JP2016049773A - Three-layer flexible metal-clad laminate and double-sided three-layer flexible metal-clad laminate - Google Patents

Three-layer flexible metal-clad laminate and double-sided three-layer flexible metal-clad laminate Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a three-layer flexible metal-clad laminate and a double-sided three-layer flexible metal-clad laminate, in which sufficient adhesive performance is maintained even when thickness of an adhesive layer in the three-layer flexible metal-clad laminate is extremely thin.SOLUTION: A three-layer flexible metal-clad laminate includes a metal layer 11, an adhesive layer 12, and a resin layer 13. In the three-layer flexible metal-clad laminate, the surface of the metal layer 11 laminated on the adhesive layer 12 formed on the main surface of the resin layer 13 has 10-point average roughness (Rz) of 0.05-0.25 μm and the surface area rate of 1.0001-1.010, and the adhesive layer has thickness of 0.3-3.0 μm.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、3層フレキシブル金属張積層板及び両面3層フレキシブル金属張積層板に関する。   The present invention relates to a three-layer flexible metal-clad laminate and a double-sided three-layer flexible metal-clad laminate.

フレキシブル金属積層板は、電子材料分野で広く使用されており、金属層とポリイミド層とからなる2層フレキシブル金属張積層板と、金属層とポリイミド層と接着層とからなる3層フレキシブル金属積層板が知られている。   The flexible metal laminate is widely used in the field of electronic materials, and is a two-layer flexible metal-clad laminate comprising a metal layer and a polyimide layer, and a three-layer flexible metal laminate comprising a metal layer, a polyimide layer and an adhesive layer. It has been known.

ところで、近年の電子機器の薄型化、小型化に伴い、これらフレキシブル金属張積層板分野においては、フレキシブル金属張積層板の各層の厚みをできるだけ薄くし、かつ、より高精細な配線パターンを形成するために低プロファイル化した銅箔を用いる傾向にある。一方で、接着剤層の厚みを薄くすると接着性が低下することが知られている。また、低プロファイル化した銅箔は、銅箔の表面粗さが小さいため、アンカー効果が得られにくいという特徴をもつ。   By the way, with the recent thinning and miniaturization of electronic devices, in the field of flexible metal-clad laminates, the thickness of each layer of the flexible metal-clad laminate is made as thin as possible and a higher definition wiring pattern is formed. Therefore, there is a tendency to use a low profile copper foil. On the other hand, it is known that the adhesiveness decreases when the thickness of the adhesive layer is reduced. Moreover, the low profile copper foil has a feature that the anchor effect is difficult to obtain because the surface roughness of the copper foil is small.

特許文献1には、接着剤層の厚みを0.5〜25μmとする3層構成のフレキシブルプリント基板が開示されている。
特許文献2には、銅箔の表面粗さ(Rz)をできるだけ小さくし、当該銅箔の表面形状を複雑な表面形状にして、配線パターンの高精細性と基材との密着性の両立を図った銅箔及び当該銅箔を用いた積層体が開示されている。
Patent Document 1 discloses a flexible printed circuit board having a three-layer structure in which the thickness of an adhesive layer is 0.5 to 25 μm.
In Patent Document 2, the surface roughness (Rz) of the copper foil is made as small as possible, the surface shape of the copper foil is made a complicated surface shape, and both high-definition of the wiring pattern and adhesion to the substrate are compatible. The illustrated copper foil and a laminate using the copper foil are disclosed.

特開2006−165495号公報JP 2006-165495 A 特開2013−77702号公報JP 2013-77702 A

しかしながら、特許文献1に開示されたフレキシブルプリント基板において、接着剤層の厚みを2μm以下とした場合は、十分な接着性を発現しないおそれがある。   However, in the flexible printed board disclosed in Patent Document 1, when the thickness of the adhesive layer is 2 μm or less, there is a possibility that sufficient adhesiveness may not be exhibited.

また、特許文献2に開示された銅箔を3層フレキシブル金属張積層板の金属層に用いた場合は、接着剤層の厚みが2μm以下となると十分な接着性を発現しないおそれがある。   Moreover, when the copper foil disclosed by patent document 2 is used for the metal layer of a three-layer flexible metal-clad laminated board, there exists a possibility that sufficient adhesiveness may not be expressed when the thickness of an adhesive bond layer will be 2 micrometers or less.

本発明は、フレキシブル金属張積層板、特に3層フレキシブル金属張積層板における接着層の厚みがきわめて薄くなった場合にも、十分な接着性が維持できる3層フレキシブル金属張積層板及び両面3層フレキシブル金属張積層板を提供することを目的の一つとする。   The present invention relates to a flexible metal-clad laminate, particularly a three-layer flexible metal-clad laminate and a double-sided three-layer that can maintain sufficient adhesion even when the thickness of the adhesive layer in the three-layer flexible metal-clad laminate is extremely thin. An object is to provide a flexible metal-clad laminate.

上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、金属層と、接着層と、樹脂層と、を含む3層フレキシブル金属張積層板であって、前記樹脂層の主面に形成された接着層上に積層される前記金属層の前記接着層側の表面の10点平均粗さ(Rz)が0.05〜0.25μmであり、表面積率が1.0001〜1.010であり、前記接着層の厚みが0.3〜3.0μmであることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, in the first aspect of the present invention, a three-layer flexible metal-clad laminate including a metal layer, an adhesive layer, and a resin layer, the main surface of the resin layer being The 10-point average roughness (Rz) of the surface on the adhesive layer side of the metal layer laminated on the formed adhesive layer is 0.05 to 0.25 μm, and the surface area ratio is 1.0001 to 1.010. The thickness of the adhesive layer is 0.3 to 3.0 μm.

本発明の第2の態様においては、第1の主面と第2の主面とを有する樹脂層と、前記第1の主面には第1の接着層、第1の金属層がこの順に積層され、前記第2の主面には第2の接着層、第2の金属層がこの順に積層された両面3層フレキシブル金属張積層板であって、前記第1の金属層の前記第1の接着層側及び前記第2の金属層の前記第2の接着層側の表面の10点平均粗さ(Rz)が0.05〜0.25μmであり、表面積率が1.0001〜1.010であり、前記第1の接着層及び前記第2の接着層の厚みが0.3〜3.0μmであることを特徴とする。   In the second aspect of the present invention, a resin layer having a first main surface and a second main surface, and a first adhesive layer and a first metal layer in this order on the first main surface. A double-sided three-layer flexible metal-clad laminate in which a second adhesive layer and a second metal layer are laminated in this order on the second main surface, wherein the first metal layer has the first metal layer. 10-point average roughness (Rz) of the surface of the second metal layer and the surface of the second metal layer on the second adhesive layer side is 0.05 to 0.25 μm, and the surface area ratio is 1.0001 to 1. 010, and the thickness of the first adhesive layer and the second adhesive layer is 0.3 to 3.0 μm.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

実施形態に係る3層フレキシブル金属張積層板の概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view of a three-layer flexible metal-clad laminate according to an embodiment. 実施形態に係る両面3層フレキシブル金属張積層板の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the double-sided three-layer flexible metal-clad laminate concerning an embodiment. 3層フレキシブル金属積層板の拡大概略断面図である。It is an expansion schematic sectional drawing of a 3 layer flexible metal laminated board.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組合せの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、図面中、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。また、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。更に図面中、共通する要素については重複する説明は省略する。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention. In the drawings, positional relationships such as up, down, left and right are based on the positional relationships shown in the drawings unless otherwise specified. Further, the dimensional ratios in the drawings are not limited to the illustrated ratios. Further, in the drawings, overlapping description of common elements is omitted.

(3層フレキシブル金属張積層板)
図1は、本実施形態に係る3層フレキシブル金属張積層板の概略断面図である。3層フレキシブル金属張積層板10は、樹脂層13と、樹脂層13の表面(主面)に形成された接着層12と、接着層12を介して樹脂層13に接着された金属層11と、を含む3層フレキシブル金属張積層板である。
(3-layer flexible metal-clad laminate)
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a three-layer flexible metal-clad laminate according to this embodiment. The three-layer flexible metal-clad laminate 10 includes a resin layer 13, an adhesive layer 12 formed on the surface (main surface) of the resin layer 13, and a metal layer 11 adhered to the resin layer 13 via the adhesive layer 12. Are three-layer flexible metal-clad laminates.

金属層11は、接着層12と接着される表面ができるだけ平滑であることが好ましい。ここでいう平滑とは、金属層11の表面の10点平均粗さ(Rz)及び表面積率(S ratio)の両方が小さいことをいう。具体的には、金属層11と接着層12との接着性の観点から、上記金属層11の表面の10点平均粗さ(Rz)が0.05〜0.25μmの範囲であり、上記表面の表面積率(S ratio)が1.0001〜1.010の範囲であることが好ましく、Rzが0.05〜0.20μmの範囲であり、S ratioが1.0001〜1.005の範囲であることがより好ましい。10点平均粗さ(Rz)及び表面積率(S ratio)の上限値を超えた場合は接着層12の厚みを薄くすることができなくなる。これにより例えば難燃性、はんだ耐熱性、寸法安定性などに与える影響が大きくなる。また下限値未満は、金属層11の表面が鏡面状態になるが、これは現実的に存在しない。なお、10点平均粗さ(Rz)及び表面積率(S ratio)は、後述する実施例に記載の方法によって測定できる。   It is preferable that the surface of the metal layer 11 to be bonded to the adhesive layer 12 is as smooth as possible. Smoothness here means that both the 10-point average roughness (Rz) and the surface area ratio (S ratio) of the surface of the metal layer 11 are small. Specifically, from the viewpoint of adhesion between the metal layer 11 and the adhesive layer 12, the surface of the metal layer 11 has a 10-point average roughness (Rz) in the range of 0.05 to 0.25 μm, and the surface The surface area ratio (S ratio) is preferably in the range of 1.0001 to 1.010, Rz is in the range of 0.05 to 0.20 μm, and S ratio is in the range of 1.0001 to 1.005. More preferably. If the upper limit of the 10-point average roughness (Rz) and the surface area ratio (S ratio) is exceeded, the thickness of the adhesive layer 12 cannot be reduced. Thereby, for example, the influence on flame retardancy, solder heat resistance, dimensional stability, and the like is increased. When the value is less than the lower limit, the surface of the metal layer 11 is in a mirror state, but this is not practically present. In addition, 10-point average roughness (Rz) and a surface area ratio (S ratio) can be measured by the method as described in the Example mentioned later.

金属層11の材料は、特に限定はされず、種々の金属を用いることができる。例えば、銅、アルミニウム、ステンレス鋼などが挙げられる。これらの中でも、フレキシブル金属張積層板としての機能性向上及び回路形成の観点から、金属層11は銅箔層であることが好ましい。また、銅箔は、電解銅箔と圧延銅箔があるが、銅箔を製造する際に銅箔の表面に形成される凹みの少なさから電解銅箔が好ましい。   The material of the metal layer 11 is not particularly limited, and various metals can be used. For example, copper, aluminum, stainless steel, etc. are mentioned. Among these, it is preferable that the metal layer 11 is a copper foil layer from the viewpoint of improving functionality as a flexible metal-clad laminate and forming a circuit. Moreover, although copper foil has electrolytic copper foil and rolled copper foil, when manufacturing copper foil, electrolytic copper foil is preferable from the few dents formed on the surface of copper foil.

金属層11の厚みは、特に限定されず、適宜好適な厚みを選択することができる。本実施形態では、加工性の観点から、3〜35μmであることが好ましい。   The thickness of the metal layer 11 is not specifically limited, A suitable thickness can be selected suitably. In this embodiment, it is preferable that it is 3-35 micrometers from a viewpoint of workability.

接着層12は、熱可塑性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、又はポリエステル樹脂を主剤として適宜選択することができる。なお、フレキシブル金属張積層板に求められる特性よって、2種以上の樹脂を選択して組み合わせても良い。また、主剤に、硬化剤、硬化促進剤、その他の添加物を加えて樹脂組成物とすることができる。これらの中でも、耐熱性、難燃性の観点から、熱可塑性ポリイミド樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物を用いることが好ましい。   The adhesive layer 12 can be appropriately selected using a thermoplastic polyimide resin, an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, or a polyester resin as a main ingredient. Depending on the characteristics required for the flexible metal-clad laminate, two or more kinds of resins may be selected and combined. Moreover, a hardening | curing agent, a hardening accelerator, and another additive can be added to a main ingredient, and it can be set as a resin composition. Among these, it is preferable to use a thermoplastic polyimide resin composition and an epoxy resin composition from the viewpoints of heat resistance and flame retardancy.

熱可塑性ポリイミド樹脂としては、テトラカルボン酸二無水物少なくとも1種類以上とジアミン1種類以上を原料として得られるものを示す。ここで、熱可塑性とは100℃〜400℃の範囲にガラス転移温度を有し、ガラス転移温度以上の加熱によって溶融流動し、成型加工が可能であることをいう。   As the thermoplastic polyimide resin, those obtained by using at least one tetracarboxylic dianhydride and one or more diamines as raw materials are shown. Here, the term “thermoplastic” means that it has a glass transition temperature in the range of 100 ° C. to 400 ° C., melts and flows by heating at a temperature equal to or higher than the glass transition temperature, and can be molded.

原料として用いられるテトラカルボン酸二無水物、及びジアミンとしては、熱可塑性を有していれば良く、特に限定されず、公知の原料を用いることが可能である。   The tetracarboxylic dianhydride and diamine used as raw materials are not particularly limited as long as they have thermoplasticity, and known raw materials can be used.

原料であるテトラカルボン酸二無水物としては、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、m−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、o−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物),TABP、p−メチルフェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、5−(ジオキソテトラヒドロフリル−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水物、4−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−テトラリン−1,2−ジカルボン酸二無水物、テトラヒドロフラン−2,3,4,5−テトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物などが挙げられる。また、これらを2種類以上選択して併用することもできる。   The tetracarboxylic dianhydride as a raw material includes 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyl Ether tetracarboxylic dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), m-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), o-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride) Product), TABP, p-methylphenylenebis (trimellitic acid monoester anhydride), 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropanoic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propanoic dianhydride, 1,4,5,8- Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 5- (dioxotetrahydrofuryl-3-methyl-3) -Cyclohexene-1,2-dicarboxylic dianhydride, 4- (2,5-dioxotetrahydrofuran-3-yl) -tetralin-1,2-dicarboxylic dianhydride, tetrahydrofuran-2,3,4,5 -Tetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, etc. Et a can be used in combination to select two or more types.

同様にジアミンとしては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノトルエン、2,4−ジアミノキシレン、2,4−ジアミノデュレン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−メチレンビス(2−メチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2−エチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジメチルアニリン)、4,4’−メチレンビス(2,6−ジエチルアニリン)、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、2,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンズアニリド、ベンジジン、3,3’−ジヒドロキシベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、o−トリジン、m−トリジン、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、p−ターフェニレンジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロヘキシルアミン)、イソホロンジアミン、トランス−1,4−ジアミノシクロヘキサン、シス−1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,4−シクロヘキサンビス(メチルアミン)、2,5−ビス(アミノメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、2,6−ビス(アミノメチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプタン、3,8−ビス(アミノメチル)トリシクロ[5.2.1.0]デカン、1,3−ジアミノアダマンタン、2,2−ビス(4−アミノシクロヘキシル)プロパン、2,2−ビス(4−アミノシクロヘキシル)ヘキサフルオロプロパン、1,3−プロパンジアミン、1,4−テトラメチレンジアミン、1,5−ペンタメチレンジアミン、1,6−ヘキサメチレンジアミン、1,7−ヘプタメチレンジアミン、1,8−オクタメチレンジアミン、1,9−ノナメチレンジアミンが挙げられる。また、これらを2種類以上選択して併用することもできる。   Similarly, diamines include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 2,5-diaminotoluene, 2,4-diaminoxylene, 2,4-diaminodurene, 4,4′-diamino. Diphenylmethane, 4,4′-methylenebis (2-methylaniline), 4,4′-methylenebis (2-ethylaniline), 4,4′-methylenebis (2,6-dimethylaniline), 4,4′-methylenebis ( 2,6-diethylaniline), 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 2,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3 , 3′-Diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzopheno 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzanilide, benzidine, 3,3′-dihydroxybenzidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, o-tolidine, m-tolidine, 2,2′-bis (Trifluoromethyl) benzidine, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4 ′ -Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis (4- (3-aminophenoxy) phenyl) sulfone, bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) sulfone, 2,2-bis (4- (4-amino) Phenoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane, 2,2 Bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, p-terphenylenediamine, 4,4′-methylenebis (cyclohexylamine), isophoronediamine, trans-1,4-diaminocyclohexane, cis-1,4-diaminocyclohexane, 1 , 4-cyclohexanebis (methylamine), 2,5-bis (aminomethyl) bicyclo [2.2.1] heptane, 2,6-bis (aminomethyl) bicyclo [2.2.1] heptane, 3, 8-bis (aminomethyl) tricyclo [5.2.1.0] decane, 1,3-diaminoadamantane, 2,2-bis (4-aminocyclohexyl) propane, 2,2-bis (4-aminocyclohexyl) Hexafluoropropane, 1,3-propanediamine, 1,4-tetramethylenediamine, 1,5-pe And n-amethylenediamine, 1,6-hexamethylenediamine, 1,7-heptamethylenediamine, 1,8-octamethylenediamine, and 1,9-nonamethylenediamine. Two or more of these can be selected and used in combination.

接着層12に熱可塑性ポリイミド樹脂を用いる場合は、溶剤に溶解させた前記熱可塑性ポリイミド前駆体を金属層11又は樹脂層13に塗布し、乾燥させ、必要に応じてイミド化反応を行うことで熱可塑性ポリイミド樹脂からなる接着層12を得ることができる。   When a thermoplastic polyimide resin is used for the adhesive layer 12, the thermoplastic polyimide precursor dissolved in a solvent is applied to the metal layer 11 or the resin layer 13, dried, and an imidization reaction is performed as necessary. The adhesive layer 12 made of a thermoplastic polyimide resin can be obtained.

熱可塑性ポリイミド前駆体を重合する方法、及び前記前駆体のイミド化反応は、公知の方法を適用することができる。前記前駆体を重合するタイミングは、金属層11又は樹脂層13に塗布する前に行うことが好ましい。また、前記前駆体のイミド化反応は、前記前駆体を金属層11又は樹脂層12に塗布した後に行うことが好ましい。   Known methods can be applied to the method of polymerizing the thermoplastic polyimide precursor and the imidization reaction of the precursor. The timing for polymerizing the precursor is preferably performed before being applied to the metal layer 11 or the resin layer 13. The imidation reaction of the precursor is preferably performed after the precursor is applied to the metal layer 11 or the resin layer 12.

エポキシ樹脂としては、特に限定されず、例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などのノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂が挙げられる。耐熱性、難燃性の観点からビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン環含有エポキシ樹脂を用いることが好ましい。   The epoxy resin is not particularly limited. For example, bisphenol type epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, novolak type such as phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, etc. Examples thereof include an epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and a naphthalene ring-containing epoxy resin. From the viewpoint of heat resistance and flame retardancy, it is preferable to use a biphenyl type epoxy resin or a naphthalene ring-containing epoxy resin.

アクリル樹脂としては、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸などのモノマーを重合することにより得られる重合体を示す。   As an acrylic resin, the polymer obtained by superposing | polymerizing monomers, such as (meth) acrylic-acid alkylester and (meth) acrylic acid, is shown.

ウレタン樹脂としては、特に限定されず、例えばポリエステルポリオールとポリイソシアネートとを重合反応させることにより得られるものを示す。   It does not specifically limit as a urethane resin, For example, what is obtained by polymerizing a polyester polyol and polyisocyanate is shown.

ポリエステル樹脂としては、特に限定されず、ジカルボン酸とポリアルコールとを重縮合することにより得られるものが挙げられる。   The polyester resin is not particularly limited, and examples thereof include those obtained by polycondensation of dicarboxylic acid and polyalcohol.

硬化剤としては、特に限定はされず、例えば、エポキシ樹脂、イソシアネート系硬化剤、イミダゾール系硬化剤が挙げられる。硬化剤の配合量は、接着層を構成する主剤樹脂100重量部(固形分換算)に対して、0.5〜50重量部、好ましくは5〜20重量部である。これにより、電子材料で要求される電気特性を良好に満たすことができる。   The curing agent is not particularly limited, and examples thereof include an epoxy resin, an isocyanate curing agent, and an imidazole curing agent. The compounding quantity of a hardening | curing agent is 0.5-50 weight part with respect to 100 weight part (solid content conversion) of the main ingredient resin which comprises an contact bonding layer, Preferably it is 5-20 weight part. Thereby, the electrical property requested | required of an electronic material can be satisfy | filled favorably.

イソシアネート系硬化剤としては、特に限定されず、例えばTDI−TMP(トリレンジイソシアネート-トリメチルプロパンアダクト)、HMDI―TMP(ヘキサメチレンジイソシアネート-トリメチルプロパンアダクト)等のイソシアネート系化合物が挙げられる。   The isocyanate curing agent is not particularly limited, and examples thereof include isocyanate compounds such as TDI-TMP (tolylene diisocyanate-trimethylpropane adduct) and HMDI-TMP (hexamethylene diisocyanate-trimethylpropane adduct).

イミダゾール系硬化剤としては、特に限定されず、例えば、2−メチルイミダゾール、2−メチル−4―メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物が挙げられる。   The imidazole curing agent is not particularly limited, and examples thereof include imidazole compounds such as 2-methylimidazole and 2-methyl-4-methylimidazole.

その他の添加剤としては、ニトリルブタジエンゴム、アクリルゴムなどのゴム系樹脂を添加することもできる。ゴム系樹脂の配合量(固形分換算)は、接着層を構成する主剤樹脂100重量部(固形分換算)に対して、10〜200重量部、好ましくは50〜100重量部である。これにより、フレキシブルプリント配線用材料に必要な可とう性を良好に満たすことができる。   As other additives, rubber resins such as nitrile butadiene rubber and acrylic rubber may be added. The compounding amount (in terms of solid content) of the rubber-based resin is 10 to 200 parts by weight, preferably 50 to 100 parts by weight, relative to 100 parts by weight (in terms of solid content) of the main resin constituting the adhesive layer. Thereby, the flexibility required for the flexible printed wiring material can be satisfactorily satisfied.

接着層12の厚みは、0.3〜3.0μmであることが好ましく、難燃性の観点から0.3〜2.0μm未満であることがより好ましく、0.3〜1.5μm以下であることが特に好ましい。厚みが0.3〜1.5μm以下の場合であって接着層12の樹脂組成物がエポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物、ウレタン樹脂組成物、又はポリエステル樹脂組成物から構成される場合は、ハロゲン系難燃剤及びリン系難燃剤等の難燃剤の添加が不要となる。厚みが上限値を超えた場合は、接着層が硬化する際の硬化収縮や熱膨張などにより回路形成時の寸法変化率が大きくなる。また厚みが下限値未満となる場合は、十分な接着性を得ることができない。   The thickness of the adhesive layer 12 is preferably 0.3 to 3.0 μm, more preferably 0.3 to less than 2.0 μm from the viewpoint of flame retardancy, and 0.3 to 1.5 μm or less. It is particularly preferred. When the thickness is 0.3 to 1.5 μm or less and the resin composition of the adhesive layer 12 is composed of an epoxy resin composition, an acrylic resin composition, a urethane resin composition, or a polyester resin composition, Addition of flame retardants such as halogen flame retardants and phosphorus flame retardants becomes unnecessary. When the thickness exceeds the upper limit value, the dimensional change rate at the time of circuit formation increases due to curing shrinkage or thermal expansion when the adhesive layer is cured. Moreover, when thickness becomes less than a lower limit, sufficient adhesiveness cannot be obtained.

接着層12の樹脂組成物がエポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物、ウレタン樹脂組成物、又はポリエステル樹脂組成物から構成される場合であって、接着層12の厚みが2.0〜3.0μmとなる場合は樹脂組成物に難燃性を付与することが好ましい。具体的には、樹脂組成物において主剤となる樹脂構造の骨格に燃えにくい骨格を組み入れたりすることができる。例えば、ベンゼン、ナフタレン、アントラセンなどの有機骨格を組み入れることができる。また、樹脂組成物にハロゲン系の難燃剤やリン系の難燃剤を加えても良い。   In the case where the resin composition of the adhesive layer 12 is composed of an epoxy resin composition, an acrylic resin composition, a urethane resin composition, or a polyester resin composition, the thickness of the adhesive layer 12 is 2.0 to 3.0 μm. In such a case, it is preferable to impart flame retardancy to the resin composition. Specifically, a flammable skeleton can be incorporated into a skeleton having a resin structure as a main component in the resin composition. For example, organic skeletons such as benzene, naphthalene and anthracene can be incorporated. Further, a halogen-based flame retardant or a phosphorus-based flame retardant may be added to the resin composition.

金属層11又は樹脂層13の表面上に接着層12を形成する方法としては、特に限定されず、種々の方法を採用することができる。例えば、溶剤で希釈した樹脂組成物を公知の塗布方法によって、金属層11又は樹脂層13に塗布することができる。塗布手段としては、例えば、コンマコーター、グラビアコーター、バーコーターが挙げられる。   The method for forming the adhesive layer 12 on the surface of the metal layer 11 or the resin layer 13 is not particularly limited, and various methods can be employed. For example, the resin composition diluted with a solvent can be applied to the metal layer 11 or the resin layer 13 by a known application method. Examples of the application means include a comma coater, a gravure coater, and a bar coater.

溶剤としては、例えば、アルコール(例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、セルソルブ)、ケトン(例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン)、芳香族炭化水素(例えば、トルエン、キシレン)、脂肪族炭化水素(例えば、ヘキサン、オクタン、デカン、ドデンカン)、エステル(例えば、酢酸エチル、プロピオン酸メチル)、エーテル(例えば、テトラヒドロフラン、エチルブチルエーテル)などが挙げられる。これらは一種単独で用いても良いし、2種以上を併用しても良い。   As the solvent, for example, alcohol (for example, methanol, ethanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, cellsolve), ketone (for example, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone), aromatic hydrocarbon (for example, toluene, xylene), aliphatic Hydrocarbon (for example, hexane, octane, decane, dodencan), ester (for example, ethyl acetate, methyl propionate), ether (for example, tetrahydrofuran, ethyl butyl ether) and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

樹脂層13に用いられる材料はポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ポリアミド、液晶ポリマー、シンジオタクチックポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド等が挙げられ、フィルム状のものを用いることができる。フレキシブル金属張積層板の誘電率及び誘電正接を低くする観点から液晶ポリマー、シンジオタクチックポリスチレン及びポリフェニレンスルフィドであることが好ましい。耐熱性及び難燃性の観点からポリイミドであることが好ましく、樹脂層表面の平滑性、ラミネート性の観点からシリカを含有するポリイミドであることがより好ましい。さらに、樹脂層13の表面(主面)には、接着性をより強く発現させる観点から表面活性を上げるためのプラズマ処理やコロナ処理が施されていてもよい。なお、ラミネート性とは、金属層と樹脂層とが接着層を介して隙間なく密着しているかどうかをいう。例えば、隙間なく密着している場合はラミネート性が良いという評価となる。   Examples of the material used for the resin layer 13 include polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyimide, polyamide, liquid crystal polymer, syndiotactic polystyrene, polyphenylene sulfide, and the like. From the viewpoint of lowering the dielectric constant and dielectric loss tangent of the flexible metal-clad laminate, liquid crystal polymers, syndiotactic polystyrene and polyphenylene sulfide are preferred. A polyimide is preferable from the viewpoint of heat resistance and flame retardancy, and a polyimide containing silica is more preferable from the viewpoint of the smoothness and laminating properties of the resin layer surface. Further, the surface (main surface) of the resin layer 13 may be subjected to a plasma treatment or a corona treatment for increasing the surface activity from the viewpoint of expressing adhesiveness more strongly. Note that the term “laminate” refers to whether the metal layer and the resin layer are in close contact with each other through the adhesive layer. For example, when it adheres without a gap, it is evaluated that the laminating property is good.

樹脂層13の厚みは、特に限定されず、適宜好適な厚みを選択することができる。フレキシブル金属張積層板の薄型化、小型化の観点から、5〜25μmであることが好ましく、4〜15μmであることがより好ましい。   The thickness of the resin layer 13 is not particularly limited, and a suitable thickness can be selected as appropriate. From the viewpoint of thinning and miniaturization of the flexible metal-clad laminate, the thickness is preferably 5 to 25 μm, more preferably 4 to 15 μm.

3層フレキシブル金属張積層板の作製方法としては、例えば、溶剤で希釈した接着層12に係る樹脂組成物を、コーターを用いて樹脂層13の表面(主面)に塗布し、上記樹脂組成物が半硬化状態(Bステージ状態)となるように硬化させて接着層12を形成する。次に、上記接着層12を所定の10点平均粗さ及び表面積率を有する金属層11の表面と貼り合わせて、接着層12が完全硬化状態(Cステージ状態)となるまで加熱(アフターベーク)する。この後に室温まで冷却して、3層フレキシブル金属張積層板10を得る。   As a method for producing a three-layer flexible metal-clad laminate, for example, the resin composition according to the adhesive layer 12 diluted with a solvent is applied to the surface (main surface) of the resin layer 13 using a coater, and the resin composition Is cured to form a semi-cured state (B-stage state) to form the adhesive layer 12. Next, the adhesive layer 12 is bonded to the surface of the metal layer 11 having a predetermined 10-point average roughness and surface area ratio, and heated until the adhesive layer 12 is completely cured (C-stage state) (after baking). To do. Thereafter, it is cooled to room temperature to obtain a three-layer flexible metal-clad laminate 10.

(両面3層フレキシブル金属張積層板)
図2は、本実施形態に係る両面3層フレキシブル金属張積層板の概略断面図である。両面3層フレキシブル金属張積層板200は、第1の主面と第2の主面とを有する樹脂層210と、上記第1の主面には第1の接着層221、第1の金属層231がこの順に積層され、上記第2の主面には第2の接着層222、第2の金属層232がこの順に積層されたものである。
(Double-sided three-layer flexible metal-clad laminate)
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a double-sided three-layer flexible metal-clad laminate according to this embodiment. The double-sided three-layer flexible metal-clad laminate 200 includes a resin layer 210 having a first main surface and a second main surface, and a first adhesive layer 221 and a first metal layer on the first main surface. 231 are stacked in this order, and the second adhesive layer 222 and the second metal layer 232 are stacked in this order on the second main surface.

両面3層フレキシブル金属張積層板の作製方法としては、例えば、溶剤で希釈した接着層221に係る樹脂組成物を、コーターを用いて樹脂層210の第1の主面に塗布し、上記樹脂組成物が半硬化状態(Bステージ状態)となるように硬化させる。次に、溶剤で希釈した接着層222に係る樹脂組成物を、コーターを用いて樹脂層210の第2の主面に塗布し、上記樹脂組成物が半硬化状態(Bステージ状態)となるように硬化させる。なお、上記第1の主面及び第2の主面に樹脂組成物を同時に塗布し、その後上記樹脂組成物が半硬化状態(Bステージ状態)となるように同時に硬化させてもよい。その後、上記接着層221には所定の10点平均粗さ及び表面積率を有する金属層231を、上記接着層222には所定の10点平均粗さ及び表面積率を有する金属層232を、同時に貼り合わせて、接着層221及び222が完全硬化状態(Cステージ状態)となるまで加熱(アフターベーク)する。この後に室温まで冷却して、3層フレキシブル金属張積層板200を得る。   As a method for producing a double-sided three-layer flexible metal-clad laminate, for example, the resin composition according to the adhesive layer 221 diluted with a solvent is applied to the first main surface of the resin layer 210 using a coater, and the above resin composition The product is cured so as to be in a semi-cured state (B stage state). Next, the resin composition related to the adhesive layer 222 diluted with a solvent is applied to the second main surface of the resin layer 210 using a coater so that the resin composition is in a semi-cured state (B stage state). Harden. In addition, you may apply | coat a resin composition to the said 1st main surface and the 2nd main surface simultaneously, and you may make it harden | cure simultaneously so that the said resin composition may be in a semi-hardened state (B stage state) after that. Thereafter, a metal layer 231 having a predetermined 10-point average roughness and surface area ratio is bonded to the adhesive layer 221 and a metal layer 232 having a predetermined 10-point average roughness and surface area ratio is simultaneously bonded to the adhesive layer 222. In addition, heating (after baking) is performed until the adhesive layers 221 and 222 are completely cured (C stage state). Thereafter, it is cooled to room temperature to obtain a three-layer flexible metal-clad laminate 200.

(接着性が発現するメカニズム)
従来、フレキシブル金属張積層板の分野において、接着層の厚みが薄くなるほど、また接着層が積層される被着体の表面が平滑になりアンカー効果が低下するほど、接着性が発現しなくなることが知られていた。しかし、本発明では、従来の常識を覆して、接着層が積層される金属層の表面を平滑にし、かつ接着層の厚みを薄くした状態で接着性を発現させることを可能にした。
(Mechanism of adhesion)
Conventionally, in the field of flexible metal-clad laminates, the thinner the adhesive layer is, the smoother the surface of the adherend on which the adhesive layer is laminated and the lower the anchor effect, the less the adhesiveness can be expressed. It was known. However, in the present invention, it is possible to express the adhesiveness in a state where the conventional common sense is overturned and the surface of the metal layer on which the adhesive layer is laminated is smoothed and the thickness of the adhesive layer is reduced.

現時点において、この接着性がなぜ発現するのかについての詳細な理由は明らかではないが、出願人は次のように推測している。   At present, the detailed reason why this adhesiveness is developed is not clear, but the applicant speculates as follows.

図3(a)、(b)は3層フレキシブル金属張積層板の拡大概略断面図である。図3(b)は説明を分かりやすくするために図3(a)の一部を拡大して記載してある。図3(b)に示した通り、金属層11の表面に凹凸があると、樹脂層13と金属層11との間に存在する接着層12の厚みは、金属層11の表面の形状により、厚くなったり(a点)、薄くなったりする(b点)。これにより、引き剥がし時の被着体(金属層11)と接着層12とがなす角度が一定とならず、剥離力が安定しなくなると考えられる。これに対して金属層11の表面が平滑である場合は、接着層12の厚みが金属層11の表面形状による影響を受けにくくなるため、樹脂層13と金属層11との間に存在する接着層12の厚みが均一となり、引き剥がし時の金属層11と接着層12とがなす角度も一定となる。その結果、剥離界面が安定し、剥離力が一定となり、接着性の低下が抑制されるものと推測される。なお、樹脂層13は、金属層11と比べてかなり平滑であるため、樹脂層13の表面が接着性に影響を与える度合いは小さいと考えられる。   FIGS. 3A and 3B are enlarged schematic cross-sectional views of a three-layer flexible metal-clad laminate. FIG. 3B is a partially enlarged view of FIG. 3A for easy understanding. As shown in FIG. 3B, when the surface of the metal layer 11 is uneven, the thickness of the adhesive layer 12 existing between the resin layer 13 and the metal layer 11 depends on the shape of the surface of the metal layer 11. It becomes thicker (point a) or thinner (point b). Thereby, it is considered that the angle formed between the adherend (metal layer 11) and the adhesive layer 12 at the time of peeling is not constant, and the peeling force is not stable. On the other hand, when the surface of the metal layer 11 is smooth, the thickness of the adhesive layer 12 is less affected by the surface shape of the metal layer 11, so that the adhesive existing between the resin layer 13 and the metal layer 11 is present. The thickness of the layer 12 is uniform, and the angle formed between the metal layer 11 and the adhesive layer 12 at the time of peeling is also constant. As a result, it is presumed that the peeling interface becomes stable, the peeling force becomes constant, and the decrease in adhesiveness is suppressed. In addition, since the resin layer 13 is considerably smoother than the metal layer 11, it is considered that the degree that the surface of the resin layer 13 affects the adhesiveness is small.

以下、実施例及び比較例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明は以下の実施例により何ら限定されるものではない。実施例及び比較例において、各物性の測定及び評価は以下の方法により行った。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further in detail, this invention is not limited at all by the following Examples. In Examples and Comparative Examples, each physical property was measured and evaluated by the following methods.

(1)表面粗さ(10点平均粗さ、Rz)
表面粗さの測定を行うサンプルは、測定する表面をアセトンで洗浄し、十分に乾燥させたものを用いた。次にその表面を走査型プローブ顕微鏡(セイコーインスツルメンツ社製のNanopics 2100(Scanning probe microscope(SPM))を用いて以下の測定条件で測定し、その測定データを基に、JIS B0601(2001)に従って、表面粗さ(10点平均粗さ、Rz)を算出した。
測定モード コンタクトモード
測定エリア 100μm×100μm
スキャンスピード 130SEC./frame
(1) Surface roughness (10-point average roughness, Rz)
As the sample for measuring the surface roughness, the surface to be measured was washed with acetone and sufficiently dried. Next, the surface was measured under the following measurement conditions using a scanning probe microscope (Nanopics 2100 (Scanning probe microscope (SPM)) manufactured by Seiko Instruments Inc.), and based on the measurement data, according to JIS B0601 (2001), The surface roughness (10-point average roughness, Rz) was calculated.
Measurement mode Contact mode measurement area 100μm × 100μm
Scan speed 130SEC. / Frame

(2)表面積率(S ratio)
表面積率は、表面粗さと同じ条件で測定したデータを基に、Nanopics 2100専用解析ソフトを使用して算出した。なお、本発明でいう表面積率とは、指定した領域を完全に平滑と仮定したときの面積と対象物の表面形状によって生じている当該領域の表面積との比率をいう。
(2) Surface area ratio (S ratio)
The surface area ratio was calculated using analysis software dedicated to Nanopics 2100 based on data measured under the same conditions as the surface roughness. In addition, the surface area rate as used in the field of this invention means the ratio of the area when the designated area | region is assumed to be completely smooth, and the surface area of the said area | region produced with the surface shape of the target object.

(3)引き剥がし強度(ピール強度)
引き剥がし強度(ピール強度)で使用するサンプルは、後述する片面の3層フレキシブル銅張積層板を10mm幅に切り出したものを用いた。引き剥がし強度(ピール強度)は、EZ test(島津製作所社製)を用いて以下の測定条件で測定した値である。
引き剥がしスピード 50mm/分
引き剥がし角度 180°引き(銅箔引き)
(3) Peel strength (peel strength)
As a sample used for the peel strength (peel strength), a single-sided three-layer flexible copper-clad laminate described below was cut out to a width of 10 mm. The peel strength (peel strength) is a value measured under the following measurement conditions using EZ test (manufactured by Shimadzu Corporation).
Peeling speed 50mm / min
Peeling angle 180 ° pulling (copper foil drawing)

引き剥がし強度(ピール強度)の評価は以下の基準で行った。
◎・・・7N/cm以上
○・・・5N/cm以上7N/cm未満
×・・・5N/cm未満
The peel strength (peel strength) was evaluated according to the following criteria.
◎ 7N / cm or more
○ ... 5 N / cm or more and less than 7 N / cm × ... less than 5 N / cm

(4)燃焼試験
燃焼試験で使用するサンプルは、後述の両面3層フレキシブル銅張積層板の銅箔を塩化第2鉄溶液でエッチングにより除去し、十分に水洗し、その後、105℃で30分間乾燥させ、室温まで冷却した後にUL試験用のサイズにカットしたものを用いた。燃焼試験は、UL94VTM試験に準じて行った。具体的には、筒状の上述サンプルを長手方向に吊るし、3秒間接炎した後の消炎時間を確認した。また、評価は以下の評価基準に従って評価した。
○・・・UL94VTM−0相当
×・・・UL94VTM不適合
(4) Combustion test A sample used in the combustion test was obtained by removing a copper foil of a double-sided three-layer flexible copper-clad laminate described later by etching with a ferric chloride solution, thoroughly washing with water, and then at 105 ° C for 30 minutes After drying and cooling to room temperature, it was cut into a size for UL testing. The combustion test was performed according to the UL94VTM test. Specifically, the above-described cylindrical sample was hung in the longitudinal direction, and the flame extinction time after 3 seconds of indirect flame was confirmed. Moreover, evaluation was evaluated according to the following evaluation criteria.
○ ... UL94VTM-0 equivalent
× ・ ・ ・ UL94VTM nonconformity

(5)ラミネート試験
ラミネート試験で使用するサンプルは、後述する片面の3層フレキシブル銅張積層板の銅箔を塩化第2鉄溶液でエッチングにより除去し、十分に水洗し、その後、105℃で30分間乾燥させ、室温まで冷却した後に10cm×10cmのサイズにカットしたものを用いた。ラミネート試験は、このサンプルを光学顕微鏡(OLYMPUS社製、BX51)を用いて、100倍の倍率で観察し、以下の基準に従って評価した。
○・・・ボイド及び空隙がない。
×・・・ボイド及び空隙が一個以上確認される。
(5) Laminate test The sample used in the laminate test was prepared by removing the copper foil of a single-sided three-layer flexible copper-clad laminate described later by etching with a ferric chloride solution, washing thoroughly with water, and then washing at 30 ° C at 105 ° C. The sample was dried for 1 minute, cooled to room temperature, and then cut into a size of 10 cm × 10 cm. In the laminate test, this sample was observed at a magnification of 100 times using an optical microscope (manufactured by OLYMPUS, BX51), and evaluated according to the following criteria.
○: There are no voids and voids.
X: One or more voids and voids are confirmed.

(6)はんだ耐熱試験
はんだ耐熱試験で使用するサンプルは、後述する両面3層フレキシブル銅張積層板を20mm×20mmのサイズにカットしたものを用いた。はんだ耐熱試験は、このサンプルを300℃のはんだ浴槽に10秒間浸した後、引き上げ後のサンプルの外観を目視で確認した。評価は、以下の基準に従って評価した。
○・・・はがれ及び浮きがない。
×・・・はがれ及び浮きがある。
(6) Solder heat resistance test The sample used in the solder heat resistance test was obtained by cutting a double-sided three-layer flexible copper-clad laminate described below into a size of 20 mm x 20 mm. In the solder heat resistance test, the sample was immersed in a 300 ° C. solder bath for 10 seconds, and then the appearance of the sample after pulling was visually confirmed. Evaluation was performed according to the following criteria.
○: No peeling or floating.
X: There are peeling and floating.

(3層フレキシブル銅張積層板の作製)
(1)樹脂組成物の調製
(1−1)非難燃樹脂組成物
樹脂組成物は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成イーマテリアル社製AER6121(75%溶解品))を固形分換算で100重量部、ジアミノジフェニルスルホンを8重量部、3フッ化ホウ素モノエチルアミンを0.5重量部、イミダゾール(四国化成社製C11Z)を0.3重量部、アクリルゴム(坂井化学工業社製S−VGLS−30(30%溶解品))を固形分換算で80重量部、メチルエチルケトンを840重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル(東邦化学工業社製ハイソルブMP)を10重量部、を添加し良く撹拌して樹脂組成物を得た。
(Production of three-layer flexible copper-clad laminate)
(1) Preparation of resin composition (1-1) Non-flame retardant resin composition The resin composition is 100 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (AER6121 (75% dissolved product) manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.) in terms of solid content. 8 parts by weight of diaminodiphenylsulfone, 0.5 part by weight of triethyl boron monoethylamine, 0.3 part by weight of imidazole (C11Z manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), acrylic rubber (S-VGLS-30 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd.) (30% dissolved product) was added in an amount of 80 parts by weight in terms of solid content, 840 parts by weight of methyl ethyl ketone, and 10 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether (Hisolv MP manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd.). Got.

(1−2)非難燃樹脂組成物
樹脂組成物は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成イーマテリアル社製AER6121(75%溶解品))を固形分換算で100重量部、ジアミノジフェニルスルホンを8重量部、3フッ化ホウ素モノエチルアミンを0.5重量部、イミダゾール(四国化成社製C11Z)を0.3重量部、ニトリルブタジエンゴム(坂井化学工業社製S−PNR−20(20%溶解品))を固形分換算で50重量部、メチルエチルケトンを700重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル(東邦化学工業社製ハイソルブMP)を10重量部、を添加し良く撹拌して樹脂組成物を得た。
(1-2) Non-Flame Retardant Resin Composition The resin composition is 100 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (AER6121 (75% dissolved product) manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.) and 8 parts by weight of diaminodiphenylsulfone. 0.5 parts by weight of boron trifluoride monoethylamine, 0.3 parts by weight of imidazole (C11Z manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), nitrile butadiene rubber (S-PNR-20 manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd. (20% dissolved product)) Was added in an amount of 50 parts by weight in terms of solid content, 700 parts by weight of methyl ethyl ketone, and 10 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether (Hisolv MP manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd.), and stirred well to obtain a resin composition.

(1−3)非難燃樹脂組成物
樹脂組成物は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成イーマテリアル社製AER6121(75%溶解品))を固形分換算で100重量部、ジアミノジフェニルスルホンを8重量部、3フッ化ホウ素モノエチルアミンを0.5重量部、イミダゾール(四国化成社製C11Z)を0.3重量部、フェノキシ樹脂(インケム社製PKHH)を固形分換算で100重量部、メチルエチルケトンを700重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル(東邦化学工業社製ハイソルブMP)を10重量部、を添加し良く撹拌して樹脂組成物を得た。
(1-3) Non-Flame Retardant Resin Composition The resin composition is 100 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (AER6121 (75% dissolved product) manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co.) and 8 parts by weight of diaminodiphenylsulfone. 0.5 parts by weight of boron trifluoride monoethylamine, 0.3 parts by weight of imidazole (C11Z manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.), 100 parts by weight of phenoxy resin (PKHH manufactured by Inchem Co., Ltd.) in terms of solid content, and 700 parts by weight of methyl ethyl ketone 10 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether (Hisolv MP manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd.) were added and stirred well to obtain a resin composition.

(1−4)難燃樹脂組成物
樹脂組成物は、リン含有エポキシ樹脂(新日鐵住金化学社製FX−305EK70(70%溶解品))を固形分換算で90重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(旭化成イーマテリアル社製AER260)を10重量部、ジアミノジフェニルスルホンを12重量部、3フッ化ホウ素モノエチルアミンを0.5重量部、イミダゾール(四国化成社製C11Z―CN)を0.2重量部、フェノキシ樹脂(三菱化学社製YX−8100BH30(30%溶解品))を固形分換算で100重量部、メチルエチルケトンを300重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル(東邦化学工業社製ハイソルブMP)を350重量部、を添加し良く撹拌して樹脂組成物を得た。
(1-4) Flame Retardant Resin Composition The resin composition is a phosphorus-containing epoxy resin (FX-305EK70 (70% dissolved product) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) 90 parts by weight in terms of solid content, bisphenol A type epoxy 10 parts by weight of resin (AER260 manufactured by Asahi Kasei E-Materials Co., Ltd.), 12 parts by weight of diaminodiphenylsulfone, 0.5 parts by weight of boron trifluoride monoethylamine, and 0.2 parts by weight of imidazole (C11Z-CN, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.) Parts, 100 parts by weight of phenoxy resin (Mitsubishi Chemical YX-8100BH30 (30% dissolved product)) in terms of solid content, 300 parts by weight of methyl ethyl ketone, 350 weights of propylene glycol monomethyl ether (Hisolv MP, manufactured by Toho Chemical Industry Co., Ltd.) Was added and stirred well to obtain a resin composition.

(2)片面の3層フレキシブル銅張積層板の作製
上述で得た(1−1)樹脂組成物を12.5μmのポリイミドフィルム(東レデュポン社製 カプトンEN(プラズマ処理品))に、バーコーターを用いて、乾燥後の膜厚が所定の膜厚となるように塗布し、オーブン(エスペック株式会社製恒温器PHH−101)を使用して100〜150℃、5分程度乾燥させた。乾燥後の膜厚は、MITUTOYO製の高精度デジタル測定器(LITEMATIC VL−50−B)を用いて測定を行った。
(2) Production of single-sided, three-layer flexible copper-clad laminate (1-1) The resin composition obtained above was applied to a 12.5 μm polyimide film (Kapton EN (plasma-treated product) manufactured by Toray DuPont) and a bar coater. Was applied so that the film thickness after drying would be a predetermined film thickness, and dried at 100 to 150 ° C. for about 5 minutes using an oven (a thermostat PHH-101 manufactured by Espec Corp.). The film thickness after drying was measured using a high precision digital measuring instrument (LITEMATIC VL-50-B) manufactured by MITUTOYO.

次に(1−1)樹脂組成物を塗布したフィルム面に銅箔をロールラミネーター(大成ラミネーター社製ファーストラミネーターVA−700)を用いて以下の条件で貼り合わせた。
ラミネートロール温度 30〜150℃
ラミネートスピード 0.5〜30m/分
ラミネート圧力(線圧) 0.1〜5MPa
Next, (1-1) A copper foil was bonded to the film surface coated with the resin composition using a roll laminator (First Laminator VA-700 manufactured by Taisei Laminator) under the following conditions.
Laminate roll temperature 30 ~ 150 ℃
Laminating speed 0.5-30m / min Laminating pressure (linear pressure) 0.1-5MPa

次に貼り合わせ後のサンプルを、オーブンを使用して180℃、1時間の条件でアフターベークを行った。その後、サンプルを室温まで冷却して片面の3層フレキシブル銅張積層板を得た。   Next, after baking, the sample was after-baked using an oven at 180 ° C. for 1 hour. Thereafter, the sample was cooled to room temperature to obtain a single-sided three-layer flexible copper-clad laminate.

(3)両面3層フレキシブル銅張積層板
両面3層フレキシブル銅張積層板は、上述の(1−1)樹脂組成物をポリイミドフィルムに、バーコーターを用いて、乾燥後の膜厚が所定の膜厚となるように塗布し、オーブンを使用して100〜150℃、5分の条件で乾燥させた後、樹脂組成物が塗布されていないポリイミド面にもバーコーターを用いて乾燥後の膜厚が所定の膜厚となるように塗布し、オーブンを使用して100〜150℃、5分の条件で乾燥させた。その後、上述のラミネート条件で両面同時に銅箔をロールラミネーターで貼り合わせた。その後、オーブンを使用して180℃、1時間の条件でアフターベークを行い、両面3層フレキシブル銅張積層板を得た。
(3) Double-sided three-layer flexible copper-clad laminate The double-sided three-layer flexible copper-clad laminate uses the above-mentioned (1-1) resin composition as a polyimide film and a bar coater, and the film thickness after drying is predetermined. The film is coated to a film thickness, dried using an oven at 100 to 150 ° C. for 5 minutes, and then dried using a bar coater on the polyimide surface to which the resin composition is not coated. It apply | coated so that thickness might become a predetermined | prescribed film thickness, and it dried on conditions of 100-150 degreeC and 5 minutes using oven. Then, copper foil was bonded together with the roll laminator simultaneously on both surfaces on the above-mentioned lamination conditions. Thereafter, after-baking was performed using an oven at 180 ° C. for 1 hour to obtain a double-sided three-layer flexible copper-clad laminate.

表1は、3層フレキシブル銅張積層板の接着層を上述の(1−1)樹脂組成物であって乾燥後の厚みを1.0μmとし、樹脂層をポリイミドフィルム12.5μmの同一の構成とし、金属層である銅箔を適宜替えた各実施例及び各比較例における特性結果である。   Table 1 shows that the adhesive layer of the three-layer flexible copper-clad laminate is the above-mentioned (1-1) resin composition, the thickness after drying is 1.0 μm, and the resin layer has the same configuration of polyimide film 12.5 μm And the characteristic results in the respective examples and comparative examples in which the copper foil as the metal layer was appropriately changed.

Figure 2016049773
Figure 2016049773

(実施例1)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、福田金属箔粉社製の電解銅箔T9DA SV(18μm)を使用した。接着層を積層する面は、M面(マット面)である。
(Example 1)
As the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, electrolytic copper foil T9DA SV (18 μm) manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd. was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the M surface (mat surface).

(実施例2)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、JX日鉱日石金属社製の圧延銅箔GHSN HA(12μm)を使用した。接着層を積層する面は、M面(マット面)である。
(Example 2)
As the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, rolled copper foil GHSN HA (12 μm) manufactured by JX Nippon Mining & Metals was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the M surface (mat surface).

(比較例1)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、JX日鉱日石金属社製の圧延銅箔GHSN HA(12μm)を使用した。接着層を積層する面は、S面(光沢面)である。
(Comparative Example 1)
As the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, rolled copper foil GHSN HA (12 μm) manufactured by JX Nippon Mining & Metals was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the S surface (glossy surface).

(比較例2)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、福田金属箔粉社製の電解銅箔T4M DS HD(18μm)を使用した。接着層を積層する面は、M面(マット面)である。
(Comparative Example 2)
As the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, electrolytic copper foil T4M DS HD (18 μm) manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd. was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the M surface (mat surface).

(比較例3)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、福田金属箔粉社製の圧延銅箔のRCF T9DA(18μm)を使用した。接着層を積層する面は、M面(マット面)である。
(Comparative Example 3)
For the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, RCF T9DA (18 μm) of rolled copper foil manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd. was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the M surface (mat surface).

(比較例4)
3層フレキシブル金属張積層板の金属層には、三井金属社製の3ECIII(18μm)を使用した。接着層を積層する面は、M面(マット面)である。
(Comparative Example 4)
As the metal layer of the three-layer flexible metal-clad laminate, 3ECIII (18 μm) manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd. was used. The surface on which the adhesive layer is laminated is the M surface (mat surface).

表1から明らかな通り、実施例1、2では、ピール強度、ラミネート性及びはんだ耐熱性で十分な特性が得られている。一方、比較例1から比較例4はラミネート性及びはんだ耐熱性で十分な特性が得られていないことがわかる。この中でも、比較例1及び比較例4は5N/cm以上のピール強度を発現しているものの、ラミネート性及びはんだ耐熱性で十分な特性が得られていない。この理由としては、接着層が積層される銅箔表面が平滑ではなく、接着層と銅箔層との間に空気が存在していたためと考えられる。さらに、実施例2と同様の圧延銅箔を用いた比較例1は、接着層が積層される銅箔面がS面(光沢面)を用いている。このS面には圧延銅箔の製造の際に形成されるオイルピットと呼ばれる凹みが形成されやすく、上記凹みに空気が存在し易いため、十分な特性が得られなかったと考えられる。   As is clear from Table 1, in Examples 1 and 2, sufficient characteristics were obtained in peel strength, laminating property and solder heat resistance. On the other hand, it can be seen that Comparative Example 1 to Comparative Example 4 do not have sufficient characteristics in terms of laminating properties and solder heat resistance. Among these, although the comparative example 1 and the comparative example 4 have expressed the peel strength of 5 N / cm or more, sufficient characteristic is not acquired by laminating property and solder heat resistance. This is probably because the surface of the copper foil on which the adhesive layer is laminated is not smooth and air exists between the adhesive layer and the copper foil layer. Furthermore, in Comparative Example 1 using the same rolled copper foil as in Example 2, the copper foil surface on which the adhesive layer is laminated uses the S surface (glossy surface). It is considered that sufficient characteristics could not be obtained because a recess called an oil pit formed during the production of the rolled copper foil was easily formed on the S surface, and air was easily present in the recess.

表2は、3層フレキシブル銅張積層板のフィルム層を東レデュポン社製のポリイミドフィルム12.5μmとし、金属層である銅箔を福田金属箔粉社製のT9DA SV箔18μmとし、接着層を上述の(1−1)樹脂組成物とし、乾燥後の厚みを適宜替えた各実施例及び各比較例における特性結果である。なお、接着層は銅箔のM面側(表面粗さ0.16μm、表面積率1.002)に積層した。   Table 2 shows that the film layer of the three-layer flexible copper-clad laminate is polyimide film 12.5 μm made by Toray DuPont, the copper foil as the metal layer is T9DA SV foil 18 μm made by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd., and the adhesive layer is It is a characteristic result in each Example and each comparative example which made the above-mentioned (1-1) resin composition, and changed the thickness after drying suitably. The adhesive layer was laminated on the M surface side (surface roughness 0.16 μm, surface area ratio 1.002) of the copper foil.

Figure 2016049773
Figure 2016049773

実施例3〜8はいずれもラミネート性及びピール強度で十分な特性が得られている。特に、実施例3〜6では、接着層の厚みが2μm未満であるので、接着層の樹脂組成物中に難燃性を発現する物質を含まない状態でもUL94VTM−0相当の3層フレキシブル金属張積層板を得ることができた。
一方、比較例5では、接着層の厚みが0.1μmであり、接着層の厚みとして不十分であるのでラミネート性及びピール強度で十分な特性が得られなかった。
In Examples 3 to 8, sufficient properties were obtained in terms of laminating properties and peel strength. In particular, in Examples 3 to 6, since the thickness of the adhesive layer is less than 2 μm, a three-layer flexible metal tension equivalent to UL94VTM-0 is included even in a state where the resin composition of the adhesive layer does not contain a substance that exhibits flame retardancy. A laminate was obtained.
On the other hand, in Comparative Example 5, the thickness of the adhesive layer was 0.1 μm, which was insufficient as the thickness of the adhesive layer, so that sufficient characteristics were not obtained in terms of laminating properties and peel strength.

表3は、3層フレキシブル銅張積層板の樹脂層をポリイミドフィルム12.5μmの構成とし、金属層である銅箔を福田金属箔粉社製のT9DA SV箔18μmとし、接着層を上述した(1−1)以外の樹脂組成物(1−2)〜(1−4)であって乾燥後の厚みを0.7〜3μmの間で変化させた際の各実施例における特性結果である。なお、接着層は銅箔のM面側(表面粗さ0.16μm、表面積率1.002)に積層した。   In Table 3, the resin layer of the three-layer flexible copper-clad laminate has a polyimide film 12.5 μm configuration, the copper foil as the metal layer is T9DA SV foil 18 μm manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd., and the adhesive layer is described above ( It is a resin composition (1-2)-(1-4) other than 1-1), Comprising: It is a characteristic result in each Example at the time of changing the thickness after drying between 0.7-3 micrometers. The adhesive layer was laminated on the M surface side (surface roughness 0.16 μm, surface area ratio 1.002) of the copper foil.

Figure 2016049773
Figure 2016049773

実施例9〜19はいずれもラミネート性及びピール強度で十分な特性が得られている。特に、実施例9、10、13及び14は、接着層の厚みが2μm未満であるので、接着層の樹脂組成物中に難燃性を発現する物質を含まない状態でもUL94VTM−0相当の3層フレキシブル金属張積層板を得ることができた。   In Examples 9 to 19, sufficient properties were obtained in terms of laminating properties and peel strength. In particular, in Examples 9, 10, 13 and 14, since the thickness of the adhesive layer is less than 2 μm, even in a state where the resin composition of the adhesive layer does not contain a substance exhibiting flame retardancy, 3 equivalent to UL94VTM-0. A layered flexible metal-clad laminate could be obtained.

接着層の樹脂組成物を難燃性とした場合、即ち実施例17、18及び19は、ラミネート性及びピール強度で十分な特性を発現しつつ、厚みが2μmより大きい場合であっても、UL94VTM−0相当の難燃性を発現した。   When the resin composition of the adhesive layer is made flame retardant, that is, Examples 17, 18 and 19 exhibit sufficient properties in laminating properties and peel strength, and even when the thickness is larger than 2 μm, UL94VTM It exhibited flame resistance equivalent to −0.

ここで、比較例6のように樹脂組成物の難燃性の有無に関係なく接着層の厚みが3μmより厚くなると、表3には記載していないが3層フレキシブル銅張積層板の寸法安定性が低下した。これは接着層の厚みが増したことにより、前記積層板が樹脂の硬化収縮の影響を受け易くなったためと考えられる。   Here, when the thickness of the adhesive layer is greater than 3 μm regardless of the presence or absence of flame retardancy of the resin composition as in Comparative Example 6, although not shown in Table 3, the dimensional stability of the three-layer flexible copper-clad laminate is not shown. Decreased. This is considered to be because the laminated board is easily affected by the curing shrinkage of the resin due to the increase in the thickness of the adhesive layer.

なお、寸法安定性は寸法変化率を測定して評価した。寸法変化率の測定は、JIS C 6471に準拠して測定用サンプルを作製し、中村製作所製 手動式二次元測定機bestool KANON Y−450を用いて測定を行った。   The dimensional stability was evaluated by measuring the dimensional change rate. The dimensional change rate was measured by preparing a measurement sample in accordance with JIS C 6471 and using a manual type two-dimensional measuring machine bestol KANON Y-450 manufactured by Nakamura Seisakusho.

上述の通り、片面の3層フレキシブル銅張積層板を用いて、本発明を説明したが、他の実施形態である両面3層フレキシブル銅張積層板においても、片面の3層フレキシブル銅張積層板と同様の結果が得られていることを確認した。   As described above, the present invention has been described using the single-sided three-layer flexible copper-clad laminate, but also in the double-sided three-layer flexible copper-clad laminate that is another embodiment, the single-sided three-layer flexible copper-clad laminate It was confirmed that the same results were obtained.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

10 3層フレキシブル金属張積層板、11 金属層、12 接着層、13 樹脂層、 200 両面3層フレキシブル金属張積層板、210 樹脂層、221 接着層、222 接着層、231 金属層、232 金属層。
10 three-layer flexible metal-clad laminate, 11 metal layers, 12 adhesive layers, 13 resin layers, 200 double-sided three-layer flexible metal-clad laminates, 210 resin layers, 221 adhesive layers, 222 adhesive layers, 231 metal layers, 232 metal layers .

Claims (14)

金属層と、接着層と、樹脂層と、を含む3層フレキシブル金属張積層板であって、
前記樹脂層の主面に形成された接着層上に積層される前記金属層の前記接着層側の表面の10点平均粗さ(Rz)が0.05〜0.25μmであり、表面積率が1.0001〜1.010であり、
前記接着層の厚みが0.3〜3.0μmである、3層フレキシブル金属張積層板。
A three-layer flexible metal-clad laminate including a metal layer, an adhesive layer, and a resin layer,
The 10-point average roughness (Rz) of the surface on the adhesive layer side of the metal layer laminated on the adhesive layer formed on the main surface of the resin layer is 0.05 to 0.25 μm, and the surface area ratio is 1.0001 to 1.010,
A three-layer flexible metal-clad laminate, wherein the adhesive layer has a thickness of 0.3 to 3.0 µm.
前記接着層の厚みが0.3〜1.5μmである、請求項1に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the adhesive layer has a thickness of 0.3 to 1.5 μm. 前記接着層は、エポキシ樹脂を含む、請求項1または2に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the adhesive layer includes an epoxy resin. 前記接着層は、ハロゲン系難燃剤及びリン系難燃剤を含まない、請求項3に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 3, wherein the adhesive layer does not include a halogen-based flame retardant and a phosphorus-based flame retardant. 前記接着層は、ポリイミド樹脂を含む、請求項1または請求項2に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 1 or 2, wherein the adhesive layer includes a polyimide resin. 前記樹脂層は、ポリイミドフィルムからなる、請求項1〜5に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 1, wherein the resin layer is made of a polyimide film. 金属層引きの引きはがし力が7N/cm以上である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the metal layer pulling-off force is 7 N / cm or more. 第1の主面と第2の主面とを有する樹脂層と、前記第1の主面には第1の接着層、第1の金属層がこの順に積層され、前記第2の主面には第2の接着層、第2の金属層がこの順に積層された両面3層フレキシブル金属張積層板であって、
前記第1の金属層の前記第1の接着層側及び前記第2の金属層の前記第2の接着層側の表面の10点平均粗さ(Rz)が0.05〜0.25μmであり、表面積率が1.0001〜1.010であり、
前記第1の接着層及び前記第2の接着層の厚みが0.3〜3.0μmである、両面3層フレキシブル金属張積層板。
A resin layer having a first main surface and a second main surface, and a first adhesive layer and a first metal layer are laminated in this order on the first main surface, and the second main surface has Is a double-sided three-layer flexible metal-clad laminate in which a second adhesive layer and a second metal layer are laminated in this order,
The 10-point average roughness (Rz) of the surfaces of the first metal layer on the first adhesive layer side and the second metal layer on the second adhesive layer side is 0.05 to 0.25 μm. The surface area ratio is from 1.0001 to 1.010,
A double-sided, three-layer flexible metal-clad laminate, wherein the first adhesive layer and the second adhesive layer have a thickness of 0.3 to 3.0 µm.
前記接着層の厚みが0.3〜1.5μmである、請求項8に記載の両面3層フレキシブル金属張積層板。   The double-sided three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 8, wherein the adhesive layer has a thickness of 0.3 to 1.5 μm. 前記接着層は、エポキシ樹脂を含む、請求項8または9に記載の両面3層フレキシブル金属張積層板。   The double-sided three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 8 or 9, wherein the adhesive layer contains an epoxy resin. 前記接着層は、ハロゲン系難燃剤及びリン系難燃剤を含まない、請求項10に記載の両面3層フレキシブル金属張積層板。   The double-sided, three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 10, wherein the adhesive layer does not contain a halogen-based flame retardant and a phosphorus-based flame retardant. 前記接着層は、ポリイミド樹脂を含む、請求項8または9に記載の両面3層フレキシブル金属張積層板。   The double-sided three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 8 or 9, wherein the adhesive layer contains a polyimide resin. 前記樹脂層は、ポリイミドフィルムからなる、請求項8〜12に記載の3層フレキシブル金属張積層板。   The three-layer flexible metal-clad laminate according to claim 8, wherein the resin layer is made of a polyimide film. 金属層引きの引きはがし力が7N/cm以上である、請求項8〜13のいずれか1項に記載の両面3層フレキシブル金属張積層板。   The double-sided three-layer flexible metal-clad laminate according to any one of claims 8 to 13, wherein the metal layer pulling-off force is 7 N / cm or more.
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