JP2016046912A5 - - Google Patents

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本発明に係る振動子ユニットは、弾性体と該弾性体接合される電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子と、前記振動子と接合される支持部材とを備える振動子ユニットであって、前記振動子を被駆動体に加圧接触させて前記振動子に振動を励起することで前記振動子と前記被駆動体とを相対的に移動させたときの前記振動子と被駆動体との相対的な移動方向を第1の方向、前記振動子の前記被駆動体に対する加圧方向を第2の方向、前記第1の方向および前記第2の方向と直交する方向を第3の方向として、前記支持部材は、前記振動子と接合される接合部と、前記接合部から前記第2の方向に延伸する第1の部分、および、前記第1の部分から前記第1の方向に延伸する第2の部分を有する弾性変形部と、前記弾性変形部から前記第1の方向に延伸する固定部と、を有し、少なくとも前記接合部、前記第1の部分および前記第2の部分は、前記第3の方向から見たときに前記弾性体と重複することを特徴とする

Claims (13)

  1. 弾性体と該弾性体接合される電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子と、前記振動子と接合される支持部材とを備える振動子ユニットであって、
    前記振動子を被駆動体に加圧接触させて前記振動子に振動を励起することで前記振動子と前記被駆動体とを相対的に移動させたときの前記振動子と被駆動体との相対的な移動方向を第1の方向、前記振動子の前記被駆動体に対する加圧方向を第2の方向、前記第1の方向および前記第2の方向と直交する方向を第3の方向として、
    前記支持部材は、
    前記振動子と接合される接合部と、
    前記接合部から前記第2の方向に延伸する第1の部分、および、前記第1の部分から前記第1の方向に延伸する第2の部分を有する弾性変形部と、
    前記弾性変形部から前記第1の方向に延伸する固定部と、を有し、
    少なくとも前記接合部、前記第1の部分および前記第2の部分は、前記第3の方向から見たときに前記弾性体と重複することを特徴とする振動子ユニット。
  2. 前記弾性体および前記電気−機械エネルギ変換素子はそれぞれ、矩形平板状の形状を有し、
    前記第1の方向、前記第2の方向、前記第3の方向はそれぞれ、前記振動子の長辺と平行な方向、前記振動子の厚さ方向、前記振動子の短辺と平行な方向であり、
    前記第2の方向から見たときに、前記弾性体と前記電気−機械エネルギ変換素子とは重複することを特徴とする請求項1に記載の振動子ユニット。
  3. 前記弾性体において前記電気−機械エネルギ変換素子が接合された面の反対側の面に前記第1の方向に並べて配置された2つの突起部を有し、
    前記振動子は、前記第1の方向と前記第3の方向のそれぞれの方向において対称な形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の振動子ユニット。
  4. 前記振動子は、前記第2の方向に延びる中心軸について対称な形状を有することを特徴とする請求項に記載の振動子ユニット。
  5. 前記振動子の前記第1の方向における端部と前記第3の方向における端部は共に、前記支持部材と接触していないことを特徴とする請求項乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  6. 前記接合部の前記第1の方向における幅と前記第3の方向における幅はそれぞれ、前記弾性体の前記第1の方向と前記第3の方向のそれぞれの長さの20%以下であることを特徴とする請求項乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  7. 前記支持部材は、前記第2の方向から見たときに前記振動子と重なる部位における前記第3の方向の寸法が、前記振動子の前記第3の方向の寸法以下であることを特徴とする請求項乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  8. 前記支持部材の前記固定部は、前記弾性変形部の少なくとも一部よりも前記振動子と当接する被駆動体から前記第2の方向に離れるように形成されていることを特徴とする請求項乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  9. 前記支持部材は薄板状の金属部材であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  10. 前記支持部材は、前記接合部において前記弾性体と接合されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  11. 前記支持部材は、前記接合部において前記電気−機械エネルギ変換素子と接合されていることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の振動子ユニット。
  12. 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の振動子ユニットと、被駆動体とを備え、前記振動子ユニットの振動子を前記被駆動体に接触させて前記振動子に振動を励起することで前記振動子と前記被駆動体とを相対的に移動させる振動型アクチュエータであって、
    前記支持部材が固定される基台と、
    記基台を前記被駆動体に対して押し付ける加圧バネと、
    前記加圧バネを支持するバネ支持部材と、を備えることを特徴とする振動型アクチュエータ。
  13. 請求項12に記載の振動型アクチュエータと、
    前記振動型アクチュエータによって動されるレンズと、
    前記レンズを通過した光が結像する位置に設けられた撮像素子と、を備えることを特徴とする撮像装置。
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