JP2016043577A - 液体吐出装置の製造方法 - Google Patents
液体吐出装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016043577A JP2016043577A JP2014169527A JP2014169527A JP2016043577A JP 2016043577 A JP2016043577 A JP 2016043577A JP 2014169527 A JP2014169527 A JP 2014169527A JP 2014169527 A JP2014169527 A JP 2014169527A JP 2016043577 A JP2016043577 A JP 2016043577A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- nozzle
- nozzles
- convex portion
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【解決手段】合成樹脂製のプレート70と、金属製のプレート38とを積層して、プレート70,38の積層体52を形成する。次に、積層体52に対して、金属プレート38側からプレス加工を行って、積層体52に、合成樹脂プレート70側に突出する凸部50を形成する。凸部50を形成した後に、積層体52の合成樹脂プレート70に、複数のノズル44を、合成樹脂プレート70の凸部50が突出する面にそれぞれの吐出口が配置されるように形成する。
【選択図】図6
Description
図4に示すように、流路ユニット23は、複数枚のプレート31〜39が積層された構造を有する。複数枚のプレート31〜39は、互いに積層された状態でそれぞれ接着剤によって接合されている。複数枚のプレート31〜39のうちの、最下層のプレート39は、複数のノズル44が形成されたノズルプレートである。ノズルプレート39は、ポリイミド等の合成樹脂からなるプレートである。ノズルプレート39には、このプレート39を厚み方向に貫通する、先細りのテーパ形状の複数のノズル44が形成されている。尚、以下の説明では、複数のノズル44の吐出口44aが形成されたノズルプレート39の下面を、特に、インク吐出面39aとも呼ぶこともある。
図2〜図4に示すように、圧電アクチュエータ24は、振動板60と、圧電層64,65と、複数の個別電極62と、共通電極66を備えている。振動板60は、複数の圧力室47を覆った状態で流路ユニット23の上面に接合されている。2枚の圧電層64,65は、振動板60の上面に積層されている。複数の個別電極62は、上層の圧電層65の上面において、複数の圧力室47とそれぞれ対向するように配置されている。共通電極66は、2枚の圧電層64,65の間において、複数の圧力室47に跨って配置されている。
まず、図4に示される、流路ユニット23を構成する複数の金属プレート31〜38に対して、それぞれ、圧力室47やマニホールド46となる孔や、個別流路孔32c〜38cなどの、それぞれインク流路の一部を構成する各種流路孔を、エッチングで形成する。また、このとき同時に、プレート37にハーフエッチングで凹部37bを形成する。また、プレート38にも、ハーフエッチングで凹部38bを形成することによって、薄肉部38aを形成する。
次に、図6(a)に示すように、ノズルプレート39となる合成樹脂プレート70の一方の面(インク吐出面39aとなる面)に、撥液膜40を形成する。撥液膜40は、フッ素系樹脂のフィルムを合成樹脂プレート70に貼り付けることによって形成してもよいし、液状のフッ素系樹脂を合成樹脂プレート70に塗布することによって形成してもよい。
次に、図6(b)に示すように、合成樹脂プレート70と、先の工程で複数の個別流路孔38cが形成された1枚の金属プレート38とを積層し、両者を接着剤で接合する。尚、この積層工程においては、合成樹脂プレート70と金属プレート38との間に接着剤が介在した状態で、2枚のプレート70,38を押圧して接合する。その際に、金属プレート38の薄肉部38aと合成樹脂プレート70との間において、接着剤が十分に押圧されず、この部分に空気が残りやすい。
次に、図6(c)に示すように、合成樹脂プレート70の、金属プレート38とは反対側の、撥液膜40が形成されている下面に、合成樹脂フィルムからなる保護膜71を貼り付ける。この保護膜71は、例えば、UV剥離性の接着剤を用いて合成樹脂プレート70に接着する。
次に、図6(d)に示すように、積層体52にプレス加工を行って、所定方向に配列された複数の凸部50を形成する。まず、積層体52を、その下面に保護膜71が貼り付けられた状態で、複数の孔72aを有するダイ72の上に設置する。また、このとき、金属プレート38の薄肉部38aがダイ72の複数の孔72aを覆うように積層体52を設置する。次に、金属プレート38の薄肉部38aにパンチ73を当て、積層体52に対して、プレート38側から、パンチ73のテーパ状の先端部を押し込んでプレス加工を行う。即ち、金属のプレート38に塑性変形を生じさせて、積層体52を部分的に下方に突出変形させる。これにより、積層体52に、合成樹脂プレート70の下面よりも突出する複数の凸部50を形成する。尚、このプレス加工の際に、合成樹脂プレート70の下面は保護膜71に覆われてダイ72に接触していないため、合成樹脂プレート70の下面、特に、その下面に形成されている撥液膜40が傷むことが防止される。
図7は、ノズル形成工程を説明する図である。図6(e)、図7(a)に示すように、積層体52の合成樹脂プレート70に対してレーザー加工を行って、このプレート70に、複数のノズル44を、複数の凸部50と並ぶように、前記複数の凸部50の配列方向に沿って形成する。詳細には、レーザー照射装置77から積層体52に対して、プレート38の複数の個別流路孔38cが形成されている部分にそれぞれレーザー光を照射する。照射されたレーザー光は個別流路孔38cを通過して、合成樹脂プレート70を貫通する。
合成樹脂プレート70に複数のノズル44を形成したら、次に、顕微鏡などの検査装置を用いて、ノズル44の形状を検査する。具体的には、図7(b)に示すように、ノズル44の吐出口44aの径d1、及び、反対側の開口44bの径d2、ノズル44のテーパ角度θ、ノズル44のテレセントリック性等を検査する。尚、「テレセントリック性」とは、レーザー光が、ノズルプレート39と直交する方向に入射しているかどうかを示すものであり、吐出口44aの中心と反対側の開口44bの中心がどの程度ずれているかによって検出できる。言い換えれば、ノズル44の軸線Cの、ノズルプレート39と直交する方向に対する傾きの程度を示す。
ノズル検査工程で検査したノズル44の形状に関する項目について、予め設定された基準範囲と比較する。基準範囲から外れていれば、レーザー照射装置77のレーザー照射条件を変更する。例えば、ノズル44の径やテーパ角度θが基準範囲から外れている場合は、レーザービームの出力を調整する。また、ノズル44のテレセントリック性がずれている場合は、レーザー照射装置77のテレセントリックレンズ等の光学系を微調整する。
次に、図6(f)に示すように、合成樹脂プレート70(ノズルプレート39)から保護膜71を剥離する。尚、保護膜71が、UV剥離性の接着剤でノズルプレート39に接合されている場合には、UVを照射することによって保護膜71を簡単に剥離することができる。その他、保護膜71の種類によっては、適当な溶剤によって保護膜71を溶かして除去することも可能である。
保護膜71を除去したら、すぐに、積層体52を、流路ユニット23を構成する他のプレート31〜37と接合してもよいのだが、その接合工程前に、以下に説明するベーキング処理工程を行っておくことが好ましい。
次に、複数の凸部50及び複数のノズル44が形成された積層体52と、流路ユニット23を構成する他のプレート31〜37、及び、圧電アクチュエータ24の振動板60を接合する。詳細には、図6(g)に示すように、積層体52、金属プレート31〜37、及び、振動板60のそれぞれの接合面に熱硬化性接着剤を塗布してから積層し、ヒータプレート74,75によって上下両側から加熱しながら押圧することで接着を行う。このときのヒータプレート74,75による加熱温度は、例えば、150℃である。尚、図6(g)に示すように、下側のヒータプレート75には、押圧接着の際に、積層体52の凸部50が押し潰されてしまうのを防止するために、凸部50と接触しない凹状、あるいは、孔状の逃がし部75aが形成されていることが好ましい。上記の接合工程後、振動板60の上に、別工程で製造した圧電層64,65を貼り付けて、圧電アクチュエータ24を形成する。
31〜37 プレート
38 プレート
38a 薄肉部
38b 凹部
38c 個別流路孔
39 ノズルプレート
39a インク吐出面
44 ノズル
44a 吐出口
50 凸部
52 積層体
70 合成樹脂プレート
71 保護膜
73 パンチ
77 レーザー照射装置
139 ノズルプレート
139a インク吐出面
144 ノズル
150 凸部
170 金属プレート
Claims (9)
- 液体を吐出する複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通する液体流路を有する液体吐出装置の製造方法であって、
合成樹脂製の第1プレートと、金属製の第2プレートとを積層して、前記第1プレートと前記第2プレートの積層体を形成する、積層工程と、
前記積層体に対して、前記第2プレート側からプレス加工を行って、前記積層体に、前記第1プレート側に突出する凸部を形成する、凸部形成工程と、
前記凸部形成工程の後に、前記積層体の前記第1プレートに、前記複数のノズルを、前記第1プレートの前記凸部が突出する面にそれぞれの吐出口が配置されるように形成する、ノズル形成工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記凸部形成工程において、前記複数の凸部を、所定の配列方向に配列して形成し、
前記ノズル形成工程において、前記複数の凸部と並ぶように、前記複数のノズルを、前記配列方向に沿って形成することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記ノズル形成工程の後に、前記第1プレートに形成された前記ノズルの形状を検査するノズル検査工程と、
前記ノズル検査工程での前記検査結果に基づいて、前記ノズル形成工程における前記ノズルの形成条件を変更する、ノズル形成条件変更工程と、を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記積層工程の前に、前記第2プレートに、前記複数のノズルとそれぞれ連通する複数の個別流路孔を形成する流路孔形成工程と、
前記積層工程の後に、前記第1プレートの前記第2プレートとは反対側の面に、保護膜を貼り付ける保護膜貼付工程を、さらに備え、
前記凸部形成工程では、前記第1プレートの前記第2プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記積層体に対して前記第2プレート側からプレス加工を行い、
前記ノズル形成工程では、前記第1プレートの前記第2プレートとは反対側の面に前記保護膜が貼り付けられた状態で、前記個別流路孔が形成された前記第2プレート側からのレーザー加工により、前記第1プレートに前記複数のノズルを形成することを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記積層工程前に、前記第2プレートに、部分的に厚みが薄くなった薄肉部を形成する薄肉部形成工程をさらに備え、
前記凸部形成工程において、前記薄肉部形成工程で形成された前記第2プレートの前記薄肉部にプレス加工を行って、前記積層体に前記凸部を形成することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記薄肉部形成工程において、前記第2プレートの前記第1プレートが積層される面とは反対側の面に凹部を形成することで、前記第2プレートに前記薄肉部を形成することを特徴とする請求項5に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記積層工程において、前記第1プレートと前記第2プレートとを、真空状態で加熱してから接着剤で接合することを特徴とする請求項5又は6に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記凸部形成工程の後で、前記積層体を加熱するベーキング処理工程と、
前記ベーキング処理工程の後で、前記積層体を加熱しながら、前記積層体を、前記液体流路が形成された別の部材と接着剤で接合する接合工程とをさらに備え、
前記ベーキング処理工程では、前記接合工程よりも低温で前記積層体を加熱することを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の液体吐出装置の製造方法。 - 液体を吐出する複数のノズル、及び、前記複数のノズルに連通する液体流路を有する液体吐出装置の製造方法であって、
金属プレートに対して、その厚み方向の一方側からプレス加工を行って、前記金属プレートに、その厚み方向における他方側に突出する凸部を形成する、凸部形成工程と、
前記凸部形成工程の後に、前記金属プレートに、前記複数のノズルを、前記他方側の面にそれぞれの吐出口が配置されるように形成する、ノズル形成工程と、
を備えていることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169527A JP6569196B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 液体吐出装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014169527A JP6569196B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 液体吐出装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016043577A true JP2016043577A (ja) | 2016-04-04 |
JP6569196B2 JP6569196B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=55634625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014169527A Active JP6569196B2 (ja) | 2014-08-22 | 2014-08-22 | 液体吐出装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6569196B2 (ja) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS634956A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-09 | Seiko Epson Corp | インクジエツトヘツド |
JPH05111782A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-05-07 | Canon Inc | レーザー孔明け装置 |
JPH09314850A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Tec Corp | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003127386A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP2006036865A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Konica Minolta Holdings Inc | 基材の接着方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006240109A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2006347163A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-12-28 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法 |
JP2007050634A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2007185921A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
US20080129780A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd | Nozzle plate of inkjet printhead and method of manufacturing the nozzle plate |
JP2012061606A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置 |
-
2014
- 2014-08-22 JP JP2014169527A patent/JP6569196B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS634956A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-09 | Seiko Epson Corp | インクジエツトヘツド |
JPH05111782A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-05-07 | Canon Inc | レーザー孔明け装置 |
JPH09314850A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-09 | Tec Corp | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003127386A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-08 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法 |
JP2006036865A (ja) * | 2004-07-23 | 2006-02-09 | Konica Minolta Holdings Inc | 基材の接着方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP2006240109A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
JP2006347163A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-12-28 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法 |
JP2007050634A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Seiko Epson Corp | ノズルプレート及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
JP2007185921A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
US20080129780A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd | Nozzle plate of inkjet printhead and method of manufacturing the nozzle plate |
JP2012061606A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6569196B2 (ja) | 2019-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9050802B2 (en) | Method for manufacturing liquid jetting apparatus, method for manufacturing nozzle plate, and liquid droplet jetting apparatus | |
JP5266624B2 (ja) | 液滴噴射装置及び液滴噴射装置の製造方法 | |
JP5336774B2 (ja) | ヘッドチップ、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP4800666B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP4543850B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
JP5786758B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法 | |
JP4569669B2 (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
JP4725147B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
US8205970B2 (en) | Print head having a polymer aperture plate and method for assembling a print head | |
JP2017105026A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP6565146B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法 | |
JP6569196B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法 | |
JP5360109B2 (ja) | 液滴吐出装置、圧電アクチュエータ、及び、液滴吐出装置の製造方法 | |
JP6409407B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP6569195B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP6409408B2 (ja) | 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の製造方法 | |
JP6375996B2 (ja) | 液体吐出装置及び液体吐出装置の製造方法 | |
JP2008179124A (ja) | ノズルプレートの切り離し方法およびノズルプレートの製造方法 | |
JP6569424B2 (ja) | 液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置 | |
US20180086066A1 (en) | Plate body, liquid ejection head, and liquid ejection recording apparatus | |
US8205969B2 (en) | Jet stack with precision port holes for ink jet printer and associated method | |
US9505216B2 (en) | Liquid ejecting device and method of manufacturing liquid ejecting device | |
JP2004025657A (ja) | インクジェットヘッド | |
US20190030894A1 (en) | Method for producing nozzle plate and method for producing liquid jet head | |
JP2009233995A (ja) | ノズルプレート及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170810 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190722 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6569196 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |