JP2016055409A - Mems可変キャパシタの制御方法及び集積回路装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】所望のキャパシタンスを得ることが可能なMEMS可変キャパシタの制御方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る方法は、第1及び第2の電極を有し、第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタの制御方法であって、第1及び第2の電極間に電圧を印加すること(S11)と、第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態でMEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価すること(S12)と、MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしていると評価された場合に、第1及び第2の電極間に印加された電圧を第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定すること(S14)と、を備える。【選択図】図4
Description
本発明の実施形態は、MEMS可変キャパシタの制御方法及び集積回路装置に関する。
MEMS(micro electro mechanical systems)技術を用いた可変キャパシタが半導体基板上に形成された電子デバイスが提案されている。この可変キャパシタ(MEMS可変キャパシタ)は、電極間に印加された電圧に応じて電極間の距離が変化し、キャパシタンスが変化する。具体的には、相対的に電極間の距離が大きい状態(アップステート)及び相対的に電極間の距離が小さい状態(ダウンステート)の2つの状態を設定することが可能である。
上述したMEMS可変キャパシタは、可動な電極を用いて形成されているため、キャパシタンスが所望のキャパシタンスからずれる場合がある。したがって、所望のキャパシタンスを得ることが可能なMEMS可変キャパシタの制御方法及びMEMS可変キャパシタを有する集積回路装置が望まれている。
所望のキャパシタンスを得ることが可能なMEMS可変キャパシタの制御方法及び集積回路装置を提供する。
実施形態に係るMEMS可変キャパシタの制御方法は、第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタの制御方法であって、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加することと、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することと、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することと、を備える。
以下、図面を参照して実施形態を説明する。
(実施形態1)
図1は、第1の実施形態の装置構成を示したブロック図である。
図1は、第1の実施形態の装置構成を示したブロック図である。
図1に示した装置は、MEMS可変キャパシタ及びトランジスタ等を含む集積回路装置(半導体集積回路装置)100と、集積回路装置100のテスト及び制御を行うためのテスト装置200とによって構成されている。テスト装置200は、MEMS可変キャパシタの外部に設けられており、集積回路装置100とテスト装置200との間で情報の伝達が行われる。
集積回路装置100は、MEMS可変キャパシタ10、電圧印加部20及び記憶部30を含んでいる。
図2及び図3は、MEMS可変キャパシタ10の構成を模式的に示した図である。
図2及び図3に示すように、MEMS可変キャパシタ10は、半導体基板、トランジスタ及び層間絶縁膜等を含む下地領域11上に形成されている。MEMS可変キャパシタ10は、固定された下部電極(第1の電極)12と、可変の上部電極(第2の電極)13と、下部電極12と上部電極13との間に位置する絶縁膜14とを含んでいる。上部電極13はバネ15によって支持されている。MEMS可変キャパシタ10は、MEMS技術を用いて形成されている。
図2は、下部電極(第1の電極)12と上部電極(第2の電極)13との距離が第1の距離である第1の状態(アップステート)を示している。図3は、下部電極(第1の電極)12と上部電極(第2の電極)13との距離が第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態(ダウンステート)を示している。
MEMS可変キャパシタ10は、下部電極12と上部電極13との間の距離(ギャップ幅)に応じてキャパシタンスが変化する。例えば、下部電極12と上部電極13との間に電圧を印加すると、下部電極12と上部電極13との間に静電気力が働き、下部電極12と上部電極13との間に印加される電圧に応じて、下部電極12と上部電極13との間の距離(ギャップ幅)が変化する。本実施形態のMEMS可変キャパシタ10は、下部電極12と上部電極13との間に所定の閾電圧以上の電圧を印加することで、アップステートからダウンステートに移行する。
MEMS可変キャパシタ10には電圧印加部20が接続されており、電圧印加部20によってMEMS可変キャパシタ10の電極間に電圧が印加される。すなわち、電圧印加部20によってMEMS可変キャパシタ10の電極間に印加される電圧を制御することで、MEMS可変キャパシタ10をアップステート又はダウンステートに設定することができる。電圧印加部20には、印加電圧を生成するための昇圧回路等が含まれている。
電圧印加部20には記憶部30が接続されており、記憶部30に記憶された印加電圧情報に基づいて、電圧印加部20からMEMS可変キャパシタ10に印加される電圧が生成される。
テスト装置200は、制御部40及びファンクションテスト部70を含んでいる。制御部40は、評価部50及び印加電圧決定部60を含んでいる。
評価部50は、下部電極12及び上部電極13間に評価用の電圧(直流電圧)を印加した状態で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価するものである。具体的には、評価部50は、MEMS可変キャパシタ10がダウンステートであるときにMEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価するように構成されている。
本実施形態では、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、下部電極12及び上部電極13間に評価用の電圧を印加した状態で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の範囲に含まれるか否かを評価することを含む。以下、この点について詳細に説明する。
すでに述べたように、MEMS可変キャパシタ10は、下部電極12と上部電極13との間に所定の閾電圧以上の電圧を印加することで、アップステートからダウンステートに移行する。しかしながら、例えば上部電極13が湾曲していると、ダウンステート時のキャパシタンスにばらつきが生じる場合がある。キャパシタンスにばらつきが生じると、ダウンステート時のキャパシタンスが所望のキャパシタンス(ターゲットキャパシタンス)からずれてしまう。
そこで、評価部50により、ダウンステート時のキャパシタンスが所定の範囲に含まれているか否かを評価する。すなわち、ダウンステート時のキャパシタンスが、ターゲットキャパシタンスに対して所定の誤差範囲内にあるか否かが判断される。例えば、許容可能な最小キャパシタンスをCmin とし、許容可能な最大キャパシタンスをCmax とした場合、検出されたキャパシタンスがCmin とCmax との間にあるか否かが判断される。
評価部50には、印加電圧決定部60が接続されている。印加電圧決定部60は、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが上記所定の条件を満たしていると評価された場合に、下部電極12及び上部電極13間に印加された評価用の電圧を、下部電極12及び上部電極13間に印加すべき電圧として決定するように構成されている。また、印加電圧決定部60は、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが上記所定の条件を満たしていると評価されるまで、上記所定の条件を満たすように下部電極12及び上部電極13間に印加される電圧を調整するように構成されている。具体的には、検出されたキャパシタンスがCmin とCmax との間にない場合には、キャパシタンスがCmin とCmax との間になるように、下部電極12及び上部電極13間に印加する電圧を調整する。下部電極12及び上部電極13間に印加する電圧を調整することで、下部電極12及び上部電極13間の距離が調整され、キャパシタンスを調整することができる。
印加電圧決定部60で決定された電圧は、記憶部30に送られる。記憶部30では、決定された電圧に関する情報が記憶される。
MEMS可変キャパシタ10が組み込まれた装置(集積回路装置100)が実際に使用される際に、記憶部30に記憶された電圧情報が読み出される。読み出された電圧情報は電圧印加部20に送られ、電圧印加部20で生成された電圧がMEMS可変キャパシタ10の電極間に印加される。MEMS可変キャパシタ10に印加される電圧は、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たすように調整されているため、適正な電圧がMEMS可変キャパシタ10に印加される。
また、テスト装置200の制御部40にはファンクションテスト部70が接続されている。ファンクションテスト部70により、MEMS可変キャパシタ10を含む集積回路装置100に対する種々のテストを行うことが可能である。
次に、本実施形態の動作を説明する。図4は、本実施形態の動作を示したフローチャートである。なお、本実施形態の動作は、制御部40に記憶されたプログラムに基づいて実行される。また、本実施形態の動作は、例えば、集積回路装置100のダイソート時に行うことが可能である。
まず、電圧印加部20で生成された電圧(評価用電圧)を、MEMS可変キャパシタ10の下部電極12及び上部電極13間に印加する(ステップS11)。
下部電極12及び上部電極13間に電圧を印加した状態で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かが、評価部50によって評価される(ステップS12)。すなわち、MEMS可変キャパシタ10がダウンステートであるときに、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の範囲内にあるか否かが評価される。具体的には、許容される最小キャパシタンスをCmin とし、許容される最大キャパシタンスをCmax とした場合、検出されたキャパシタンスがCmin とCmax との間にあるか否かが判断される。
ステップS12で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしていないと判断された場合には、評価結果に基づいてMEMS可変キャパシタ10に印加する電圧を調整する(変更する)(ステップS13)。例えば、検出されたキャパシタンスがCmin よりも小さい場合には、印加電圧を増加させて電極間距離を減少させる。検出されたキャパシタンスがCmax よりも大きい場合には、印加電圧を減少させて電極間距離を増加させる。
印加電圧を調整した後、ステップS12に戻り、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かが再度、評価される。
ステップS12で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしていると判断された場合には、下部電極12及び上部電極13間に印加されている評価用電圧を、実際の使用時に下部電極12及び上部電極13間に印加すべき電圧として決定する(ステップS14)。
ステップS14で決定された電圧情報は記憶部30に送られ、記憶部30に電圧情報が記憶される(ステップS15)。
MEMS可変キャパシタ10が組み込まれた装置(集積回路装置100)が実際に使用される際に、記憶部30に記憶された電圧情報が読み出される。読み出された電圧情報は電圧印加部20に送られ、電圧印加部20で生成された電圧がMEMS可変キャパシタ10の電極間に印加される。これにより、MEMS可変キャパシタ10に適正なキャパシタンスを設定することができる。
以上のように、本実施形態によれば、MEMS可変キャパシタ10の電極間に評価用電圧を印加した状態で、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを判断し、所定の条件が満たされていると評価された場合に、当該評価用電圧を電極間に印加すべき電圧として決定する。したがって、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスを所望の適正なキャパシタンスに調整することができる。その結果、MEMS可変キャパシタ10が組み込まれた装置(集積回路装置100)を実際に使用する際に、適正な動作を確保することができる。
したがって、例えば上部電極13の湾曲によってダウンステート時のキャパシタンスにばらつきが生じるような場合であっても、電極間に適切な電圧を印加することで、適正なキャパシタンスを得ることができる。
また、評価結果に基づいて印加電圧を調整することにより、適正な印加電圧を効率的に決定することができる。
また、本実施形態では、制御部40(評価部50及び印加電圧決定部60)がテスト装置200に含まれているため、集積回路装置100の構成を簡単化することが可能である。
(実施形態2)
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基本的な構成及び基本的な動作は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態で説明した事項の説明は省略する。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基本的な構成及び基本的な動作は、第1の実施形態と同様である。したがって、第1の実施形態で説明した事項の説明は省略する。
図5は、第2の実施形態の装置構成を示したブロック図である。なお、図5において、図1に示した構成要素に対応する構成要素には同一の参照番号を付し、それらの詳細な説明は省略する。
図5に示すように、本実施形態では、MEMS可変キャパシタ10、電圧印加部20及び記憶部30に加えて、制御部40(評価部50及び印加電圧決定部60)も集積回路装置100に含まれている。評価部50が集積回路装置100に含まれているため、集積回路装置100内には基準キャパシタンスを有する基準キャパシタが設けられている。基準キャパシタンスに基づいてMEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスを評価することが可能である。
本実施形態においても、基本的な構成及び基本的な動作は第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、本実施形態では、制御部40(評価部50及び印加電圧決定部60)が集積回路装置100に含まれているため、MEMS可変キャパシタ10が組み込まれた装置(集積回路装置100)を実際に使用しているときに、MEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスを調整することが可能である。そのため、実際の使用時にMEMS可変キャパシタ10のキャパシタンスが変動した場合に、適正なキャパシタンスに調整することが可能である。
以下、上述した実施形態の内容を付記する。
[付記1]
第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタの制御方法であって、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加することと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することと、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することと、
を備えたことを特徴とするMEMS可変キャパシタの制御方法。
第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタの制御方法であって、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加することと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することと、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することと、
を備えたことを特徴とするMEMS可変キャパシタの制御方法。
[付記2]
前記MEMS可変キャパシタは、前記第1及び第2の電極間の距離が第1の距離である第1の状態と、前記第1及び第2の電極間の距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態とを有し、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記MEMS可変キャパシタが前記第2の状態であるときに前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしているか否かを評価することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
前記MEMS可変キャパシタは、前記第1及び第2の電極間の距離が第1の距離である第1の状態と、前記第1及び第2の電極間の距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態とを有し、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記MEMS可変キャパシタが前記第2の状態であるときに前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしているか否かを評価することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
[付記3]
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の範囲内であるか否かを評価することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の範囲内であるか否かを評価することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
[付記4]
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価されるまで、前記所定の条件を満たすように前記第1及び第2の電極間に印加される電圧を調整することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価されるまで、前記所定の条件を満たすように前記第1及び第2の電極間に印加される電圧を調整することを含む
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
[付記5]
前記決定された電圧を記憶することをさらに備えた
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
前記決定された電圧を記憶することをさらに備えた
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
[付記6]
前記MEMS可変キャパシタは、集積回路装置内に設けられている
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
前記MEMS可変キャパシタは、集積回路装置内に設けられている
ことを特徴とする付記1に記載の方法。
[付記7]
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記集積回路装置外で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記集積回路装置外で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
[付記8]
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記集積回路装置内で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記集積回路装置内で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
[付記9]
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記集積回路装置外で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記集積回路装置外で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
[付記10]
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記集積回路装置内で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記集積回路装置内で行われる
ことを特徴とする付記6に記載の方法。
[付記11]
第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加する電圧印加部と、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価する評価部と、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定する印加電圧決定部と、
を備えたことを特徴とする集積回路装置。
第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加する電圧印加部と、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価する評価部と、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定する印加電圧決定部と、
を備えたことを特徴とする集積回路装置。
[付記12]
前記MEMS可変キャパシタは、前記第1及び第2の電極間の距離が第1の距離である第1の状態と、前記第1及び第2の電極間の距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態とを有し、
前記評価部は、前記MEMS可変キャパシタが前記第2の状態であるときに前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしているか否かを評価するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
前記MEMS可変キャパシタは、前記第1及び第2の電極間の距離が第1の距離である第1の状態と、前記第1及び第2の電極間の距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態とを有し、
前記評価部は、前記MEMS可変キャパシタが前記第2の状態であるときに前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしているか否かを評価するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
[付記13]
評価部は、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の範囲内であるか否かを評価するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
評価部は、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の範囲内であるか否かを評価するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
[付記14]
前記印加電圧決定部は、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価されるまで、前記所定の条件を満たすように前記第1及び第2の電極間に印加される電圧を調整するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
前記印加電圧決定部は、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価されるまで、前記所定の条件を満たすように前記第1及び第2の電極間に印加される電圧を調整するように構成されている
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
[付記15]
前記決定された電圧を記憶する記憶部をさらに備えた
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
前記決定された電圧を記憶する記憶部をさらに備えた
ことを特徴とする付記11に記載の集積回路装置。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…MEMS可変キャパシタ 11…下地領域
12…下部電極(第1の電極) 13…上部電極(第2の電極)
14…絶縁膜 15…バネ
20…電圧印加部 30…記憶部
40…制御部 50…評価部
60…印加電圧決定部 70…ファンクションテスト部
100…集積回路装置 200…テスト装置
12…下部電極(第1の電極) 13…上部電極(第2の電極)
14…絶縁膜 15…バネ
20…電圧印加部 30…記憶部
40…制御部 50…評価部
60…印加電圧決定部 70…ファンクションテスト部
100…集積回路装置 200…テスト装置
Claims (6)
- 第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタの制御方法であって、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加することと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することと、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することと、
を備えたことを特徴とするMEMS可変キャパシタの制御方法。 - 前記MEMS可変キャパシタは、前記第1及び第2の電極間の距離が第1の距離である第1の状態と、前記第1及び第2の電極間の距離が前記第1の距離よりも小さい第2の距離である第2の状態とを有し、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記MEMS可変キャパシタが前記第2の状態であるときに前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしているか否かを評価することを含む
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価することは、前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の範囲内であるか否かを評価することを含む
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定することは、前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価されるまで、前記所定の条件を満たすように前記第1及び第2の電極間に印加される電圧を調整することを含む
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記決定された電圧を記憶することをさらに備えた
ことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 第1及び第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極間に印加される電圧に応じてキャパシタンスが変化するMEMS可変キャパシタと、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加する電圧印加部と、
前記第1及び第2の電極間に電圧を印加した状態で前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが所定の条件を満たしているか否かを評価する評価部と、
前記MEMS可変キャパシタのキャパシタンスが前記所定の条件を満たしていると評価された場合に、前記第1及び第2の電極間に印加された電圧を前記第1及び第2の電極間に印加すべき電圧として決定する印加電圧決定部と、
を備えたことを特徴とする集積回路装置。
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- 2014-09-12 JP JP2014186249A patent/JP2016055409A/ja active Pending
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- 2015-03-11 US US14/645,256 patent/US20160079003A1/en not_active Abandoned
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TWI762580B (zh) * | 2017-02-23 | 2022-05-01 | 美商應美盛股份有限公司 | 提供對微機電系統(mems)裝置上之外部力之電容感測之系統 |
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