JP2016074044A - 研磨パッド、研磨パッド用シート及び研磨材料の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記複数の中空球体は、熱可塑性樹脂からなる外殻を有する。
上記ポリマーは、上記複数の中空球体を含有し、プレポリマーと硬化剤の重合反応によって生成される。上記ポリマーは、上記重合反応による内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間よりも短い時間で硬化される。
これにより、中空球体の外殻を構成する熱可塑性樹脂の軟化が防止されるため、中空球体の形状を維持することが可能となる。
上記複数の中空球体は、熱可塑性樹脂からなる外殻を有する。
上記ポリマーは、上記複数の中空球体を含有し、プレポリマーと硬化剤の重合反応によって生成される。上記ポリマーは、上記重合反応による内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間よりも短い時間で硬化される。
これにより、所望とする良好な研磨特性を有する研磨パッド用シートを得ることが可能となる。
上記プレポリマーと重合反応してポリマーを生成するための硬化剤が、ミキシングロータへ供給される。
上記ポリマーの内部蓄熱が最高温度に達する時間よりも上記ポリマーの硬化時間が短くなるように、上記ミキシングロータによって上記プレポリマーと上記硬化剤とが混合される。
上記プレポリマーと上記硬化剤との混合物は、所定形状に注型される。
ミキシングロータの回転数によって、ポリマーの硬化時間を容易に制御することができる。
これにより、中空球体の外殻を構成する熱可塑性樹脂の軟化が防止されるため、中空球体の形状を維持することが可能となる。
図1は、本実施形態に係る研磨パッド100を示す斜視図である。同図に示すように、研磨パッド100は、研磨層101、ベース層102及び接着層103がこの順で積層されて構成されている。
研磨層101を構成する研磨材料について説明する。図2は、研磨パッド100の模式的断面図である。同図に示すように、研磨層101は、ポリマー110に中空球体111が含有された研磨材料から構成されている。なお、図2においては溝101bの記載は省略する。
研磨材料からなる研磨パッド用シートを研磨層101として利用することができる。以下、研磨パッド用シートの製造方法について説明する。図4は、研磨材料の製造設備300を示す模式図である。同図に示すように、製造設備300は、A系貯槽301、B系貯槽302、ミキサー303(ミキシングロータ)及び型304から構成されている。A系貯槽301には、攪拌機構305が設けられている。また、各部には、温調設備が設けられている。
上記のように、中空球体及びプレポリマーを含有するプレポリマー混合物と硬化剤が混合されると、プレポリマーと硬化剤が重合反応を生じる。この際の反応熱によって中空球体に変形が生じるおそれがある。
本実施形態においては、中空球体111の形状を維持し、中空球体111の変形による研磨特性への影響を防止する。具体的には、ポリマー110の硬化時間(T1)を、重合反応によるポリマー110の内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間(T2)よりも短くする。より好ましくは、ポリマー110の硬化時間(T1)を、中空球体111の外殻111aの軟化温度に達するまでの時間(T3)よりも短くする。
101…研磨層
102…ベース層
103…接着層
110…ポリマー
111…中空球体
Claims (7)
- 熱可塑性樹脂からなる外殻を有する複数の中空球体と、
前記複数の中空球体を含有し、プレポリマーと硬化剤の重合反応によって生成され、前記重合反応による内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間よりも短い時間で硬化されたポリマーと、を含む研磨層
を具備する研磨パッド。 - 請求項1に記載の研磨パッドであって、
前記ポリマーは、前記中空球体の外殻の軟化温度に達するまでの時間よりも短い時間で硬化される
研磨パッド。 - 請求項1または2に記載の研磨パッドであって、
前記ポリマーは、イソシアネート基末端ウレタンプレポリマーとジアミン系硬化剤との重合反応によって生成されたウレタン樹脂で構成される
研磨パッド。 - 熱可塑性樹脂からなる外殻を有する複数の中空球体と、
前記複数の中空球体を含有し、プレポリマーと硬化剤の重合反応によって生成され、前記重合反応による内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間よりも短い時間で硬化されたポリマーと、を含む研磨層
を具備する研磨パッド用シート。 - 熱可塑性樹脂からなる外殻を有する中空球体を含有するプレポリマーをミキシングロータへ供給し、
前記プレポリマーと重合反応してポリマーを生成するための硬化剤をミキシングロータへ供給し、
前記ポリマーの内部蓄熱が最高温度に達する時間よりも前記ポリマーの硬化時間が短くなるように、前記ミキシングロータによって前記プレポリマーと前記硬化剤とを混合し、
前記プレポリマーと前記硬化剤との混合物を所定形状に注型する
研磨材料の製造方法。 - 請求項5に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記ミキシングロータは、前記ポリマーの硬化時間が、前記重合反応による内部蓄熱が最高温度に達するまでの時間よりも短くなる回転数に設定される
研磨材料の製造方法。 - 請求項5または6に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記ポリマーの硬化時間が前記中空球体の外殻の軟化温度に達する間での時間よりも短くなるように、前記ミキシングロータによって前記プレポリマーと前記硬化剤とを混合する
研磨材料の製造方法。
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