JP2016039225A - 気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図8は特許文献1に開示された気相成長装置31の断面図、図9は図8の一部の拡大図である。
気相成長装置31は、下部中央に原料ガス導入ノズル33を配設した偏平円筒状のチャンバー35内に、円盤状のグラファイトからなるサセプタ37と、サセプタ37の外周部分の同心円上に等間隔で配置された複数の基板載置部39と、サセプタ37の上方に対向配置されて、チャンバー35内に一様な天井を区画形成する対向面部材41とを備えている。
また、基板載置部39の下方には、基板43を加熱するためのヒーター45がリング状に配設され、サセプタ37の外周側にはリング状の排気通路が設けられている。
サセプタ上面カバー47は、サセプタ37が反応物で汚染されるのを防ぐ目的で設置されている。汚れた対向面部材41並びにサセプタ上面カバー47をチャンバー35から取り出して新たな対向面部材41並びにサセプタ上面カバー47を設置することで、パーティクル汚染の防止、かつ安定した成膜が可能である。
この石英ガラスは、赤外線をほとんど吸収しないため、新品の状態や洗浄後の状態では熱(赤外線)が逃げるが、気相成長を何回か繰り返し行って原料ガスに接する対向面部材に反応生成物等が堆積してある程度汚れた状態になると熱(赤外線)の逃げ量が減少する。このため、対向面部材が新品や洗浄直後の状態からある程度使用するまでの期間は、熱的な環境が安定せず、薄膜の再現性が十分ではないという問題がある。
また、石英ガラスは繰り返し使用されると、反応生成物の熱膨張・熱収縮によって生ずる膜応力による疲労から突然割れることがあり、生産性の低下を招くという問題もある。
特に窒化ガリウム系の反応生成物と熱膨張率の差が大きい石英ガラスで構成された対向面部材では、石英ガラス上に堆積した反応生成物と石英ガラスとの加熱時の変形量の違いから、反応生成物と石英ガラスとの密着性が低下し、堆積した反応生成物がパーティクルとなって基板上に落ちやすいといった問題があった。
特に、原料ガス導入ノズルをサセプタの中心部に配置して、原料ガス導入ノズルの外周上に複数の基板を配置するものでは、原料ガス導入ノズルが全周方向から加熱されるために、一般的な横型反応室の原料ガス導入ノズルよりも高温になりやすく、原料ガスの熱分解も生じやすくなっている。このため、グラファイトのような材料を対向面部材に使用した場合には、石英ガラスより赤外線吸収率が高いため、原料ガスの熱分解がさらに生じやすくなり、問題が生ずる。
そのため、特許文献3で用いられているような輻射防止や低熱伝導部材を単純にガス流路の表面に貼り合わせるような構造では、複雑であるため使用することができない。
また、基板上流側での既成反応を抑制しつつ、基板へ落ちるパーティクルを大幅に減少させることができる。
さらに、反応生成物の膜応力を緩和できることから、対向面部材を繰り返し使用できる回数が増え、炉内部材のライフタイムが伸び、生産性を向上させることができる。
本実施の形態に係る気相成長装置のチャンバー等の基本構造は、図8に示した従来例と同様であるので、説明を省略し、以下においては要部のみを図1〜図3に基づいて説明する。なお、図1〜3において、図8に示した従来例と同一部分には同一の符号を付してある。
本実施の形態に係る気相成長装置は、図1に示すように、反応室内に配置されて基板43を保持する円盤状のサセプタ37と、サセプタ37の中心部に配置されてサセプタ37の径方向に向けて原料ガスを噴射する原料ガス導入ノズル33と、サセプタ37における基板保持部以外を覆うサセプタ上面カバー47と、サセプタ上面カバー47との間に所定の間隔を離して対向配置されて原料ガスの流路を形成する円盤状の対向面部材1とを備えている。
対向面部材1は、対向面部材1の内周側を形成する対向面内側部材1aと、対向面内側部材1aの径方向外側であって少なくとも基板43が載置される部位の直上を含む部位を形成する対向面外側部材1bとを備えてなる。
対向面部材1を形成する物質について、以下詳細に説明する。
なお、赤外線吸収率(at 1μm)とはその波長の光が垂直に照射した場合に、その光エネルギーを熱エネルギーとして吸収できるか、という尺度を表している。よって吸収されなかった光エネルギーは全て反射又は透過する。
対向面外側部材1bの赤外線吸収率を石英ガラスより大きくすることで、原料ガスに接触する面に反応生成物が堆積しやすく、温度再現性に優れ反応室内の熱環境は安定する。
また、熱膨張率が反応生成物と近いことで、対向面外側部材1bに反応生成物が付着した場合において、熱膨張率の差が小さいことで、加熱時において反応生成物と対向面外側部材1bとの間に生ずるせん断力を小さく抑えることができ、反応生成物の剥れ落ちが少なくなりパーティクルの問題発生を抑制できる。
なお、対向面外側部材1bと反応生成物の熱膨張率の差としては、30%以内が好ましい。
また、窒化ガリウムの場合熱膨張率が5.6(×10-6/K)であり、グラファイトの熱膨張率は5.0(×10-6/K)、炭化珪素の熱膨張率は4.2(×10-6/K)であることから、いずれも窒化ガリウムの熱膨張率との差が30%以内である。
また、窒化アルミニウムの熱膨張率は4.5(×10-6/K)であり、グラファイト及び炭化珪素のいずれも熱膨張率の差は30%以内である。
以上から、反応生成物が窒化ガリウム、窒化アルミニウムのいずれの場合であっても、対向面外側部材1bの材料として、グラファイトや炭化珪素が好適である。具体的には、グラファイト、炭化珪素コートグラファイトまたは炭化珪素バルク材を用いることが好適である。
上記のように段部と逆段部を形成することで、対向面内側部材1aをノズル装置で持ち上げると対向面外側部材1bも同時に持ち上げることができ、自動搬送に好適である。
上述したように、対向面外側部材1bをグラファイトや炭化珪素のように赤外線吸収率の高い材料で形成した場合、高温で温度安定性が高くなる。このため、対向面外側部材1bに貫通穴3を設けた場合には、貫通孔に反応生成物が堆積しやすくなり、貫通穴3が塞がれやすくなる。
そこで、図3に示すように、貫通穴3の周辺部を対向面外側部材1bより熱伝導率の小さい部材で形成した断熱キャップ5で囲うことにより、貫通穴3の内側表面の温度上昇を防ぎ、反応生成物で貫通孔が塞がれることを抑制できる。
また、反応生成物と対向面外側部材1bの熱膨張率差による変形の度合いが小さくなるので、発生する膜応力が小さくなり、反応生成物が付着しても破損するという問題がない。
対向面内側部材1aについても、対向面部材1全体を石英ガラスで形成する場合よりも形状が小さいので、膜応力が発生したとしても、破損するリスクは大幅に減少できる。
また、原料ガス導入ノズル33から基板直上までをガス分解温度より低い温度環境に保ち、原料ガスが基板直上に至るまでの間に原料ガスの熱分解が生ずるのを抑制できる。
さらに、対向面内側部材1aと対向面外側部材1bが分割可能に構成されているので、自動搬送に好適である。
図4は本発明の実施の形態2の説明図であり、実施の形態1と同一部分には同一の符号を付してある。
本実施の形態では、実施の形態1の構成に加えて、サセプタ上面カバー7を、サセプタ上面カバー7の内周側を形成するサセプタ上面カバー内側部材7aと、サセプタ上面カバー7内側部材の径方向外側を形成するサセプタ上面カバー外側部材7bとによって形成したものである。そして、サセプタ上面カバー内側部材7aを、前記サセプタ上面カバー外側部材7bよりも赤外線吸収率が小さい物質で形成し、前記サセプタ上面カバー外側部材7bはその熱膨張率が反応生成物の熱膨張率と近く、その差が30%以内である物質で形成されている。
サセプタ上面カバー7は、図5に示すように、平面視でサセプタ37とほぼ同形の円環板状からなり、中央にノズル部の上部が挿入可能な中央開口部9と、中央開口部9の周りに複数の開口部11とを有している。
サセプタ上面カバー7は、サセプタ37上に載置されて原料ガスによる汚染や酸化等からサセプタ37を保護するものである。サセプタ上面カバー7がサセプタ37上に載置されると、サセプタ上面カバー7の上面とサセプタ37の基板載置部39に載置された基板43との上面とが面一になるようになっており、これらの面と対向面部材1の下面とで原料ガスの流路が形成されている。
サセプタ上面カバー外側部材7bについて、熱膨張率が反応生成物の熱膨張率と近いものにする理由は、サセプタ上面カバー外側部材7bは基板43の近傍に配置されているため、付着した反応生成物が熱膨張時に剥がれてパーティクルの問題を生じないようにするためである。
熱膨張率の差としては、30%以内が好ましく、例えば反応生成物が窒化ガリウム、窒化アルミニウムの場合には、サセプタ上面カバー外側部材7bの材料として、グラファイトや炭化珪素が好適である。
サセプタ上面カバー内側部材7aとして、石英ガラスやサファイアガラスを用いることで、上述した対向面内側部材1aで述べたように、原料ガス導入ノズル33の近傍に赤外線吸収能力の高いグラファイト又は炭化珪素を用いる場合よりも、温度上昇を防止できる。これにより、原料ガス導入ノズル33から基板直上までをガス分解温度より低い温度環境に保ち、原料ガスが基板直上に至るまでの間に原料ガスの熱分解が生ずるのを抑制できた。その結果、原料ガス導入ノズル33から基板直上までの対向面部材1には反応生成物も堆積しにくく、パーティクル発生の抑制効果がある。特に、サセプタ上面カバー内側部材7aと対向面内側部材1aの両方を上記の材料で形成することで、上記の効果をより確実に奏することができる。
対向面部材とサセプタ上面カバーの組合せを3種類用いて、MOCVDでGaN系の発光デバイスを成膜し、製造された発光デバイスの繰り返し波長再現性の調査と基板上で観測されたパーティクル数の調査を行った。
対向面部材とサセプタ上面カバーの組合せは以下の3種類である。
1)従来例:対向面部材およびサセプタ上面カバーを石英ガラスのみで形成したもの。
2)実施例1:対向面部材を2分割し、対向面部材内側を石英ガラス、対向面部材外側をグラファイトで構成し、サセプタ上面カバーは全体を石英ガラスで形成したもの(実施の形態1で説明した態様)。
3)実施例2:対向面部材およびサセプタ上面カバーを2分割し、対向面内側部材及びサセプタ上面カバー内側部材を石英ガラスで形成し、対向面外側部材及びサセプタ上面カバー外側部材をグラファイトで形成したもの(実施の形態2で説明した態様)。
図6は繰り返し波長再現性の調査結果を示すグラフであり、縦軸は成長目標とした発光波長に対して、どの程度変化したかの割合を示す発光波長変化率(%)であり、横軸が発光デバイスの成膜の繰り返し数である。
これに対し、実施例1では、発光波長の再現性は大きく改善し、5回の繰り返しで波長差0.2%となった。さらに、実施例2では、さらに繰り返し再現性が向上し、5回の繰り返しで波長差0.1%未満となり、高精度な繰り返し再現性が得られた。
図7はパーティクル数調査についての結果を示すグラフであり、縦軸が基板上のパーティクル数の割合を示し、横軸が発光デバイスの成膜の繰り返し数である。
なお、パーティクルの大きさは0.5〜1.0mmサイズの比較的大きな、部材から剥がれたことが明らかであるものを測定した。
これに対し、実施例1の場合、最大値を示した繰り返し回数5回でも70%程度であり、最大値が大きく改善した。また、実施例1の場合、1回目よりも2回目ではパーティクル数が減少し、その後は徐々に増加の傾向があったが、増加割合は極めて小さかった。
実施例2の場合、最大値を示した繰り返し回数5回でも40%程度であり、最大値がさらに大きく改善した。また、1回目と2日目でのパーティクル数の逆転現象が見られず、繰り返しに従い、徐々に増加していったが、増加割合はさらに小さくなった。
耐久性に関し、前述したように、従来の石英ガラスの対向板部材は100回程度の繰り返し使用で、おそらくは膜応力の繰り返しによる疲労破壊と思われるが、予期せず割れることが確認されていた。
これに対し、対向面部材を2分割し、対向面内側部材を石英ガラス、対向面外側部材をグラファイトで形成した場合、200回以上の繰り返し使用に耐えられ、2倍以上の延命効果が得られた。
対向面内側部材は形状が小さくなったことで、膜応力による形状変化が従来例より緩和されたと考えられる。また、対向面外側部材はグラファイトを使用したことで、反応生成物による膜応力が小さくなったことによると考えられる。
1a 対向面内側部材
1b 対向面外側部材
3 貫通穴
5 断熱キャップ
7 サセプタ上面カバー
7a サセプタ上面カバー内側部材
7b サセプタ上面カバー外側部材
9 中央開口部
11 開口部
31 気相成長装置
33 原料ガス導入ノズル
35 チャンバー
35a チャンバー蓋
35b チャンバー本体
36 Oリング
37 サセプタ
39 基板載置部
41 対向面部材
43 基板
45 ヒーター
47 サセプタ上面カバー
49 原料ガス流路
Claims (9)
- 反応室内に配置されて基板を保持する円盤状のサセプタと、該サセプタの中心部に配置されて該サセプタの径方向に向けて原料ガスを噴射する原料ガス導入ノズルと、前記サセプタにおける基板保持部以外を覆うサセプタ上面カバーと、該サセプタ上面カバーとの間に所定の間隔を離して対向配置されて前記原料ガスの流路を形成する円盤状の対向面部材とを備えた気相成長装置であって、
前記対向面部材は、該対向面部材の内周側を形成する対向面内側部材と、該対向面内側部材の径方向外側であって少なくとも前記基板が載置される部位の直上を含む部位を形成する対向面外側部材とを備えてなり、前記対向面内側部材は前記対向面外側部材よりも赤外線吸収率が小さい物質で形成され、前記対向面外側部材は、その熱膨張率が反応生成物の熱膨張率と近く、その差が30%以内である物質で形成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 前記対向面内側部材と前記対向面外側部材は分離可能になっていることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記対向面内側部材を形成する物質が石英ガラス又はサファイアガラスであり、前記対向面外側部材を形成する物質がグラファイト、炭化珪素コートグラファイトまたは炭化珪素バルク材であることを特徴とする請求項1又は2に記載の気相成長装置。
- 前記対向面外側部材は、前記サセプタ上に配置された基板の温度や成膜状況を監視するための光を通す貫通穴を有し、該貫通孔の周囲に前記対向面外側部材よりも断熱性の高い部材で囲んだことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の気相成長装置。
- 前記対向面外側部材よりも断熱性の高い部材が、石英ガラスまたはサファイアガラスであることを特徴とする請求項4に記載の気相成長装置。
- 前記サセプタ上面カバーは、該サセプタ上面カバーの内周側を形成するサセプタ上面カバー内側部材と、該サセプタ上面カバー内側部材の径方向外側を形成するサセプタ上面カバー外側部材とを備えてなり、該サセプタ上面カバー内側部材は、前記サセプタ上面カバー外側部材よりも赤外線吸収率が小さい物質で形成され、前記サセプタ上面カバー外側部材はその熱膨張率が反応生成物の熱膨張率と近く、その差が30%以内である物質で形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の気相成長装置。
- 前記サセプタ上面カバー内側部材を形成する物質が石英ガラス又はサファイアガラスであり、前記サセプタ上面カバー外側部材を形成する物質がグラファイト、炭化珪素コートグラファイトまたは炭化珪素バルク材であることを特徴とする請求項6記載の気相成長装置。
- 反応室内に配置されて基板を保持する円盤状のサセプタと、該サセプタの中心部に配置されて該サセプタの径方向に向けて原料ガスを噴射する原料ガス導入ノズルと、前記サセプタにおける基板保持部以外を覆うサセプタ上面カバーと、該サセプタ上面カバーとの間に所定の間隔を離して対向配置されて前記原料ガスの流路を形成する円盤状の対向面部材とを備えた気相成長装置であって、
前記サセプタ上面カバーは、該サセプタ上面カバーの内周側を形成するサセプタ上面カバー内側部材と、該サセプタ上面カバー内側部材の径方向外側を形成するサセプタ上面カバー外側部材とを備えてなり、該サセプタ上面カバー外側部材は、前記サセプタ上面カバー内側部材よりも赤外線吸収率が小さい物質で形成され、前記サセプタ上面カバー外側部材はその熱膨張率が反応生成物の熱膨張率と近く、その差が30%以内である物質で形成されていることを特徴とする気相成長装置。 - 前記サセプタ上面カバー内側部材を形成する物質が石英ガラス又はサファイアガラスであり、前記サセプタ上面カバー外側部材を形成する物質がグラファイト、炭化珪素コートグラファイトまたは炭化珪素バルク材であることを特徴とする請求項8記載の気相成長装置。
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