JP2016058611A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents

半導体装置の製造方法および半導体装置 Download PDF

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Abstract

【課題】プロセス工程を増加させずに、常時オフトランジスタを形成する。
【解決手段】第1導電型の第1半導体領域68aのうち平面視において第1ゲート電極48aの側面に接する第1ゲート隣接領域78aに第2導電型の第1不純物80aをイオン注入しつつ、第2導電型の第2半導体領域68bのうち平面視において第2ゲート電極48bに接する第2ゲート隣接領域78bに第2導電型の第1不純物を注入する。
【選択図】図13

Description

本発明は、半導体装置の製造方法および半導体装置に関する。
オン・オフ動作を行うMOSトランジスタ(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)と常時オフのMOSトランジスタとを有する半導体装置(例えば、マスクROM)が知られている(例えば、特許文献1)。常時オフのMOSトランジスタは、基板と同じ導電型の不純物をチャネル部に導入して閾値を上げることで形成される(例えば、特許文献1)。
なおMOSトランジスタの閾値の調整方法としては、不純物をチャネル部に導入する方法以外にも、導電型が異なる2種類のトランジスタのLDD(lightly doped drain)部に同じイオンを同時に注入する技術が報告されている(例えば、特許文献2)。
特開昭63−64361号公報 特開平4−263468号公報 特開2002−252289号公報
ところで、オン・オフ動作するMOSトランジスタのチャンル部にも、閾値調整のため不純物がイオン注入される。常時オフのMOSトランジスタ(以下、常時オフトランジスタと呼ぶ)のチャネル部に注入される不純物のドーズ量は、オン・オフ動作するMOSトランジスタのチャネル部に注入される不純物のドーズ量より高い。
このようにドーズ量が異なるので、常時オフトランジスタのチャネル部へのイオン注入(以下、チャネル注入と呼ぶ)とオン・オフ動作するMOSトランジスタへのチャンル注入を共通化することは困難である。
このため、常時オフトランジスタを有する半導体装置を製造する場合には、常時オフトランジスタ専用のチャネル注入工程が設けられる。このように、従来の常時オフトランジスタには、プロセス工程を増加させるという問題がある。
本方法の一観点によれば、高圧電源に接続される第1トランジスタが形成される第1導電型の第1半導体領域と、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続される常時オフの第2トランジスタが形成され前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有する第2半導体領域とを半導体基板に形成する工程と、前記第1半導体領域の上方の第1ゲート電極と、前記第2半導体領域の上方の第2ゲート電極とを形成す工程と、前記第1導電型の前記第1半導体領域のうち平面視において前記第1ゲート電極の側面に接する第1ゲート隣接領域に前記第2導電型の第1不純物をイオン注入しつつ、前記第2導電型の前記第2半導体領域のうち平面視において前記第2ゲート電極に接する第2ゲート隣接領域に前記第2導電型の前記第1不純物を注入する工程と、前記第1ゲート隣接領域のうち平面視において前記第1ゲート電極から離隔した第1ゲート側方領域に、前記第2導電型の第2不純物をイオン注入する工程と、前記第2ゲート隣接領域のうち平面視において前記第2ゲート電極から離隔した第2ゲート側方領域に、前記第1導電型の第3不純物をイオン注入する工程とを、有する半導体装置の製造方法が提供される。
開示の方法によれば、常時オフのトランジスタを含む半導体装置を、プロセス工程数を増加させずに形成することができる。
図1は、実施の形態の半導体装置の回路配置の一例を示す図である。 図2は、半導体装置の機能ブロック図の一例である。 図3は、半導体装置の内部回路に含まれる論理ゲートの一例である。 図4は、常時オフトランジスタを有する論理ゲートの一例である。 図5は、実施の形態の半導体装置の部分断面図の一例である。 図6は、実施の形態の半導体装置の部分断面図の一例である。 図7は、高耐圧トランジスタと逆導電型の高耐圧トランジスタの関係を示す表である。 図8は、常時オフトランジスタと逆導電型の常時オフトランジスタの関係を示す表である。 図9は、標準トランジスタと逆導電型の標準トランジスタの関係を示す表である。 図10は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図11は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図12は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図13は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図14は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図15は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図16は、図5及び図6に示す半導体装置の製造方法を説明する図である。 図17は、チャネル領域の不純物濃度を高くすることで常時オフを実現した常時オフトランジスタの断面図の一例である。 図18は、標準トランジスタの低濃度部と同時に逆導電型・エクステンション領域が形成された逆HALO型・トランジスタの断面図の一例である。 図19は、図18の逆HALO型・トランジスタのリーク電流を示す図である。 図20は、実施の形態の常時オフトランジスタのリーク電流を示す図である。 図21は、逆導電型・エクステンション領域が逆導電型・ポケット領域により囲まれた逆HALO型・トランジスタの断面を示す図である。
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
(1)構造
(1−1)全体構造
実施の形態の半導体装置は、高圧電源に接続された第1トランジスタ(以下、高耐圧トランジスタと呼ぶ)と常時オフの第2トランジスタ(以下、常時オフトランジスタと呼ぶ)とを有する。
実施の形態の半導体装置は好ましくは、第1レベルの信号が入力するとオフ状態になり第1レベルとは異なる第2レベルの信号が入力するとオン状態になる第3トランジスタ(以下、標準トランジスタ)を有する。常時オフトランジスタは標準トランジスタとは異なり、他のトランジスタ(例えば、標準トランジスタ)をON/OFF動作させる、第1レベルの信号および第2レベルの信号の何れが入力してもオフ状態になるトランジスタである。
実施の形態の半導体装置は例えば、リバースエンジニアリングを困難にするダミー回路を備えたセキュアデバイスである。図1は、実施の形態の半導体装置2の回路配置の一例を示す図である。図2は、半導体装置2の機能ブロック図の一例である。
図1に示すように、半導体装置2は高圧電源4と、高圧電源4の電圧(例えば、2.5〜5.0V又は3.0〜4.0V)より低い電圧(絶対値が小さい電圧、例えば1.0〜2.4V又は1.5〜2.0)を生成する低圧電源6とを有している。高耐圧トランジスタは、高圧電源4に接続され電力を供給される。一方、常時オフトランジスタおよび標準トランジスタは、低圧電源6に接続され電力を供給される。
半導体装置2は更に、高圧電源4及び/又は低電圧電源6により駆動される複数の回路を有している。半導体装置2は例えば、入出力回路8と、高耐圧回路10と、内部回路12と、レベル変換回路14とを有している。高耐圧回路10および内部回路12は、例えば論理回路である。
高耐圧トランジスタは例えば、入出力回路8と高耐圧回路10に配置される。標準トランジスタは例えば、内部回路12に配置される。内部回路12は例えば、低消費電力の回路である。
入出力回路8は入力信号16(図2参照)を、入力信号16の種類に応じて高耐圧回路10またはレベル変換回路14に供給する。高耐圧回路10が処理可能な信号強度の範囲に、入力信号16の強度は含まれている。内部回路12が処理可能な信号強度は、入力信号16の強度より小さい。
高耐圧回路10は、供給された信号を処理して入出力回路8に供給する。レベル変換回路14は、供給された信号の強度を内部回路12が処理可能な大きさに変換した後、変換した信号を内部回路12に供給する。
内部回路12は、供給された信号を処理してレベル変換回路14(図2では、内部回路12の右側の回路)に供給する。レベル変換回路14は、内部回路12から供給された信号の強度を元の大きさに戻して、入出力回路8に供給する。入出力回路8は、高耐圧回路10およびレベル変換回路14から供給された信号18を出力する。
入力信号16の強度が小さく、内部回路12が処理可能な範囲内にある場合、入出力回路8はレベル変換回路14を介さずに、入力信号16を内部回路12に供給してもよい。また、内部回路12は、処理した信号をレベル変換回路14を介さずに直接出力してもよい。
―リバースエンジニアリング―
ここでは、常時オフトランジスタを含む半導体装置2により、リバースエンジニアリングが困難な理由について説明する。
図3は、半導体装置2の内部回路12に含まれる論理ゲート20(以下、標準ゲートと呼ぶ)の一例である。
図3(a)には、標準ゲート20の回路図の一例が示されている。図3(a)に示すように標準ゲート20は、複数の標準トランジスタ22を有し常時オフトランジスタは有さない回路である。標準ゲート20の電源線Vddには、低圧電源6の出力部が接続される。標準ゲート20のグラウンド線Gには、低圧電源6のグラウンド部が接続される。従って、図3(a)に示すように標準トランジスタ22は、直接または他の標準トランジスタ22を介して低圧電源6に接続される。
図3(b)は、標準ゲート20の入出力特性表24である。入出力特性表24の第1〜2列にはそれぞれ、標準ゲート20の入力部A、Bに供給される入力信号のレベルが示されている。第3列には、標準ゲート20の出力部Xから出力される信号のレベルが示されている。「0」はローレベルを示し、「1」はハイレベルを示している。図3(b)から明らかように、図3(a)の標準ゲート20はNANDゲートである。
図4は、常時オフトランジスタ26を有する論理ゲート28(以下、ダミーゲートと呼ぶ)の一例である。ダミーゲート28は、標準ゲート20と共に内部回路12に含まれている。
図4(a)には、ダミーゲート28の回路図が示されている。図4(a)に示すように、ダミーゲート28は、標準トランジスタ22と常時オフトランジスタ26とを有している。ダミーゲート28の電源線Vddには、低圧電源6の出力部が接続される。ダミーゲート28のグラウンド線Gには、低圧電源6のグラウンド部が接続される。したがって常時オフトランジスタ26は、標準トランジスタ22を介して低圧電源6に接続される。
図4(b)は、ダミーゲート28の入出力特性表30である。入出力特性表30の第1〜2列にはそれぞれ、ダミーゲート28の入力部A、Bに供給される入力信号のレベルが示されている。第3列には、ダミーゲート28の出力部Xから出力される信号のレベルが示されている。
図4(b)の最終行に示すように、入力部Aおよび入力部Bにおける入力信号のレベルが共に「1」の場合、ダミーゲート28の出力は確定せず不定になる。図4(a)のダミーゲート28の入出特性は、この点で図3(a)の標準ゲート20の入出力特性と異なる。
ところで半導体装置のリバースエンジニアリングでは先ず、半導体装置をSEM(Scanning Electron Microscope)等により観察して、トランジスタや配線の配置を検出する。その後、検出したトランジスタ等の配置に基づいて半導体装置の回路図やレイアウトを再現する。
具体的には例えば、半導体装置の配線層を一層ずつ剥がしながら、各配線層の構造をSEMにより観察する。更に半導体装置の断面試料を作製し、この断面試料をSEMやTEM(transmission electron microscope)により観察する。これら観察により得られた結果に基づいてトランジスタや配線の配置を検出し、回路図やレイアウトを作成する。そして、作成した回路図やレイアウトに従って、模造品を製造する。
SEM等によれば、半導体装置の幾何学的構造を検出することは容易である。しかしSEM等により、半導体装置の不純物や分布を検出することは困難である。
ところで、図4(a)のダミーゲート28は、ゲート中央部のトランジスタが常時オフトランジスタ26である。これ以外の点では、図4(a)のダミーゲート28と図3(a)の標準ゲート20は略同じ構造を有している。
ダミーゲート28(図4(a)参照)の常時オフトランジスタ26の構造と標準ゲート20(図3(a)参照)の標準トランジスタ32の構造は、幾何学的には略同じである。常時オフトランジスタ26と標準トランジスタ32は、不純物の種類および分布だけが異なる。
このため、図1の半導体装置2をリバースエンジニアリングすると、常時オフトランジスタ26を標準トランジスタ32と誤認してしまう。その結果、ダミーゲート28ではなく標準ゲート20を含む半導体装置が製造されてしまう。製造された半導体装置の動作は、解析対象の半導体装置2とは異なっている。すなわち、リバースエンジニアリングが失敗する。
なお図4のダミーゲート28に含まれる常時オフトランジスタ26は、nチャネルMOSトランジスタである。しかし内部回路12に含まれる常時オフトランジスタは、pチャネルMOSトランジスタであっても良いし、pチャネルMOSトランジスタとnチャネルMOSトランジスタの両方であってもよい。
(1−2)素子レベルの構造
図5及び6は、実施の形態の半導体装置2の部分断面図の一例である。図5及び6では、半導体装置2の配線層等は省略されている。図5で符号が付けられていない部分は、図6で符号が付けられている。
図5に示すように半導体装置2は、半導体基板25と、高耐圧トランジスタ42(第1トランジスタ)と、常時オフトランジスタ26(第2トランジスタ)とを有している。半導体装置2は更に、常時オフトランジスタ26と略同じ幾何学的構造を有する標準トランジスタ32(第3トランジスタ)を有している。高耐圧トランジスタ42は、例えば高耐圧回路10(図1参照)又は入出力回路8(図1参照)に配置されたトランジスタである。
半導体装置2は更に、高耐圧トランジスタ42が配置された第1導電型(例えば、n型)のウエル62と、常時オフトランジスタ26と標準トランジスタ32が配置された第2導電型(例えば、p型)のウエル64とを有している。半導体装置2に配置された各ウエルの上部は、素子分離溝に配置された絶縁膜66により囲われている。
―高耐圧トランジスタ―
高耐圧トランジスタ42(第1トランジスタ)は、第1チャネル領域44aと、一組の第1ソース/ドレイン領域46aと、第1ゲート電極48aとを有している。第1チャネル領域44aは、半導体基板25に配置された第1導電型(例えば、n型)の領域である。
第1ソース/ドレイン領域46aは、第1高濃度部50aと第1低濃度部52aとを有する領域である。第1高濃度部50aは、第1導電型(例えば、n型)とは逆導電型の第2導電型(例えば、p型)を有し、第1チャネル領域44aから離隔した領域である。第1低濃度部52aは、第1チャネル領域44aと第1高濃度部50aとの間に配置された第2導電型(例えば、p型)の領域である。第1低濃度部52aにおける第2導電型(例えば、p型)の不純物の濃度のピーク値は、第1高濃度部50aにおける第2導電型(例えば、p型)の不純物の濃度のピーク値より低くなっている。
第1高濃度部50aは、例えばLDD構造の高濃度部である。第1低濃度部52aは例えば、LDD構造の低濃度部(所謂、LDD部)である。
第1高濃度部50aは、複数の種類の第2導電型の不純物を含んでいてもよい。この場合「第2導電型の不純物の濃度」とは、これら複数の種類の不純物の濃度の総和のことである。第1高濃度部50a以外の領域(例えば、第1低濃度部52a)についても同様である。
第1ゲート電極48aは、第1チャネル領域44aの上方に配置され平面視において第1低濃度部52aの端部を覆い又は第1低濃度部52aに接する電極である。図5には、平面視において第1低濃度部52aの端部に接する第1ゲート電極48aが示されている。しかし多くの場合、第1ゲート電極48aは第1低濃度部52aの端部を覆っている。後述する第2ゲート電極48bおよび第3ゲート電極48cについても、同様である。
高耐圧トランジスタ42は更に、第1ゲート絶縁膜58aと、第1サイドウォール60aとを有している。第1ゲート絶縁膜58aは、第1チャンル領域44aと第1ゲート電極48aの間に配置された絶縁膜である。第1サイドウォール60aは、第1ゲート電極48aの側面に配置された絶縁膜である。
―常時オフトランジスタ―
常時オフトランジスタ26(第2トランジスタ)は、第2チャネル領域44bと、一組の第2ソース/ドレイン領域46bと、一組の逆導電型領域54と、第2ゲート電極48bとを有している。第2チャネル領域44bは、半導体基板25に配置された第2導電型(例えば、p型)の領域である。
第2ソース/ドレイン領域46bは、第2チャネル領域44bから離隔した第1導電型(例えば、n型)の領域である。
逆導電型領域54は、第2チャネル領域44bと第2ソース/ドレイン領域46bの間に配置され第2ソース/ドレイン領域46bとは逆導電型(例えば、p型)の領域である。
第2ゲート電極48bは、第2チャネル領域44bの上方に配置され平面視において逆導電型領域54の端部を覆い又は逆導電型領域54に接する領域である。
逆導電型領域54内の第2導電型の第1不純物80a(後述する図13(b)参照)の深さ方向の濃度分布は、高耐圧トランジスタ42の第1低濃度部52aにおける第1不純物80aの 深さ方向の濃度分布と等しい。但し、逆導電型領域54は同じ導電型のウエル64の中に形成され、一方、第1低濃度部52aは異なる導電型のウエル62の中に形成されるため、第2導電型の第1不純物80aの濃度分布は逆導電型領域54内と第1低濃度部52aでは厳密には多少の差異が生じ得る。第1不純物80aは、逆導電型領域54内に存在する第2導電型の不純物のうち最も多く存在する不純物である。
常時オフトランジスタ26は更に、第2ゲート絶縁膜58bと、第2サイドウォール60bとを有している。第2ゲート絶縁膜58bは、第2チャンル領域44bと第2ゲート電極48bの間に配置された絶縁膜である。第2サイドウォール60bは、第2ゲート電極48bの側面に配置された絶縁膜である。
―標準トランジスタ―
標準トランジスタ32(第3トランジスタ)は、第3チャネル領域44cと、一組の第3ソース/ドレイン領域46cと、第3ゲート電極48cとを有している。第3チャネル領域44cは、半導体基板25に配置された第2導電型(例えば、p型)の領域である。
第3ソース/ドレイン領域46cは、第3高濃度部50cと第3低濃度部52cとを有する領域である。第3高濃度部50cは、第3チャネル領域44cから離隔した第1導電型(例えば、n型)の領域である。第3低濃度部52cは、第3チャネル領域44cと第3高濃度部50cとの間に配置された第1導電型(例えば、n型)の領域である。第3低濃度部52cにおける第1導電型(例えば、n型)の不純物の濃度のピーク値は、第3高濃度部50cにおける第1導電型(例えば、n型)の不純物の濃度のピーク値より低い。第3低濃度部52cは例えば、第3ソース/ドレイン領域46cの極めて浅い張出部分すなわちエクステンション(extension)領域である。
上述した高耐圧トランジスタ42の第1低濃度部52aは、第2導電型(例えば、p型)の領域である。高耐圧トランジスタ42の第1低濃度部52aにおける第2導電型の不純物の濃度のピーク値は、後述する逆導電型の標準トランジスタ132の低濃度部152cにおける第2導電型の不純物の濃度のピーク値より低くなっている。同様に、高耐圧トランジスタ42の第1低濃度部52aにおける第2導電型(例えば、p型)の不純物の濃度のピーク値は、標準トランジスタ32の第3低濃度部52cにおける第1導電型(例えば、n型)の不純物の濃度のピーク値より低くなっている。
これは、高耐圧トランジスタ42の耐圧を、標準トランジスタ32および逆導電型の標準トランジスタ132より高くするためである(「(5−2)接合リーク電流の抑制」参照)。
第3ゲート電極48cは、第3チャネル領域44cの上方に配置され平面視において第3低濃度部52cの端部を覆い又は第3低濃度部52cの端部に接する電極である。
標準トランジスタ32は好ましくは、第3低濃度部52cを第3高濃度部50cと共に囲う第2導電型(例えば、p型)のポケット領域56を有する。ポケット領域56は、第2導電型(例えば、p型)の不純物の濃度のピーク値が第3チャネル領域44cにおける第2導電型(例えば、p型)の不純物の濃度のピーク値より高い領域である。
標準トランジスタ32は更に、第3ゲート絶縁膜58cと、第3サイドウォール60cとを有している。第3ゲート絶縁膜58cは、第3チャンル領域44cと第3ゲート電極48cの間に配置された絶縁膜である。第3サイドウォール60cは、第3ゲート電極48cの側面に配置された絶縁膜である。
上述したように、SEM等により観測可能な常時オフトランジスタ26の構造と、SEM等により観測可能な標準トランジスタ32の構造は略同じである。従って、実施の形態の半導体装置2のリバースエンジニアンリングは困難である。
なお、第3高濃度部50c内の第1導電型(例えば、n型)の不純物は例えば、第2ソース/ドレイン領域46bにおける第1導電型(例えば、n型)の不純物の深さ方向の濃度分布と実質的に同じ濃度分布を有している。また第2ゲート絶縁膜58bの膜厚は例えば、第1ゲート絶縁膜58aの膜厚より薄く、第3ゲート絶縁膜58cの膜厚と実質的に同じである。
―逆導電型の高耐圧トランジスタ、逆導電型の常時オフトランジスタ、および逆導電型の標準トランジスタ―
図6に示すように、半導体装置2は更に、高耐圧トランジスタ42の導電型を逆転させた逆導電型の高耐圧トランジスタ142(例えば、nチャネルMOSトランジスタ)を有している。逆導電型の高耐圧トランジスタ142の構造は、各領域の導電型が逆であること以外は、高耐圧トランジスタ42の構造と略同じである。
図7は、高耐圧トランジスタ42と逆導電型の高耐圧トランジスタ142の関係を示す表1である。表1の第1列の2行目以降には、高耐圧トランジスタ42の各領域の名称と導電型が記載されている。表1の第2列の2行目以降には、逆導電型の高耐圧トランジスタ142の各領域の名称と導電型が記載されている。表1の同じ行に記載された領域は、互いに対応している。
半導体装置2は更に、常時オフトランジスタ26の導電型を逆転にした逆導電型の常時オフトランジスタ126(例えば、pチャネルMOSトランジスタ)を有している。逆導電型の常時オフトランジスタ126の構造は、各領域の導電型が逆であること以外は、常時オフトランジスタ26の構造と略同じである。
図8は、常時オフトランジスタ26と逆導電型の常時オフトランジスタ126の関係を示す表である。図8に示す表2の第1列の2行目以降には、常時オフトランジスタ26の各領域の名称と導電型が記載されている。表2の第2列の2行目以降には、逆導電型の常時オフトランジスタ126の各領域の名称と導電型が記載されている。表2の同じ行に記載された領域は、互いに対応している。
半導体装置2は更に、標準トランジスタ32の導電型を逆転にした逆導電型の標準トランジスタ132(例えば、pチャネルMOSトランジスタ)を有している。逆導電型の標準トランジスタ132の構造は、各領域の導電型が逆であること以外は、標準トランジスタ32の構造と略同じである。
図9は、標準トランジスタ32と逆導電型の標準トランジスタ132の関係を示す表である。図9に示す表3の第1列の2行目以降には、標準トランジスタ32の各領域の名称と導電型が記載されている。表3の第2列には、逆導電型の標準トランジスタ132の各領域の名称と導電型が記載されている。表3の同じ行に記載された領域は、互いに対応している。
(2)動作
高耐圧トランジスタ42は、pチャネルMOSトランジスタである。従って、第1ソース/ドレイン領域46a同士の間に電圧が印加された状態で、第1ソース/ドレイン領域46aの一方と第1ゲート電極48aの間に閾値以下の負電圧が印加されると、高耐圧トランジスタ42は導通する。
標準トランジスタ32は、nチャネルMOSトランジスタである。従って、第3ソース/ドレイン領域46c同士の間に電圧が印加された状態で、第3ソース/ドレイン領域46cの一方と第3ゲート電極48cの間に閾値以上の正電圧が印加されると、標準トランジスタ32は導通する。
図5に示すように、常時オフトランジスタ26の第2チャネル領域44bと第2ソース/ドレイン領域46bの間には、第2ゲート電極48bにより覆われていない逆導電型領域54が存在する。逆導電型領域54の導電型は、第2ソース/ドレイン領域46bとは逆である。
すなわち、逆導電型領域54の導電型は、第2チャンル領域44bと同じである。上述したように、逆導電型領域54は第2ゲート電極48bにより覆われていない。従って、第2ソース/ドレイン領域46bの一方と第2ゲート電極48bとの間に閾値以上の正電圧が印加されても、逆導電型領域54に反転層は形成されない。
従って、第2ソース/ドレイン領域46b同士の間に電圧を印加した状態で、常時オフトランジスタ26に、標準トランジスタ32に入力する信号と同じレベルの信号を入力しても、常時オフトランジスタ26は導通しない。すなわち、常時オフトランジスタ26の導通状態は、常時オフである。
(3)製造方法
図10〜図16は、図5及び図6に示す半導体装置2の製造方法を説明する図である。
(3−1)素子領域の形成およびチャネル注入(図10(a)参照)
まず図10(a)に示すように、半導体基板25(例えば、p型シリコン基板)に、第1半導体領域68aと、第2半導体領域68bと、第3半導体領域68cとを形成する。第1半導体領域68a〜第3半導体領域68cを形成する工程では更に、半導体領域168a,168b,168cを形成する。
第1半導体領域68aは、高耐圧トランジスタ42(第1トランジスタ)が形成される第1導電型(例えば、n型)の半導体領域(以下、高耐圧トランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。第2半導体領域68bは、常時オフトランジスタ26(第2トランジスタ)が形成される第2導電型(例えば、p型)の半導体領域(以下、常時オフトランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。第3半導体領域68cは、標準トランジスタ32(第3トランジスタ)が形成される第2導電型(例えば、p型)の半導体領域(以下、標準トランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。
半導体領域168aは、逆導電型の高耐圧トランジスタ142が形成される第2導電型(例えば、p型)の半導体領域(以下、逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。半導体領域168bは、逆導電型の常時オフトランジスタ126が形成される第1導電型(例えば、n型)の半導体領域(以下、逆導電型・常時オフトランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。半導体領域168cは、逆導電型の標準トランジスタ132が形成される第1導電型(例えば、n型)の半導体領域(以下、逆導電型・標準トランジスタ・形成領域と呼ぶ)である。
具体的には例えば、各半導体領域68a〜68c,168a〜168cを囲む素子分離溝を半導体基板25に形成する。その後、CVD(chemical vapor deposition)とCMP(Chemical Mechanical Polishing)により、素子分離溝に埋め込まれた絶縁膜66を形成する。その後、絶縁膜66で囲われた領域に、イオン注入と熱処理により、第1導電型(例えば、n型)のウエル62,164および第2導電型(例えば、p型)のウエル162,64を形成する。その後、各半導体領域68a〜68c,168a〜168cに閾値調整用の不純物をイオン注入(チャネル注入)する。
(3−2)ゲート酸化膜形成(図10(b)〜図11(b)参照)
次に各半導体領域68a〜68c,168a〜168cを覆うゲート酸化膜を形成する。
まず図10(b)に示すように、半導体基板25の表面を熱酸化して、酸化膜70を形成する。次に図11(a)に示すように、高耐圧トランジスタ・形成領域68aと逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域168aとを覆うフォトレジスト膜72aを形成する。このフォトレジスト膜72aをマスクとして、酸化膜70をエッチングする。
次に図11(b)に示すように再度、半導体基板25の表面を熱酸化する。この熱酸化によりゲート酸化膜74が形成される。2度の熱酸化により、高耐圧トランジスタ・形成領域68aおよび逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域168aを覆う部分でゲート酸化膜74は、他の部分より厚くなる。
ゲート酸化膜74は、ゲート絶縁膜58a〜58c,158a〜158c(図5及び図6参照)を含む酸化膜である。第2ゲート絶縁膜58bおよび第3ゲート絶縁膜58cの膜厚は実質上同じであり、第1ゲート絶縁膜58aの膜厚より薄い。同様に、ゲート絶縁膜158bおよびゲート絶縁膜158cの膜厚は実質上同じであり、ゲート絶縁膜158aの膜厚より薄い。
(3−3)ゲート電極の形成(図12(a)〜図12(b)参照)
次に図12(b)に示すように、高耐圧トランジスタ・形成領域68aの上方の第1ゲート電極48aを形成する。更に、常時オフトランジスタ・形成領域68bの上方の第2ゲート電極48bと、標準トランジスタ・形成領域68cの上方の第3ゲート電極48cとを形成する。
第1ゲート電極48a〜第3ゲート電極48cを形成する工程では更に、逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域168aの上方のゲート電極148aを形成する。この時更に、逆導電型・常時オフトランジスタ・形成領域168bの上方のゲート電極148bを形成する。更に、逆導電型・標準トランジスタ・形成領域168cの上方のゲート電極148cを形成する。
具体的には例えば、図12(a)に示すように、ゲート酸化膜74上に多結晶シリコン膜76を、例えばCVDにより堆積する。次に多結晶シリコン膜76上に、各ゲート電極48a〜48c,148a〜148cに対応するフォトレジスト膜72bを形成する。このフォトレジスト膜72bをマスクとして多結晶シリコン膜76をエッチングして、ゲート電極48a〜48c,148a〜148cを形成する。
更にゲート酸化膜74をエッチングして、ゲート絶縁膜58a〜58c,158a〜158c(図5及び図6参照)間の酸化膜を除去する。
(3−4)第1導電型不純物の低濃度イオン注入(図13(a)参照)
次に、第2導電型(例えば、p型)の逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域168aのうち平面視においてゲート電極148aの側面に接するゲート隣接領域178aに第1導電型(例えば、n型)の不純物180aをイオン注入する。不純物180aは、逆導電型・高耐圧トランジスタ142のソース/ドレイン領域146aの低濃度部152aのための不純物である。
この時、第1導電型(例えば、n型)の逆導電型・常時オフトランジスタ・形成領域168bのうち平面視においてゲート電極148bに接するゲート隣接領域178bに、第1導電型(例えば、n型)の不純物180aを同時に注入する。
具体的には例えば、図13(a)に示すように、逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域168aおよび逆導電型・常時オフトランジスタ・形成領域168b以外の半導体領域68a〜68c,168cを覆うフォトレジスト膜72cを形成する。このフォトレジスト膜72cをマスクとして、P+イオンを半導体基板25にイオン注入する。
(3−5)第2導電型不純物の低濃度イオン注入(図13(b)参照)
次に、第1導電型(例えば、n型)の高耐圧トランジスタ・形成領域68aのうち平面視において第1ゲート電極48aの側面に接する第1ゲート隣接領域78aに第2導電型(例えば、p型)の第1不純物80aをイオン注入する。第1不純物80aは、高耐圧トランジスタ42の第1ソース/ドレイン領域46aの低濃度部52aのための不純物である。
この時、第2導電型(例えば、p型)の常時オフトランジスタ・形成領域68bのうち平面視において第2ゲート電極48bに接する第2ゲート隣接領域78bに第2導電型(例えば、p型)の第1不純物80aを同時に注入する。
具体的には例えば、図13(b)に示すように、高耐圧トランジスタ・形成領域68aおよび常時オフトランジスタ・形成領域68b以外の半導体領域68c,168a〜168cを覆うフォトレジスト膜72dを形成する。このフォトレジスト膜72dをマスクとして、BF+イオンを半導体基板25にイオン注入する。
(3−6)標準トランジスタ・形成領域への低濃度イオン注入(図14(a)参照)
次に、第2導電型(例えば、p型)の標準トランジスタ・形成領域68cのうち第3ゲート電極48cに接する第3ゲート隣接領域78cに、第1導電型(例えば、n型)の第4不純物80dをイオン注入する。第4不純物80dは、第3低濃度領域52c(例えば、エクステンション領域)のための不純物である。
更に第3ゲート隣接領域78cに、ポケット領域のための第2導電型(例えば、p型)の第5不純物80eを、第4不純物80dより深くイオン注入する。
具体的には例えば、図14(a)に示すように、標準トランジスタ・形成領域68c以外の半導体領域68a,68b,168a〜168cを覆うフォトレジスト膜72eを形成する。このフォトレジスト膜72eをマスクとして、As+イオンを半導体基板25にイオン注入する。
更にフォトレジスト膜72eをマスクとして、Bイオンを半導体基板25にイオン注入する。この時、Bイオンの投影飛程がAs+イオンの投影飛程より深くなるようにイオン注入する。
(3−7)逆導電型・標準トランジスタ・形成領域への低濃度イオン注入(図14(b)参照)
次に、第1導電型(例えば、n型)の逆導電型・標準トランジスタ・形成領域168cのうちゲート電極148cに接するゲート隣接領域178cに、第2導電型(例えば、p型)の不純物180dをイオン注入する。不純物180dは、低濃度領域152c(例えば、エクステンション領域)のための不純物である。
更にゲート隣接領域178cに、ポケット領域のための第1導電型(例えば、n型)の不純物180eを、第2導電型(例えば、p型)の不純物180dより深くイオン注入する。
具体的には例えば、図14(b)に示すように、逆導電型・標準トランジスタ・形成領域168c以外の半導体領域68a〜68c,168a,168bを覆うフォトレジスト膜72fを形成する。このフォトレジスト膜72fをマスクとして、BFイオンを半導体基板25にイオン注入する。更にフォトレジスト膜72fをマスクとして、Pイオンを半導体基板25にイオン注入する。この時、Pイオンの投影飛程がBF+イオンの投影飛程より深くなるようにイオン注入する。
(3−8)サイドウォールの形成(図15(a)参照)
次に、各ゲート電極48a〜48c,148a〜148cの側面に、サイドウォール82を形成する。
具体的には例えば、フォトレジスト膜72fを除去した後、半導体基板25の表面に絶縁膜(例えば、シリコン酸化膜)を堆積する。この絶縁膜をエッチングバックして、サイドウォール82を形成する。
(3−9)第1導電型不純物の高濃度イオン注入(図15(b)参照)
次に、第2ゲート隣接領域78b(図13(b)参照)のうち平面視において第2ゲート電極48bから離隔した第2ゲート側方領域84b(図15(b)参照)に、第1導電型(例えば、n型)の第3不純物80cをイオン注入する。
この時更に、第3ゲート隣接領域78c(図14(a)参照)のうち平面視において第3ゲート電極48cから離隔した第3ゲート側方領域84c(図15(b)参照)に第3不純物80cを同時にイオン注入する。
この時更に、ゲート隣接領域178a(図13(a)参照)のうち平面視においてゲート電極148aから離隔した逆導電型のゲート側方領域184a(図15(b)参照)に、第3不純物80cを同時にイオン注入する。
第3不純物80cは、常時オフトランジスタ26(図5参照)の第2ソース/ドレイン領域46bのための不純物である。第3不純物80cは更に、標準トランジスタ32(図5参照)の第3高濃度部50c、及び逆導電型・高耐圧トランジスタ142(図6参照)の高濃度部150aのための不純物である。
具体的には例えば、図15(b)に示すように、ゲート電極48b,48c,148aおよびサイドウォール82をマスクとして、半導体基板25に例えばPをイオン注入する。
(3−10)第2導電型不純物の高濃度イオン注入(図16(a)参照)
次に、第1ゲート隣接領域78a(図13(b)参照)のうち平面視において第1ゲート電極48aから離隔した第1ゲート側方領域84a(図16(a)参照)に、第2導電型(例えば、p型)の第2不純物80bをイオン注入する。
この時更に、ゲート隣接領域178b(図13(a)参照)のうち平面視においてゲート電極148bから離隔したゲート側方領域184b(図16(a)参照)に、第2不純物80bをイオン注入する。
この時更に、ゲート隣接領域178c(図14(b)参照)のうち平面視においてゲート電極148cから離隔したゲート側方領域184c(図16(a)参照)に第2不純物80bを同時にイオン注入する。
第2不純物80bは、高耐圧トランジスタ42の高濃度部50a(図5参照)のための不純物である。第2不純物80bは更に、逆導電型・常時オフトランジスタ126のソース/ドレイン領域146b(図6参照)、および逆導電型・標準トランジスタ132の高濃度部150c(図6参照)のための不純物である。
具体的には例えば、図16(a)に示すように、ゲート電極48a,148b,148cおよびサイドウォール82をマスクとして、半導体基板25に例えばBとFとをイオン注入する。
(3−11)熱処理(図16(b)参照)
その後、半導体基板25を熱処理して、注入された不純物を活性化する。これにより、第1導電型(例えば、n型)の高耐圧トランジスタ・形成領域68a(図16(b)参照)に、第2導電型(例えば、p型)の第1ソース/ドレイン領域46a(図5参照)を形成する。
第1高濃度部50aは、第2導電型(例えば、p型)の第1不純物80aおよび第2導電型(例えば、p型)の第2不純物80bを含む第2導電型(例えば、p型)の領域である。第1低濃度部52a(図5参照)は、第2導電型(例えば、p型)の第1不純物80aを含む第2導電型(例えば、p型)の領域である。
上記熱処理により更に、第2導電型(例えば、p型)の常時オフトランジスタ・形成領域68b(図16(b)参照)に、第1不純物80a及び第3不純物80cを含む第1導電型の第2ソース/ドレイン領域46b(図5参照)を形成する。
上記熱処理により更に、第2導電型(例えば、p型)の常時オフトランジスタ・形成領域68b(図16(b)参照)に、第1不純物80aを含み第2ソース/ドレイン領域46b(図5参照)とは逆導電型の逆導電型領域54を形成する。
上記熱処理により更に、第2導電型(例えば、p型)の標準トランジスタ・形成領域68c(図16(b)参照)に、第1導電型(例えば、n型)の第3ソース/ドレイン領域46c(図5参照)を形成する。
第3ソース/ドレイン領域46cの第3高濃度部50c(図5参照)は、第3不純物80cおよびの第4不純物80dを含む第1導電型(例えば、n型)の領域である。第3ソース/ドレイン領域46cの第3低濃度部52c(図5参照)は、第4不純物80dを含む第1導電型(例えば、n型)の領域である。
上記熱処理により更に、標準トランジスタ・形成領域68c(図16(b)参照)に、不純物80eを含むポケット領域56を形成する。
上記熱処理により更に、逆導電型の高耐圧トランジスタ142(図6参照)のソース/ドレイン146aを形成する。
上記熱処理により更に、逆導電型の常時オフトランジスタ126(図6参照)の逆導電型領域154およびソース/ドレイン146bを形成する。
上記熱処理により更に、逆導電型の標準トランジスタ132(図6参照)のソース/ドレイン146cおよびポケット領域156を形成する。
上記熱処理は、不純物80a〜80c,180a〜180cが活性化するように、少なくとも1回に行われる。
具体的には例えば、不純物80a〜80e,180a,180d〜180cのイオン注入後に、半導体基板25をRTA(rapid thermal annealing)により熱処理する。この熱処理の前に、更に熱処理を行ってもよい。例えば、第1不純物80a(図13(b)参照)のイオン注入と第4不純物80dの間に、半導体基板25を電気炉により熱処理してもよい。この熱処理により、第1不純物80a(例えば、B)が拡散されて、高耐圧トランジスタ42(図5参照)の第1ソース/ドレイン領域46aの低濃度部52aを深くすることができる。
(3−12)後処理
その後、各ソース/ドレイン領域46a〜46c,146a〜146cにコンタクト電極を形成する。更に、層間絶縁膜とビアと配線の形成を繰り返して半導体装置2を完成する。
(4)プロセス工程数の抑制
図17は、チャネル領域244の不純物濃度を高くすることで常時オフを実現した常時オフトランジスタ226(以下、チャネル注入型・常時オフトランジスタと呼ぶ)の断面図の一例である。図17のチャネル注入型・常時オフトランジスタ226は、nチャネルMOSトランジスタである。図17には、各半導体領域の導電型が示されている。
図17のチャネル注入型・常時オフトランジスタ226を、図5の常時オフトランジスタ26の代わりに半導体装置2に設けることで、リバースエンジニアリングを妨げることができる。
図17のチャネル注入型・常時オフトランジスタ226は、図5の標準トランジスタ32と略同じ構造を有している。チャネル注入型・常時オフトランジスタ226と標準トランジスタ32の構造上の差異は、チャネル注入型・常時オフトランジスタ226のチャネル領域244の不純物濃度が標準トランジスタ32のチャネル領域44cの不純物濃度より高いことである。この高い不純物濃度により、チャネル注入型・常時オフトランジスタ226の閾値が高くなり、常時オフ状態が実現される。
チャネル注入型・常時オフトランジスタ226は、標準トランジスタ32と略同じ手順により形成することができる。但し、チャネル注入(「(3−1)素子領域の形成およびチャネル注入」)におけるドーズ量が異なる。このため、チャネル注入型・常時オフトランジスタ226のチャネル注入と標準トランジスタ32のチャンル注入を共通化することは困難である。
従って、チャネル注入型・常時オフトランジスタ226を有する半導体装置を形成する場合、チャネル注入型・常時オフトランジスタ226のチャネル注入のためだけのプロセス工程が設けられる。すなわち、プロセス工程が増加する。
一方、実施の形態の常時オフトランジスタ26は、高耐圧トランジスタ42と標準トランジスタ32の製造工程を組み合わせることで形成される。従って、実施の形態によれば、常時オフトランジスタ26を含む半導体装置2を、プロセス工程数を増加させずに形成することができる。
ここでは、常時オフトランジスタ26(図5参照)によるプロセス工数の増加抑制について説明した。しかし、逆導電型の常時オフトランジスタ126(図6参照)も同様に、プロセス工数の増加を抑制する。
次に、図17のチャネル注入型・常時オフトランジスタ226の構造を簡単に説明する。チャネル注入型・常時オフトランジスタ226の構造は、標準トランジスタ32(図5参照)と略同じ構造を有している。
チャネル注入型・常時オフトランジスタ226は、チャネル部244と、一組のソース/ドレイン領域246と、ゲート電極248とを有している。チャネル部244およびソース/ドレイン領域246は、ウエル262に設けられている。
ソース/ドレイン領域246は、高濃度部250と低濃度部252(例えば、エクステンション領域)とを有する領域である。高濃度部250および低濃度部252の構造は、標準トランジスタ32の第3高濃度部50cおよび第3低濃度部52cの構造と略同じである。
チャネル注入型・常時オフトランジスタ226は更に、ポケット領域256とゲート絶縁膜258とサイドウォール260とを有している。
チャネル注入型・常時オフトランジスタ226に含まれる部分はそれぞれ、チャネル部244を除き、標準トランジスタ32の対応する部分と同じ構造(不純物の種類および深さ方向の濃度分布も含む)を有している。
(5)接合リーク電流の抑制
実施の形態では、常時オフトランジスタ26(図5参照)の逆導電型領域54を、高耐圧トランジスタ42(図5参照)のソース/ドレイン領域46aの低濃度部52a(以下、LDD部と呼ぶ)と同時に形成している。しかし常時オフトランジスタ26(図5参照)の逆導電型領域54を、逆導電型の標準トランジスタ132(図6参照)のソース/ドレイン領域146cの低濃度部152cと同時に形成することも考えられる。
同様に、逆導電型の常時オフトランジスタ126(図6参照)の逆導電型領域154を、標準トランジスタ32(図5参照)のソース/ドレイン領域46cの低濃度部52cと同時に形成することも考えられる。
(5−1)接合リーク電流
図18は、標準トランジスタ32(図5参照)の低濃度部52c(エクステンション領域)と同時に、逆導電型領域354a,354b(以下、逆導電型・エクステンション領域と呼ぶ)が形成された常時オフトランジスタ326の断面図の一例である。図18の常時オフトランジスタ326は、pチャネルMOSトランジスタである。
標準トランジスタ32(図5参照)の低濃度部52c(エクステンション領域)は、ポケット領域56と一緒に形成される(図14(a)参照)。従って、図18の常時オフトランジスタ326も、ポケット領域356を有している。ポケット領域356の導電型は、ウエル362の導電型の逆である。従って、常時オフトランジスタ326は、逆導電型のHALO構造を有している。
図18に示す常時オフトランジスタ326(以下、逆HALO型・オフトランジスタと呼ぶ)の各領域は、後述するTCAD(technology computer aided design)により算出されたものである。図18に示すように、ソース/ドレイン領域346S,346Dは、ポケット領域356(以下、逆導電型・ポケット領域356と呼ぶ)より深くなっている。しかしソース/ドレイン領域346S,346Dは、逆導電型・ポケット領域356より浅くてもよい。ウエル362は、n型の半導体領域である。
逆導電型・エクステンション領域354a,354bの導電型は、ソース/ドレイン領域346S,346Dおよび逆導電型・ポケット領域356の導電型とは逆である。一方、逆導電型・エクステンション領域354a,354bの導電型は、チャネル領域344およびウエル362の導電型と同じである。
今、左側のソース/ドレイン領域346Sおよびウエル362に0Vが印加され、右側のソース/ドレイン領域346Dに負電圧が印加された状態を考える。この状態では、右側の逆導電型領域354bと右側のソース/ドレイン領域346Dの界面(pn接合)が逆バイアスされる。
逆HALO型・トランジスタ326には、この界面(pn接合)に生じる逆方向電流(所謂、接合リーク電流と呼ぶ)が流れる。この電流中のキャリア(例えば、正孔)は、例えばチャネル領域344とウエル362を経由して電源のグランド部に流入し、逆HALO型・トランジスタ326のリーク電流になる。
標準トランジスタ32(図5参照)の低濃度部52c(例えば、エクステンション領域)における不純物濃度のピーク値は、例えば2.5×1019〜4×1020cm−3である。逆導電型領域354bはこの低濃度部52cと同時に形成されるので、逆導電型領域354bの不純物濃度のピーク値も、2.5×1019〜4×1020cm−3という高濃度になる。このため、逆導電型領域354bとソース/ドレイン領域346Dの界面(pn接合)には、トンネル電流が流れる。
不純物濃度が1×1019cm-3を超えると、pn接合の逆方向電流には、トンネル電流が含まれるようになる。トンネル電流は、不純物濃度の増加と共に急激に増加し、逆方向電流の他の成分(再結合電流や拡散電流)より大きくなる。このため、逆HALO型・トランジスタ326には、大きなリーク電流が流れる。
図19は、図18の逆HALO型・トランジスタ326のリーク電流402を示す図である。図19には、標準トランジスタ132のドレイン電流404も示されている。
横軸は、ゲート電極248に印加される電圧である。縦軸は、ドレイン電流である。なおリーク電流402は、逆HALO型・トランジスタ326のドレイン電流である。
リーク電流402およびドレイン電流404は、TCADにより算出した。TCADのシミュレーションの条件は後述する(「(5−3)TCADシミュレーション条件」参照)。
図19に示すように、逆HALO型・トランジスタ326のリーク電流402は標準トランジスタ132がオフ状態の時(ゲート電圧が0Vの時)の電流より約2桁大きい。このような大きなリーク電流は、半導体装置の消費電力を増大させる。
(5−2)接合リーク電流の抑制
図20は、実施の形態の常時オフトランジスタ126(図6参照)のリーク電流406を示す図である。図20には、図18の逆HALO型・トランジスタ326の接合リーク電流402と標準トランジスタ132のドレイン電流404も示されている。横軸は、ゲート電極 248に印加される電圧である。縦軸は、ドレイン電流である。
図20に示すように、実施の形態の常時オフトランジスタ126のリーク電流404は、図18の逆HALO型・トランジスタ326の接合リーク電流402より約2桁小さい。接合リーク電流402は、標準トランジスタ132のリーク電流(ゲート電圧が0Vの場合のドレイン電流404)と略同じである。
ところで、実施の形態の常時オフトランジスタ126(図6参照)の逆導電型領域154は、高耐圧トランジスタ142のLDD部152a(低濃度部)と同時に形成され、同じ不純物濃度を有している。高耐圧トランジスタ142がオフ状態の時、LDD部152aとチャネル領域144aの間の界面(pn接合)には、電源電圧が生成する電圧が略そのまま印加される。
高耐圧トランジスタ142の電源は、大きな電圧を生成する高圧電源である。このため、LDD部152aの不純物濃度が高いと、LDD部152aとチャネル領域144aの界面(pn接合)に大きな電界が生じる。このためアバランシェ・ブレイクダウンが起きやすくなり、高耐圧トランジスタ142の耐圧が低くなる。
そこで、高耐圧トランジスタ142のLDD部152aの不純物濃度を低くすることで、LDD部152aとチャネル領域144aの界面(pn接合)に発生する電界が低減されている。このため、LDD部152aと同時に形成される、常時オフトランジスタ126(図6参照)の逆導電型領域154の不純物濃度も低くなる(従って、不純物濃度のピーク値も低くなる)。
その結果、常時オフトランジスタ126(図6参照)の逆導電型領域154とソース/ドレイン領域146bの界面を流れるトンネル電流が減少する。これにより、実施の形態の常時オフトランジスタ126のリーク電流406は、図20に示すように、小さくなる。
常時オフトランジスタ126は、pチャネルMOSトランジスタである。しかし、nチャネルMOSトランジスタである常時オフトランジスタ26のリーク電流も、同様に抑制される。
(5−3)TCADシミュレーション条件
図19および図20のTCADのシミュレーションの条件は以下の通りである。
ゲート長は、0.18μmである。ゲート酸化膜厚は3.2nmである。ドレインの電位は、−1.8Vである。ウエルおよびソースの電位は、0Vである。半導体基板は、p型シリコン基板である。
―逆HALO型・トランジスタ326のシミュレーション条件―
図18の逆HALO型・トランジスタ326の各領域における不純物およびイオン注入条件は、逆導電型・エクステンション領域354a,354b以外は、以下に示す標準トランジスタ132(図6参照)のものと同じである。逆導電型・エクステンション領域354a,354bの不純物およびイオン注入条件は、以下に示す標準トランジスタ32(図5参照)のものと同じである。
―標準トランジスタ132のシミュレーション条件―
標準トランジスタ132(図6参照)の低濃度部152c(エクステンション領域)の不純物およびイオン注入条件は、BF(不純物)、5kV(注入電圧)、3×1014cm−2(ドーズ量)、および傾斜角0°である。
標準トランジスタ132(図6参照)の高濃度部150cには2種類の不純物がイオン注入される。イオン注入条件は、B(不純物)、5kV(注入電圧)、4×1015cm−2(ドーズ量)、0°と、F(不純物)、8kV(注入電圧)、4×1014cm−2(ドーズ量)、0°(傾斜角)である。標準トランジスタ132のポケット領域156(図6参照)の不純物およびイオン注入条件は、P(不純物)、20kV(注入電圧)、8×1013cm−2(ドーズ量)、および0°(傾斜角)である。
―標準トランジスタ32のシミュレーション条件―
標準トランジスタ32(図5参照)の低濃度部52c(エクステンション領域)の不純物およびイオン注入条件は、As(不純物)、15kV(注入電圧)、5×1014cm−2(ドーズ量)、および0°(傾斜角)である。標準トランジスタ32のポケット領域56の不純物およびイオン注入条件は、B(不純物)、20kV(注入電圧)、2.5×1012cm−2(ドーズ量)、および28°(傾斜角)である。
―常時オフトランジスタ126のシミュレーション条件―
常時オフトランジスタ126の各領域における不純物およびイオン注入条件は、逆導電型領域154以外は、上述した標準トランジスタ132(図6参照)のものと同じである。ただし、常時オフトランジスタ126にはポケット領域は設けられない。逆導電型領域154における不純物およびイオン注入条件は、以下の高耐圧トランジスタ142のLDD部152aにおけるものと同じである。
―高耐圧トランジスタ142のシミュレーション条件―
高耐圧トランジスタ142のLDD部152aの不純物およびイオン注入条件は、P(不純物)、30kV(注入電圧)、7×1013cm−2(ドーズ量)、0°(傾斜角)である。
―素子パラメータ―
ここで、半導体装置2の素子パラメータの一例を示す。
標準トランジスタ32の低濃度部52c(例えば、エクステンション領域)における不純物濃度のピーク値は、例えば2.5×1019〜4×1020cm−3(又は、5×1019〜2×1020cm−3)である。標準トランジスタ32のパケット56における不純物濃度のピーク値は、例えば7.5×1018〜1.2×1020cm−3(又は、1.5×1019〜6×1019cm−3)である。
高耐圧トランジスタ142の低濃度部152a(LDD部)における不純物濃度のピーク値は、例えば1.5×1018〜2.4×1019cm−3(又は、3×1018〜1.2×1019cm−3)である。
従って、常時オフトランジスタ126の逆導電型領域154における不純物濃度のピーク値は、例えば1.5×1018〜2.4×1019cm−3(又は、3×1018〜1.2×1019cm−3)である。
標準トランジスタ132の低濃度部152c(例えば、エクステンション領域)における不純物濃度のピーク値は、例えば7.5×1018〜1.2×1020cm−3(又は、1.5×1019〜6×1019cm−3)である。標準トランジスタ132のポケット領域156における不純物濃度のピーク値は、例えば5×1018〜8×1019cm−3(又は、1×1019〜4×1019cm−3)である。標準トランジスタ132のチャネル部における不純物濃度のピーク値は、例えば5×1017〜8×1018cm−3(又は、1×1018〜8×1018cm−3)である。
標準トランジスタ32,132のソース/ドレインの高濃度部50c,150cおよび高耐圧トランジスタ142の高濃度部150aの不純物濃度のピーク値は1×1020〜1×1021cm−3(又は、2×1020〜5×1020cm−3)である。
常時オフトランジスタ126のソース/ドレイン146bにおける不純物濃度のピーク値は1×1020〜1×1021cm−3(又は、2×1020〜5×1020cm−3)である。
(6)ポケット領域経由のドレイン電流
逆導電型・ポケット領域356(図18参照)の導電型は、ソース/ドレイン領域346S,346D(図18参照)のものと同じである。
逆導電型・ポケット領域356の不純物は、例えば斜めイオン注入により、チャネル領域344の両端にも導入される。従って、逆導電型・ポケット領域356の不純物濃度を高くして行くとやがて、チャネル領域344の導電型が両端で逆転する。すると、逆導電型・エクステンション領域354a,354bは、逆導電型・ポケット領域356により囲まれる。
図21は、逆導電型・エクステンション領域354a,354bが逆導電型・ポケット領域356a,356bにより囲まれた逆HALO型・トランジスタ426の断面を示す図である。
今、チャネル領域344が反転層した状態で、左側のソース/ドレイン領域346Sとウエル362に0Vが印加され、右側のソース/ドレイン領域346Dに負電圧が印加された場合を考える。
図21に示すように、ソース/ドレイン領域346S,346Dは、同じ導電型の逆導電型・ポケット領域356a,356bを介してチャネル領域344に接続されている。このため、チャネル領域344に反転層が形成されると、ソース/ドレイン領域346S→逆導電型・ポケット領域356a→チャネル領域344→逆導電型・ポケット領域356b→ソース/ドレイン領域346Dという経路で電流が流れる。すなわち、逆HALO型・トランジスタ426は導通し、常時オフにはならない。
一方、実施の形態の常時オフトランジスタ26,126は、図5及び図6に示すようにポケット領域を有さない。このため、実施の形態の常時オフトランジスタ26,126が導通することはない。
以上のように、実施の形態では、常時オフトランジスタ26,126(図5及び図6参照)の逆導電型領域54,154を高耐圧トランジスタ42,142のLDD部52a,152aと同時に形成する。このため、プロセス工数を増加させずに、常時オフトランジスタを形成することができる。
更に、逆導電型領域54,154とLDD部52a,152aを同時に形成するので、逆導電型領域54,154とLDD部52a,152aの不純物の深さ方向の濃度分布が同じになる。高耐圧トランジスタ42,142のLDD部52a,152aの不純物濃度は低くなっている。この低い不純物濃度により、常時オフトランジスタ26,126の接合リーク電流は小さくなる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、実施の形態は、例示であって制限的なものではない。
例えば、実施の形態の半導体装置2は常時オフトランジスタ26と逆導電型・常時オフトランジスタ126とを有している。しかし半導体装置2は、常時オフトランジスタ26および逆導電型・常時オフトランジスタ126の何れか一方だけを有していてもよい。
また、実施の形態の半導体装置2は、リバースエンジニアリングを困難にするセキュアデバイスである。しかし、半導体装置2は、常時オフトランジスタを有する他の半導体装置であってもよい。半導体装置2は例えば、マスクROM(read only memory)であってもよい。
また、実施の形態の製造方法では、常時オフトランジスタの逆導電型領域は、高耐圧回路10(図1参照)又は入出力回路8(図1参照)に配置された高耐圧トランジスタのLDD部と一緒に形成される。しかし常時オフトランジスは、高耐圧回路10に含まれる高耐圧トランジスタおよび入出力回路8に含まれる高耐圧トランジスタ両方のLDD部と一緒に形成されてもよい。
以上の実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1)
高圧電源に接続される第1トランジスタが形成される第1導電型の第1半導体領域と、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続される常時オフの第2トランジスタが形成され前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有する第2半導体領域とを半導体基板に形成する工程と、
前記第1半導体領域の上方の第1ゲート電極と、前記第2半導体領域の上方の第2ゲート電極とを形成す工程と、
前記第1導電型の前記第1半導体領域のうち平面視において前記第1ゲート電極の側面に接する第1ゲート隣接領域に前記第2導電型の第1不純物をイオン注入しつつ、前記第2導電型の前記第2半導体領域のうち平面視において前記第2ゲート電極に接する第2ゲート隣接領域に前記第2導電型の前記第1不純物を注入する工程と、
前記第1ゲート隣接領域のうち平面視において前記第1ゲート電極から離隔した第1ゲート側方領域に、前記第2導電型の第2不純物をイオン注入する工程と、
前記第2ゲート隣接領域のうち平面視において前記第2ゲート電極から離隔した第2ゲート側方領域に、前記第1導電型の第3不純物をイオン注入する工程とを、有する
半導体装置の製造方法。
(付記2)
前記第1乃至第3不純物が活性化するように、前記半導体基板を少なくとも1回熱処理して、
前記第1導電型の前記第1半導体領域に、前記第1不純物および前記第2不純物を含む前記第2導電型の第1高濃度部と前記第1不純物を含む前記第2導電型の第1低濃度部とを有する第1ソース/ドレイン領域を形成し、
前記第2導電型の前記第2半導体領域に、前記第1不純物および前記第3不純物を含む前記第1導電型の第2ソース/ドレイン領域と、前記第1不純物を含み前記第2ソース/ドレイン領域とは逆導電型の逆導電型領域とを形成する工程を、更に有することを
特徴する付記1に記載の半導体装置の製造方法。
(付記3)
前記第1ゲート電極の形成前に前記第1半導体領域上に第1ゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記第2ゲート電極の形成前に前記第2半導体領域上に、前記第1ゲート絶縁膜の膜厚より薄い膜厚を有する第2ゲート絶縁膜を形成する工程を、更に有することを特徴する付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
(付記4)
前記低圧電源に接続され前記第1トランジスタおよび前記第2トランジスタとは異なる第3トランジスタが形成される前記第2導電型の第3半導体領域を、前記半導体基板に形成す工程と、
前記第3半導体領域の上方の第3ゲート電極を形成する工程と、
前記第2導電型の前記第3半導体領域のうち前記第3ゲート電極に接する第3ゲート隣接領域に、前記第1導電型の第4不純物をイオン注入する工程とを更に有し、
前記第2ゲート側方領域に前記第3不純物をイオン注入する工程では更に、前記第3ゲート隣接領域のうち平面視において前記第3ゲート電極から離隔した第3ゲート側方領域に前記第3不純物をイオン注入することを
特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記5)
前記第3ゲート電極の形成前に前記第3半導体領域上に、前記第2ゲート絶縁膜の膜厚と同じ膜厚を有する第3ゲート絶縁膜を形成する工程を、更に有することを特徴する付記4に記載の半導体装置の製造方法。
(付記6)
前記第3ゲート側方領域への前記第3不純物のイオン注入は、前記第2ゲート側方領域への前記第3不純物のイオン注入と同時に行うことを特徴とする付記4又は5に記載の半導体装置の製造方法。
(付記7)
前記第3ゲート隣接領域への前記第4不純物のイオン注入は、前記第3ゲート隣接領域における前記第4不純物の濃度のピーク値が、前記第1ゲート隣接領域における前記第1不純物の濃度のピーク値より高くなるように行うことを特徴とする付記4乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記8)
前記半導体基板を少なくとも1回熱処理する工程では、前記第4不純物が活性化するように前記半導体基板を熱処理して、前記第3不純物および前記第4不純物を含む前記第1導電型の第3高濃度部と前記第4不純物を含む前記第1導電型の第3低濃度部とを有する第3ソース/ドレイン領域を更に形成することを
特徴とする付記4乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記9)
前記第2導電型の前記第3半導体領域のうち前記第3ゲート隣接領域に、前記第2導電型の第5不純物をイオン注入する工程を更に有することを
特徴とする付記4乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(付記10)
前記半導体基板を少なくとも1回熱処理する工程では、前記第5不純物が活性化するように前記半導体基板を熱処理して、前記第2導電型の第3半導体領域に、前記第3低濃度部を前記第3高濃度部と共に囲むポケット領域を形成することを
特徴とする付記9に記載の半導体装置の製造方法。
(付記11)
半導体基板と、
前記半導体基板に配置された第1導電型の第1チャネル領域と、前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有し前記第1チャネル領域から離隔した第1高濃度部および前記第1チャネル領域と前記第1高濃度部との間に配置された前記第2導電型の第1低濃度部を有する第1ソース/ドレイン領域と、前記第1チャネル領域の上方に配置され平面視において前記第1低濃度部の端部を覆い又は前記第1低濃度部に接する第1ゲート電極とを備え、高圧電源に接続された第1トランジスタと、
前記半導体基板に配置された前記第2導電型の第2チャネル領域と、前記第2チャネル領域から離隔した前記第1導電型の第2ソース/ドレイン領域と、前記第2チャネル領域と前記第2ソース/ドレイン領域の間に配置され前記第2ソース/ドレイン領域とは逆導電型の逆導電型領域と、前記第2チャネル領域の上方に配置され平面視において前記逆導電型領域の端部を覆い又は前記逆導電型領域に接する第2ゲート電極とを有し、前記逆導電型領域内の前記第2導電型の第1不純物は前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第1不純物の深さ方向の濃度分布と同じ濃度分布を有し、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続された常時オフの第2トランジスタとを、備えた
半導体装置。
(付記12)
前記半導体基板に配置された前記第2導電型の第3チャネル領域と、前記第3チャネル領域から離隔した前記第1導電型の第3高濃度部および前記第3チャネル領域と前記第3高濃度部との間に配置された前記第1導電型の第3低濃度部を有する第3ソース/ドレイン領域と、前記第3チャネル領域の上方に配置され平面視において前記第3低濃度部の端部を覆い又は前記第3低濃度部に接する第3ゲート電極とを有し、前記低圧電源に接続された第3トランジスタを、
更に有することを特徴とする付記11に記載の半導体装置。
(付記13)
前記第3トランジスタは、前記第3低濃度部を前記第3高濃度部と共に囲い前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値が前記第3チャンル領域における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値より高い前記第2導電型のポケット領域を更に有することを、
特徴とする付記12に記載の半導体装置。
(付記14)
前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第3トランジスタの前記第3低濃度部における前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値より低いことを
特徴とする付記12又は13に記載の半導体装置。
(付記15)
前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第1トランジスタの前記第1高濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値より低く、
前記第3トランジスタの前記第3低濃度部おける前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第3トランジスタの前記第3高濃度部における前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値より低く、
前記第1チャンル領域と前記第1ゲート電極の間に配置された第1ゲート絶縁膜と、前記第2チャンル領域と前記第2ゲート電極の間に配置された第2ゲート絶縁膜と、前記第3チャンル領域と前記第3ゲート電極の間に配置された第3ゲート絶縁膜とを更に有し、前記第2ゲート絶縁膜の膜厚は前記第1ゲート絶縁膜の膜厚より薄く、前記第3ゲート絶縁膜の膜厚と同じであることを
特徴とする付記12乃至14のいずれか1項に記載の半導体装置。
(付記16)
前記第3高濃度部内の前記第1導電型の不純物は、前記第2ソース/ドレイン領域における前記第1導電型の不純物の深さ方向の濃度分布と同じ濃度分布を有することを
特徴とする付記12乃至15のいずれか1項に記載の半導体装置。
(付記17)
半導体基板と、
前記半導体基板に配置された第1導電型の第1チャネル領域と、前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有し前記第1チャネル領域から離隔した第1高濃度部および前記第1チャネル領域と前記第1高濃度部との間に配置された前記第2導電型の第1低濃度部を有する第1ソース/ドレイン領域と、前記第1チャネル領域の上方に配置され平面視において前記第1低濃度部の端部を覆い又は前記第1低濃度部に接する第1ゲート電極とを備え、高圧電源に接続された第1トランジスタと、
前記半導体基板に配置された前記第2導電型の第2チャネル領域と、前記第2チャネル領域から離隔した前記第1導電型の第2ソース/ドレイン領域と、前記第2チャネル領域と前記第2ソース/ドレイン領域の間に配置され前記第2ソース/ドレイン領域とは逆導電型の逆導電型領域と、前記第2チャネル領域の上方に配置され平面視において前記逆導電型領域の端部を覆い又は前記逆導電型領域に接する第2ゲート電極とを有し、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続された常時オフの第2トランジスタとを、備えた
半導体装置。
2・・・半導体装置
4・・・高圧電源
6・・・低圧電源
26・・・常時オフトランジスタ(第2トランジスタ)
32・・・標準トランジスタ(第3トランジスタ)
42・・・高耐圧トランジスタ(第1トランジスタ)
44a・・・第1チャネル領域
44b・・・第2チャネル領域
44c・・・第3チャネル領域
46a・・・第1ソース/ドレイン領域
46b・・・第2ソース/ドレイン領域
46c・・・第3ソース/ドレイン領域
48a・・・第1ゲート電極
48b・・・第2ゲート電極
48c・・・第3ゲート電極
50a・・・第1高濃度部
50b・・・第2高濃度部
50c・・・第3高濃度部
52a・・・第1低濃度部
52b・・・第2低濃度部
52c・・・第3低濃度部
58a・・・第1ゲート絶縁膜
58b・・・第2ゲート絶縁膜
58c・・・第3ゲート絶縁膜
68a・・・高耐圧トランジスタ・形成領域(第1半導体領域)
68b・・・常時オフトランジスタ・形成領域(第2半導体領域)
68c・・・標準トランジスタ・形成領域(第3半導体領域)
126・・・逆導電型の常時オフトランジスタ
132・・・逆導電型の標準トランジスタ
142・・・逆導電型の高耐圧トランジスタ
144a,144b,144c・・・チャネル領域
146a,146b,146c・・・ソース/ドレイン領域
148a,148b,148c・・ゲート電極
150a,150b,150c・・・高濃度部
152a,152b,152c・・・低濃度部
158a,158b,158c・・・ゲート絶縁膜
168a・・・逆導電型・高耐圧トランジスタ・形成領域
168b・・・逆導電型・常時オフトランジスタ・形成領域
168c・・・逆導電型・標準トランジスタ・形成領域

Claims (10)

  1. 高圧電源に接続される第1トランジスタが形成される第1導電型の第1半導体領域と、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続される常時オフの第2トランジスタが形成され前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有する第2半導体領域とを半導体基板に形成する工程と、
    前記第1半導体領域の上方の第1ゲート電極と、前記第2半導体領域の上方の第2ゲート電極とを形成す工程と、
    前記第1導電型の前記第1半導体領域のうち平面視において前記第1ゲート電極の側面に接する第1ゲート隣接領域に前記第2導電型の第1不純物をイオン注入しつつ、前記第2導電型の前記第2半導体領域のうち平面視において前記第2ゲート電極に接する第2ゲート隣接領域に前記第2導電型の前記第1不純物を注入する工程と、
    前記第1ゲート隣接領域のうち平面視において前記第1ゲート電極から離隔した第1ゲート側方領域に、前記第2導電型の第2不純物をイオン注入する工程と、
    前記第2ゲート隣接領域のうち平面視において前記第2ゲート電極から離隔した第2ゲート側方領域に、前記第1導電型の第3不純物をイオン注入する工程とを、有する
    半導体装置の製造方法。
  2. 前記第1ゲート電極の形成前に前記第1半導体領域上に第1ゲート絶縁膜を形成する工程と、
    前記第2ゲート電極の形成前に前記第2半導体領域上に、前記第1ゲート絶縁膜の膜厚より薄い膜厚を有する第2ゲート絶縁膜を形成する工程を、更に有することを特徴する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
  3. 前記低圧電源に接続され前記第1トランジスタおよび前記第2トランジスタとは異なる第3トランジスタが形成される前記第2導電型の第3半導体領域を、前記半導体基板に形成す工程と、
    前記第3半導体領域の上方の第3ゲート電極を形成する工程と、
    前記第2導電型の前記第3半導体領域のうち前記第3ゲート電極に接する第3ゲート隣接領域に、前記第1導電型の第4不純物をイオン注入する工程とを更に有し、
    前記第2ゲート側方領域に前記第3不純物をイオン注入する工程では更に、前記第3ゲート隣接領域のうち平面視において前記第3ゲート電極から離隔した第3ゲート側方領域に前記第3不純物をイオン注入することを
    特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
  4. 前記第3ゲート電極の形成前に前記第3半導体領域上に、前記第2ゲート絶縁膜の膜厚と同じ膜厚を有する第3ゲート絶縁膜を形成する工程を、更に有することを特徴する請求項3に記載の半導体装置の製造方法。
  5. 前記第3ゲート側方領域への前記第3不純物のイオン注入は、前記第2ゲート側方領域への前記第3不純物のイオン注入と同時に行うことを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体装置の製造方法。
  6. 半導体基板と、
    前記半導体基板に配置された第1導電型の第1チャネル領域と、前記第1導電型とは逆導電型の第2導電型を有し前記第1チャネル領域から離隔した第1高濃度部および前記第1チャネル領域と前記第1高濃度部との間に配置された前記第2導電型の第1低濃度部を有する第1ソース/ドレイン領域と、前記第1チャネル領域の上方に配置され平面視において前記第1低濃度部の端部を覆い又は前記第1低濃度部に接する第1ゲート電極とを備え、高圧電源に接続された第1トランジスタと、
    前記半導体基板に配置された前記第2導電型の第2チャネル領域と、前記第2チャネル領域から離隔した前記第1導電型の第2ソース/ドレイン領域と、前記第2チャネル領域と前記第2ソース/ドレイン領域の間に配置され前記第2ソース/ドレイン領域とは逆導電型の逆導電型領域と、前記第2チャネル領域の上方に配置され平面視において前記逆導電型領域の端部を覆い又は前記逆導電型領域に接する第2ゲート電極とを有し、前記逆導電型領域内の前記第2導電型の第1不純物は前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第1不純物の深さ方向の濃度分布と同じ濃度分布を有し、前記高圧電源の電圧より低い電圧を生成する低圧電源に接続された常時オフの第2トランジスタとを、備えた
    半導体装置。
  7. 前記半導体基板に配置された前記第2導電型の第3チャネル領域と、前記第3チャネル領域から離隔した前記第1導電型の第3高濃度部および前記第3チャネル領域と前記第3高濃度部との間に配置された前記第1導電型の第3低濃度部を有する第3ソース/ドレイン領域と、前記第3チャネル領域の上方に配置され平面視において前記第3低濃度部の端部を覆い又は前記第3低濃度部に接する第3ゲート電極とを有し、前記低圧電源に接続された第3トランジスタを、
    更に有することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
  8. 前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第3トランジスタの前記第3低濃度部における前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値より低いことを
    特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
  9. 前記第1トランジスタの前記第1低濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第1トランジスタの前記第1高濃度部における前記第2導電型の不純物の濃度のピーク値より低く、
    前記第3トランジスタの前記第3低濃度部おける前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値は、前記第3トランジスタの前記第3高濃度部における前記第1導電型の不純物の濃度のピーク値より低く、
    前記第1チャンル領域と前記第1ゲート電極の間に配置された第1ゲート絶縁膜と、前記第2チャンル領域と前記第2ゲート電極の間に配置された第2ゲート絶縁膜と、前記第3チャンル領域と前記第3ゲート電極の間に配置された第3ゲート絶縁膜とを更に有し、前記第2ゲート絶縁膜の膜厚は前記第1ゲート絶縁膜の膜厚より薄く、前記第3ゲート絶縁膜の膜厚と同じであることを
    特徴とする請求項7又は8に記載の半導体装置。
  10. 前記第3高濃度部内の前記第1導電型の不純物は、前記第2ソース/ドレイン領域における前記第1導電型の不純物の深さ方向の濃度分布と同じ濃度分布を有することを
    特徴とする請求項7乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置。
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