JP2016090684A - レーザ光出力装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数波長のレーザ光を光源から適切に離隔した位置へ伝送して出力させることの出来るレーザ光出力装置を提供する。
【解決手段】複数の異なる波長のレーザ光を各々出力するレーザ光源と、レーザ光源から出力された複数の波長のレーザ光を各々入力させて伝送する複数の光ファイバと、複数の光ファイバからの出力光が入射される単一のコリメートレンズと、を備える。
【選択図】図３

Description

この発明は、半導体レーザの出力光を出射するレーザ光出力装置に関する。

従来、可動反射鏡面を介して複数画素の配列位置にレーザ光を出射し、スクリーンに投影することで表示を行う技術がある。この技術は、コンバイナなどを介して車両のフロントウィンドウに画像を表示するヘッドアップディスプレイなどにも用いられている。

車載用のヘッドアップディスプレイとしては、レーザ発光、投影及びこれらの動作制御に係る構成を一体的に設けてダッシュボード上やサンバイザの取付位置などに配置することで利用されるものがある。しかしながら、このような構成、特に、レーザ光源がダッシュボード上やサンバイザの取付位置などに配置されると手狭になり、配置等に制約が生じるという問題がある。また、これらの位置は、直射日光が当たることで高温になりやすいことから、レーザ光源の出力に影響が生じるという問題がある。

これに対し、特許文献１には、画像に応じたレーザ光を出力する半導体レーザと、スクリーン投影に係る可動反射鏡面（ＭＥＭＳミラー）やコンバイナ（スクリーン）を含む機構とを分離して、半導体レーザをダッシュボード上から離れた位置に配置し、当該半導体レーザから出力されたＲＧＢ各色のレーザ光を合波して光ファイバによってダッシュボード上の可動反射鏡面に導くことで、当該ダッシュボード上に配置する構成を小型化すると共にレーザ光源への直射日光に係る高温の影響を低減する技術が開示されている。

特開２０１０−１３９９２７号公報

しかしながら、従来、光ファイバは、予め定められた周波数近傍で伝送ロスがないように形成されている。従って、異なる波長のレーザ光が混合（合波）されて一本の光ファイバにより伝送されると、光ファイバ内における波長ごとの伝送ロスの違いや屈折率の違いなどに応じて各波長の出力強度が変化し、出力信号が劣化するという課題がある。

この発明の目的は、複数波長のレーザ光を光源から適切に離隔した位置へ伝送して出力させることの出来るレーザ光出力装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は、
複数の異なる波長のレーザ光を各々出力するレーザ光源と、
当該レーザ光源から出力された前記複数の波長のレーザ光を各々入力させて伝送する複数の光ファイバと、
前記複数の光ファイバからの出力光が入射される単一のコリメートレンズと、
を備えることを特徴とするレーザ光出力装置である。

本発明に従うと、レーザ光出力装置において、複数波長のレーザ光を光源から適切に離隔した位置へ伝送して出力させることが出来るという効果がある。

本発明の実施形態のヘッドアップディスプレイ装置の全体構成を模式的に示す図である。 ヘッドアップディスプレイ装置の機能構成を示すブロック図である。 光ファイバについて説明する図である。 光ファイバの固定部材について説明する図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明のレーザ光出力装置の実施形態であるヘッドアップディスプレイ装置の全体構成を模式的に示す図である。また、図２は、ヘッドアップディスプレイ装置の機能構成を示すブロック図である。

図１に示すように、本実施形態のヘッドアップディスプレイ装置１は、車載用のものであり、動作本体部１１と、投影部１２と、コンバイナ１３とを備える。動作本体部１１と投影部１２は、信号ケーブル２１及び光ファイバケーブル２２で接続され、離隔されてそれぞれ配置される。ここでは、投影部１２がダッシュボード上に配置され、動作本体部１１は、運転手の足元付近に配置されている。

図２に示すように、動作本体部１１は、ＣＰＵ１１０（Central Processing Unit）と、メモリ１１１と、通信部１１２と、ミラータイミング生成部１１３と、信号モデム１１４と、レーザタイミング生成部１１５と、レーザＤ／Ａコンバータ１１６と、レーザ光源１１７〜１１９などを備える。

ＣＰＵ１１０は、ヘッドアップディスプレイ装置１の全体動作を統括制御し、入力された画像データ信号及び設定信号に応じた画像を出力させる。

メモリ１１１は、ＤＲＡＭなどのＲＡＭ（Random Access Memory）であり、画像出力に係る設定パラメータ（例えば、輝度、コントラストやカラーバランス）などの一時データを記憶する。また、メモリ１１１は、通信部１１２を介して取得された表示対象画像データを一時的に記憶する。また、メモリ１１１の一部には、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられて、電源がオフされている間も設定などを保存維持することが出来ても良い。

通信部１１２は、外部機器（例えば、ＰＣ（Personal Computer）、デジタルビデオ機器や情報端末など）から出力画像（動画を含む）に係る信号を受信する。通信部１１２は、特には限られないが、例えば、ＨＤＭＩ（登録商標）やＵＳＢケーブルなどデータ伝送に係る周知のインターフェイスを備え、或いは、無線ＬＡＮやBluetooth（登録商標）などの無線通信手段に係る受信部やドライバを備えている。

ミラータイミング生成部１１３は、ＭＥＭＳミラー１２３の鏡面角度が画像の走査出力に係る出力画素データの二次元面内における位置に応じた角度となるような位相で制御信号を所定の周波数のクロック信号に同期して出力する。

信号モデム１１４は、ミラータイミング生成部１１３から出力されたＭＥＭＳミラー１２３の動作制御信号を受け取り、変調して信号ケーブル２１により投影部１２の信号モデム１２１に出力する。

レーザタイミング生成部１１５は、出力画像データをメモリ１１１から取得し、走査速度や位相タイミング（ミラータイミング生成部の設定に基づく鏡面の角度）に係る設定に従い、所定の周波数のクロック信号に同期して（即ち、レーザ光の出力タイミングに合わせて）出力画像データのうち走査出力タイミングの画素データに応じてレーザ光源１１７〜１１９の発光を制御するための動作制御信号を生成して出力する。走査速度や位相タイミングの設定は、ＣＰＵ１１０によりヘッドアップディスプレイ装置１の起動時などに必要に応じてなされる。

レーザＤ／Ａコンバータ１１６は、レーザタイミング生成部１１５から出力されたレーザ光源１１７〜１１９の動作制御信号を受け取り、アナログ信号に変換して各レーザ光源１１７〜１１９をそれぞれ所望のタイミング、継続時間及び輝度で光らせるための駆動信号に変換して出力する。輝度は二値（オン／オフ）であっても多値であっても良い。

レーザ光源１１７〜１１９は、それぞれ、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各波長のレーザ光を出力する半導体レーザである。他の波長のレーザ光をフィルタなどで変換したものであっても良い。レーザ光源１１７〜１１９として半導体レーザが用いられることで、出力画像を走査出力する際に画素単位での出力変化に応じた高速変調（例えば、数十ＭＨｚ〜１００ＭＨｚ）が可能となる。
レーザ光源１１７〜１１９から出力されたレーザ光は、光ファイバケーブル２２を介して動作本体部１１から投影部１２に伝送される。光ファイバケーブル２２は、３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを含む。レーザ光源１１７〜１１９から出力された各波長のレーザ光は、各々別個の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃの一端に導入されて伝送され、投影部１２にて他端から出力される。これら各色の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃが束ねられて光ファイバケーブル２２をなしている。

投影部１２は、信号モデム１２１と、ミラー駆動回路１２２（反射駆動部）と、ＭＥＭＳミラー１２３（反射部）と、レンズ１２４（コリメートレンズ）などを備える。投影部１２は、動作本体部１１から入力された動作制御信号に応じて、ＲＧＢ各色のレーザ光を走査位置に反射させることで、スクリーン上に画像を表示させる。

信号モデム１２１は、ＭＥＭＳミラー１２３の動作制御信号を復調してミラー駆動回路１２２に出力する。

ミラー駆動回路１２２は、信号モデム１２１から入力されるＭＥＭＳミラー１２３の動作制御信号に応じて、ＭＥＭＳミラー１２３の向き（即ち、レーザ光の反射角度）をレーザ光の出力タイミングと同期させて変化させるための駆動信号を出力する。

ＭＥＭＳミラー１２３は、ＭＥＭＳ（Micro-Electro Mechanical Systems）技術を用いて形成された小型の可動ミラーである。ＭＥＭＳミラー１２３は、ここでは、ミラー駆動回路１２２から入力された駆動信号に応じて鏡面に対して固定されて共に動く周辺回路（コイル）に所定の電圧が印加されることで電流が流れ、当該電流の発生に応じた誘導磁場と、鏡面下部に設けられた固定磁石の磁場との間の磁力により鏡面及び周辺回路を振動させて角度を変化させる方式が用いられている。主走査方向へのこの角度変化には、鏡面のサイズ、質量、誘導磁場及び固定磁石の磁場の強度などに応じて定まる共振周波数での振動が用いられる。出力画像のフレームレート、即ち、鏡面の副走査方向への振動周波数は、通常、６０Ｈｚ程度に設定されるので、出力画像のサイズ（ＶＧＡ、ＸＧＡなど）に応じてこの共振周波数（例えば、数十ｋＨｚ）が定められ、当該定められた共振周波数に応じた鏡面のサイズ等を決定することが出来る。本実施形態のヘッドアップディスプレイ装置１で用いられるＭＥＭＳミラー１２３の鏡面サイズは、約１ｍｍ四方である。

レンズ１２４は、投影部１２で光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃからそれぞれ出力されたＲＧＢ各色のレーザ光がまとめて入力されるコリメートレンズである。レンズ１２４は、透過した光が略等幅の光束を保ちつつ設定距離で所望のビーム幅となるように複数枚のレンズ部材が組み合わされて単一のレンズを構成していても良く、また、上述の設定距離を調節するために複数枚のレンズ部材が可動に設けられていても良い。また、レンズ１２４と光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃの出力端面との距離は、レンズ１２４の焦点距離に応じて設定される。レンズ１２４を透過した光は、ＭＥＭＳミラー１２３で反射された後に投影部１２から出射される。

コンバイナ１３は、ＭＥＭＳミラー１２３で反射されて投影部１２から出射された走査画像を拡散、結像させつつ反射及び／又は透過させるスクリーンである。コンバイナ１３は、投影部１２のレンズ１２４から適切な距離（例えば、５ｃｍ）に固定されるように投影部１２に対して固定される。

信号ケーブル２１には、同軸ケーブルなどを用いることが出来るが、他の任意の信号送信方法、例えば、光ファイバを用いて赤外光によりデジタル信号を送信するなどであっても良い。
光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃには、特には限られないが、通常のもの（クラッド径（直径）が１２５μｍ）よりも細いシングルモード光ファイバ（例えば、クラッド径が８０μｍ）が好ましく用いられる。クラッド径が８０μｍのものは、市販されていて容易に入手可能であり、この８０μｍ以下のクラッド径のものがより好ましい。また、光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、断面形状が真円のものに限られず、例えば、断面が多角形状のものがより好ましく用いられる。クラッドの断面形状が真円ではない場合、コアを伝わるレーザ光がクラッドで反射される際に均等な反射にならないので、レーザ光の入力端と出力端との間で僅かな位相ずれや出射方向の拡散が生じる。これにより、出射される画像の解像度を落とさない範囲でスペックルノイズが低減する。但し、断面形状が楕円形など曲面形状の場合には、光ファイバ間の位置関係が不安定になりやすいので、後述の接着、拘束がより確実になされる必要がある。

図３は、光ファイバケーブル２２について説明する図である。また、図４は、光ファイバケーブル２２の入力端を固定する固定部材２３について説明する図である。
光ファイバケーブル２２は、図３（ａ）に示すように、レーザ光源１１７〜１１９からそれぞれ出力されたＲ、Ｇ、Ｂ３色のレーザ光を各々別個に伝送する３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを含む。光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃとして、ここでは、断面が円形状である場合を例に挙げて説明する。３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、図３（ｂ）に示すように、当該三本の中心軸に対して等距離で配置されて束ねられている。光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、伝送を妨げない範囲での折り曲げが可能となっている。

複数波長のレーザ光を重ねて出力する際、出力されたこれら複数のレーザ光の位置関係は、分離やにじみが視認されない範囲であれば良く、これら複数色のレーザ光が厳密に同一位置に重なる必要はない。また、ヘッドアップディスプレイ装置１では、レンズ１２４によりスクリーン上で得られるビーム幅やコンバイナ１３における拡散などに応じて、レーザ光は有限のサイズを持つ。従って、これらが考慮された範囲内で各色のレーザ光が出力されていれば良い。

従って、これら３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、出力端において厳密に位置合わせがなされて接着又は拘束される必要はないが、３色のレーザ光が単一のレンズ１２４に入射され、コリメート、集光されてＭＥＭＳミラー１２３の鏡面に入射する必要がある。これらの光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃの出力端は、コア間の距離が可能な限り小さくなる配置が好ましく、例えば、環状又は二次元格子状の配置が挙げられる。これらの中で、複数のコア間の最大間隔が最小になるような配置で平行に接着又は拘束されるのがより好ましい。ここでは、３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、当該３本の重心位置から等しい距離に等間隔（１２０度間隔）で配置されている。光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃのクラッド径がそれぞれ８０μｍの場合、これら３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃのコア（中心）は、それぞれ隣接するコアと８０μｍの間隔であり、重心位置から８０／（√３）μｍの距離にある。

光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃの入力端側は、図４（ａ）の平面図及び図４（ｂ）の正面図で示すように、当該入力端から所定の長さが固定部材２３に設けられた溝２３ａ、２３ｂ、２３ｃに一部又は全て埋め込まれて一列に配列固定される。この配列の間隔は、レーザ光源１１７〜１１９によるレーザ光の出射間隔と等間隔である。３本の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、固定部材２３に樹脂などの接着剤を用いて固定された後に出力端面で切断、研磨されることで、正確な位置に一様な端面で配置されるので、各波長のレーザ光をそれぞれロスなく均等に光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに入射させる。

このとき、光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃの入力端面にそれぞれ集光する集光レンズを用いてレーザ光源１１７〜１１９で出力されたレーザ光をそれぞれ光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃのコアに導く構成であっても良い。集光レンズは、固定部材２３上に光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃと共に位置合わせがなされて表面実装されることで容易に形成される。また、この場合には、レーザ光源１１７〜１１９から出力されたレーザ光は、それぞれ集光レンズの入射面に入射されれば良く、レーザ光と光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃのコアの位置とを直接合わせるよりも調整が更に容易となる。

固定部材２３には、車載などの使用環境やレーザ光出力に係る温度変化（主に温度上昇）に対して十分な耐熱性がある各種プラスチック樹脂やガラス材が好ましく用いられる。更に、溝２３ａ、２３ｂ、２３ｃの形成や端面での切断に係る加工処理を正確且つ容易に行うことの出来るプラスチック樹脂が固定部材２３としてより好ましい。

光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、出力端におけるコアの間隔が、各色の混合に必要な距離以上に開かない範囲において、まとめて又は別個に被覆保護された状態で配線されて良い。即ち、まとめてこれらの光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを互いに隣接させて全体を被覆するのがより好ましく、個別に被覆される場合には、可能な限り被覆層を薄くする。

上述のように、光ファイバにおけるクラッドの断面は、真円形状のものに限られない。例えば、図３（ｃ）に示すように、クラッドの断面形状が方形（正方形）の場合には、当該断面において３本の光ファイバ２２ａ１、２２ｂ１、２２ｃ１のコアが二等辺三角形の位置関係となるようにこれら３本の光ファイバ２２ａ１、２２ｂ１、２２ｃ１を配置することが出来る。また、クラッドの断面形状を六角形として複数の光ファイバがハニカム構造となるように配置することも出来る。

以上のように、本実施形態のヘッドアップディスプレイ装置１は、複数の異なる波長（ＲＧＢ）のレーザ光を各々出力するレーザ光源１１７〜１１９と、当該レーザ光源１１７〜１１９から出力された複数の波長のレーザ光を各々入力させて伝送する複数の光ファイバ２２ａ〜２２ｃと、複数の光ファイバ２２ａ〜２２ｃからの出力光が入射されてコリメート光を出射する単一のレンズ１２４と、を備える。これにより、一の光ファイバに合波してから伝送する場合と比較して、広い波長帯のレーザ光を大きく不均一にロスすることなくフレキシブルな経路を介して離隔した位置へ伝送して出力することが出来、出力画像の劣化を防ぐことが出来る。従って、レーザ光源１１７〜１１９を含む動作本体部１１と、レンズ１２４を含む投影部１２とを適宜な位置関係で配置することが出来る。

また、各波長の光を異なる複数のハーフミラー、プリズムやレンズなどを用いて合波させないので、これら複数の光学系の光軸あわせが不要になり、調整作業を簡略化することが出来る。

また、特殊な構成や組み立て技術を必要としないので、コストアップに繋がらず、容易に量産することが出来る。

また、特に、複数の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、入射されたレーザ光の出力側端面において、複数のコア間の距離の最大値が最小になるように配列されるので、効率良くより正確に複数波長のレーザ光を合波させることが出来る。

また、複数の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、クラッド径が８０μｍ以下であるので、単純に束ねるだけで容易に各波長のレーザ光ビームを合波、収束させることが出来る。

また、複数の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、クラッドの断面が多角形状を有することで、コアを導かれるレーザ光がクラッドで反射される際に均等な反射にならず、レーザ光の入力端と出力端との間で僅かな位相ずれや出射方向の拡散が生じ、出射される画像の解像度を落とさない範囲でスペックルノイズを低減させることが出来る。また、これら複数の光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃを容易に拘束して固定しやすい。

また、複数の波長のレーザ光には、ＲＧＢの３波長が含まれることで、所望の色の画像を容易に表示させることが出来る。

また、レンズ１２４からの出力光を反射するＭＥＭＳミラー１２３と、ＭＥＭＳミラー１２３による出力光の反射角度を変化させることで、出力光を走査させるミラー駆動回路１２２とを備えるので、高速且つ正確に出力光を走査させて画像を表示させたりスキャンを行ったりすることが出来る。

なお、本発明は、上記実施の形態に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、上記実施の形態では、レーザ光として表示に用いられる可視光を出力するディスプレイ装置を例に挙げて説明したが、可視光以外の電磁波、例えば、紫外光や近赤外光を出力することも可能であり、また、赤外光を用いてセンシングなど表示以外の用途に利用することも可能である。

また、上記実施の形態では、３波長の光を各々別個の光ファイバで伝送したが、３波長以外であっても良い。但し、光ファイバの数が増加するとコア間の最大間隔が増大するので、集光レンズを用いて収束させることがより好ましい。また、予め出力データの画素位置をシフトする補正を行うことで位置合わせを行う周知の技術と併用することも可能である。この場合、光ファイバケーブル２２から出力されるＲＧＢ３色のレーザ光の位置関係が正確である必要があるので、例えば、予め光ファイバケーブル２２の出力端付近及びレンズ１２４の側面にそれぞれ位置合わせ用の標識を設け、両者の標識位置が一致するように光ファイバケーブル２２の出力端を回転させた状態で固定すれば良い。或いは、実際にレーザ光を出射させながら光ファイバケーブル２２の出力端を最適な向きに回転調節することが可能であっても良い。

また、上記実施の形態では、車載用のヘッドアップディスプレイ装置１において、レーザ光源１１７〜１１９を投影部１２から離隔することで、レーザ光源１１７〜１１９をダッシュボード上に配置しない場合について説明したが、レーザ光源１１７〜１１９と投影部１２とが離隔される場合は、これに限られない。ヘッドマウントディスプレイ装置や網膜スキャン型表示装置などのウェアラブル端末に搭載される投影部に対し、レーザ光源を別途机上などに配置させたり、スマートフォンや携帯電話などの小型や薄型の装置において、投影部とレーザ光源とを離隔して配置することでより好ましいサイズ、形状や重量バランスとしたりする場合にも本発明を適用することが出来る。

また、本願発明に係るレーザ光出力装置は、車以外の対象、例えば、医療用途における被検体、例えば、患者の皮膚などに各種情報を表示させる場合に用いられても良い。

また、上記実施の形態では、コリメートレンズの光軸に光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃのコアの重心位置が重なるように配置したが、波長による屈折率の違いを考慮してコアの配置を調節しても良い。

また、上記実施の形態では、ＭＥＭＳミラー１２３を用いて走査出力を行ったが、走査を行う必要が無い場合には、ＭＥＭＳミラーを用いる必要はない。また、一次元スキャンなどで高速スキャンが不要の場合などでも、ＭＥＭＳミラーを用いることで小型軽量化が可能であるが、これに限定するものではない。また、ＭＥＭＳミラーは、ピエゾ素子を用いるものなど他の方式のものであっても良い。
その他、上記実施の形態で示した具体的な構成、配置や動作などの具体的な細部は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。

１ ヘッドアップディスプレイ装置
１１ 動作本体部
１１０ ＣＰＵ
１１１ メモリ
１１２ 通信部
１１３ ミラータイミング生成部
１１４ 信号モデム
１１５ レーザタイミング生成部
１１６ レーザＤ／Ａコンバータ
１１７〜１１９ レーザ光源
１２ 投影部
１２１ 信号モデム
１２２ ミラー駆動回路
１２３ ＭＥＭＳミラー
１２４ レンズ
１３ コンバイナ
２１ 信号ケーブル
２２ 光ファイバケーブル
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 光ファイバ
２２ａ１、２２ｂ１、２２ｃ１ 光ファイバ
２３ 固定部材
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ 溝

Claims (6)

1. 複数の異なる波長のレーザ光を各々出力するレーザ光源と、
   当該レーザ光源から出力された前記複数の波長のレーザ光を各々入力させて伝送する複数の光ファイバと、
   前記複数の光ファイバからの出力光が入射される単一のコリメートレンズと、
   を備えることを特徴とするレーザ光出力装置。
2. 前記複数の光ファイバは、入射された前記レーザ光の出力側端面において、複数のコア間の距離の最大値が最小になるように配列されることを特徴とする請求項１記載のレーザ光出力装置。
3. 前記複数の光ファイバは、クラッド径が８０μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のレーザ光出力装置。
4. 前記複数の光ファイバは、クラッドの断面が多角形状を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のレーザ光出力装置。
5. 前記複数の波長のレーザ光には、ＲＧＢの３波長が含まれることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のレーザ光出力装置。
6. 前記コリメートレンズからの出力光を反射する反射部と、
   前記反射部による前記出力光の反射角度を変化させることで、前記出力光を走査させる反射駆動部と
   を備えることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載のレーザ光出力装置。

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