JP2016092331A - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims abstract description 62
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 136
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 35
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
実施の形態にかかる半導体装置の構造について、プレーナゲート構造のIGBTを例に説明する。図1は、実施の形態にかかる半導体装置の活性領域の構造を示す断面図である。図2は、実施の形態にかかる半導体装置の周辺耐圧構造部の構造を示す断面図である。図1,2に示すように、実施の形態にかかる半導体装置は、オン状態のときに電流が流れる活性領域21の外側に、活性領域21の周囲を囲むように周辺耐圧構造部22を有する。周辺耐圧構造部22は、n-型ドリフト層2の、基体おもて面(第1主面)側の電界を緩和し耐圧を保持する機能を有する。また、実施の形態にかかる半導体装置は、p+型コレクタ層となるp+型半導体基板1のおもて面上にエピタキシャル成長によりn-型ドリフト層2およびp+型ベース層4を順に積層してなるエピタキシャル基体(半導体チップ)を用いて構成される。
上述した実施の形態にかかる半導体装置の製造方法にしたがい、n型CS領域3を備えた耐圧13kVクラスのプレーナゲート構造のIGBTを作製し(以下、実施例とする)、周辺耐圧構造部22の最大耐圧を測定した。比較として、n型CS層103を備えた従来のプレーナゲート構造のIGBT(図9参照)を作製し(以下、従来例とする)、周辺耐圧構造部122の最大耐圧を測定した。すなわち、従来例は、活性領域121から周辺耐圧構造部122にわたって設けられたn型CS層103を備える。従来例のn型CS層103以外の構成は実施例と同様である。その結果、従来例の周辺耐圧構造部122の最大耐圧は15.5kVであることが確認された。一方、実施例の周辺耐圧構造部22の最大耐圧は18kVであり、従来例よりも周辺耐圧構造部22の最大耐圧を向上させることができることが確認された。
2 n-型ドリフト層
3 n型CS領域
4 p+型ベース層
5 JFET領域
6 n+型エミッタ領域
7 p++型コンタクト領域
8 ゲート絶縁膜
9 ゲート電極
10 層間絶縁膜
11 エミッタ電極
12 コレクタ電極
13 溝
14 第1JTE領域
15 第2JTE領域
21 活性領域
22 周辺耐圧構造部
31,33,35,37 イオン注入用マスク
32,34,36,38 イオン注入
Claims (4)
- 電流が流れる活性領域の外側に周辺耐圧構造部を有する半導体装置において、
第1主面と第2主面とを有する第1導電型のドリフト層と、
前記ドリフト層の第1主面側に設けられた素子構造と、
前記ドリフト層の内部の前記素子構造側に、かつ前記活性領域に設けられた、前記ドリフト層よりも不純物濃度の高い第1導電型の高濃度領域と、
を備え、
前記高濃度領域は、前記周辺耐圧構造部に設けられていないことを特徴とする半導体装置。 - 前記高濃度領域は、前記ドリフト層の第2主面側から第1主面側へ向って移動する少数キャリアの移動を抑制するバリア領域であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記高濃度領域は、前記ドリフト層の第1主面側から第2主面側へ向って移動するキャリアを前記ドリフト層の第1主面に平行な方向に拡げるスプレッド領域であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記素子構造は、
前記ドリフト層の第1主面側に設けられた第2導電型半導体領域と、
前記第2導電型半導体領域の内部に設けられた第1導電型半導体領域と、
前記第2導電型半導体領域の、前記ドリフト層と前記第1導電型半導体領域の間の領域に接して設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで前記第1導電型半導体領域の反対側に設けられたゲート電極と、を有し、
前記高濃度領域は、前記第2導電型半導体領域との境界付近に設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014228117A JP6606819B2 (ja) | 2014-11-10 | 2014-11-10 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014228117A JP6606819B2 (ja) | 2014-11-10 | 2014-11-10 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016092331A true JP2016092331A (ja) | 2016-05-23 |
JP6606819B2 JP6606819B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=56017246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014228117A Active JP6606819B2 (ja) | 2014-11-10 | 2014-11-10 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6606819B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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