of the present invention. It is to be understood by those skilled in the art that all such modifications and changes are included in the scope of the present invention.

Claims (2)

カンチレバーと、該カンチレバーの一端に設けられる触針と、該カンチレバーの長手方向に直交する方向を回動軸として該カンチレバーを回動可能に支持する回動支持部と、該カンチレバーを前記触針の向きに回動させる方向に付勢する付勢部材と、前記触針をワークの測定面に接触させたまま移動させたときに前記カンチレバーに生じる回転変位を検出する検出器と、を備える表面粗さ／輪郭形状測定装置であって、
前記カンチレバーの長手方向を回転軸として前記回動支持部を回転させることにより、前記触針の方向を変更する触針方向変更部と、
前記回動軸を支点とする前記カンチレバーの重量バランスをとるバランス部材と、
を備えることを特徴とする表面粗さ／輪郭形状測定装置。A cantilever, a stylus provided at one end of the cantilever, a rotation support portion that rotatably supports the cantilever with a direction orthogonal to the longitudinal direction of the cantilever as a rotation axis, and the cantilever mounted on the stylus. A surface roughness provided with a biasing member that biases in a direction to rotate in a direction and a detector that detects a rotational displacement generated in the cantilever when the stylus is moved while being in contact with a measurement surface of a workpiece. A contour shape measuring device,
A stylus direction changing portion that changes the direction of the stylus by rotating the rotation support portion with the longitudinal direction of the cantilever as a rotation axis;
A balance member that balances the weight of the cantilever with the pivot shaft as a fulcrum;
A surface roughness / contour shape measuring apparatus. 前記触針方向変更部によって前記触針の先端が測定面に接触する方向に該触針を方向づけて、該測定面の表面形状を測定することを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ／輪郭形状測定装置。 2. The surface roughness according to claim 1, wherein the stylus direction changing unit directs the stylus in a direction in which the tip of the stylus contacts the measurement surface, and measures the surface shape of the measurement surface. / Contour shape measuring device.
JP2006534503A 2005-08-23 2006-05-29 Surface roughness / contour shape measuring device Pending JPWO2007023605A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005240821 2005-08-23
JP2005240821 2005-08-23
PCT/JP2006/311150 WO2007023605A1 (en) 2005-08-23 2006-05-29 Surface roughness/outline shape measurement device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2007023605A1 true JPWO2007023605A1 (en) 2009-02-26

Family

ID=37771358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006534503A Pending JPWO2007023605A1 (en) 2005-08-23 2006-05-29 Surface roughness / contour shape measuring device

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPWO2007023605A1 (en)
WO (1) WO2007023605A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5331645B2 (en) * 2009-10-13 2013-10-30 株式会社ミツトヨ Detector and measuring machine
CN106568989B (en) * 2016-11-03 2018-11-27 北京航空航天大学 A kind of horizontal probe apparatus of the deep space environment atomic force microscopy system based on quartz tuning-fork probe
CN112033342B (en) * 2020-09-30 2022-04-15 湖南晶盛光电有限公司 Detection equipment for detecting polishing flatness of optical lens

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3296547B2 (en) * 1998-03-02 2002-07-02 株式会社ミツトヨ Detector for surface texture measuring machine
JP3443054B2 (en) * 1999-11-01 2003-09-02 株式会社ミツトヨ Detector for surface texture measuring machine

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007023605A1 (en) 2007-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1715288A1 (en) Surface roughness and/ or contour shape measuring apparatus
JP3926793B2 (en) Surface shape measuring device
CN100453970C (en) Method of error compensation in a coordinate measuring machine with an articulating probe head
US6543150B2 (en) Form measuring sensor and form measuring instrument
US7363181B2 (en) Straightness correcting method for surface texture measuring instrument, and surface texture measuring instrument
US10041976B2 (en) Gimbal assembly test system and method
EP2251635B1 (en) Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus.
US7239050B2 (en) Uniaxial drive unit and surface shape measuring apparatus using the same
EP1650527A1 (en) Apparatus for measuring the surface roughness or the contour of an object
JP2021510454A (en) Wafer prober
CN103616007A (en) Precision planeness-measuring apparatus for miniature part
JP2012078344A (en) Three-dimensional shape measuring apparatus
KR20190022318A (en) Gantry type positioning apparatus
KR20120026444A (en) Three dimensional shape measuring apparatus
JPWO2007023605A1 (en) Surface roughness / contour shape measuring device
JP5538882B2 (en) Measuring instrument for measuring surface properties
US20090025464A1 (en) Surface-roughness/contour measuring apparatus
JP3784273B2 (en) Work shape measuring sensor and work shape measuring device
JP2003148581A (en) Frictional driving device and measuring machine using the same
GB2438640A (en) Surface roughness/outline shape measurement device
JP2008155327A (en) Angle measuring tool and angle measuring method
CN113280776B (en) Diameter measuring device
JP2003322581A (en) Holder for body to be tested for dynamic balance tester
JP7278692B2 (en) measuring device
JPH02167419A (en) Curvature measuring instrument