JP2016080556A - 赤外線センサ - Google Patents

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芳幸 宮山
Yoshiyuki Miyayama
芳幸 宮山
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Abstract

【課題】赤外線を広視野角で集光することができる赤外線センサを実現する。
【解決手段】赤外線を受光する受光面20aを有するセンサ素子20と、下端から上端に向かって拡開し、内面が反射面と成された4個の円錐状筒12bを有する第1の集光器12を備えた第1の赤外線センサ10であって、上記第1の集光器12の複数の円錐状筒12bは、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置されると共に、径小の下端部が、センサ素子20の受光面20aの異なる領域上にそれぞれ配置される。
【選択図】図1

Description

この発明は赤外線センサに係り、特に、赤外線を広視野角で集光することができる赤外線センサに関する。
図37は従来の赤外線センサの一例を示すものであり、該赤外線センサ70は、ケース72内の支持部材74上に載置した回路基板76の表面に配置したセンサ素子78と、ケース72の天板72aに形成した孔を閉塞するようにして天板72aの外側に取り付けられ、上記センサ素子78の上方に配置される集光レンズ80を備えている。
上記センサ素子78は、MEMS(micro electromechanical systems)製造技術を利用して製造された薄膜型の赤外線検出用素子であり、表面に赤外線を受光する受光面78aを有し、受光した赤外線量に対応した検出信号を出力するものである。
尚、MEMS製造技術を利用したセンサ素子78としては、例えば、受光した赤外線量に対応して起電力を生じるサーモパイル型、受光した赤外線量に対応して自発分極を起こす焦電型、受光した赤外線量に対応して熱抵抗の変化を生じる抵抗ボロメータ型が知られている。
上記集光レンズ80は、例えば、赤外線透過率の高いゲルマニウム(Ge)やシリコン(Si)等より成る球面平凸レンズで構成されており、人間等の熱源から放射される赤外線を集光して、上記センサ素子78の受光面78aに照射するものである。
尚、この種従来構造の赤外線センサは、例えば特開2014−130056号公報(特許文献1)に開示されている。
特開2014−130056号公報
上記の通り、従来の赤外線センサ70は、集光レンズ80によって赤外線を集光してセンサ素子78の受光面78aに照射していたが、集光レンズ80は最大視野角が約40度強と非常に狭いものであった。
このため、例えば、3m前後の高さを有する一般的な構造の部屋の天井中央に上記赤外線センサ70を設置した場合、該赤外線センサ70真下近傍の狭いエリアから放射される赤外線しか検知することができなかった。
この発明は、従来の上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、赤外線を広視野角で集光することができる赤外線センサを実現することにある。
上記目的を達成するため、本発明の請求項1に記載の赤外線センサは、
赤外線を受光する受光面を有するセンサ素子と、下端から上端に向かって拡開し、内面が反射面と成された複数の筒状体を有する集光器を備えた赤外線センサであって、
上記集光器の複数の筒状体は、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置されると共に、径小の下端部が、センサ素子の受光面の異なる領域上にそれぞれ配置されることを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の赤外線センサは、
赤外線を受光する受光面を有するセンサ素子と、下端から上端に向かって拡開し、内面が反射面と成された複数の筒状体を有する集光器を備えた赤外線センサであって、
上記集光器の複数の筒状体は、その長手方向の中心線がセンサ素子の受光面に対して垂直となるように配置される筒状体と、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置される筒状体とから成り、径小の下端部が、センサ素子の受光面の異なる領域上にそれぞれ配置されることを特徴とする赤外線センサ。
本発明の請求項3に記載の赤外線センサは、請求項1又は2に記載の赤外線センサにおいて、
上記筒状体が、円錐状筒又は角錐状筒であることを特徴とする。
本発明に係る請求項1に記載の赤外線センサは、集光器を構成する複数の筒状体を、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置したので、上記複数の円錐状筒の傾斜角度を適宜設定することにより、広視野角な赤外線センサを実現することができる。
また、請求項2に記載の赤外線センサの如く、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜配置した複数の筒状体に加え、その長手方向の中心線がセンサ素子の受光面に対して垂直となるように配置される筒状体を設けた場合には、センサ素子の受光面に対して垂直方向に放射される赤外線も効率良く集光することができる。
以下、添付図面に基づいて、本発明に係る赤外線センサを説明する。
図1は本発明に係る第1の赤外線センサ10の一部を破断させて示す拡大概略斜視図、図2は第1の赤外線センサ10を模式的に示す概略断面図、図3は第1の赤外線センサ10を構成する第1の集光器12を示す平面側斜視図、図4は同背面側斜視図、図5は同正面図、図6は同平面図、図7は同底面図、図8は同右側面図、図9は図6のA−A’断面図である。
本発明に係る第1の赤外線センサ10は、上端が開口した略直方体状のケース14内に配置した支持部材16上に回路基板18を載置すると共に、該回路基板18の表面にセンサ素子20を配置して成る。
上記センサ素子20は、例えば、MEMS(micro electromechanical systems)製造技術を利用して製造された略矩形状の薄膜型の赤外線検出用素子であり、表面に赤外線を受光する受光面20aを有し、受光した赤外線量に対応した検出信号を出力するものである。
MEMS製造技術を利用した上記センサ素子20としては、例えば、受光した赤外線量に対応して起電力を生じるサーモパイル型のセンサ素子、受光した赤外線量に対応して自発分極を起こす焦電型のセンサ素子、受光した赤外線量に対応して熱抵抗の変化を生じる抵抗ボロメータ型のセンサ素子が該当する。
上記ケース14の上端開口は、第1の集光器12で閉塞されており、該第1の集光器12は、略矩形状の基板12aに、下端から上端に向かって拡開する4個の同一形状を有する円錐状筒12bを設けて成る。
上記円錐状筒12bの内面は反射面と成されており、例えば、樹脂で構成した円錐状筒12bの内面にアルミニウム等の光反射率の高い材料を蒸着したり、或いは、アルミニウム等の光反射率の高い材料で円錐状筒12bを構成することにより、円錐状筒12bの内面に反射面を形成することができる。
上記第1の集光器12は、3Dプリンタを用いて基板12a及び円錐状筒12bを一体的に樹脂成形した後、円錐状筒12b内面にアルミニウム等の高光反射率材料を蒸着して形成したり、或いは、型を起こして基板12a及び円錐状筒12bを一体的に樹脂成形した後、円錐状筒12b内面にアルミニウム等の高光反射率材料を蒸着して形成することができる。
また、アルミニウム等の高光反射率材料で形成した円錐状筒12bと、4個の孔を形成した樹脂や金属等の適宜材料より成る基板12aを別々に形成しておき、上記円錐状筒12bを基板12aの孔に取付けることにより第1の集光器12を形成しても良い。
図1及び図2に示すように、上記第1の集光器12を構成する4個の円錐状筒12bは、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置されると共に、径小の下端部が、センサ素子20の受光面20aの異なる領域上にそれぞれ配置されている。
尚、第1の集光器12を構成する円錐状筒12bの傾斜角度は、実現したい視野角に応じて適宜設定されるものであり、センサ素子20の受光面20aに対する円錐状筒12bの外方への傾斜角度が小さい程、広視野角を実現することができる。
上記第1の赤外線センサ10にあっては、人間等の熱源から放射される赤外線が第1の集光器12を構成する4個の円錐状筒12b内に入射し、内面の反射面で繰り返し反射しつつ、センサ素子20の受光面20aに照射され、この結果、センサ素子20から受光した赤外線量に対応した検出信号が出力されるものである。
本発明に係る第1の赤外線センサ10は、第1の集光器12を構成する4個の円錐状筒12bを、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置したので、上記4個の円錐状筒12bの傾斜角度を適宜設定することにより、広視野角な赤外線センサを実現することができる。
図10は本発明に係る第2の赤外線センサ30の一部を破断させて示す拡大概略斜視図、図11は第2の赤外線センサ30を模式的に示す概略断面図、図12は第2の赤外線センサ30を構成する第2の集光器32を示す平面側斜視図、図13は同背面側斜視図、図14は同正面図、図15は同平面図、図16は同底面図、図17は同右側面図、図18は図15のB−B’断面図である。
第2の赤外線センサ30は、ケース14の上端開口を閉塞する第2の集光器32が、略矩形状の基板32aに、下端から上端に向かって拡開する5個の円錐状筒32bを設けて成る点に特徴を有するものである。各円錐状筒32bの内面は反射面と成されている。
すなわち、図12、図13及び図15等に示すように、基板32aの略中央に設けた円錐状筒32bの周囲を、4個の同一形状の円錐状筒32bが周方向に90度間隔で囲繞するように設けられている。
図10及び図11に示すように、上記第2の集光器32における基板32aの略中央に設けた1個の円錐状筒32bは、その長手方向の中心線(図示省略)がセンサ素子20の受光面20aに対して垂直となるように配置されると共に、該円錐状筒32bを囲繞する4個の円錐状筒32bは、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置され、さらに、5個の円錐状筒32bは、径小の下端部が、センサ素子20の受光面20aの異なる領域上にそれぞれ配置されている。
而して、第2の赤外線センサ30にあっては、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜配置した4個の円錐状筒32bに加え、その長手方向の中心線がセンサ素子20の受光面20aに対して垂直となるように配置される円錐状筒32bを設けたので、センサ素子20の受光面20に対して垂直方向に放射される赤外線も効率良く集光することができる。
図19は本発明に係る第3の赤外線センサ40の一部を破断させて示す拡大概略斜視図、図20は第3の赤外線センサ40を模式的に示す概略断面図、図21は第3の赤外線センサ40を構成する第3の集光器42を示す平面側斜視図、図22は同背面側斜視図、図23は同正面図、図24は同平面図、図25は同底面図、図26は同右側面図、図27は図24のC−C’断面図である。
第3の赤外線センサ40は、ケース14の上端開口を閉塞する第3の集光器42が、下端から上端に向かって拡開する同一形状を有する4個の角錐状筒42aを連接して成る点に特徴を有するものである。各角錐状筒42aの内面は反射面と成されている。
図19及び図20に示すように、上記第3の集光器42を構成する4個の角錐状筒42aは、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置されると共に、径小の下端部が、センサ素子20の受光面20aの異なる領域上にそれぞれ配置されている。
上記第3の赤外線センサ40にあっては、人間等の熱源から放射される赤外線が第3の集光器42を構成する4個の角錐状筒42a内に入射し、内面の反射面で繰り返し反射しつつ、センサ素子20の受光面20aに照射され、この結果、センサ素子20から受光した赤外線量に対応した検出信号が出力されるものである。
本発明に係る第3の赤外線センサ40は、第3の集光器42を構成する4個の角錐状筒42aを、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置したので、上記4個の角錐状筒42aの傾斜角度を適宜設定することにより、広視野角な赤外線センサを実現することができる。
図28は本発明に係る第4の赤外線センサ50の一部を破断させて示す拡大概略斜視図、図29は第4の赤外線センサ50を模式的に示す概略断面図、図30は第4の赤外線センサ50を構成する第4の集光器52を示す平面側斜視図、図31は同背面側斜視図、図32は同正面図、図33は同平面図、図34は同底面図、図35は同右側面図、図36は図33のD−D’断面図である。
第4の赤外線センサ50は、ケース14の上端開口を閉塞する第4の集光器52が、下端から上端に向かって拡開する5個の角錐状筒52aを連接して成る点に特徴を有するものである。各角錐状筒52aの内面は反射面と成されている。
すなわち、図30、図33等に示すように、中央に配置された角錐状筒52aの周囲を、4個の同一形状の角錐状筒52aが囲繞するように設けられている。
図29に示すように、上記第4の集光器52の中央に配置された角錐状筒52aは、その長手方向の中心線(図示省略)がセンサ素子20の受光面20aに対して垂直となるように配置されると共に、該角錐状筒52aを囲繞する4個の角錐状筒52aは、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置され、さらに、5個の角錐状筒52aは、径小の下端部が、センサ素子20の受光面20aの異なる領域上にそれぞれ配置されている。
而して、第4の赤外線センサ50にあっては、センサ素子20の受光面20aに対して所定角度で外方に向かって傾斜配置した4個の角錐状筒52aに加え、その長手方向の中心線がセンサ素子20の受光面20aに対して垂直となるように配置される角錐状筒52aを設けたので、センサ素子20の受光面20に対して垂直方向に放射される赤外線も効率良く集光することができる。
上記においては、円錐状筒12b,32b又は角錐状筒42a,52aを例示して説明したが、これに限定されるものではなく、下端から上端に向かって拡開する筒状体であれば良い。 また、円錐状筒12b,32b又は角錐状筒42a,52aの数も上記で説明した4個又は5個に限定されるものではなく、複数個あれば良い。
また、上記においては、センサ素子20として、MEMS(micro electromechanical systems)製造技術を利用して製造された略矩形状と成された薄膜型の単一の赤外線検出用素子を用いた場合を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、受光面を有する複数個の単位センサ素子の集合体から成るセンサ素子を構成し、斯かるセンサ素子を構成する単位センサ素子の数と同数の下端から上端に向かって拡開する筒状体を設け、各単位センサ素子毎に1個の筒状体を、受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置させても良い。
本発明に係る第1の赤外線センサの一部を破断させて示す拡大概略斜視図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを模式的に示す概略断面図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す平面側斜視図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す背面側斜視図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す正面図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す平面図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す底面図である。 本発明に係る第1の赤外線センサを構成する第1の集光器を示す右側面図である。 図6のA−A’断面図である。 本発明に係る第2の赤外線センサの一部を破断させて示す拡大概略斜視図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを模式的に示す概略断面図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す平面側斜視図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す背面側斜視図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す正面図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す平面図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す底面図である。 本発明に係る第2の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す右側面図である。 図15のB−B’断面図である。 本発明に係る第3の赤外線センサの一部を破断させて示す拡大概略斜視図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを模式的に示す概略断面図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す平面側斜視図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す背面側斜視図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す正面図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す平面図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す底面図である。 本発明に係る第3の赤外線センサを構成する第3の集光器を示す右側面図である。 図24のC−C’断面図である。 本発明に係る第4の赤外線センサの一部を破断させて示す拡大概略斜視図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを模式的に示す概略断面図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第2の集光器を示す平面側斜視図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第4の集光器を示す背面側斜視図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第4の集光器を示す正面図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第4の集光器を示す平面図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第4の集光器を示す底面図である。 本発明に係る第4の赤外線センサを構成する第4の集光器を示す右側面図である。 図33のD−D’断面図である。 従来の赤外線センサを模式的に示す概略断面図
10 第1の赤外線センサ
12 第1の集光器
12a 第1の集光器の基板
12b 第1の集光器の円錐状筒
14 ケース
16 支持部材
18 回路基板
20 センサ素子
20a センサ素子の受光面
30 第2の赤外線センサ
32 第2の集光器
32a 第2の集光器の基板
32b 第2の集光器の円錐状筒
40 第3の赤外線センサ
42 第3の集光器
42a 第3の集光器の角錐状筒
50 第4の赤外線センサ
52 第4の集光器
52a 第4の集光器の角錐状筒

Claims (3)

  1. 赤外線を受光する受光面を有するセンサ素子と、下端から上端に向かって拡開し、内面が反射面と成された複数の筒状体を有する集光器を備えた赤外線センサであって、
    上記集光器の複数の筒状体は、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置されると共に、径小の下端部が、センサ素子の受光面の異なる領域上にそれぞれ配置されることを特徴とする赤外線センサ。
  2. 赤外線を受光する受光面を有するセンサ素子と、下端から上端に向かって拡開し、内面が反射面と成された複数の筒状体を有する集光器を備えた赤外線センサであって、
    上記集光器の複数の筒状体は、その長手方向の中心線がセンサ素子の受光面に対して垂直となるように配置される筒状体と、センサ素子の受光面に対して所定角度で外方に向かって傾斜させた状態で配置される筒状体とから成り、径小の下端部が、センサ素子の受光面の異なる領域上にそれぞれ配置されることを特徴とする赤外線センサ。
  3. 上記筒状体が、円錐状筒又は角錐状筒であることを特徴とする請求項1又は2に赤外線センサ。
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