JP2016044606A - バキュームポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】排気口からの異物の侵入を防ぐことができるバキュームポンプを提供する。
【解決手段】一態様は、空気を吸い込む吸気口と、吸気口から吸い込まれた空気を外部に排出する排気口４６と、を有する電動バキュームポンプ１において、排気口４６を覆うキャップ２２を有し、キャップ２２は、排気口４６からの空気の排出を実行するポンプ作動時に排気口４６と外部を連通させ、排気口４６からの空気の排出を停止するポンプ停止時に排気口４６と外部を遮断させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、負圧を生成するバキュームポンプに関するものであり、例えば自動車等の車両のブレーキブースタで用いられる。

特許文献１には、シリンダ室から吐出口を介して膨張室に流入した空気を外部に排出する排気口が上方向に開口している真空ポンプが開示されている。

特開２０１２−１１７４４１号公報

しかしながら、特許文献１の真空ポンプでは、排気口が上方向に向いているので、外部の水やゴミなどの異物が排気口から内部に侵入し易い。特に、吸引動作の実行時に真空ポンプの内部は負圧になっているので、吸引動作の停止時に排気口から多少の空気を吸い込む。このとき、異物が排気口から内部に侵入する可能性が大きくなる。このようにして真空ポンプの内部に水が残留すると、真空ポンプの吸引性能が低下したり、錆が発生してポンプロック（ロータが回転できない状態）が発生するおそれがある。また、真空ポンプの内部にゴミが堆積すると、真空ポンプの吸引性能が低下したり、ゴミがモータ部に挟まってポンプロックが発生するおそれがある。

そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、排気口からの異物の侵入を防ぐことができるバキュームポンプを提供すること、を課題とする。

上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、気体を吸い込む吸気口と、前記吸気口から吸い込まれた前記気体を外部に排出する排気口と、を有するバキュームポンプにおいて、前記排気口を覆う蓋部材を有し、前記蓋部材は、前記排気口からの前記気体の排出を実行するポンプ作動時に前記排気口と前記外部を連通させ、前記排気口からの前記気体の排出を停止するポンプ停止時に前記排気口と前記外部を遮断させること、を特徴とする。

この態様によれば、ポンプ作動時には、排気流（排気口から外部へ排出される気体の流れ）が発生するので、排気口からバキュームポンプの内部に異物が侵入しない。また、ポンプ停止時には、排気流が発生しないが、蓋部材が排気口と外部を遮断させるので、排気口からバキュームポンプの内部に異物が侵入しない。このようにして、排気口からバキュームポンプの内部に異物が侵入することを防止できる。

上記の態様においては、筒状の排気ポートを有し、前記排気口は、前記排気ポートの中心軸方向の一方の端部である開口端部の内側に形成され、前記蓋部材は、前記開口端部に当接して、前記排気口と前記外部を遮断させること、が好ましい。

この態様によれば、より確実に、排気口からバキュームポンプの内部に異物が侵入することを防止できる。

上記の態様においては、前記排気ポートの中心軸方向は重力方向と平行または略平行であり、前記開口端部は、前記排気ポートの中心軸方向における反重力側に配置され、前記蓋部材は、自重により、前記開口端部に当接して、前記排気口と前記外部を遮断させること、が好ましい。

この態様によれば、排気流が生じないときには、蓋部材の自重により排気口と外部を遮断させることができる。そのため、より確実に、ポンプ停止時に排気口と外部を遮断させることができる。

上記の態様においては、前記蓋部材を前記開口端部に当接させるように付勢する付勢部材を有すること、が好ましい。

この態様によれば、排気口における外部に対する密閉性を向上させることができる。また、排気ポートの開口端部の向きを、重力の向きに関わらず、自由に設定できる。

上記の態様においては、前記蓋部材は、底面を有する筒状に形成され、前記蓋部材の内周面の内側に前記排気ポートが配置され、前記蓋部材と前記排気ポートの間に形成される排気通路における前記気体の流れ方向について、前記排気通路の断面積は少なくとも１回拡大すること、が好ましい。

この態様によれば、排気通路にてサイレンサ機能が生じ、騒音を低減できる。

上記の態様においては、前記排気ポートの外周面から外側に突出する鍔状部と前記蓋部材の内周面との間に、前記排気通路の断面積が縮小される縮小部を有すること、が好ましい。

この態様によれば、縮小部にて排気通路の断面積が確実に縮小されるので、より確実に、排気通路にて騒音を低減できる。

上記の態様においては、前記排気通路の断面積は、前記排気口の開口面積以上であること、が好ましい。

この態様によれば、排気流に影響を与えずに、排気通路にて騒音を低減できる。

上記の態様においては、前記蓋部材と排気ポートの間に形成される排気通路は、ラビリンス構造に形成されること、が好ましい。

この態様によれば、排気通路にてサイレンサ機能が生じ、騒音を低減できる。

本発明に係るバキュームポンプによれば、排気口からの異物の侵入を防ぐことができる。

電動バキュームポンプの外観斜視図（一部は断面図）である。 図１のＡ−Ａ断面図（一部は外観図）である。 ポンプ停止時のキャップと排気ポートの周辺の拡大断面図である。 図３のＢ−Ｂ断面図である。 図３のＣ−Ｃ断面図である。 ポンプ作動時のキャップと排気ポートの周辺の拡大断面図である。 スプリングを備えた例を示す断面図である。 パンチング穴を備えた例を示す断面図である。 ラビリンス構造の排気通路を示す端面図である。 排気ポートの開口端部をＲ形状にする例を示す断面図である。 キャップに丸いでっぱりを設ける例を示す断面図である。 Ｏリングを追加する例を示す断面図である。

＜電動バキュームポンプの全体構成＞
まず、電動バキュームポンプ１の全体構成について説明する。電動バキュームポンプ１は、円筒形状をなしており、図１に示すように、その側面に吸気ポート２８を備え、その上面に排気ポート４４を備えている。

図１と図２に示すように、電動バキュームポンプ１は、回路部１０と、モータ部１２と、ポンプ部１４と、ポンプ部用ケース１６と、蓋１８と、サイレンサ部２０、キャップ２２、ブラケット２４などを有している。そして、ポンプ部１４は、ポンプ部用ケース１６の内部空間内に配置されている。また、ポンプ部用ケース１６は、蓋１８により閉塞されている。

回路部１０は、モータ部１２へ電力を供給する。モータ部１２は、電動モータ（不図示）と、シャフト２６などを備えている。シャフト２６は、電動モータの回転子（不図示）と一体に取り付けられている。

ポンプ部１４は、ベーン式バキュームポンプにより構成され、ポンプ部用ケース１６内においてモータ部１２の上部に配置されている。そして、ポンプ部１４は、モータ部１２に連動して駆動する。また、ポンプ部用ケース１６は、吸気ポート２８を備えている。吸気ポート２８は、電動バキュームポンプ１の内部へ空気を吸い込む吸気口２９を備えている。

ここで、ベーン式バキュームポンプは、円柱形状をなすポンプ室３０内に偏心状態で配設されたロータ３２に溝（不図示）を設け、この溝に複数枚のベーン（不図示）がロータ３２の径方向に移動可能に挿入された構造を有している。そして、ロータ３２が回転すると、遠心力によりベーンが溝から突出し、ベーンがポンプ室３０の内周面と摺接する。これとともに、ベーンにより区画された閉塞空間の容積が増減することで、気体（例えば、空気）の吸入、圧縮、排出（吐出）が行われ、ポンプ室３０内に負圧が発生するようになっている。

ポンプ室３０は、吸入口３６および吐出口３８を介して外部と連通している。吸入口３６は、側壁４０に設けられている。吐出口３８は、カバー部材４２に設けられている。

蓋１８は、ポンプ部１４を収容するポンプ部用ケース１６の上部開口端を閉塞する樹脂部材である。蓋１８は、ポンプ部１４の吐出口３８に連通する空間が設けられたサイレンサ部２０と、ポンプ部１４から排出された空気をポンプ外部へ排出する排気ポート４４などを備えている。

そして、サイレンサ部２０は、蓋１８の内部空間に形成されている。これにより、ポンプ部１４の吐出口３８から吐出された排気は、サイレンサ部２０を通過した後、排気ポート４４を流れて電動バキュームポンプ１の外部へ排出される。

キャップ２２は、排気ポート４４に嵌合しており、排気口４６を覆っている。なお、キャップ２２は、本発明の「蓋部材」の一例である。また、キャップ２２や排気ポート４４の詳細については、後述する。

このような構成を有する電動バキュームポンプ１において、モータ部１２が駆動してシャフト２６が回転すると、ロータ３２が回転する。そして、このロータ３２の回転に伴い、各ポンプ室３０の体積が膨張または圧縮する。これにより、空気は、吸気ポート２８の吸気口２９から吸入口３６を介してポンプ室３０内に吸入されるとともに、吐出口３８からポンプ室３０外のサイレンサ部２０内に吐出される。この動作により、ポンプ室３０内に負圧が作り出される。そして、空気は、サイレンサ部２０内に吐出された後、排気ポート４４（排気口４６）と後述する排気通路６６を介して、電動バキュームポンプ１の外部へ排出される。なお、図２において、ポンプ室３０内にて負圧が作り出されているときの空気の流れが、一点鎖線の矢印で示されている。

＜排気ポート周辺の構造と作用について＞
次に、電動バキュームポンプ１における排気ポート４４周辺の構造と作用について説明する。

図３〜図５に示すように、排気ポート４４は、略円筒状に形成されている。また、排気ポート４４は、当該排気ポート４４の中心軸方向（図３の上下方向）の一方の端部である開口端部４４ｂ（図３の上側の端部、ポンプ室３０側の端部に対して反対側の端部）における内周面４４ａの内側に形成される排気口４６を備えている。排気口４６は、吸気口２９から吸い込まれた空気を後述する排気通路６６を介して外部に排出する部分である。

また、排気ポート４４は、第１突起部４８と、第２突起部５０を備えている。第１突起部４８と第２突起部５０は、排気ポート４４の外周面４４ｃから排気ポート４４の径方向の外側に突出するように形成されている。なお、第１突起部４８と第２突起部５０は、各々、本発明における「鍔状部」の一例である。

ここで、第１突起部４８において、排気ポート４４の外周面４４ｃから排気ポート４４の径方向の外側に突出する量（以下、単に「突出量」という。）は、排気ポート４４の周方向の位置によって異なる。具体的には、図４に示すように、第１突起部４８は、突出量が所定量Ａの大突出部５２と、突出量が前記の所定量Ａよりも小さい小突出部５４とを備えている。そして、排気ポート４４の周方向について、大突出部５２、小突出部５４、大突出部５２、小突出部５４の順に配置されている。なお、図４における２点鎖線は、説明の便宜上、大突出部５２と小突出部５４の境界部分を示したものである。

そして、図４に示すように、キャップ２２の内周面２２ｂと第１突起部４８の小突出部５４との間に、開口部分である絞り５６が形成されている。絞り５６は、２つ形成されている。このようにして、キャップ２２と排気ポート４４の間に形成される排気通路６６は、排気通路６６の断面積が縮小する絞り５６を備えている。なお、絞り５６は、本発明における「縮小部」の一例である。

また、第２突起部５０においても、第１突起部４８と同様に、突出量は、排気ポート４４の周方向の位置によって異なる。具体的には、図５に示すように、第２突起部５０は、突出量が所定量Ａの大突出部５８と、突出量が前記の所定量Ａよりも小さい小突出部６０とを備えている。そして、排気ポート４４の周方向について、大突出部５８、小突出部６０、大突出部５８、小突出部６０の順に配置されている。なお、図５における２点鎖線は、説明の便宜上、大突出部５８と小突出部６０の境界部分を示したものである。

そして、図５に示すように、キャップ２２の内周面２２ｂと第２突起部５０の小突出部６０との間に、開口部分である絞り６４が形成されている。絞り６４は、２つ形成されている。このようにして、キャップ２２と排気ポート４４の間に形成される排気通路６６は、排気通路６６の断面積が縮小する絞り６４を備えている。なお、絞り６４は、本発明における「縮小部」の一例である。

なお、所定量Ａは、キャップ２２の内周面２２ｂと排気ポート４４の外周面４４ｃとの間の距離の大きさと等しいか、または、キャップ２２の内周面２２ｂと排気ポート４４の外周面４４ｃとの間の距離の大きさよりも僅かに小さい。すなわち、キャップ２２の内周面２２ｂと第１突起部４８の大突出部５２の外周部５２ａとは、接しているか、または、僅かな隙間を空けて離れている。また、キャップ２２の内周面２２ｂと第２突起部５０の大突出部５８の外周部５８ａとは、接しているか、または、僅かな隙間を空けて離れている。

また、絞り５６と絞り６４は、排気ポート４４の周方向について配置される位置が異なる。具体的には、絞り５６と絞り６４が配置される位置は、排気ポート４４の周方向について、９０°異なる。

そして、空気（排気）の流れ方向について、絞り５６と絞り６４を過ぎると、排気通路６６における排気ポート４４の径方向の断面積は、絞り５６と絞り６４よりも拡大する。すなわち、排気通路６６における空気の流れ方向について、排気通路６６における排気ポート４４の径方向の断面積は、少なくとも１回拡大する。このようにして、排気口４６と外部の間の排気通路６６における排気ポート４４の径方向の断面積は、縮小と拡大を繰り返している。

キャップ２２は、底面２２ａを有する筒状に形成されている。キャップ２２は、開口側の端部に、内側突部６２を備えている。内側突部６２は、キャップ２２の内周面２２ｂから径方向の内側に突出するように形成されている。

そして、蓋１８の上面１８ａとキャップ２２の開口側の端面２２ｃとの間には、隙間δが形成されている。モータ部１２が停止しておりポンプ室３０内に負圧が作り出されないポンプ停止時において、この隙間δにおける開口面積は、排気口４６の開口面積以上である。なお、ポンプ停止時において、隙間δは、例えば、５ｍｍ以上である。

このような構造のキャップ２２と排気ポート４４は、以下のように作用する。なお、ここでは、排気ポート４４の中心軸方向は、重力方向と平行または略平行である。そして、開口端部４４ｂは、排気ポート４４の中心軸方向における反重力側に配置されている。

そこで、まず、モータ部１２が停止しておりポンプ室３０内に負圧が作り出されないポンプ停止時においては、排気口４６からの空気の排出が停止されている。これにより、キャップ２２は自重によって重力が作用する側に移動し（下がり）、キャップ２２の底面２２ａが排気ポート４４の開口端部４４ｂに当接している。そのため、排気口４６は、外部から遮断されている。このようにして、キャップ２２は、排気口４６からの空気の排出を停止するポンプ停止時に、排気口４６と外部を遮断させる。

一方、モータ部１２が駆動しておりポンプ室３０内に負圧が作り出されるポンプ作動時においては、排気口４６からの空気の排出が実行されている。これにより、キャップ２２は排気口４６からの排気圧によって反重力側（重力が作用する側とは反対側）に移動し（浮き上がり）、キャップ２２の底面２２ａが排気ポート４４の開口端部４４ｂから離れている。そのため、排気口４６は、外部に連通している。このようにして、キャップ２２は、排気口４６からの空気の排出を実行するポンプ作動時に、排気口４６と外部を連通させる。なお、このとき、キャップ２２の内側突部６２は、排気ポート４４の第２突起部５０の大突出部５８に当接している。これにより、キャップ２２は、これ以上浮き上がることができない。

このように、ポンプ作動時において、排気口４６は外部に連通しているので、前記の図２の矢印に示すように、ポンプ室３０から排出される空気は、サイレンサ部２０、排気ポート４４の内部を通過して排気口４６から排出される。そして、排気口４６から排出される空気は、さらに、キャップ２２と排気ポート４４の間に形成された排気通路６６の内部を、図中の下方向に向かって流れた後、外部に排出される。

ここで、排気通路６６における排気ポート４４の径方向（図３の左右方向）の断面積は、排気口４６の開口面積以上である。詳しくは、絞り５６における排気ポート４４の径方向の断面積（２つ形成された絞り５６の総断面積）は、排気口４６の開口面積以上である。また、絞り６４における排気ポート４４の径方向の断面積（２つ形成された絞り６４の総断面積）は、排気口４６の開口面積以上である。

なお、図７に示すように、電動バキュームポンプ１は、キャップ２２の内側突部６２と排気ポート４４の第２突起部５０との間に、スプリング６８を備えていてもよい。スプリング６８は、キャップ２２の底面２２ａを排気ポート４４の開口端部４４ｂ側に付勢している。これにより、排気口４６は、より確実に、キャップ２２によって外部から遮断されている。なお、スプリング６８は、本発明における「付勢部材」の一例である。

また、図８に示すように、排気ポート４４は、突起部７０を備えていてもよい。突起部７０は、排気ポート４４の周方向について、突出量が一定である。具体的には、キャップ２２の内周面２２ｂと突起部７０の外周部７０ａは、接しているか、または、僅かな隙間を空けて離れている。そして、突起部７０は、複数のパンチング穴７２を備えている。パンチング穴７２は、突起部７０の板厚方向について突起部７０を貫通する穴である。

また、図９に示すように、キャップ２２と排気ポート４４の間に形成される排気通路７４は、ラビリンス構造に形成されていてもよい。ここで、「ラビリンス構造」とは、蛇行した通路を形成する迷路構造である。ここでは、排気ポート４４の外側にさらに排気ポート４４が形成されている。

また、図１０に示すように、排気ポート４４の開口端部４４ｂは、Ｒ形状に形成されていてもよい。これにより、ポンプ停止時に、キャップ２２の底面２２ａは、排気ポート４４の開口端部４４ｂに線接触する。そのため、排気口４６は、より確実に、キャップ２２によって外部から遮断される。

また、図１１に示すように、キャップ２２は、底面２２ａに、丸いでっぱり７６を備えていてもよい。でっぱり７６は、底面２２ａの中心部分にて、キャップ２２の開口側に突出するように、略半球状に形成されている。これにより、ポンプ停止時に、キャップ２２の底面２２ａは、排気ポート４４の開口端部４４ｂに線接触する。そのため、排気口４６は、より確実に、キャップ２２によって外部から遮断される。

また、図１２に示すように、排気ポート４４は第３突起部８０を備え、かつ、第３突起部８０にＯリング８２が配置されていてもよい。Ｏリング８２におけるキャップ２２の底面２２ａ側の端部は、排気ポート４４の開口端部４４ｂよりもキャップ２２の底面２２ａ側の位置に配置されている。これにより、ポンプ停止時に、キャップ２２の底面２２ａは、Ｏリング８２に線接触する。そのため、排気口４６は、より確実に、キャップ２２によって外部から遮断される。

また、変形例として、前記の絞り５６や絞り６４は、それぞれ、１つのみ形成されていてもよい。さらに、電動バキュームポンプ１は、排気ポート４４に備わる第１突起部４８や第２突起部５０や突起部７０の代わりに、キャップ２２の内周面２２ｂから内側に突出する突起部を備えていてもよい。

以上のように、本実施例によれば、キャップ２２は、ポンプ作動時に排気口４６と外部を連通させ、ポンプ停止時に排気口４６と外部を遮断させる。

これにより、ポンプ作動時には、排気流（排気口から外部へ排出される気体の流れ）が発生するので、排気口４６から電動バキュームポンプ１の内部に異物が侵入しない。また、ポンプ停止時には、排気流が発生しないが、キャップ２２が排気口４６と外部を遮断させるので、排気口４６から電動バキュームポンプ１の内部に異物が侵入しない。このようにして、排気口４６から電動バキュームポンプ１の内部に異物が侵入することが防止される。そのため、例えば、車両の走行中に、電動バキュームポンプ１の内部へ路面の水やゴミや砂等が吸い込まれることが抑制される。

また、キャップ２２は、排気ポート４４の開口端部４４ｂに当接して、排気口４６と外部を遮断させる。これにより、より確実に、排気口４６から電動バキュームポンプ１の内部に異物が侵入することが防止される。

また、排気ポート４４の中心軸方向は重力方向と平行または略平行であり、開口端部４４ｂは排気ポート４４の中心軸方向における反重力側に配置されている。そして、キャップ２２は、自重により、開口端部４４ｂに当接して、排気口４６と外部を遮断させる。これにより、排気流が生じないときには、キャップ２２の自重により、排気口４６と外部は遮断される。そのため、より確実に、ポンプ停止時に排気口４６と外部は遮断される。

また、電動バキュームポンプ１は、キャップ２２を開口端部４４ｂに当接させるように付勢するスプリング６８を有する。すなわち、スプリング６８は、キャップ２２の底面２２ａを開口端部４４ｂ側に付勢する。これにより、排気口４６における外部に対する密閉性が向上する。また、排気ポート４４の開口端部４４ｂの向きは、重力の向きに関わらず、自由に設定可能となる。

また、キャップ２２は、底面２２ａを有する筒状に形成されている。そして、キャップ２２の内周面２２ｂの内側に排気ポート４４が配置されている。さらに、キャップ２２と排気ポート４４との間に形成される排気通路６６における空気の流れ方向について、排気通路６６の断面積は少なくとも１回拡大する。これにより、排気通路６６にてサイレンサ機能が発揮されて、騒音が低減される。なお、詳しくは、排気通路６６は、キャップ２２の内周面２２ｂと排気ポート４４の外周面４４ｃとの間、および、キャップ２２の内周面２２ｂと排気ポート４４の第１突起部４８の小突出部５４との間、および、キャップ２２の内周面２２ｂと排気ポート４４の第２突起部５０の小突出部６０との間に形成される。

また、電動バキュームポンプ１は、排気ポート４４の外周面４４ｃから外側に突出する第１突起部４８の小突出部５４とキャップ２２の内周面２２ｂとの間に、排気通路６６の断面積が縮小される絞り５６を有する。さらに、電動バキュームポンプ１は、排気ポート４４の外周面４４ｃから外側に突出する第２突起部５０の小突出部６０とキャップ２２の内周面２２ｂとの間に、排気通路６６の断面積が縮小される絞り６４を有する。これにより、絞り５６と絞り６４にて排気通路６６の断面積が確実に縮小されるので、より確実に、排気通路６６にて騒音が低減される。

また、排気通路６６の断面積は、排気口４６の開口面積以上である。これにより、排気流に影響を与えずに、排気通路６６にて騒音が低減される。

また、キャップ２２と排気ポート４４の間に形成される排気通路７４は、ラビリンス構造に形成されている。これにより、排気通路７４にてサイレンサ機能が生じ、騒音が低減される。

なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。

１ 電動バキュームポンプ
１４ ポンプ部
１８ 蓋
１８ａ 上面
２２ キャップ
２２ａ 底面
２２ｂ 内周面
２２ｃ 端面
２８ 吸気ポート
２９ 吸気口
３０ ポンプ室
３６ 吸入口
３８ 吐出口
４４ 排気ポート
４４ａ 内周面
４４ｂ 開口端部
４４ｃ 外周面
４６ 排気口
４８ 第１突起部
５０ 第２突起部
５２ 大突出部
５２ａ 外周部
５４ 小突出部
５６ 絞り
５８ 大突出部
５８ａ 外周部
６０ 小突出部
６２ 内側突部
６４ 絞り
６６ 排気通路
６８ スプリング
７０ 突起部
７０ａ 外周部
７２ パンチング穴
７４ 排気通路
７６ でっぱり
８０ 第３突起部
８２ Ｏリング
δ 隙間
Ａ 所定量

Claims (8)

1. 気体を吸い込む吸気口と、前記吸気口から吸い込まれた前記気体を外部に排出する排気口と、を有するバキュームポンプにおいて、
   前記排気口を覆う蓋部材を有し、
   前記蓋部材は、前記排気口からの前記気体の排出を実行するポンプ作動時に前記排気口と前記外部を連通させ、前記排気口からの前記気体の排出を停止するポンプ停止時に前記排気口と前記外部を遮断させること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
2. 請求項１のバキュームポンプにおいて、
   筒状の排気ポートを有し、
   前記排気口は、前記排気ポートの中心軸方向の一方の端部である開口端部の内側に形成され、
   前記蓋部材は、前記開口端部に当接して、前記排気口と前記外部を遮断させること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
3. 請求項２のバキュームポンプにおいて、
   前記排気ポートの中心軸方向は重力方向と平行または略平行であり、
   前記開口端部は、前記排気ポートの中心軸方向における反重力側に配置され、
   前記蓋部材は、自重により、前記開口端部に当接して、前記排気口と前記外部を遮断させること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
4. 請求項２または３のバキュームポンプにおいて、
   前記蓋部材を前記開口端部に当接させるように付勢する付勢部材を有すること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
5. 請求項２乃至４のいずれか１つのバキュームポンプにおいて、
   前記蓋部材は、底面を有する筒状に形成され、
   前記蓋部材の内周面の内側に前記排気ポートが配置され、
   前記蓋部材と前記排気ポートの間に形成される排気通路における前記気体の流れ方向について、前記排気通路の断面積は少なくとも１回拡大すること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
6. 請求項５のバキュームポンプにおいて、
   前記排気ポートの外周面から外側に突出する鍔状部と前記蓋部材の内周面との間に、前記排気通路の断面積が縮小される縮小部を有すること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
7. 請求項５または６のバキュームポンプにおいて、
   前記排気通路の断面積は、前記排気口の開口面積以上であること、
   を特徴とするバキュームポンプ。
8. 請求項１乃至４のいずれか１つのバキュームポンプにおいて、
   前記蓋部材と排気ポートの間に形成される排気通路は、ラビリンス構造に形成されること、
   を特徴とするバキュームポンプ。

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