JP2016084990A - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
該処理容器の周囲に設けられた発熱体と、
該発熱体の周囲に、該発熱体の異なる領域をカバーするように分割して設けられた複数の断熱手段と、
該複数の断熱手段の各々に接続された複数の排気管と、
該複数の排気管に接続された減圧排気手段と、を有する。
4 処理容器
6 外筒
8 内筒
14 キャップ部
26 保温部
28 ウエハボート
48、480〜482 ヒータエレメント
49 石英保護管
50 断熱カバー部
51、54、57、60、510〜515 断熱ユニット
52、55、58、61、520 ケーシング
53、56、59、62、536、537 断熱部材
530 リフレクター
531〜535 断熱材
70、72 排気管
80 バルブ
90 真空ポンプ
100 制御ユニット
W ウエハ
Claims (23)
- 処理容器と、
該処理容器の周囲に設けられた発熱体と、
該発熱体の周囲に、該発熱体の異なる領域をカバーするように分割して設けられた複数の断熱手段と、
該複数の断熱手段の各々に接続された複数の排気管と、
該複数の排気管に接続された真空排気手段と、を有する熱処理装置。 - 前記複数の排気管の各々には、個々に圧力調整が可能な圧力調整手段が設けられている請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記断熱手段は、石英のケーシングを有する請求項1又は2に記載の熱処理装置。
- 前記断熱手段は、遮光手段を備えている請求項3に記載の熱処理装置。
- 前記遮光手段は板状のリフレクターからなり、前記ケーシング内に収容されている請求項4に記載の熱処理装置。
- 前記リフレクターは、前記ケーシング内に複数枚収容されている請求項5に記載の熱処理装置。
- 前記遮光手段は、反射層として前記ケーシングにコーティングされている請求項4又は5に記載の熱処理装置。
- 前記遮光手段は、Au、Ag、Al、Cr、Ni、Pt及びこれらを含む合金、SiC又はTiO2からなる請求項4乃至7のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記断熱手段は、前記ケーシング内に断熱材を有する請求項3乃至8のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記断熱手段は、前記ケーシング内に断熱材を有し、
前記遮光手段は、反射層として前記断熱材にコーティングされている請求項4に記載の熱処理装置。 - 前記断熱材は、ヒュームドシリカ系断熱材を含む請求項9又は10に記載の熱処理装置。
- 前記ケーシングは箱体と蓋体とが溶接接合されて形成され、
溶接接合部付近の前記断熱材は、前記ヒュームドシリカ系断熱材よりも耐熱性が高い断熱材が使用されている請求項11に記載の熱処理装置。 - 前記断熱手段は、前記ケーシング内に複数のバルク状の断熱材を有し、該複数のバルク状の断熱材で前記リフレクターを挟んで前記リフレクターを保持する請求項5又は6に記載の熱処理装置。
- 前記断熱手段は、前記処理容器の下部に更に設けられている請求項1乃至13のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記発熱体は、前記処理容器の外周面に一体的に取り付けられている請求項3乃至14のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記処理容器は石英から構成され、
前記発熱体は、石英保護管で覆われた金属ヒータ、セラミックヒータ又はカーボンワイヤーヒータであり、
前記石英保護管が前記処理容器に接合されることにより前記発熱体が前記処理容器の前記外周面に一体的に取り付けられる請求項15に記載の熱処理装置。 - 前記処理容器は石英から構成され、
前記発熱体は、石英保護管で覆われた金属ヒータ、セラミックヒータ又はカーボンワイヤーヒータであり、組み立て式で前記処理容器の外周面に固定されている請求項15に記載の熱処理装置。 - 前記ケーシングは、前記発熱体を収容する請求項15又は16に記載の熱処理装置。
- 前記ケーシングは、前記石英保護管の外周面に一体的に接合される請求項16に記載の熱処理装置。
- 前記発熱体は、前記異なる領域毎に分割されて複数設けられ、
前記断熱手段は、複数の前記発熱体に1対1に対応して設けられる請求項1乃至19のいずれか一項に記載の熱処理装置。 - 前記複数の断熱手段は、上下に積み重ねられて配置された分割箇所を含み、
該分割箇所は、境界面が縦方向の成分を含む形状又は他の挿入部材により遮断される形状を有するように係合される請求項1乃至20のずれか一項に記載の熱処理装置。 - 前記複数の断熱手段は、前記発熱体の周方向において前記発熱体の異なる領域をカバーするように分割された請求項1乃至20のいずれか一項に記載の熱処理装置。
- 前記発熱体の昇温時には前記排気手段の排気量を増加させ、前記発熱体の降温時には前記排気手段の排気量を減少させる制御を行うとともに、前記処理容器内の温度分布に基づいて前記複数の断熱手段の各々に対応して設けられた前記圧力調整手段を個別に制御する制御手段を更に有する請求項2乃至22のいずれか一項に記載の熱処理装置。
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