JP2016107251A - 流体取扱装置および流体取扱装置の製造方法 - Google Patents

流体取扱装置および流体取扱装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】流路の形状が変形することなく、複数の基板を適切に接合した流体取扱装置を提供すること。【解決手段】流体取扱装置は、第1面に溝が形成されている樹脂製の第1基板と、第1基板の第1面に接合された樹脂製の第1フィルムと、第1基板の第1面と表裏関係にある第2面に第1面が接合された樹脂製の第2フィルムと、第2フィルムの第1面と表裏関係にある第2面に接合された樹脂製の第2基板と、を有する。第2基板の第2フィルムに接合された面には、平面視したときに溝と重なる凹部が形成されている。第1基板のガラス転移温度Tg1s、第1フィルムのガラス転移温度Tg1f、第2基板のガラス転移温度Tg2sおよび第2フィルムのガラス転移温度Tg2fは、Tg1s、Tg2s>Tg1f、Tg2fを満たす。【選択図】図2

Description

本発明は、流体取扱装置および流体取扱装置の製造方法に関する。
近年、タンパク質や核酸などの微量な物質の分析を高精度かつ高速に行うために、マイクロ流路チップが使用されている。マイクロ流路チップは、試薬および試料の量が少なくてよいという利点を有しており、臨床検査や食物検査、環境検査などの様々な用途での使用が期待されている。
このようなマイクロ流路チップでは、基板とフィルムとを貼り合わせることで、試薬や試料などが流れるマイクロ流路が構成されている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の流路デバイス(マイクロ流路チップ)は、第1の流路デバイス用基板と、第2の流路デバイス用基板と、プラスチックフィルムとを有する。第1の流路デバイス基板の一方の面には、流路となる溝が形成されている。特許文献1に記載の流路デバイスは、第2の流路デバイス用基板の一方の面と、プラスチックフィルムの一方の面を熱融着によって接合する。次いで、第1の流路デバイス用基板の溝が形成されている面と、プラスチックフィルムの他方の面とを熱融着によって接合する。特許文献1に記載の流路デバイスの製造方法では、プラスチックフィルムのガラス転移温度よりもかなり高い温度で熱融着することで、第1の流路デバイス用基板と、第2の流路デバイス用基板とを強固に接合していると考えられる。
特開2008−304352号公報
しかしながら、特許文献1に記載の流路デバイスの製造方法では、プラスチックフィルムほど可撓性のない第1の流路デバイス用基板および第2の流路デバイス用基板を、プラスチックフィルムを介して接合している。このとき、プラスチックフィルムで溝をしっかり閉塞して流路を形成するためには、プラスチックフィルムのガラス転移温度よりもかなり高い温度で熱融着すると考えられるため、熱により変形した流動性を有するプラスチックフィルムが溝の内部に入り込んでしまい、流路の形状が変形してしまうという問題があった。
そこで、本発明の目的は、流路の形状が変形することなく、複数の基板をフィルムを介して適切に接合した流体取扱装置およびその製造方法を提供することである。
本発明の流体取扱装置は、第1面に溝が形成されている樹脂製の第1基板と、前記第1基板の前記第1面に接合された樹脂製の第1フィルムと、前記第1基板の前記第1面と表裏関係にある第2面に第1面が接合された樹脂製の第2フィルムと、前記第2フィルムの前記第1面と表裏関係にある第2面に接合された樹脂製の第2基板と、を有し、前記第2基板の前記第2フィルムに接合された面には、平面視したときに前記溝と重なる凹部が形成されており、前記第1基板のガラス転移温度をTg1s、前記第1フィルムのガラス転移温度をTg1f、前記第2基板のガラス転移温度をTg2s、前記第2フィルムのガラス転移温度をTg2fとしたとき、以下の式(1)を満たす。
Tg1s、Tg2s>Tg1f、Tg2f ・・・(1)
また、本発明の流体取扱装置の製造方法は、本発明に係る流体取扱装置の製造方法であって、前記第1フィルムおよび前記第1基板の接合と、前記第1基板および前記第2フィルムの接合と、前記第2フィルムおよび前記第2基板の接合とは、それぞれ熱融着によって行われる。
本発明によれば、流路の形状が変形することなく、複数の基板を適切に接合した流体取扱装置を提供することができる。
図1は、実施の形態1に係るマイクロ流路チップの平面図である。 図2A〜Cは、マイクロ流路チップの断面図である。 図3A〜Eは、第1基板の構成を示す図である。 図4A〜Dは、第1フィルムの構成を示す図である。 図5A〜Dは、第2フィルムの構成を示す図である。 図6A〜Eは、第2基板の構成を示す図である。 図7A、Bは、実施の形態2に係るマイクロ流路チップの構成を示す図である。 図8A、Bは、製造方法1の各工程を示す図である。 図9A、Bは、製造方法2の各工程を示す図である。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明では、本発明の流体取扱装置の代表例として、マイクロ流路チップについて説明する。
[実施の形態1]
(マイクロ流路チップの構成)
図1および図2は、本発明の実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100の構成を示す図である。図1は、マイクロ流路チップ100の平面図である。図2Aは、図1に示されるA−A線の断面図であり、図2Bは、図1に示されるB−B線の断面図であり、図2Cは、図1に示されるC−C線の断面図である。
図1および図2A、Bに示されるように、マイクロ流路チップ100は、第1基板120、第1フィルム140、第2フィルム160および第2基板180から構成されている。また、マイクロ流路チップ100は、流路220、液体導入部230、液溜部240および流体排出部260を有する。
流路220は、液体を流すための通路である。流路220に流される液体の種類は、特に限定されない。液体の例には、試薬や液体試料などが含まれる。また、流路220に導入される液体の粘度も、流路220内を進行可能であれば特に限定されない。
流路220は、第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223を有する。第1分岐流路221の一端(上流端)は、液体を導入するための第1液体導入部231に連通されており、他端(下流端)は、第2分岐流路222および合流流路223に連通されている。第2分岐流路222の一端(上流端)は、液体を導入するための第2液体導入部232に連通されており、他端(下流端)は、第1分岐流路221および合流流路223に連通されている。合流流路223の一端(上流端)は、第1分岐流路221および第2分岐流路222に連通されており、他端(下流端)は、液溜部240に連通した連通部250に連通されている。また、平面視したときに合流流路223と液溜部240とは、重なるように配置されている。
第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223の断面積および断面形状は、液体が移動可能であれば特に限定されない。第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223の断面形状は、例えば一辺の長さ(幅および深さ)が数μmから数mm程度の略矩形である。本実施の形態では、第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223の断面積および断面形状は同じであり、それぞれ幅および深さが50μmである。また、第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223は、それぞれ幅が1.0mm程度、深さが0.1mm程度とした毛細管現象により液体が進行可能な流路であってもよい。
液体導入部230は、外部から液体を流路220に導入するための導入口である。液体導入部230は、第1液体導入部231および第2液体導入部232を有する。第1液体導入部231は、第1分岐流路221の一端(上流端)に連通されている。第1液体導入部231の形状や最大径は、特に限定されない。本実施の形態では、第1液体導入部231の形状は、円柱形状である。また、本実施の形態では、第1液体導入部231の最大外径(直径)は、液体を導入するためのマイクロチップを圧入することができる程度の長さである。これにより、圧力をかけた状態で第1液体導入部231から液体を第1分岐流路221に導入することができる。
第2液体導入部232は、第2分岐流路222の一端(上流端)に連通されている。第2液体導入部232の形状や最大外径は、特に限定されない。本実施の形態では、第2液体導入部232の形状は、円柱形状である。また、本実施の形態では、第2液体導入部232の最大外径(直径)は、液体を導入するためのマイクロチップを圧入することができる程度である。これにより、圧力をかけた状態で第2液体導入部232から液体を第2分岐流路222に導入することができる。
液溜部240は、一時的に液体を貯留する。液溜部240は、連通部250を介して合流流路223の他端(下流端)に連通されている。液溜部240の容積や平面視形状は、特に限定されない。
流体排出部260は、流体を液溜部240から排出するための排出口である。流体排出部260は、流路220内に液体を導入する時および液溜部240に液体が入る時の空気孔としても機能する。
図3A〜Eは、第1基板120の構成を示す図である。図3Aは、第1基板120の平面図であり、図3Bは、底面図であり、図3Cは、図3Aに示されるA−A線の断面図であり、図3Dは、図3Aに示されるB−B線の断面図であり、図3Eは、図3Aに示されるC−C線の断面図である。
図3A〜Eに示されるように、第1基板120は、透明な略矩形の樹脂製の基板である。第1基板120は、第1分岐溝121、第2分岐溝122、合流溝123、第1貫通孔124、第2貫通孔125および第3貫通孔126を有する。第1分岐溝121、第2分岐溝122および合流溝123は、第1基板120の第1面(表面)にそれぞれ形成されている。また、第1貫通孔124、第2貫通孔125および第3貫通孔126は、第1基板120の第1面と、第1面と表裏関係にある第2面(裏面)とにそれぞれ開口している。
第1分岐溝121の一端(上流端)は、第1貫通孔124に連通しており、第1分岐溝121の他端(下流端)は、第2分岐溝122および合流溝123に連通している。第2分岐溝122の一端(上流端)は、第2貫通孔125に連通しており、第2分岐溝122の他端(下流端)は、第1分岐溝121および合流溝123に連通している。合流溝123の一端(上流端)は、第1分岐溝121および第2分岐溝122に連通されており、他端(下流端)は、第3貫通孔126に連通されている。
第1分岐溝121、第2分岐溝122、合流溝123、第1貫通孔124、第2貫通孔125および第3貫通孔126が形成されていない領域における第1基板120の厚さは、特に限定されない。当該領域における第1基板120の厚さは、例えば1〜10mmの範囲内である。また、第1基板120を構成する樹脂の例には、特に限定されず、公知の樹脂から適宜選択されうる。第1基板120を構成する樹脂の例には、シクロオレフィンポリマー(COP)、シクロオレフィンコポリマー(COC)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂、エラストマーなどが含まれる。また、第1基板120は、例えば射出成形により製造することができる。
第1分岐溝121、第2分岐溝122および合流溝123の開口部を塞ぐように、第1基板120の第1面(表面)と、第1フィルム140とを接合することで、第1分岐流路221、第2分岐流路222および合流流路223が形成される。
図4は、第1フィルム140の構成を示す図である。図4Aは、第1フィルム140の平面図であり、図4Bは、第1フィルム140の底面図であり、図4Cは、第1フィルム140の側面図であり、図4Dは、第1フィルム140の正面図である。
図4A〜Dに示されるように、第1フィルム140は、可撓性を有する透明な略矩形の樹脂製のフィルムである。第1フィルム140は、第1基板120の第1分岐溝121、第2分岐溝122および合流溝123が形成された第1面(表面)に貼り付けられている。第1フィルム140を構成する樹脂の種類は、第1分岐流路221が液体を進行させることができる表面(流路内壁となる面)、第1基板120への密着強度、様々な工程で課される熱履歴や試薬への耐性を確保することができれば特に限定されず、公知の樹脂から適宜選択されうる。第1フィルム140を構成する樹脂の例は、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂などが含まれる。第1フィルム140の厚さは、前述の機能を発揮することができれば特に限定されず、樹脂の種類(剛性)に応じて適宜設定されうる。本実施の形態では、第1フィルム140の厚さは、200μm程度である。
図5は、第2フィルム160の構成を示す図である。図5Aは、第2フィルム160の平面図であり、図5Bは、第2フィルム160の底面図であり、図5Cは、第2フィルム160の側面図であり、図5Dは、第2フィルム160の正面図である。
図5A〜Dに示されるように、第2フィルム160は、可撓性を有する透明な略矩形の樹脂製のフィルムである。第2フィルム160は、第1基板120の第2面(裏面)と第2基板180の第1面(表面)との間に配置されている。第2フィルム160は、第4貫通孔161、第5貫通孔162および第3貫通孔163を有する。第4貫通孔161は、第1貫通孔124を介して第1分岐溝121に連通している。また、第5貫通孔162は、第2貫通孔125を介して第2分岐溝122に連通している。さらに、第6貫通孔163は第3貫通孔126を介して合流溝123に連通している。
第2フィルム160を構成する樹脂の例には、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂、エラストマーなどが含まれる。また、第2フィルム160の厚さは、樹脂の種類(剛性)に応じて適宜設定されうる。本実施の形態では、第2フィルム160の厚さは、200μm程度である。
図6は、第2基板180の構成を示す図である。図6Aは、第2基板180の平面図であり、図6Bは、第2基板180の底面図であり、図6Cは、図6Aに示されるA−A線の断面図であり、図6Dは、図6Aに示されるB−B線の断面図であり、図6Eは、図6Aに示されるC−C線の断面図である。
図6A〜Eに示されるように、第2基板180は、第7貫通孔181、第8貫通孔182、凹部183および第9貫通孔184を有する。第7貫通孔181および第8貫通孔は、第2基板180の第1面(表面)と、第1面と表裏関係にある第2面(裏面)にそれぞれ開口している。第7貫通孔181は、第2フィルム160の第4貫通孔161に対応する位置に、第4貫通孔161と同じ大きさに形成されている。また、第8貫通孔182は、第2フィルム160の第5貫通孔162に対応する位置に、第5貫通孔162と同じ大きさに形成されている。
凹部183は、第2基板180の第1面に開口しており、第2フィルム160の第6貫通孔163に連通している。凹部183の平面視形状、容積などは、特に限定されない。凹部183の平面視形状や容積は、用途に応じて適宜設定される。凹部183の底面には、第9貫通孔184が形成されている。第9貫通孔184は、凹部183の底面と、第2基板180の第2面に開口している。第9貫通孔184は、流体排出部260または液体を導入するときの空気孔として機能する。
凹部183の開口部を塞ぐように、第2基板180の第1面(表面)に第2フィルム160の第2面(裏面)を接合することで、液溜部240が形成される。さらに、第1フィルム140が貼り付けられた第1基板120の第2面(裏面)に、第2基板180に貼り付けられた第2フィルム160の第1面(表面)を接合することで、液体導入部230および流体排出部260が形成される。第1フィルム140と、第1基板120と、第2フィルム160と、第2基板180が接合した状態において、平面視したとき、合流溝123と凹部183とは、重なるように配置されている。また、合流溝123の幅は、その位置における凹部183の幅方向の長さより短い。
第7貫通孔181、第8貫通孔182、凹部183および第9貫通孔184が形成されていない領域における第2基板180の厚さは、特に限定されない。当該領域における第2基板180の厚さは、例えば1〜10mmの範囲内である。また、第2基板180を構成する樹脂の例には、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマー、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエーテル、ポリエチレン、ポリスチレン、シリコーン樹脂、エラストマーなどが含まれる。また、第2基板180は、例えば射出成形によって製造することができる。
第1基板120のガラス転移温度Tg1s、第1フィルム140のガラス転移温度Tg1f、第2基板のガラス転移温度Tg2sおよび第2フィルム180のガラス転移温度Tg2fは、以下の式(1)を満たす。
Tg1s、Tg2s>Tg1f、Tg2f ・・・(1)
このように、式(1)を満たすことができれば、第1基板120、第1フィルム140、第2フィルム160および第2基板180を構成する樹脂は、前述した樹脂から任意に選択することができる。前述の式(1)を満たす市販品の組み合わせとして、例えば以下の組み合わせがある。第1基板120および第2基板180を構成する市販の樹脂としては、例えばゼオネックスF52R(Tg1s156℃;日本ゼオン株式会社)を使用できる。また、第1フィルム140を構成する市販の樹脂としては、例えばゼオノアフィルムZF14(Tg1f136℃;日本ゼオン株式会社)を使用できる。また、第2フィルム160を構成する市販の樹脂としては、例えばゼオノア1060R(Tg2f100℃;日本ゼオン株式会社)を使用できる。なお、第2フィルム160を第2基板180に接合するための温度が第1フィルム140に伝わったとしても、流路220の変形を抑えられるように、Tg1f≧Tg2f−5(℃)であることが好ましく、Tg1f≧Tg2fであることがより好ましい。
第1基板120のガラス転移温度Tg1sおよび第2基板180のガラス転移温度Tg2sが、第1フィルム140のガラス転移温度Tg1fおよび第2フィルム160のガラス転移温度Tg2f未満の場合、第1基板120および第2基板180が変形してしまい、両者を適切に接合することができない。
(マイクロ流路チップの製造方法)
本実施の形態に係るマイクロ流路チップ100の製造方法は、特に限定されない。たとえば、第1基板120および第1フィルム140を第1接合温度Tで接合した後に、第2フィルム160および第2基板180を第2接合温度Tでさらに接合してもよい(製造方法1)。また、第1基板120、第2フィルム160および第2基板180を第2接合温度Tで接合した後に、第1フィルム140を第1接合温度Tでさらに接合してもよい(製造方法2)。流路の形状が変形しないように第1接合温度Tを設定することが必要である。
(製造方法1)
図8は、製造方法1の各工程を示す図である。図8Aは、製造方法1の第1工程を示す図であり、図8Bは、製造方法1の第2工程を示す図である。たとえば、第1基板120および第2基板180は、前述した樹脂を用いた射出成形法により作製されうる。
図8Aに示されるように、第1工程では、第1分岐溝121、第2分岐溝122および合流溝123が形成された第1基板120の第1面に第1フィルム140を積層して、第1基板120の第1面と、第1フィルムの第2面と、を第1接合温度Tで接合させて接合体を得る。具体的には、第1フィルム140の第1面側と、第1基板120の第2面側とから、ヒートプレートによって加熱および押圧することで熱融着する。
図8Bに示されるように、第2工程では、第1基板120および第1フィルム140からなる接合体と、第2フィルム160と、第2基板180とを積層して、第1基板120の第2面と、第2フィルム160の第1面とを、第2接合温度Tで接合させるとともに、第2フィルム160の第1面と表裏関係にある第2面と、第2基板180の第1面とを、第2接合温度Tで接合させる。具体的には、第1フィルム140の第1面側と、第2基板180の第2面側とから、ヒートプレートよって加熱および押圧することで熱融着する。以上の工程により、マイクロ流路チップ100を製造しうる。このとき、第1フィルム140が軟化し過ぎることのない温度で熱融着しているため、第1フィルム140が流路内に入り込むことなく、適切に第1フィルム140および第1基板120を接合することができる。
(製造方法2)
図9は、製造方法2の各工程を示す図である。図9Aは、製造方法2の第1工程を示す図であり、図9Bは、製造方法2の第2工程を示す図である。製造方法2における第1基板120および第2基板180は、製造方法1と同じように射出成形により作製されうる。
図9Aに示されるように、第1工程では、第1基板120、第2フィルム160および第2基板180を積層して、第1基板120の第2面と、第2フィルム140の第1面とを、第1接合温度Tで接合させるとともに、第2フィルム160の第2面と、第2基板180の第1面とを、第1接合温度Tで接合させて接合体を得る。具体的には、第1基板120の第1面側と、第2基板180の第2面側とから、ヒートプレートよって加熱および押圧することで熱融着する。
図9Bに示されるように、第2工程では、第1基板120、第2フィルム160および第2基板180からなる接合体と、第1フィルム140とを積層して、第1基板120の第1面と、第1フィルム140の第2面とを、第2接合温度Tで接合させる。具体的には、第1フィルム140の第1面側と、第2基板180の第2面側とから、ヒートプレートよって加熱および押圧することで熱融着する。以上の工程により、マイクロ流路チップ100を製造しうる。このとき、第1フィルム140が軟化し過ぎることのない温度で熱融着するため、第1フィルム140が流路内に入り込むことなく、適切に第1基板120に第1フィルム140を接合することができる。
なお、第1工程および第2工程を同時に行ってもよい。すなわち、第1フィルム140、第1基板120、第2フィルム160および第2基板180を積層した状態で、ヒートプレートによって加熱および押圧して熱融着してもよい。
(マイクロ流路チップの取扱方法)
次に、マイクロ流路チップ100の取扱方法(使用方法)について説明する。まず、第1液体導入部231および第2液体導入部232が上に向かってに開口するように配置する。このとき、液溜部240は、流路220より上側に位置するように配置される。まず、液体が充填されたマイクロピペットのマイクロチップを第1液体導入部231に圧入する。このとき、マイクロチップの外周面と第1液体導入部231の開口部とが密着して、マイクロチップが第1液体導入部231に固定される。
次いで、外部からの圧力によりマイクロチップ内の液体を第1分岐流路221に導入する。前述したように液溜部240は、流路220より上側に配置されているため、圧力を加えて第1液体導入部231から液体を導入するようにしなければ、液体を液溜部240まで導くことができない。
また、第2液体導入部232から液体を導入する場合には、第1液体導入部231に液体を導入する場合と同じ工程で行うことができる。まず、液体が充填されたマイクロピペットのマイクロチップを第2液体導入部232に圧入する。このとき、マイクロチップの外周面と第2液体導入部232の開口部とが密着して、マイクロチップが第2液体導入部232に固定される。次いで、外部からの圧力によりマイクロチップ内の液体を第2分岐流路222に導入する。
なお、第1液体導入部231および第2液体導入部232から液体を導入するタイミングは、同時であってもよいし、異なっていてもよい。
以上の手順により、第1分岐流路221および第2分岐流路222を介して液溜部240に液体を導入することができる。
(効果)
以上のように、本実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100は、第1分岐溝121が形成されていない第1基板120の第2面に対向して第2フィルム140および第2基板180が配置されており、かつ第1基板のガラス転移温度をTg1s、第1フィルムのガラス転移温度をTg1f、第2基板のガラス転移温度をTg2s、第2フィルムのガラス転移温度をTg2fとしたとき、Tg1s、Tg2s>Tg1f、Tg2fを満たすため、第1基板120および第2基板180を適切に接合することができる。
[実施の形態2]
実施の形態2に係るマイクロ流路チップ300は、第1基板320の第2面(裏面)と、第2基板380の第1面(表面)との形状が実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100と異なる。そこで、実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100と同じ構成は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図7は、実施の形態2に係るマイクロ流路チップ300の構成を示す図である。図7Aは、マイクロ流路チップ300の平面図であり、図7Bは、正面図である。図7に示されるように、実施の形態2に係るマイクロ流路チップ300は、第1フィルム140、第1基板320、第2フィルム160および第2基板380を有する。また、マイクロ流路チップ300は、流路220、液体導入部230、液溜部240および流体排出部260を有する。
第1基板320は、第1分岐溝121、第2分岐溝122、合流流路223、第1貫通孔124、第2貫通孔125および第3貫通孔126を有する。第1基板320の第2面(裏面)には、凹条322が形成されている。凹条322の数や形状は、特に限定されない。本実施の形態では、凹条322の数は2つである。凹条322は、端部が対向する2つの側面まで到達するように配置されている。凹条322は、平行に配置されていてもよいし、平行に配置されていなくてもよい。なお、本実施の形態では、2つの凹条322は、平行に配置されている。また、凹条322の断面形状は、特に限定されない。本実施の形態では、凹条322の断面形状は、矩形である。
第2基板380は、第7貫通孔181、第8貫通孔182、凹部183および第9貫通孔184を有する。第2基板380の第1面(表面)には、複数の凸条382が形成されている。凸条382は、第1基板320に形成された凹条322に対応する位置に配置されている。また、凸条382の数は、凹条322の数と同じである。さらに、凸条382の断面形状は、凹条322の断面形状と相補的形状である。本実施の形態では、凸条382の断面形状は、矩形である。また、凸条382は、第2基板380の第7貫通孔181、第8貫通孔182および凸条382が形成された領域以外の領域に配置されていることが好ましい。本実施の形態では、凸条382は、第2基板380の第7貫通孔181、第8貫通孔182および凹部183が配置されていない領域に形成されている。
また、本実施の形態に係るマイクロ流路チップ300も実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100と同じ工程で製造することができる。
(効果)
以上のように、実施の形態2に係るマイクロ流路チップ300は、実施の形態1に係るマイクロ流路チップ100と同様の効果を有する。さらに、実施の形態2に係るマイクロ流路チップ300では、第1基板320の第2面と、第2基板380の第1面とが相補的に形成されているため、第1基板320と第2基板380とが接する表面積が大きくなり、さらに第1基板320および第2基板380を適切に接合することができる。
なお、実施の形態1、2では、熱融着によりフィルム140、160および基板120、180を接合したが、熱融着に加え、基板120、180表面に予めプラズマ処理またはコロナ処理を行ってもよい。これにより、基板120、180およびフィルム140、160の接合時の架橋強度が上昇するため、第1基板120および第2基板180の接合を強固にすることができる。また、アセトンやエタノールなどの溶剤、または接着剤をフィルム140、160と、基板120、180との間に塗布してもよい。また、レーザーによる接合を併用してもよい。
また、前述した熱融着の前に、第1フィルム140および/または第2フィルム160に紫外線を照射して第1フィルム140のガラス転移温度および第2フィルム160のガラス転移温度を低下させてもよい。これにより、熱融着に必要な温度を低くすることにより製造コストを抑えることができる。
また、実施の形態1、2では、第2基板180に凹部183を配置したが、第2基板180に流路220に連通する他の流路(第2流路)を配置してもよい。さらに、実施の形態1、2では、2つの基板120、180および2つのフィルム140、160を接合する例について説明したが、基板およびフィルムは、それぞれ3つ以上であってもよい。
本発明の流体取扱装置は、例えば、科学分野や医学分野などにおいて使用されるマイクロ流路チップとして有用である。
100、300 マイクロ流路チップ
120、320 第1基板
121 第1分岐溝
122 第2分岐溝
123 合流溝
124 第1貫通孔
125 第2貫通孔
126 第3貫通孔
140 第1フィルム
160 第2フィルム
161 第4貫通孔
162 第5貫通孔
163 第6貫通孔
180、380 第2基板
181 第7貫通孔
182 第8貫通孔
183 凹部
184 第9貫通孔
220 流路
221 第1分岐流路
222 第2分岐流路
223 合流流路
230 液体導入部
231 第1液体導入部
232 第2液体導入部
240 液溜部
250 連通部
260 流体排出部
322 凹条
382 凸条

Claims (8)

  1. 第1面に溝が形成されている樹脂製の第1基板と、
    前記第1基板の前記第1面に接合された樹脂製の第1フィルムと、
    前記第1基板の前記第1面と表裏関係にある第2面に第1面が接合された樹脂製の第2フィルムと、
    前記第2フィルムの前記第1面と表裏関係にある第2面に接合された樹脂製の第2基板と、を有し、
    前記第2基板の前記第2フィルムに接合された面には、平面視したときに前記溝と重なる凹部が形成されており、
    前記第1基板のガラス転移温度をTg1s、前記第1フィルムのガラス転移温度をTg1f、前記第2基板のガラス転移温度をTg2s、前記第2フィルムのガラス転移温度をTg2fとしたとき、以下の式(1)を満たす、
    流体取扱装置。
    Tg1s、Tg2s>Tg1f、Tg2f ・・・(1)
  2. 前記第1フィルムのガラス転移温度Tg1fおよび前記第2フィルムのガラス転移温度Tg2fは、以下の式(2)を満たす、請求項1に記載の流体取扱装置。
    Tg1f≧Tg2f−5 ・・・(2)
  3. 前記第1フィルムのガラス転移温度Tg1fおよび前記第2フィルムのガラス転移温度Tg2fは、以下の式(3)を満たす、請求項2に記載の流体取扱装置。
    Tg1f≧Tg2f ・・・(3)
  4. 平面視したときに、前記溝の幅は、その位置における前記凹部の前記幅方向の長さより短い、請求項1〜3のいずれか一項に記載の流体取扱装置。
  5. 前記第1基板および前記第2基板は、射出成形品である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の流体取扱装置。
  6. 前記第1フィルムおよび前記第2フィルムは、可撓性を示す、請求項1〜5のいずれか一項に記載の流体取扱装置。
  7. 前記第2フィルムは、前記凹部に連通する貫通孔を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の流体取扱装置。
  8. 請求項1〜7のいずれか一項に記載の流体取扱装置の製造方法であって、
    前記第1フィルムおよび前記第1基板の接合と、前記第1基板および前記第2フィルムの接合と、前記第2フィルムおよび前記第2基板の接合とは、それぞれ熱融着によって行われる、
    流体取扱装置の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021100519A1 (ja) * 2019-11-19 2021-05-27 株式会社エンプラス 流体取扱装置
JP2021121414A (ja) * 2020-01-31 2021-08-26 住友ベークライト株式会社 マイクロ流路チップ
WO2023053952A1 (ja) * 2021-09-30 2023-04-06 日本ゼオン株式会社 積層体及びその製造方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6394651B2 (ja) * 2016-07-15 2018-09-26 ウシオ電機株式会社 基板の貼り合わせ方法およびマイクロチップの製造方法
US10224298B2 (en) * 2016-09-02 2019-03-05 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package device having glass transition temperature greater than binding layer temperature
CN115605425A (zh) * 2020-05-29 2023-01-13 日本瑞翁株式会社(Jp) 微通道芯片及其制造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09502795A (ja) * 1993-06-15 1997-03-18 フアーマシア・ビオテク・アクチエボラーグ マイクロチャンネル/マイクロキャビティ構造体を製造する方法
JP2007136292A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 National Institute Of Advanced Industrial & Technology マイクロチャネル構造体の製造方法、マイクロチャネル構造体、およびマイクロリアクタ
WO2012011262A1 (ja) * 2010-07-22 2012-01-26 株式会社エンプラス 分析用具及びマイクロ分析システム
JP2013010076A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Sumitomo Bakelite Co Ltd マイクロ流路デバイスの製造方法及びマイクロ流路チップ
WO2014027435A1 (ja) * 2012-08-13 2014-02-20 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6729352B2 (en) * 2001-06-07 2004-05-04 Nanostream, Inc. Microfluidic synthesis devices and methods
US6811695B2 (en) * 2001-06-07 2004-11-02 Nanostream, Inc. Microfluidic filter
US6848462B2 (en) * 2001-12-06 2005-02-01 Nanostream, Inc. Adhesiveless microfluidic device fabrication
WO2006037022A2 (en) * 2004-09-24 2006-04-06 Massachusetts Institute Of Technology Microbioreactor for continuous cell culture

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09502795A (ja) * 1993-06-15 1997-03-18 フアーマシア・ビオテク・アクチエボラーグ マイクロチャンネル/マイクロキャビティ構造体を製造する方法
JP2007136292A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 National Institute Of Advanced Industrial & Technology マイクロチャネル構造体の製造方法、マイクロチャネル構造体、およびマイクロリアクタ
WO2012011262A1 (ja) * 2010-07-22 2012-01-26 株式会社エンプラス 分析用具及びマイクロ分析システム
JP2013010076A (ja) * 2011-06-29 2013-01-17 Sumitomo Bakelite Co Ltd マイクロ流路デバイスの製造方法及びマイクロ流路チップ
WO2014027435A1 (ja) * 2012-08-13 2014-02-20 株式会社エンプラス 流体取扱装置および流体取扱方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021100519A1 (ja) * 2019-11-19 2021-05-27 株式会社エンプラス 流体取扱装置
JP2021121414A (ja) * 2020-01-31 2021-08-26 住友ベークライト株式会社 マイクロ流路チップ
WO2023053952A1 (ja) * 2021-09-30 2023-04-06 日本ゼオン株式会社 積層体及びその製造方法

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