JP2016034015A - 発光装置 - Google Patents

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Akira Hashiya
享 橋谷
平澤 拓
Hiroshi Hirasawa
拓 平澤
安寿 稲田
Yasuhisa Inada
安寿 稲田
嘉孝 中村
Yoshitaka Nakamura
嘉孝 中村
充 新田
Mitsuru Nitta
充 新田
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Takeyuki Yamaki
健之 山木
将啓 中村
Masahiro Nakamura
将啓 中村
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Abstract

【課題】フォトルミネッセンス材料を利用する発光素子の輝度、指向性、または偏光特性を制御することが可能な、新規な構造を有する発光素子およびそれを備える発光装置を提供する。
【解決手段】発光素子は、励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層110と、フォトルミネッセンス層110に近接して配置された透光層120と、フォトルミネッセンス層110および透光層120の少なくとも一方に形成され、層の面内に広がるサブミクロン構造と、前記励起光をフォトルミネッセンス層110に導く導光構造220とを有し、サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、フォトルミネッセンス層110が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、第1の光に対するフォトルミネッセンス層110の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ。
【選択図】図31

Description

本開示は、発光装置に関し、特に、フォトルミネッセンス層を有する発光装置に関する。
照明器具、ディスプレイ、プロジェクターといった光学デバイスでは、多くの用途において、必要な方向に光を出射することが求められる。蛍光灯、白色LEDなどで使用されるフォトルミネッセンス材料は等方的に発光する。よって、この様な材料は、特定の方向のみに光を出射させるために、リフレクターやレンズなどの光学部品とともに用いられる。例えば、特許文献1は、配光板および補助反射板を用いて指向性を確保した照明システムを開示している。
特開2010−231941号公報
光学デバイスにおいて、リフレクターやレンズなどの光学部品を配置すると、そのスペースを確保するために、光学デバイス自身のサイズを大きくする必要があり、これら光学部品は無くすか、少しでも小型化することが望ましい。
本開示は、フォトルミネッセンス層の発光効率、指向性、または偏光特性を制御することが可能な、新規な構造を有する発光装置を提供する。
本開示のある実施形態の発光装置は、励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、を有し、前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ。
上記の包括的または具体的な態様は、素子、装置、システム、方法、またはこれらの任意の組み合わせで実現されてもよい。
本開示のある実施形態による発光装置は、新規な構成を有し、新規なメカニズムに従って、輝度、指向性、または偏光特性を制御することができる。
ある実施形態による発光素子の構成を示す斜視図である。 図1Aに示す発光素子の部分断面図である。 他の実施形態による発光素子の構成を示す斜視図である。 図1Cに示す発光素子の部分断面図である。 発光波長および周期構造の高さをそれぞれ変えて、正面方向に出射する光の増強度を計算した結果を示す図である。 式(10)におけるm=1およびm=3の条件を図示したグラフである。 発光波長およびフォトルミネッセンス層の厚さtを変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を示す図である。 厚さt=238nmのときに、x方向に導波するモードの電場分布を計算した結果を示す図である。 厚さt=539nmのときに、x方向に導波するモードの電場分布を計算した結果を示す図である。 厚さt=300nmのときに、x方向に導波するモードの電場分布を計算した結果を示す図である。 図2の計算と同じ条件で、光の偏光がy方向に垂直な電場成分を有するTEモードである場合について光の増強度を計算した結果を示す図である。 2次元の周期構造の例を示す平面図である。 2次元周期構造に関して図2と同様の計算を行った結果を示す図である。 発光波長および周期構造の屈折率を変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を示す図である。 図8と同様の条件でフォトルミネッセンス層の膜厚を1000nmにした場合の結果を示す図である。 発光波長および周期構造の高さを変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を示す図である。 図10と同様の条件で、周期構造の屈折率をnp=2.0とした場合の計算結果を示す図である。 光の偏光がy方向に垂直な電場成分を有するTEモードであるものとして図9に示す計算と同様の計算を行った結果を示す図である。 図9に示す計算と同様の条件で、フォトルミネッセンス層の屈折率nwavを1.5に変更した場合の結果を示す図である。 屈折率が1.5の透明基板の上に、図2に示す計算と同じ条件のフォトルミネッセンス層および周期構造を設けた場合の計算結果を示す図である。 式(15)の条件を図示したグラフである。 図1A、1Bに示す発光素子100と、励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させる光源180とを備える発光装置200の構成例を示す図である。 励起光を擬似導波モードに結合させることで、効率よく光を出射させる構成を説明するための図であり、(a)はx方向の周期pxを有する1次元周期構造を示し、(b)はx方向の周期px、y方向の周期pyを有する2次元周期構造を示し、(c)は(a)の構成における光の吸収率の波長依存性を示し、(d)は(b)の構成における光の吸収率の波長依存性を示している。 2次元周期構造の一例を示す図である。 2次元周期構造の他の例を示す図である。 透明基板上に周期構造を形成した変形例を示す図である。 透明基板上に周期構造を形成した他の変形例を示す図である。 図19Aの構成において、発光波長および周期構造の周期を変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を示す図である。 複数の粉末状の発光素子を混ぜた構成を示す図である。 フォトルミネッセンス層の上に周期の異なる複数の周期構造を2次元に配列した例を示す平面図である。 表面に凹凸構造が形成された複数のフォトルミネッセンス層110が積層された構造を有する発光素子の一例を示す図である。 フォトルミネッセンス層110と周期構造120との間に保護層150を設けた構成例を示す断面図である。 フォトルミネッセンス層110の一部のみを加工することによって周期構造120を形成した例を示す図である。 周期構造を有するガラス基板上に形成されたフォトルミネッセンス層の断面TEM像を示す図である。 試作した発光素子の出射光の正面方向のスペクトルを測定した結果を示すグラフである。 (a)および(b)は、試作した発光素子の出射光の角度依存性を測定した結果(上段)および計算結果(下段)を示すグラフである。 (a)および(b)は、試作した発光素子の出射光の角度依存性を測定した結果(上段)および計算結果(下段)を示すグラフである。 試作した発光素子の出射光(波長610nm)の角度依存性を測定した結果を示すグラフである。 スラブ型導波路の一例を模式的に示す斜視図である。 励起光の吸収効率を向上させる第1の実施形態における発光装置の一部を模式的に示す部分断面図である。 励起光の吸収効率を向上させる第1の実施形態における発光装置の一部を模式的に示す斜視図である。 励起光が全反射によって閉じ込められるための条件を説明するための図である。 導光構造体220の他の例を模式的に示す部分断面図である。 導光構造体220のさらに他の例を模式的に示す部分断面図である。 導光構造体220のさらに他の例を模式的に示す部分断面図である。 導光構造体220のさらに他の例を模式的に示す部分断面図である。 導光構造体220のさらに他の例を模式的に示す部分断面図である。 複数の透光性部材によって構成された導光構造体220の例を示す斜視図である。 複数の透光性部材によって構成された導光構造体220の他の例を示す斜視図である。 複数の透光性部材によって構成された導光構造体220のさらに他の例を示す斜視図である。 導光構造体220の配置の第1の例を説明するための図である。 導光構造体220の配置の第2の例を説明するための図である。 導光構造体220の配置の第3の例を説明するための図である。 導光構造体220を有する発光装置の第2の実施形態を模式的に示す部分断面図である。 励起光の入射角度を説明するための図である。 光源180からの励起光の出射方向をより詳細に説明するための図である。 フォトルミネッセンス層110内で生じた光が擬似導波モードに結合して外部に出射される様子を模式的に示す断面図である。 励起光の吸収効率を向上させる第3の実施形態の発光装置の一部を模式的に示す断面図である。 計算で想定した発光素子の構成を示す部分断面図である。 入射光の吸収率の波長および角度依存性を示す図である。 光ファイバー230を導光構造体として備えた発光装置の構成例を示す図である。 透明基板140内に励起光を閉じ込めつつ、フォトルミネッセンス層110への入射角度を共鳴吸収が起こる角度にして吸収効率を高める構成を示す図である。 周期構造120のライン方向に平行な軸を回転軸として回転させたときの回転角を入射角θとする構成を模式的に示す断面図である。 図54の構成において、入射角度θおよび空気中の波長λに対する励起光の吸収率の依存性を計算した結果を示す図である。 図53の構成において、入射光の吸収率の波長および角度依存性を示す図である。 周期構造120のライン方向に垂直な方向に延びた導光構造体220を有する発光装置の例を示す図である。 周期構造の作用により、フォトルミネッセンス層を含む発光素子の両側に指向性を有する光が出射することを示す断面図である。 フォトルミネッセンス層を含む発光素子に反射層を設ける形態を示す断面図である。 フォトルミネッセンス層の裏面側に設けられた反射層を構成する凸部分において光が全反射する様子を示す断面図である。 (a)〜(d)は、それぞれ、反射層の構成が異なる種々の実施形態の発光装置を示す断面図である。 発光素子から異なる波長の光が出射される場合の出射光の角度を示す図であり、(a)は異なる波長の光が異なる方向に出射される様子を示す断面図であり、(b)および(c)は、発光素子の背面側に反射層を設けることによって、異なる波長の光の出射方向を揃える形態を示す断面図である。 反射層を備える他の実施形態の発光装置を示す断面図である。 複数の発光素子をタイリングする形態を示す図であり(a)は平面図、(b)は断面図である。
本開示は、以下の項目に記載の発光素子および発光装置を含む。
[項目1]
フォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ、発光素子。
[項目2]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、前記少なくとも1つの周期構造は、周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ第1周期構造を含む、項目1に記載の発光素子。
[項目3]
前記第1の光に対する前記透光層の屈折率nt-aは、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率nwav-aよりも小さい、項目1または2に記載の発光素子。
[項目4]
前記第1の光は、前記サブミクロン構造によって予め決められた第1の方向において強度が最大になる、項目1から3のいずれかに記載の発光素子。
[項目5]
前記第1の方向は、前記フォトルミネッセンス層の法線方向である、項目4に記載の発光素子。
[項目6]
前記第1の方向に出射された前記第1の光は、直線偏光である、項目4または5に記載の発光素子。
[項目7]
前記第1の光の前記第1の方向を基準としたときの指向角は、15°未満である、項目4から6のいずれかに記載の発光素子。
[項目8]
前記第1の光の波長λaと異なる波長λbを有する第2の光は、前記第1の方向と異なる第2の方向において強度が最大となる、項目4から7のいずれかに記載の発光素子。
[項目9]
前記透光層が前記サブミクロン構造を有する、項目1から8のいずれかに記載の発光素子。
[項目10]
前記フォトルミネッセンス層が前記サブミクロン構造を有する、項目1から9のいずれかに記載の発光素子。
[項目11]
前記フォトルミネッセンス層は、平坦な主面を有し、
前記透光層は前記フォトルミネッセンス層の前記平坦な主面上に形成されており、かつ、前記サブミクロン構造を有する、項目1から8のいずれかに記載の発光素子。
[項目12]
前記フォトルミネッセンス層は、透明基板に支持されている、項目11に記載の発光素子。
[項目13]
前記透光層は、前記サブミクロン構造を一方の主面に有する透明基板であって、
前記フォトルミネッセンス層は、前記サブミクロン構造の上に形成されている、項目1から8のいずれかに記載の発光素子。
[項目14]
前記第1の光に対する前記透光層の屈折率nt-aは、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率nwav-a以上であって、前記サブミクロン構造が有する前記複数の凸部の高さまたは前記複数の凹部の深さは150nm以下である、項目1または2に記載の発光素子。
[項目15]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、前記少なくとも1つの周期構造は、周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ第1周期構造を含み、
前記第1周期構造は、1次元周期構造である、項目1および3から14のいずれかに記載の発光素子。
[項目16]
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaと異なるλbの第2の光を含み、前記第2の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-bとするとき、
前記少なくとも1つの周期構造は、周期をpbとすると、λb/nwav-b<pb<λbの関
係が成り立つ第2周期構造をさらに含み、
前記第2周期構造は、1次元周期構造である、項目15に記載の発光素子。
[項目17]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも2つの周期構造を含み、前記少なくとも2つの周期構造は、互いに異なる方向に周期性を有する2次元周期構造を含む、項目1および3から14のいずれかに記載の発光素子。
[項目18]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された複数の周期構造を含み、
前記複数の周期構造は、マトリクス状に配列された複数の周期構造を含む、項目1および3から14のいずれかに記載の発光素子。
[項目19]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された複数の周期構造を含み、
前記フォトルミネッセンス層が有するフォトルミネッセンス材料の励起光の空気中における波長をλexとし、前記励起光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-exとすると、
前記複数の周期構造は、周期pexが、λex/nwav-ex<pex<λexの関係が成り立つ周期構造を含む、項目1および3から14のいずれかに記載の発光素子。
[項目20]
複数のフォトルミネッセンス層と、複数の透光層とを有し、
前記複数のフォトルミネッセンス層の少なくとも2つと前記複数の透光層の少なくとも2つとは、それぞれ独立に、項目1から19のいずれかに記載の前記フォトルミネッセンス層と前記透光層とにそれぞれ該当する、発光素子。
[項目21]
前記複数のフォトルミネッセンス層と前記複数の透光層は、積層されている、項目20に記載の発光素子。
[項目22]
フォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、を有し、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の内部に擬似導波モードを形成する光を出射する、発光素子。
[項目23]
光が導波することができる導波層と、
前記導波層に近接して配置された周期構造と
を備え、
前記導波層はフォトルミネッセンス材料を有し、
前記導波層において、前記フォトルミネッセンス材料から発せられた光が前記周期構造と作用しながら導波する擬似導波モードが存在する、発光素子。
[項目24]
フォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記フォトルミネッセンス層が有するフォトルミネッセンス材料の励起光の空気中における波長をλexとし、前記励起光に対する前記フォトルミネッセンス層または前記透光層に至る光路に存在する媒質の内で最も屈折率が大きい媒質の屈折率をnwav-exとすると、λex/nwav-ex<Dint<λexの関係が成り立つ、発光素子。
[項目25]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、前記少なくとも1つの周期構造は、周期をpexとすると、λex/nwav-ex<pex<λexの関係が成り立つ第1周期構造を含む、項目24に記載の発光素子。
[項目26]
透光層と、
前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記サブミクロン構造に近接して配置されたフォトルミネッセンス層と、を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光素子。
[項目27]
フォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層よりも高い屈折率を有する透光層と、
前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光素子。
[項目28]
フォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に形成され、前記フォトルミネッセンス層の面内に広がるサブミクロン構造と、を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光素子。
[項目29]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部と前記複数の凹部との双方を含む、項目1から21、24から28のいずれかに記載の発光素子。
[項目30]
前記フォトルミネッセンス層と前記透光層とが互いに接している、項目1から22、24から27のいずれかに記載の発光素子。
[項目31]
前記導波層と前記周期構造とが互いに接している、項目23に記載の発光素子。
[項目32]
項目1から31のいずれかに記載の発光素子と、
前記フォトルミネッセンス層に励起光を照射する、励起光源と、
を備える発光装置。
[項目33]
励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ、発光装置。
[項目34]
前記導光構造体は、前記フォトルミネッセンス層における前記サブミクロン構造がある側の面に形成されている、請求項33に記載の発光装置。
[項目35]
前記導光構造体は、前記フォトルミネッセンス層における前記サブミクロン構造がある側の反対側の面に形成されている、請求項33に記載の発光装置。
[項目36]
前記励起光を前記導光構造体に向けて出射する光源をさらに有し、
前記導光構造体から前記フォトルミネッセンス層への前記励起光の入射角をθst、前記導光構造体の屈折率をnstとするとき、nstsin(θst)>1が成り立つ、請求項34または35に記載の発光装置。
[項目37]
前記フォトルミネッセンス層を支持する透明基板をさらに有し、
前記導光構造体は、前記透明基板における前記フォトルミネッセンス層の側とは反対側の面に形成されている、請求項33に記載の発光装置。
[項目38]
前記励起光を前記導光構造体に向けて出射する光源をさらに備え、
前記導光構造体から前記透明基板への前記励起光の入射角をθst、前記導光構造体の屈折率をnstとするとき、nstsin(θst)>1が成り立つ、請求項37に記載の発光装置。
[項目39]
前記導光構造体は、少なくとも1つの角柱形状の透光性部材によって構成されている、請求項1から6のいずれかに記載の発光装置。
[項目40]
前記導光構造体は、少なくとも1つの半球形状の透光性部材から構成されている、請求項33から38のいずれかに記載の発光装置。
[項目41]
前記導光構造体は、少なくとも1つのピラミッド形状の透光性部材から構成されている、請求項33から38のいずれかに記載の発光装置。
[項目42]
前記励起光の空気中における波長をλexとするとき、
前記サブミクロン構造は、前記第1の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向に最も強く出射され、波長λexの第2の光が前記フォトルミネッセンス層の内部を伝播する場合に前記第2の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向から角度θoutの方向に最も強く出射されるように構成され、
前記導光構造体は、前記励起光を、入射角θoutで前記フォトルミネッセンス層に入射させる、請求項33から41のいずれかに記載の発光装置。
[項目43]
前記サブミクロン構造は、1次元周期構造を有し、
前記導光構造体は、前記1次元周期構造のライン方向および前記フォトルミネッセンス層の厚さ方向の両方に垂直な方向に延びた構造を有している、請求項33から42のいずれかに記載の発光装置。
[項目44]
空気中の波長がλexの励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記励起光を出射する光源と、
を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立ち、
前記第1の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向に最も強く出射され、波長λexの第2の光が前記フォトルミネッセンス層の内部を伝播する場合に前記第2の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向から角度θoutの方向に最も強く出射されるように構成され、
前記光源は、前記励起光を入射角θoutで前記フォトルミネッセンス層に入射させる、
発光装置。
[項目45]
透光層と、
前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記サブミクロン構造に近接して配置され、励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
を有し、
前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
[項目46]
励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層よりも高屈折率を有する透光層と、
前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
を有し、
前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
[項目47]
前記フォトルミネッセンス層と前記透光層とが互いに接している、請求項33から46のいずれかに記載の発光装置。
[項目48]
励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
前記フォトルミネッセンス層に形成され、前記フォトルミネッセンス層の面内に広がるサブミクロン構造と、
前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
を有し、
前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
[項目49]
前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部と前記複数の凹部との双方を含む、請求項33から48のいずれかに記載の発光装置。
[項目50]
フォトルミネッセンス層と、前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造とを有する発光素子と、
前記発光素子が有する光出射面に対向するように配置された反射層と
を有し、
前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、前記第1の光に対するフォトルミネッセンス層110の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ、発光装置。
[項目51]
前記反射層は透光性の凹凸構造を含み、前記凹凸構造の表面で全反射が生じるように構成されている、項目50に記載の発光装置。
[項目52]
前記凹凸構造は、プリズム状構造体、ピラミッド状構造体、マイクロレンズアレイ、レンチキュラレンズ、および、コーナーキューブアレイのいずれかを含む、項目51に記載の発光装置。
[項目53]
前記反射層は、金属反射膜または誘電体多層膜を含む、項目50に記載の発光装置。
[項目54]
前記誘電体多層膜は、ダイクロイックミラーを構成する、項目53に記載の発光装置。
[項目55]
前記反射層は、拡散反射膜を含む、項目50に記載の発光装置。
[項目56]
前記反射層は、前記フォトルミネッセンス層の層面に対して0°超の角度θだけ傾いた反射面を備える、項目50から55のいずれかに記載の発光装置。
[項目57]
前記フォトルミネッセンス層から出射される光は、前記周期構造の回折作用によって前記フォトルミネッセンス層の層面の法線方向に出射される第1の波長を有する光と、前記周期構造の回折作用によって前記フォトルミネッセンス層の層面の法線方向とは異なる方向に出射される第2の波長を有する光とを含み、
前記第2の波長を有する光は、前記フォトルミネッセンス層の層面の法線方向から角度2θだけずれた方向に沿って前記反射面に到達し、
前記反射面の前記角度θは、前記角度2θの1/2の角度である、項目56に記載の発光装置。
[項目58]
前記反射層は、前記角度θだけ傾いた反射面と前記発光素子との間に配置された空気層を含む、項目56または57に記載の発光装置。
[項目59]
面内において互いに隣接して配置された複数の前記発光素子を含み、
前記複数の発光素子は、少なくとも第1の発光素子と第2の発光素子とを含み、
前記第1の発光素子のサブミクロン構造が有する周期構造の周期と、前記第2の発光素子のサブミクロン構造が有する周期構造の周期とが異なっている、項目50から58のいずれかに記載の発光装置。
本開示の実施形態による発光素子は、フォトルミネッセンス層と、前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造とを有し、前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ。波長λaは、例えば、可視光の波長範囲内(例えば、380nm以上780nm以下)にある。
フォトルミネッセンス層は、フォトルミネッセンス材料を含む。フォトルミネッセンス材料は、励起光を受けて発光する材料を意味する。フォトルミネッセンス材料は、狭義の蛍光材料および燐光材料を包含し、無機材料だけなく、有機材料(例えば色素)を包含し、さらには、量子ドット(即ち、半導体微粒子)を包含する。フォトルミネッセンス層は、フォトルミネッセンス材料に加えて、マトリクス材料(即ち、ホスト材料)を含んでもよい。マトリクス材料は、例えば、ガラスや酸化物などの無機材料や樹脂である。
フォトルミネッセンス層に近接して配置される透光層は、フォトルミネッセンス層が発する光に対して透過率が高い材料で形成され、例えば、無機材料や樹脂で形成される。透光層は、例えば誘電体(特に、光の吸収が少ない絶縁体)で形成されていることが望ましい。透光層は、例えば、フォトルミネッセンス層を支持する基板であってよい。また、フォトルミネッセンス層の空気側の表面がサブミクロン構造を有する場合、空気層が透光層となり得る。
本開示の実施形態による発光素子においては、後に計算結果および実験結果を参照して詳述するように、フォトルミネッセンス層および透光層の少なくとも一方に形成されたサブミクロン構造(例えば、周期構造)によって、フォトルミネッセンス層および透光層の内部に、ユニークな電場分布を形成する。これは、導波光がサブミクロン構造と相互作用して形成されるものであり、擬似導波モードと表現することもできる。この擬似導波モードを活用することで、以下で説明するように、フォトルミネッセンスの発光効率の増大、指向性の向上、偏光の選択性の効果を得ることができる。なお、以下の説明において、擬似導波モードという用語を使って、本発明者らが見出した、新規な構成および/または新規なメカニズムを説明することがあるが、1つの例示的な説明に過ぎず、本開示をいかなる意味においても限定するものではない。
サブミクロン構造は、例えば複数の凸部を含み、隣接する凸部間の距離(即ち、中心間距離)をDintとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係を満足する。サブミクロン構造は、複数の凸部に代えて複数の凹部を含んでもよい。以下では、簡単のために、サブミクロン構造が複数の凸部を有する場合を説明する。λは光の波長を表し、λaは空気中での光の波長であることを表現する。nwavはフォトルミネッセンス層の屈折率である。フォトルミネッセンス層が複数の材料を混合した媒質である場合、各材料の屈折率をそれぞれの体積比率で重み付けした平均屈折率をnwavとする。一般に屈折率nは波長に依存するので、λaの光に対する屈折率であることをnwav-aと明示することが望ましいが、簡単のために省略することがある。nwavは基本的にフォトルミネッセンス層の屈折率であるが、フォトルミネッセンス層に隣接する層の屈折率がフォトルミネッセンス層の屈折率よりも大きい場合、当該屈折率が大きい層の屈折率およびフォトルミネッセンス層の屈折率をそれぞれの体積比率で重み付けした平均屈折率をnwavとする。この場合は、光学的には、フォトルミネッセンス層が複数の異なる材料の層で構成されている場合と等価であるからである。
擬似導波モードの光に対する媒質の有効屈折率をneffとすると、na<neff<nwavを満たす。ここで、naは空気の屈折率である。擬似導波モードの光を、フォトルミネッセンス層の内部を入射角θで全反射しながら伝搬する光であると考えると、有効屈折率neffは、neff=nwavsinθと書ける。また、有効屈折率neffは、擬似導波モードの電場が分布する領域に存在する媒質の屈折率によって決まるので、例えば、サブミクロン構造が透光層に形成されている場合、フォトルミネッセンス層の屈折率だけでなく、透光層の屈折率にも依存する。また、擬似導波モードの偏光方向(TEモードとTMモード)により、電場の分布は異なるので、TEモードとTMモードとでは有効屈折率neffは異なり得る。
サブミクロン構造は、フォトルミネッセンス層および透光層の少なくとも一方に形成される。フォトルミネッセンス層と透光層とが互いに接するとき、フォトルミネッセンス層と透光層との界面にサブミクロン構造が形成されてもよい。このとき、フォトルミネッセンス層および透光層がサブミクロン構造を有する。フォトルミネッセンス層はサブミクロン構造を有さなくてもよい。このとき、サブミクロン構造を有する透光層がフォトルミネッセンス層に近接して配置される。ここで、透光層(またはそのサブミクロン構造)がフォトルミネッセンス層に近接するとは、典型的には、これらの間の距離が、波長λaの半分以下であることをいう。これにより、導波モードの電場がサブミクロン構造に到達し、擬似導波モードが形成される。ただし、透光層の屈折率がフォトルミネッセンス層の屈折率よりも大きいときには上記の関係を満足しなくても透光層まで光が到達するため、透光層のサブミクロン構造とフォトルミネッセンス層との間の距離は、波長λaの半分超であってもよい。本明細書では、フォトルミネッセンス層と透光層とが、導波モードの電場がサブミクロン構造に到達し、擬似導波モードが形成されるような配置関係にあるとき、両者が互いに関連付けられていると表現することがある。
サブミクロン構造は、上記のように、λa/nwav-a<Dint<λaの関係を満足するので、サブミクロンオーダーの大きさで特徴づけられる。サブミクロン構造は、例えば、以下に詳細に説明する実施形態の発光素子におけるように、少なくとも1つの周期構造を含む。少なくとも1つの周期構造は、周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ。すなわち、サブミクロン構造は、隣接する凸部間の距離Dintがpaで一定の周期構造を有する。サブミクロン構造が周期構造を含むと、擬似導波モードの光は、伝搬しながら周期構造と相互作用を繰り返すことにより、サブミクロン構造によって回折される。これは、自由空間を伝播する光が周期構造により回折する現象とは異なり、光が導波しながら(即ち、全反射を繰り返しながら)周期構造と作用する現象である。したがって、周期構造による位相シフトが小さくても(即ち、周期構造の高さが小さくても)効率よく光の回折を起こすことができる。
以上のようなメカニズムを利用すれば、擬似導波モードにより電場が増強される効果によって、フォトルミネッセンスの発光効率が増大するとともに、発生した光が擬似導波モードに結合する。擬似導波モードの光は、周期構造で規定される回折角度だけ進行角度が曲げられる。これを利用することによって、特定の波長の光を特定の方向に出射することができる(指向性が顕著に向上)。さらに、TEとTMモードで有効屈折率neff(=nwavsinθ)が異なるので、高い偏光の選択性を同時に得ることもできる。例えば、後に実験例を示すように、特定の波長(例えば610nm)の直線偏光(例えばTMモード)を正面方向に強く出射する発光素子を得ることができる。このとき、正面方向に出射される光の指向角は例えば15°未満である。なお、指向角は正面方向を0°とした片側の角度とする。
逆に、サブミクロン構造の周期性が低くなると、指向性、発光効率、偏光度および波長選択性が弱くなる。必要に応じて、サブミクロン構造の周期性を調整すればよい。周期構造は、偏光の選択性が高い1次元周期構造であってもよいし、偏光度を小さくできる2次元周期構造であってもよい。
また、サブミクロン構造は、複数の周期構造を含み得る。複数の周期構造は、例えば、周期(ピッチ)が互いに異なる。あるいは、複数の周期構造は、例えば、周期性を有する方向(軸)が互いに異なる。複数の周期構造は、同一面内に形成されてもよいし、積層されてもよい。もちろん、発光素子は、複数のフォトルミネッセンス層と複数の透光層とを有し、これらが複数のサブミクロン構造を有してもよい。
サブミクロン構造は、フォトルミネッセンス層が発する光を制御するためだけでなく、励起光を効率よくフォトルミネッセンス層に導くためにも用いることができる。すなわち、励起光がサブミクロン構造により回折されフォトルミネッセンス層および透光層を導波する擬似導波モードに結合することで、効率よくフォトルミネッセンス層を励起することができる。フォトルミネッセンス材料を励起する光の空気中における波長をλexとし、この励起光に対するフォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-exとすると、λex/nwav-ex<Dint<λexの関係が成り立つサブミクロン構造を用いればよい。nwav-exはフォトルミネッセンス材料の励起波長における屈折率である。周期をpexとすると、λex/nwav-ex<pex<λexの関係が成り立つ周期構造を有するサブミクロン構造を用いてもよい。励起光の波長λexは、例えば、450nmであるが、可視光よりも短波長であってもよい。励起光の波長が可視光の範囲内にある場合、フォトルミネッセンス層が発する光とともに、励起光を出射するようにしてもよい。
[1.本開示の基礎となった知見]
本開示の具体的な実施形態を説明する前に、まず、本開示の基礎となった知見を説明する。上述のように、蛍光灯、白色LEDなどで使われるフォトルミネッセンス材料は等方的に発光するので、特定の方向を光で照らすためには、リフレクターやレンズなどの光学部品が必要である。しかしながら、もしフォトルミネッセンス層自身が指向性をもって発光すれば、上記のような光学部品は不要になるので(若しくは小さくできるので)、光学デバイスや器具の大きさを大幅に小さくすることができる。本発明者らは、このような着想に基づき、指向性発光を得るために、フォトルミネッセンス層の構成を詳細に検討した。
本発明者らは、まず、フォトルミネッセンス層からの光が特定の方向に偏るようにするため、発光自体に特定の方向性をもたせることを考えた。発光を特徴付ける指標である発光レートΓは、フェルミの黄金則により、以下の式(1)で表される。
Figure 2016034015

式(1)において、rは位置を表すベクトル、λは光の波長、dは双極子ベクトル、Eは電場ベクトル、ρは状態密度である。一部の結晶性物質を除く多くの物質では、双極子ベクトルdはランダムな方向性を有している。また、フォトルミネッセンス層のサイズと厚さが光の波長よりも十分に大きい場合、電場Eの大きさも向きに依らずほとんど一定である。よって、ほとんどの場合、<(d・E(r))>2の値は方向に依らない。即ち、発光レートΓは方向に依らず一定である。このため、ほとんどの場合においてフォトルミネッセンス層は等方的に発光する。
一方、式(1)から、異方的な発光を得るためには、双極子ベクトルdを特定の方向に揃えるか、電場ベクトルの特定方向の成分を増強するかのいずれかの工夫が必要である。これらのいずれかの工夫を行うことで、指向性発光を実現できる。本開示では、フォトルミネッセンス層へ光を閉じ込める効果により、特定方向の電場成分が増強された擬似導波モードを利用するための構成について検討し、詳細に分析した結果を以下に説明する。
[2.特定の方向の電場のみを強くする構成]
本願発明者らは、電場が強い導波モードを用いて、発光の制御を行うことを考えた。導波構造自体がフォトルミネッセンス材料を含む構成とすることで、発光を導波モードに結合させることができる。しかし、ただ単にフォトルミネッセンス材料を用いて導波構造を形成しただけでは、発せられた光が導波モードとなるため、正面方向へはほとんど光は出てこない。そこで、フォトルミネッセンス材料を含む導波路と周期構造(複数の凸部および複数の凹部の少なくとも一方で形成された)とを組み合わせることを考えた。導波路に周期構造が近接し、光の電場が周期構造と重なりながら導波する場合、周期構造の作用により擬似導波モードが存在する。つまり、この擬似導波モードは、周期構造により制限された導波モードであり、電場振幅の腹が周期構造の周期と同じ周期で発生することを特徴とする。このモードは、光が導波構造に閉じ込められることにより特定方向への電場が強められたモードである。さらに、このモードは周期構造と相互作用することで、回折効果により特定方向の伝播光へと変換されるため、導波路外部へと光を出射することができる。さらに、擬似導波モード以外の光は導波路内に閉じ込められる効果が小さいため、電場は増強されない。よって、発光のほとんどは大きな電場成分を有する擬似導波モードへと結合することになる。
つまり、本願発明者らは、周期構造が近接して設けられた導波路を、フォトルミネッセンス材料を含むフォトルミネッセンス層(あるいはフォトルミネッセンス層を有する導波層)とすることで、発光を特定方向の伝播光へと変換される擬似導波モードへ結合させ、指向性のある光源を実現することを考えた。
導波構造の簡便な構成として、スラブ型導波路に着目した。スラブ型導波路とは、光の導波部分が平板構造を有する導波路のことである。図30は、スラブ型導波路110Sの一例を模式的に示す斜視図である。導波路110Sの屈折率が導波路110Sを支持する透明基板140の屈折率よりも高いとき、導波路110S内を伝播する光のモードが存在する。このようなスラブ型導波路をフォトルミネッセンス層を含む構成とすることで、発光点から生じた光の電場が導波モードの電場と大きく重なりをもつので、フォトルミネッセンス層で生じた光の大部分を導波モードに結合させることができる。さらに、フォトルミネッセンス層の厚さを光の波長程度とすることにより、電場振幅の大きい導波モードのみが存在する状況を作り出すことができる。
さらに、フォトルミネッセンス層に周期構造が近接する場合には、導波モードの電場が周期構造と相互作用することで擬似導波モードが形成される。フォトルミネッセンス層が複数の層で構成されている場合でも、導波モードの電場が周期構造に達していれば、擬似導波モードが形成されることになる。フォトルミネッセンス層の全てがフォトルミネッセンス材料である必要はなく、その少なくとも一部の領域が発光する機能を有していればよい。
また、周期構造を金属で形成した場合には、導波モードとプラズモン共鳴の効果によるモードが形成され、上で述べた擬似導波モードとは異なる性質となる。また、このモードは金属による吸収が大きいためロスが大きくなり、発光増強の効果は小さくなる。したがって、周期構造としては、吸収の少ない誘電体を用いるのが望ましい。
本発明者らは、まずこのような導波路(例えば、フォトルミネッセンス層)の表面に、周期構造を形成することで、特定の角度方向の伝播光として出射することのできる擬似導波モードに発光を結合させることについて検討を行った。図1Aは、そのような導波路(例えば、フォトルミネッセンス層)110と周期構造(例えば、透光層)120とを有する発光素子100の一例を模式的に示す斜視図である。以下、透光層120が周期構造を形成している場合(即ち、透光層120に周期的なサブミクロン構造が形成されている場合)、透光層120を周期構造120ということがある。この例では、周期構造120は、各々がy方向に延びるストライプ状の複数の凸部がx方向に等間隔に並んだ1次元周期構造である。図1Bは、この発光素子100をxz面に平行な平面で切断したときの断面図である。導波路110に接するように周期pの周期構造120を設けると、面内方向の波数kwavをもつ擬似導波モードは、導波路外の伝播光へと変換され、その波数koutは以下の式(2)で表すことができる。
Figure 2016034015



式(2)におけるmは整数であり、回折の次数を表す。
ここで、簡単のため、近似的に導波路内を導波する光を角度θwavで伝播する光線であると考え、以下の式(3)および(4)が成立するとする。
Figure 2016034015

Figure 2016034015

これらの式において、λ0は光の空気中の波長、nwavは導波路の屈折率、noutは出射側の媒質の屈折率、θoutは光が導波路外の基板または空気に出射するときの出射角度である。式(2)〜(4)から、出射角度θoutは、以下の式(5)で表すことができる。
Figure 2016034015

式(5)より、nwavsinθwav=mλ0/pが成立するとき、θout=0となり、導波路の面に垂直な方向(即ち、正面)に光を出射させることができることがわかる。
以上のような原理に基づけば、発光を特定の擬似導波モードに結合させ、さらに周期構造を利用して特定の出射角度の光に変換することにより、その方向に強い光を出射させることができると考えられる。
上記のような状況を実現するためには、いくつかの制約条件がある。まず、擬似導波モードが存在するためには、導波路内で伝播する光が全反射することが必要である。このための条件は、以下の式(6)で表される。
Figure 2016034015

この擬似導波モードを周期構造によって回折させて導波路外に光を出射させるためには、式(5)において−1<sinθout<1である必要がある。よって、以下の式(7)を満足する必要がある。
Figure 2016034015

これに対し、式(6)を考慮すると、以下の式(8)が成立すればよいことがわかる。
Figure 2016034015

さらに、導波路110から出射される光の方向を正面方向(θout=0)にするためには、式(5)から、以下の式(9)が必要であることがわかる。
Figure 2016034015

式(9)および式(6)から、必要な条件は、以下の式(10)であることがわかる。
Figure 2016034015

なお、図1Aおよび図1Bに示すような周期構造を設けた場合には、mが2以上の高次の回折効率は低いため、m=1である1次の回折光を主眼に設計すると良い。このため、本実施形態における周期構造では、m=1として、式(10)を変形した以下の式(11)を満足するように周期pが決定される。
Figure 2016034015

図1Aおよび図1Bに示すように、導波路(フォトルミネッセンス層)110が透明基板に接していない場合には、noutは空気の屈折率(約1.0)となるため、以下の式(12)を満足するように周期pを決定すればよい。
Figure 2016034015

一方、図1Cおよび図1Dに例示するような透明基板140上にフォトルミネッセンス層110および周期構造120を形成した構造を採用してもよい。この場合には、透明基板140の屈折率nsが空気の屈折率よりも大きいことから、式(11)においてnout=nsとした次式(13)を満足するように周期pを決定すればよい。
Figure 2016034015

なお、式(12)、(13)では、式(10)においてm=1の場合を想定したが、m≧2であってもよい。すなわち、図1Aおよび図1Bに示すように発光素子100の両面が空気層に接している場合には、mを1以上の整数として、以下の式(14)を満足するように周期pが設定されていればよい。
Figure 2016034015

同様に、図1Cおよび図1Dに示す発光素子100aのようにフォトルミネッセンス層110が透明基板140上に形成されている場合には、以下の式(15)を満足するように周期pが設定されていればよい。
Figure 2016034015

以上の不等式を満足するように周期構造の周期pを決定することにより、フォトルミネッセンス層110から発生した光を正面方向に出射させることができるため、指向性を有する発光装置を実現できる。
[3.計算による検証]
[3−1.周期、波長依存性]
本発明者らは、以上のような特定方向への光の出射が実際に可能であるかを光学解析によって検証した。光学解析は、サイバネット社のDiffractMODを用いた計算によって行った。これらの計算では、発光素子に対して外部から垂直に光を入射したときに、フォトルミネッセンス層における光の吸収の増減を計算することで、外部へ垂直に出射する光の増強度を求めた。外部から入射した光が擬似導波モードに結合しフォトルミネッセンス層で吸収されるという過程は、フォトルミネッセンス層における発光が擬似導波モードへと結合し、外部へ垂直に出射する伝播光へと変換される過程と逆の過程を計算していることに対応する。また、擬似導波モードの電場分布の計算においても、同様に外部から光を入射した場合における電場を計算した。
フォトルミネッセンス層の膜厚を1μm、フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav=1.8、周期構造の高さを50nm、周期構造の屈折率を1.5とし、発光波長および周期構造の周期をそれぞれ変えて、正面方向に出射する光の増強度を計算した結果を図2に示す。計算モデルは、図1Aに示すように、y方向には均一な1次元周期構造とし、光の偏光はy方向に平行な電場成分を有するTMモードであるとして計算を行った。図2の結果から、増強度のピークが、ある特定の波長と周期との組み合わせにおいて存在することがわかる。なお、図2において、増強度の大きさは色の濃淡で表されており、濃い(即ち黒い)方が増強度が大きく、淡い(即ち白い)方が増強度が小さい。
上記の計算において、周期構造の断面は、図1Bに示すような矩形であるものとしている。式(10)におけるm=1およびm=3の条件を図示したグラフを図3に示す。図2と図3とを比較すると、図2におけるピーク位置はm=1とm=3に対応するところに存在することがわかる。m=1の方が強度が強いのは、3次以上の高次の回折光よりも1次の回折光の回折効率の方が高いからである。m=2のピークが存在しないのは、周期構造における回折効率が低いためである。
図3で示したm=1およびm=3のそれぞれに対応する領域内において、図2では複数のラインが存在することが確認できる。これは、擬似導波モードが複数存在するからであると考えられる。
[3−2.厚さ依存性]
図4は、フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav=1.8、周期構造の周期を400nm、高さを50nm、屈折率を1.5とし、発光波長およびフォトルミネッセンス層の厚さtを変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を示す図である。フォトルミネッセンス層の厚さtが特定の値であるときに光の増強度がピークに達することがわかる。
図4においてピークが存在する波長600nm、厚さt=238nm、539nmのときに、x方向に導波するモードの電場分布を計算した結果を図5Aおよび図5Bにそれぞれ示す。比較のため、ピークが存在しないt=300nmの場合について同様の計算を行った結果を図5Cに示す。計算モデルは、上記と同様、y方向に均一な1次元周期構造であるとした。各図において、黒い領域ほど電場強度が高く、白い領域ほど電場強度が低いことを表している。t=238nm、539nmの場合には高い電場強度の分布があるのに対して、t=300nmでは全体的に電場強度が低い。これは、t=238nm、539nmの場合には、導波モードが存在し、光が強く閉じ込められているからである。さらに、凸部または凸部の直下に電場が最も強い部分(腹)が必ず存在しており、周期構造120と相関のある電場が発生している特徴が見て取れる。つまり、周期構造120の配置に従って、導波するモードが得られていることがわかる。また、t=238nmの場合とt=539nmの場合とを比較すると、z方向の電場の節(白い部分)の数が1つだけ異なるモードであることが分かる。
[3−3.偏光依存性]
次に偏光依存性を確認するために、図2の計算と同じ条件で、光の偏光がy方向に垂直な電場成分を有するTEモードである場合について光の増強度の計算を行った。本計算の結果を図6に示す。TMモードのとき(図2)に比べ、ピーク位置は多少変化しているものの、図3で示した領域内にピーク位置が納まっている。よって、本実施形態の構成は、TMモード、TEモードのいずれの偏光についても有効であることが確認できた。
[3−4.2次元周期構造]
さらに、2次元の周期構造による効果の検討を行った。図7Aは、x方向およびy方向の両方向に凹部および凸部が配列された2次元の周期構造120’の一部を示す平面図である。図中の黒い領域が凸部、白い領域が凹部を示している。このような2次元周期構造では、x方向とy方向の両方の回折を考慮する必要がある。x方向のみ、あるいはy方向のみの回折に関しては1次元の場合と同様であるが、x、y両方の成分を有する方向(例えば、斜め45°方向)の回折も存在するため、1次元の場合とは異なる結果が得られることが期待できる。このような2次元周期構造に関して光の増強度を計算した結果を図7Bに示す。周期構造以外の計算条件は図2の条件と同じである。図7Bに示すように、図2に示すTMモードのピーク位置に加えて、図6に示すTEモードにおけるピーク位置と一致するピーク位置も観測された。この結果は、2次元周期構造により、TEモードも、回折により変換されて出力されていることを示している。また、2次元周期構造については、x方向およびy方向の両方について、同時に1次の回折条件を満足する回折も考慮する必要がある。このような回折光は、周期pの√2倍(即ち、21/2倍)の周期に対応する角度の方向に出射する。よって、1次元周期構造の場合のピークに加えて、周期pの√2倍の周期についてもピークが発生すると考えられる。図7Bでは、このようなピークも確認できる。
2次元周期構造としては、図7Aに示すようなx方向およびy方向の周期が等しい正方格子の構造に限らず、図18Aおよび図18Bのような六角形や三角形を並べた格子構造であってもよい。また、方位方向によって(例えば、正方格子の場合x方向およびy方向)の周期が異なる構造であってもよい。
以上のように、本実施形態では、周期構造とフォトルミネッセンス層とによって形成される特徴的な擬似導波モードの光を、周期構造による回折現象を利用して、正面方向にのみ選択的に出射できることが確認できた。このような構成で、フォトルミネッセンス層を紫外線や青色光などの励起光で励起させることにより、指向性を有する発光が得られる。
[4.周期構造およびフォトルミネッセンス層の構成の検討]
次に、周期構造およびフォトルミネッセンス層の構成や屈折率などの各種条件を変えたときの効果について説明する。
[4−1.周期構造の屈折率]
まず、周期構造の屈折率に関して検討を行った。フォトルミネッセンス層の膜厚を200nm、フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav=1.8、周期構造は図1Aに示すようなy方向に均一な1次元周期構造とし、高さを50nm、周期を400nmとし、光の偏光はy方向に平行な電場成分を有するTMモードであるものとして計算を行った。発光波長および周期構造の屈折率を変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を図8に示す。また、同様の条件でフォトルミネッセンス層の膜厚を1000nmにした場合の結果を図9に示す。
まず、フォトルミネッセンス層の膜厚に着目すると、膜厚が200nmの場合(図8)に比べ、膜厚が1000nmの場合(図9)のほうが、周期構造の屈折率の変化に対する光強度がピークとなる波長(ピーク波長と称する。)のシフトが小さいことがわかる。これは、フォトルミネッセンス層の膜厚が小さいほど、擬似導波モードが周期構造の屈折率の影響を受けやすいからである。即ち、周期構造の屈折率が高いほど、有効屈折率が大きくなり、その分ピーク波長が長波長側にシフトするが、この影響は、膜厚が小さいほど顕著になる。なお、有効屈折率は、擬似導波モードの電場が分布する領域に存在する媒質の屈折率によって決まる。
次に、周期構造の屈折率の変化に対するピークの変化に着目すると、屈折率が高いほどピークが広がり強度が下がっていることがわかる。これは、周期構造の屈折率が高いほど擬似導波モードの光を外部に放出するレートが高いため、光を閉じ込める効果が減少する、すなわちQ値が低くなることが原因である。ピーク強度を高く保つためには、光を閉じ込める効果が高い(即ちQ値が高い)擬似導波モードを利用して、適度に光を外部に放出する構成にすればよい。これを実現するためには、屈折率がフォトルミネッセンス層の屈折率に比べて大き過ぎる材料を周期構造に用いるのは望ましくないことがわかる。したがって、ピーク強度およびQ値をある程度高くするためには、周期構造を構成する誘電体(即ち、透光層)の屈折率を、フォトルミネッセンス層の屈折率と同等以下にすればよい。フォトルミネッセンス層がフォトルミネッセンス材料以外の材料を含むときも同様である。
[4−2.周期構造の高さ]
次に、周期構造の高さに関して検討を行った。フォトルミネッセンス層の膜厚を1000nm、フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav=1.8、周期構造は図1Aに示すようなy方向に均一な1次元周期構造で屈折率をnp=1.5、周期を400nmとし、光の偏光はy方向に平行な電場成分を有するTMモードであるものとして計算を行った。発光波長および周期構造の高さを変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した結果を図10に示す。同様の条件で、周期構造の屈折率をnp=2.0とした場合の計算結果を図11に示す。図10に示す結果では、ある程度以上の高さではピーク強度やQ値(即ち、ピークの線幅)が変化していないのに対して、図11に示す結果では、周期構造の高さが大きいほどピーク強度およびQ値が低下していることがわかる。これは、フォトルミネッセンス層の屈折率nwavが周期構造の屈折率npよりも高い場合(図10)には、光が全反射するので、擬似導波モードの電場の染み出し(エバネッセント)部分のみが周期構造と相互作用することに起因する。電場のエバネッセント部分と周期構造との相互作用の影響は、周期構造の高さが十分大きい場合には、それ以上高さが変化しても一定である。一方、フォトルミネッセンス層の屈折率nwavが周期構造の屈折率npよりも低い場合(図11)は、全反射せずに周期構造の表面にまで光が到達するので、周期構造の高さが大きいほどその影響を受ける。図11を見る限り、高さは100nm程度あれば十分であり、150nmを超える領域ではピーク強度およびQ値が低下していることがわかる。したがって、フォトルミネッセンス層の屈折率nwavが周期構造の屈折率npよりも低い場合に、ピーク強度およびQ値をある程度高くするためには、周期構造の高さを150nm以下に設定すればよい。
[4−3.偏光方向]
次に、偏光方向に関して検討を行った。図9に示す計算と同じ条件で、光の偏光がy方向に垂直な電場成分を有するTEモードであるものとして計算した結果を図12に示す。TEモードでは、擬似導波モードの電場の染み出しがTMモードに比べて大きいため、周期構造による影響を受けやすい。よって、周期構造の屈折率npがフォトルミネッセンス層の屈折率nwavよりも大きい領域では、ピーク強度およびQ値の低下がTMモードよりも著しい。
[4−4.フォトルミネッセンス層の屈折率]
次に、フォトルミネッセンス層の屈折率に関して検討を行った。図9に示す計算と同様の条件で、フォトルミネッセンス層の屈折率nwavを1.5に変更した場合の結果を図13に示す。フォトルミネッセンス層の屈折率nwavが1.5の場合においても概ね図9と同様の効果が得られていることがわかる。ただし、波長が600nm以上の光は正面方向に出射していないことがわかる。これは、式(10)より、λ0<nwav×p/m=1.5×400nm/1=600nmとなるからである。
以上の分析から、周期構造の屈折率はフォトルミネッセンス層の屈折率と同等以下にするか、周期構造の屈折率がフォトルミネッセンス層の屈折率以上の場合には、高さを150nm以下にすれば、ピーク強度およびQ値を高くできることがわかる。
[5.変形例]
以下、本実施形態の変形例を説明する。
[5−1.基板を有する構成]
上述のように、発光素子は、図1Cおよび図1Dに示すように、透明基板140の上にフォトルミネッセンス層110および周期構造120が形成された構造を有していてもよい。このような発光素子100aを作製するには、まず、透明基板140上にフォトルミネッセンス層110を構成するフォトルミネッセンス材料(必要に応じて、マトリクス材料を含む、以下同じ。)で薄膜を形成し、その上に周期構造120を形成する方法が考えられる。このような構成において、フォトルミネッセンス層110と周期構造120とにより、光を特定の方向に出射する機能をもたせるためには、透明基板140の屈折率nsはフォトルミネッセンス層の屈折率nwav以下にする必要がある。透明基板140をフォトルミネッセンス層110に接するように設けた場合、式(10)における出射媒質の屈折率noutをnsとした式(15)を満足するように周期pを設定する必要がある。
このことを確認するために、屈折率が1.5の透明基板140の上に、図2に示す計算と同じ条件のフォトルミネッセンス層110および周期構造120を設けた場合の計算を行った。本計算の結果を図14に示す。図2の結果と同様、波長ごとに特定の周期において光強度のピークが現れることが確認できるが、ピークが現れる周期の範囲が図2の結果とは異なることがわかる。これに対して、式(10)の条件をnout=nsとした式(15)の条件を図15に示す。図14において、図15に示される範囲に対応する領域内に、光強度のピークが現れていることがわかる。
したがって、透明基板140上にフォトルミネッセンス層110と周期構造120とを設けた発光素子100aでは、式(15)を満足する周期pの範囲において効果が得られ、式(13)を満足する周期pの範囲において特に顕著な効果が得られる。
[5−2.励起光源を有する発光装置]
図16は、図1A、1Bに示す発光素子100と、励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させる光源180とを備える発光装置200の構成例を示す図である。上述のように、本開示の構成では、フォトルミネッセンス層を紫外線や青色光などの励起光で励起させることにより、指向性をもつ発光が得られる。そのような励起光を出射するように構成された光源180を設けることにより、指向性をもつ発光装置200を実現できる。光源180から出射される励起光の波長は、典型的には紫外または青色領域の波長であるが、これらに限らず、フォトルミネッセンス層110を構成するフォトルミネッセンス材料に応じて適宜決定される。なお、図16では、光源180がフォトルミネッセンス層110の下面から励起光を入射させるように配置されているが、このような例に限定されず、例えば、フォトルミネッセンス層110の上面から励起光を入射させてもよい。
励起光を擬似導波モードに結合させることで、効率よく光を出射させる方法もある。図17は、そのような方法を説明するための図である。この例では、図1C、1Dに示す構成と同様、透明基板140上にフォトルミネッセンス層110および周期構造120が形成されている。まず、図17(a)に示すように、発光増強のためにx方向の周期pxを決定し、続いて、図17(b)に示すように、励起光を擬似導波モードに結合させるためにy方向の周期pyを決定する。周期pxは、式(10)においてpをpxに置き換えた条件を満足するように決定される。一方、周期pyは、mを1以上の整数、励起光の波長をλex、フォトルミネッセンス層110に接する媒質のうち、周期構造120を除く最も屈折率の高い媒質の屈折率をnoutとして、以下の式(16)を満足するように決定される。
Figure 2016034015



ここで、noutは、図17の例では透明基板140のnsであるが、図16のように透明基板140を設けない構成では、空気の屈折率(約1.0)である。
特に、m=1として、次の式(17)を満足するように周期pyを決定すれば、励起光を擬似導波モードに変換する効果をより高くすることができる。
Figure 2016034015

このように、式(16)の条件(特に式(17)の条件)を満足するように周期pyを設定することで、励起光を擬似導波モードに変換することができる。その結果、フォトルミネッセンス層110に効率的に波長λexの励起光を吸収させることができる。
図17(c)、(d)は、それぞれ、図17(a)、(b)に示す構造に対して光を入射したときに光が吸収される割合を波長ごとに計算した結果を示す図である。この計算では、px=365nm、py=265nmとし、フォトルミネッセンス層110からの発光波長λを約600nm、励起光の波長λexを約450nm、フォトルミネッセンス層110の消衰係数は0.003としている。図17(d)に示すように、フォトルミネッセンス層110から生じた光だけでなく、励起光である約450nmの光に対して高い吸収率を示している。これは、入射した光が効果的に擬似導波モードに変換されることで、フォトルミネッセンス層に吸収される割合を増大させることができているためである。また、発光波長である約600nmに対しても吸収率が増大しているが、これは、もし約600nmの波長の光をこの構造に入射した場合には、同様に効果的に擬似導波モードに変換されるということである。このように、図17(b)に示す周期構造120は、x方向およびy方向のそれぞれに周期の異なる構造(周期成分)を有する2次元周期構造である。このように、複数の周期成分を有する2次元周期構造を用いることにより、励起効率を高めつつ、出射強度を高めることが可能になる。なお、図17では励起光を基板側から入射しているが、周期構造側から入射しても同じ効果が得られる。
さらに、複数の周期成分を有する2次元周期構造としては、図18Aまたは図18Bに示すような構成を採用してもよい。図18Aに示すように六角形の平面形状を有する複数の凸部または凹部を周期的に並べた構成や、図18Bに示すように三角形の平面形状を有する複数の凸部または凹部を周期的に並べた構成とすることにより、周期とみなすことのできる複数の主軸(図の例では軸1〜3)を定めることができる。このため、それぞれの軸方向について異なる周期を割り当てることができる。これらの周期の各々を、複数の波長の光の指向性を高めるために設定してもよいし、励起光を効率よく吸収させるために設定してもよい。いずれの場合も、式(10)に相当する条件を満足するように各周期が設定される。
[5−3.透明基板上の周期構造]
図19Aおよび図19Bに示すように、透明基板140上に周期構造120aを形成し、その上にフォトルミネッセンス層110を設けてもよい。図19Aの構成例では、基板140上の凹凸からなる周期構造120aに追従するようにフォトルミネッセンス層110が形成された結果、フォトルミネッセンス層110の表面にも同じ周期の周期構造120bが形成されている。一方、図19Bの構成例では、フォトルミネッセンス層110の表面は平坦になるように処理されている。これらの構成例においても、周期構造120aの周期pを式(15)を満足するように設定することにより、指向性発光を実現できる。
この効果を検証するため、図19Aの構成において、発光波長および周期構造の周期を変えて正面方向に出力する光の増強度を計算した。ここで、フォトルミネッセンス層110の膜厚を1000nm、フォトルミネッセンス層110の屈折率をnwav=1.8、周期構造120aはy方向に均一な1次元周期構造で高さを50nm、屈折率をnp=1.5、周期を400nmとし、光の偏光はy方向に平行な電場成分を有するTMモードであるものとした。本計算の結果を図19Cに示す。本計算においても、式(15)の条件を満足する周期で光強度のピークが観測された。
[5−4.粉体]
以上の実施形態によれば、周期構造の周期や、フォトルミネッセンス層の膜厚を調整することで任意の波長の発光を強調することができる。例えば、広い帯域で発光するフォトルミネッセンス材料を用いて図1A、1Bのような構成にすれば、ある波長の光のみを強調することが可能である。よって、図1A、1Bのような発光素子100の構成を粉末状にして、蛍光材料として利用してもよい。また、図1A、1Bのような発光素子100を樹脂やガラスなどに埋め込んで利用してもよい。
図1A、1Bのような単体の構成では、ある特定の波長しか特定の方向に出射できないため、例えば広い波長域のスペクトルを持つ白色などの発光を実現することは難しい。そこで、図20に示すように周期構造の周期やフォトルミネッセンス層の膜厚などの条件の異なる複数の粉末状の発光素子100を混ぜたものを用いることにより、広い波長域のスペクトルを持つ発光装置を実現できる。この場合、個々の発光素子100の一方向のサイズは、例えば数μm〜数mm程度であり、その中に例えば数周期〜数百周期の1次元または2次元の周期構造を含み得る。
[5−5.周期の異なる構造を配列]
図21は、フォトルミネッセンス層の上に周期の異なる複数の周期構造を2次元に配列した例を示す平面図である。この例では、3種類の周期構造120a、120b、120cが隙間なく配列されている。周期構造120a、120b、120cは、例えば、赤、緑、青の波長域の光をそれぞれ正面に出射するように周期が設定されている。このように、フォトルミネッセンス層の上に周期の異なる複数の構造を並べることによっても広い波長域のスペクトルに対し指向性を発揮させることができる。なお、複数の周期構造の構成は、上記のものに限定されず、任意に設定してよい。
[5−6.積層構造]
図22は、表面に凹凸構造が形成された複数のフォトルミネッセンス層110が積層された構造を有する発光素子の一例を示している。複数のフォトルミネッセンス層110の間には、透明基板140が設けられ、各層のフォトルミネッセンス層110の表面に形成された凹凸構造が上記の周期構造またはサブミクロン構造に相当する。図22に示す例では、3層の周期の異なる周期構造が形成されており、それぞれ、赤、青、緑の波長域の光を正面に出射するように周期が設定されている。また、各周期構造の周期に対応する色の光を発するように各層のフォトルミネッセンス層110の材料が選択されている。このように、周期の異なる複数の周期構造を積層することによっても、広い波長域のスペクトルに対し指向性を発揮させることができる。
なお、層数や各層のフォトルミネッセンス層110および周期構造の構成は上記のものに限定されず、任意に設定してよい。例えば2層の構成では、透光性の基板を介して第1のフォトルミネッセンス層と第2のフォトルミネッセンス層とが対向するように形成され、第1および第2のフォトルミネッセンス層の表面に、それぞれ第1および第2の周期構造が形成されることになる。この場合、第1のフォトルミネッセンス層および第1の周期構造の対と、第2のフォトルミネッセンス層および第2の周期構造の対のそれぞれについて、式(15)に相当する条件を満足していればよい。3層以上の構成においても同様に、各層におけるフォトルミネッセンス層および周期構造について、式(15)に相当する条件を満足していればよい。フォトルミネッセンス層と周期構造との位置関係が図22に示すものとは逆転していてもよい。図22に示す例では、各層の周期が異なっているが、これらを全て同じ周期にしてもよい。その場合、スペクトルを広くすることはできないが、発光強度を大きくすることができる。
[5−7.保護層を有する構成]
図23は、フォトルミネッセンス層110と周期構造120との間に保護層150を設けた構成例を示す断面図である。このように、フォトルミネッセンス層110を保護するための保護層150を設けても良い。ただし、保護層150の屈折率がフォトルミネッセンス層110の屈折率よりも低い場合は、保護層150の内部に波長の半分程度しか光の電場が染み出さない。よって、保護層150が波長よりも厚い場合には、周期構造120に光が届かない。このため、擬似導波モードが存在せず、光を特定方向に放出する機能を得ることができない。保護層150の屈折率がフォトルミネッセンス層110の屈折率と同程度あるいはそれ以上の場合には、保護層150の内部にまで光が到達する。よって、保護層150に厚さの制約は無い。ただし、その場合でも、光が導波する部分(以下、この部分を「導波層」と呼ぶ。)の大部分をフォトルミネッセンス材料で形成したほうが大きな光の出力が得られる。よって、この場合でも保護層150は薄いほうが望ましい。なお、保護層150を周期構造(透光層)120と同じ材料を用いて形成してもよい。このとき、周期構造を有する透光層が保護層を兼ねる。透光層120の屈折率はフォトルミネッセンス層110よりも小さいことが望ましい。
[6.材料および製造方法]
以上のような条件を満たす材料でフォトルミネッセンス層(あるいは導波層)および周期構造を構成すれば、指向性発光を実現できる。周期構造には任意の材料を用いることができる。しかしながら、フォトルミネッセンス層(あるいは導波層)や周期構造を形成する媒質の光吸収性が高いと、光を閉じ込める効果が低下し、ピーク強度およびQ値が低下する。よって、フォトルミネッセンス層(あるいは導波層)および周期構造を形成する媒質として、光吸収性の比較的低いものが用いられ得る。
周期構造の材料としては、例えば、光吸収性の低い誘電体が使用され得る。周期構造の材料の候補としては、例えば、MgF2(フッ化マグネシウム)、LiF(フッ化リチウム)、CaF2(フッ化カルシウム)、SiO2(石英)、ガラス、樹脂、MgO(酸化マグネシウム)、ITO(酸化インジウム錫)、TiO2(酸化チタン)、SiN(窒化シリコン)、Ta25(五酸化タンタル)、ZrO2(ジルコニア)、ZnSe(セレン化亜鉛)、ZnS(硫化亜鉛)などが挙げられる。ただし、前述のとおり周期構造の屈折率をフォトルミネッセンス層の屈折率よりも低くする場合、屈折率が1.3〜1.5程度であるMgF2、LiF、CaF2、SiO2、ガラス、樹脂を用いることができる。
フォトルミネッセンス材料は、狭義の蛍光材料および燐光材料を包含し、無機材料だけなく、有機材料(例えば色素)を包含し、さらには、量子ドット(即ち、半導体微粒子)を包含する。一般に、無機材料をホストとする蛍光材料は屈折率が高い傾向にある。青色に発光する蛍光材料としては、例えば、M10(PO46Cl2:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、BaMgAl1017:Eu2+、M3MgSi28:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、M5SiO4Cl6:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)を用いることができる。緑色に発光する蛍光材料としては、例えば、M2MgSi27:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、SrSi5AlO27:Eu2+、SrSi222:Eu2+、BaAl24:Eu2+、BaZrSi39:Eu2+、M2SiO4:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、BaSi342:Eu2+Ca8Mg(SiO44Cl2:Eu2+、Ca3SiO4Cl2:Eu2+、CaSi12-(m+n)Al(m+n)n16-n:Ce3+、β−SiAlON:Eu2+を用いることができる。赤色に発光する蛍光材料としては、例えば、CaAlSiN3:Eu2+、SrAlSi47:Eu2+、M2Si58:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、MSiN2:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、MSi222:Yb2+(M=SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、Y22S:Eu3+,Sm3+、La22S:Eu3+,Sm3+、CaWO4:Li1+,Eu3+,Sm3+、M2SiS4:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、M3SiO5:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)を用いることができる。黄色に発光する蛍光材料としては、例えば、Y3Al512:Ce3+、CaSi222:Eu2+、Ca3Sc2Si312:Ce3+、CaSc24:Ce3+、α−SiAlON:Eu2+、MSi222:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)、M7(SiO36Cl2:Eu2+(M=Ba,SrおよびCaから選ばれる少なくとも1種)を用いることができる。
量子ドットについては、例えば、CdS、CdSe、コア・シェル型CdSe/ZnS、合金型CdSSe/ZnSなどの材料を用いることができ、材質によって様々な発光波長を得ることができる。量子ドットのマトリクスとしては、例えば、ガラスや樹脂を用いることができる。
図1C、1Dなどに示す透明基板140は、フォトルミネッセンス層110の屈折率よりも低い透光性材料によって構成される。そのような材料として、例えば、MgF(フッ化マグネシウム)、LiF(フッ化リチウム)、CaF2(フッ化カルシウム)、SiO2(石英)、ガラス、樹脂が挙げられる。
続いて、製造方法の一例を説明する。
図1C、1Dに示す構成を実現する方法として、例えば、透明基板140上に蛍光材料を蒸着、スパッタリング、塗布などの工程によってフォトルミネッセンス層110の薄膜を形成し、その後、誘電体を成膜し、フォトリソグラフィなどの方法によってパターニングすることによって周期構造120を形成する方法がある。上記方法の代わりに、ナノインプリントによって周期構造120を形成してもよい。また、図24に示すように、フォトルミネッセンス層110の一部のみを加工することによって周期構造120を形成してもよい。その場合、周期構造120はフォトルミネッセンス層110と同じ材料で形成されることになる。
図1A、1Bに示す発光素子100は、例えば、図1C、1Dに示す発光素子100aを作製した後、基板140からフォトルミネッセンス層110および周期構造120の部分を剥がす工程を行うことで実現可能である。
図19Aに示す構成は、例えば、透明基板140上に半導体プロセスやナノインプリントなどの方法で周期構造120aを形成した後、その上にフォトルミネッセンス層110を構成する材料を蒸着やスパッタリングなどの方法で形成することによって実現可能である。あるいは、塗布などの方法を用いて周期構造120aの凹部をフォトルミネッセンス層110で埋め込むことによって図19Bに示す構成を実現することもできる。
なお、上記の製造方法は一例であり、本開示の発光素子は上記の製造方法に限定されない。
[実験例]
以下に、本開示の実施形態による発光素子を作製した例を説明する。
図19Aと同様の構成を有する発光素子のサンプルを試作し、特性を評価した。発光素子は以下の様にして作製した。
ガラス基板に、周期400nm、高さ40nmの1次元周期構造(ストライプ状の凸部)を設け、その上からフォトルミネッセンス材料であるYAG:Ceを210nm成膜した。この断面図のTEM像を図25に示し、これを450nmのLEDで励起することでYAG:Ceを発光させたときの、正面方向のスペクトルを測定した結果を図26に示す。図26には、周期構造がない場合の測定結果(ref)と、1次元周期構造に対して平行な偏光成分を持つTMモードと、垂直な偏光成分を持つTEモードを測定した結果について示した。周期構造がある場合は、周期構造がない場合に対して、特定の波長の光が著しく増加していることが見て取れる。また、1次元周期構造に対して平行な偏光成分を持つTMモードの方が、光の増強効果が大きいことが分かる。
さらに、同じサンプルにおいて、出射光強度の角度依存性を測定した結果および計算結果を図27および図28に示す。図27は、1次元周期構造(周期構造120)のライン方向と平行な軸を回転軸として回転させた場合について、図28は、1次元周期構造(即ち、周期構造120)のライン方向に対して垂直な方向を回転軸として回転させた場合についての測定結果(上段)および計算結果(下段)を示している。また、図27および図28のそれぞれにおいて、TMモードおよびTEモードの直線偏光についての結果を示しており、図27(a)はTMモード、図27(b)はTEモード、図28(a)はTEモード、図28(b)はTMモードの直線偏光についての結果をそれぞれ示している。図27および図28から明らかなように、TMモードの方が増強する効果が高く、また増強される波長は角度によってシフトしていく様子が見て取れる。例えば、610nmの光においては、TMモードでかつ正面方向にしか光が存在しないため、指向性かつ偏光発光していることがわかる。また、各図の上段と下段とが整合していることから、上述の計算の妥当性が実験によって裏付けられた。
上記の測定結果から例えば、610nmの光において、ライン方向に対して垂直な方向を回転軸として回転させた場合の強度の角度依存性を示したのが図29である。正面方向に強い発光増強が起きており、そのほかの角度に対しては、ほとんど光が増強されていない様子がみてとれる。正面方向に出射される光の指向角は15°未満であることがわかる。なお、指向角は、強度が最大強度の50%となる角度であり、最大強度の方向を中心に片側の角度で表す。つまり、指向性発光が実現していることがわかる。さらにこれは、全てTMモードの成分であるため、同時に偏光発光も実現していることがわかる。
以上の検証は、広帯域の波長帯で発光するYAG:Ceを使って実験を行ったが、発光が狭帯域のフォトルミネッセンス材料で同様の構成としても、その波長の光に対して指向性や偏光発光を実現することができる。さらに、この場合、他の波長の光は発生しないために他の方向や偏光状態の光は発生しないような光源を実現することができる。
[7.励起光の吸収効率を向上させる実施形態]
次に、フォトルミネッセンス層110に励起光を効率的に吸収させるための実施形態を説明する。
励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させる構成として、例えば、前述した図16に示す構成が考えられる。図16の構成では、励起光がフォトルミネッセンス層110にほぼ垂直に入射する。このため、励起光の多くがフォトルミネッセンス層110を透過してしまい、吸収効率を高くできない可能性がある。励起光の一部を外部に取り出して利用する形態(例えば、青色の励起光と黄色の蛍光とから白色光を取り出す形態)であれば問題はないが、そうでない形態では、可能な限り多くの励起光をフォトルミネッセンス材料に吸収させることが要求される。そこで、励起光の吸収効率を向上させる実施形態を以下に説明する。
(実施形態1)
図31は、第1の実施形態における発光装置の一部を模式的に示す部分断面図である。図32は、この発光装置の一部を模式的に示す斜視図である。この発光装置は、透明基板140、フォトルミネッセンス層110、周期構造120に加え、導光構造体220をさらに備えている。導光構造体220は、光源180から出射された励起光をフォトルミネッセンス層110に導く励起光導入ガイドとして機能する。光源180から出射された励起光は、図31に矢印で示すように、導光構造体220を透過してフォトルミネッセンス層110に入射し、フォトルミネッセンス層110内を伝播する。透明基板140に光が侵入する場合には、図31に破線で示すように、透明基板140内にも光が伝播し得る。
導光構造体220は、フォトルミネッセンス層110において周期構造120の側の表面に形成されている。これにより、周期構造120がある側の面から励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させ、フォトルミネッセンス層110に励起光を閉じ込めることができる。導光構造体220は、三角柱状の透光性部材(三角プリズム)によって構成されている。この例における導光構造体220は、周期構造120のライン方向(即ち、各凸部の長手方向)に平行な方向に延びた形状を有する。導光構造体220を構成する材料には、例えば周期構造120の材料として例示した上述の材料のいずれかを用いることができる。
図31および図32は、各構成要素の現実のサイズを反映していない。例えば、導光構造体220は、周期構造120の周期の10倍以上の幅を有し得る。ここで、導光構造体220の幅とは、図31に示す導光構造体220の断面の三角形における一辺の長さを意味する。導光構造体220の幅は、例えば、数μmから数mmの範囲内に設定され得る。
導光構造体220は、光源180から出射された励起光をフォトルミネッセンス層110に所定の入射角度で入射させる。この入射角度は、フォトルミネッセンス層110と透明基板140との界面、または透明基板140と外部の空気層との界面で全反射が生じるように設定される。これにより、励起光をフォトルミネッセンス層110の内部、またはフォトルミネッセンス層110および透明基板140の内部に閉じ込めることができる。その結果、フォトルミネッセンス層110の発光効率を向上させることができる。
図33は、励起光が全反射によって閉じ込められるための条件を説明するための図である。導光構造体220の屈折率をnst、フォトルミネッセンス層110の屈折率をnfl、透明基板140の屈折率をnsub、導光構造体220からフォトルミネッセンス層110への励起光の入射角をθst、出射角をθflとする。また、励起光が透明基板140内に侵入する場合のフォトルミネッセンス層110から透明基板140への入射角をθfl、出射角をθsubとする。
励起光がフォトルミネッセンス層110内に閉じ込められる条件は、以下の式(18)で表される。
stsin(θst)=nflsin(θfl)>nsub (18)
励起光がフォトルミネッセンス層110および透明基板140内に閉じ込められる条件は、以下の式(19)で表される。
stsin(θst)=nflsin(θfl)=nsubsin(θsub)>1 (19)
したがって、式(19)を満足するように光源180からの励起光の出射角度、ならびに導光構造体220の屈折率および形状が決定されていれば、全反射によって励起光をフォトルミネッセンス層110を含む領域内に閉じ込めることができる。このため、フォトルミネッセンス層110からの発光が促進され、出射効率が向上する。
導光構造体220の構造および配置は、上記の例に限定されず、様々な構成が考えられる。例えば、導光構造体220は、1つに限らず、複数のプリズムを含むプリズムアレイによって構成されていてもよい。その場合、各プリズムは、三角柱形状に限らず、三角柱以外の角柱、半球、または錐体などの他の形状を有していてもよい。導光構造体220は、フォトルミネッセンス層110において周期構造120がある側の面に限らず、その反対側の面に設けられていてもよい。その場合、周期構造120がある側の反対側の面から励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させ、フォトルミネッセンス層110に励起光を閉じ込めることができる。
図34から図38は、導光構造体220の他の例を模式的に示す部分断面図である。図34は、図31に示す構成から透明基板140を除いた構成を示している。この例でも、nstsin(θst)>1が成立するように導光構造体220の屈折率nstおよび励起光の入射方向を決定すれば、励起光をフォトルミネッセンス層110内に閉じ込めることができる。
図35は、導光構造体220が半球状の透光性部材によって構成されている例を示している。この例では、励起光を球の中心に向けて出射すれば、屈折の影響を受けないため、角度の調整がし易い。
図36は、導光構造体220が回折格子によって構成されている例を示している。この回折格子は、複数の凹凸形状の透光性部材が、周期構造120の配列方向(即ち、図の横方向)に配列された構造を有する。この例では、回折によって生じた光がフォトルミネッセンス層110内を伝播するように、励起光が回折格子に入射する。図示される例では、励起光はフォトルミネッセンス層110に垂直に入射しているが、入射角度はこの例に限定されない。なお、回折格子の周期は励起光と共鳴する周期にする事が望ましい。
図37は、導光構造体220がブレーズド回折格子によって構成されている例を示している。ブレーズド回折格子では、ある次数の回折光強度を強くすることができる。このブレーズド回折格子は、複数の三角柱状の透光性部材が、周期構造120の配列方向(即ち、図の横方向)に配列された構造を有する。この例では、回折によって生じた光がフォトルミネッセンス層110内の周期構造120が存在する方向に強く伝播するように、励起光がブレーズド回折格子に入射する。図示される例では、励起光はフォトルミネッセンス層110に垂直に入射しているが、入射角度はこの例に限定されない。
図38は、ブレーズド回折格子からなる導光構造体220がフォトルミネッセンス層110の裏面(即ち、周期構造120がある側の反対側の面)に設けられた構成例を示している。この例では、フォトルミネッセンス層110は透明基板140上に形成されている。導光構造体220は、透明基板140の内部に設けられている。この例でも、回折によって生じた光がフォトルミネッセンス層110(または透明基板140)内を伝播するように、励起光がブレーズド回折格子に入射される。励起光の入射方向は、フォトルミネッセンス層110に垂直な方向に限らず、傾斜した方向であってもよい。なお、ブレーズド回折格子に限らず、図36に示すような回折格子をフォトルミネッセンス層110の裏面に設けても良い。
図39から図41は、複数の透光性部材によって構成された導光構造体220の他の例を示す斜視図である。図39は、周期構造120の配列方向と同じ方向に配列された複数の三角プリズムからなるプリズムアレイによって構成された導光構造体220の例を示している。図40は、2次元に配列された複数の半球プリズムのアレイによって構成された導光構造体220の例を示している。図41は、周期構造120の各凸部が延びる方向に配列された複数のピラミッド形状のプリズムのアレイによって構成された導光構造体220の例を示している。いずれの例においても、励起光を効率的にフォトルミネッセンス層110に導入することが可能である。
導光構造体220を構成する透光性部材の数は図示される数に限定されず、さらに多数の透光性部材によって導光構造体220が構成されていてもよい。また、各部材の配列方向は、図示される方向に限定されない。しかし、周期構造120の配列方向と同じまたは垂直な方向に万遍なく透光性部材が配列されていれば、薄膜蛍光体であるフォトルミネッセンス層110全体に励起光を吸収させやすい。
図42から図44は、導光構造体220の配置の例を説明するための図である。導光構造体220は、図42に示されるようにフォトルミネッセンス層110の一端に位置していてもよいし、図43に示すように周期構造120の間(例えばフォトルミネッセンス層110の中央付近)に位置していてもよい。図44に示すように、複数の導光構造体220がフォトルミネッセンス層110の両端に配置されていてもよい。いずれの配置であっても、励起光をフォトルミネッセンス層110に閉じ込めることが可能である。
(実施形態2)
図45は、導光構造体220を有する発光装置の第2の実施形態を模式的に示す部分断面図である。この発光装置では、導光構造体220が透明基板140におけるフォトルミネッセンス層110の側の反対側に形成されている点で、実施形態1と異なっている。このように、透明基板140と外部の媒質(例えば空気)との界面の一部に導光構造体220が設けられている。これにより、光源180から出射された励起光を、周期構造120がある側の反対側から、透明基板140を介してフォトルミネッセンス層110に入射させ、フォトルミネッセンス層110に閉じ込めることができる。
図45に示す例では、導光構造体220は三角柱の形状を有する三角プリズムであるが、実施形態1で説明したように、半球、ピラミッド、回折格子、ブレーズド回折格子などの他の構造を有していてもよい。導光構造体220は複数の透光性部材によって構成されていてもよい。
図46は、本実施形態における励起光の入射角度を説明するための図である。導光構造体220と透明基板140との界面における励起光の入射角をθst、出射角をθsubとし、透明基板140とフォトルミネッセンス層110との界面における励起光の出射角をθflとする。実施形態1と同様に、導光構造体220の屈折率をnst、透明基板140の屈折率をnsub、フォトルミネッセンス層110の屈折率をnflとする。すると、フォトルミネッセンス層110内を光が伝播する条件は、以下の式(20)で表される。
stsin(θst)=nsubsin(θsub)=nflsin(θfl)>1 (20)
したがって、光源180は、式(20)を満足するように励起光を導光構造体220に向けて出射するように構成される。
図47は、光源180からの励起光の出射方向をより詳細に説明するための図である。図47では、簡単のため、透明基板140および導光構造体220以外の構成要素の記載は省略されている。屈折率noutの外気(例えば空気)と導光構造体220との界面における励起光の入射角をθi、出射角をθo、励起光の導光構造体220への入射方向が透明基板140の面方向となす角度をθin、導光構造体220の断面形状の三角形の頂角をθtとする。
この構成例では、以下の関係式が成立する。
θin=90−(θt+θi
θst=θt+θo
outsin(θi)=nstsin(θo
これらの関係式と式(20)の条件とから、角度θiおよびθinの条件を求めることができる。例えば、nst=1.5、θt=60°の場合、θin<56.8という条件が得られる。
導光構造体220が半球状の透光性部材である場合、球の中心に向けて励起光を出射すれば理想的には屈折が生じないため、以上の式においてθin=θoとすればよい。
(実施形態3)
次に、励起光の吸収効率を向上させる第3の実施形態を説明する。本実施形態の発光装置は、励起光を擬似導波モードに効果的に結合させることにより、発光効率を向上させる。
図48は、フォトルミネッセンス層110内で生じた光が擬似導波モードに結合して外部に出射される様子を模式的に示す断面図である。回折現象は波長に依存するため、特定の波長の光がフォトルミネッセンス層110の法線方向に最も強く出射される場合、他の波長の光はフォトルミネッセンス層110の法線方向から傾斜した方向(斜め方向)に最も強く出射される。図48は、赤色光(R)がフォトルミネッセンス層110に垂直な方向に最も強く出射され、緑色光(G)および青色光(B)が赤色光(R)とは異なる方向に出射している例を示している。この例では、フォトルミネッセンス層110内を伝播する光の入射角θinに対して、青色光(B)は出射角θoutの方向に最も強く出射される。
このことは、青色光(B)と同じ波長の励起光を入射角度θoutでフォトルミネッセンス層110に入射させると、励起光がフォトルミネッセンス層110を構成する薄膜蛍光体に共鳴吸収される事を意味する。この効果を利用すれば、導光構造体220がない場合でも、励起光の吸収効率を高めることができる。共鳴条件は、周期構造120の周期をp、空気中の励起光の波長をλexとして、以下の式(21)で表される。
pninsin(θin)−pnoutsin(θout)=mλex (mは整数) (21)
したがって、本実施形態の発光装置における励起光源180は、図49に示すように、空気中の波長λexの励起光を、入射角θoutでフォトルミネッセンス層110に入射させるように構成されている。励起光源180は、フォトルミネッセンス層110における周期構造120がある側に限らず、その反対側に入射角θoutで励起光を入射させてもよい。
上記の共鳴吸収の効果を確認するために、本発明者らは、励起光の吸収率の入射角度依存性を計算した。図50は、本計算で想定した発光素子の構成を示す部分断面図である。この発光素子は、表面に1次元周期構造を有する透明基板140と、その上に形成された蛍光体を含むフォトルミネッセンス層110とを備えている。フォトルミネッセンス層110は、表面に1次元周期構造120を有する。
本計算では、フォトルミネッセンス層110の屈折率を1.77、吸収係数を0.03とし、透明基板140の屈折率を1.5、吸収係数を0とした。周期構造120の高さhは40nmとし、フォトルミネッセンス層110の厚さは185nmとした。周期構造120の周期pは400nmとした。この条件は、約620nmの波長を有する赤色光がフォトルミネッセンス層110の法線方向に出射するように決定した。励起光の電場は、周期構造120における各凸部が延びる方向(ライン方向)に平行に振動するTMモードとした。入射角度θは、図50(a)に示すように、周期構造120におけるライン方向と平行な軸を回転軸として回転させた場合の回転角に相当する。これは、図28からわかるように、ライン方向に垂直な軸を回転軸として回転させた場合には、励起光の波長(例えば450nmまたは405nm)では共鳴が生じないからである。入射角度θおよび波長λを変数とし、空気中から周期構造120に光を入射させたときのフォトルミネッセンス層110における光の吸収率を計算した。
図51は、本計算の結果を示す図である。この図では、色が薄いほど吸収率が高いことを示している。約620nmの赤色光がフォトルミネッセンス層110に垂直な方向に出射されるように設計されているので、吸収率も620nm付近で共鳴的に高くなっている。波長450nmの箇所に注目すると、入射角度が約28.5度の場合に共鳴吸収が生じている。つまり、励起光の波長が450nmの場合は、約28.5度の入射角で励起光を入射させればよい。励起光の波長が405nmの場合は、約37度の入射角で励起光を入射させればよい。
特定の入射角で励起光をフォトルミネッセンス層110に入射させる方法には、例えば、F. V. Laere et al., IEEE J. lightwave Technol. 25, 151 (2007) に開示されているような光ファイバーを用いる方法がある。図52は、そのような光ファイバー230を導光構造体として備えた発光装置の構成例を示す図である。この例では、端が斜めにカットされた光ファイバー230が、発光素子の端に配置されている。コア232の内部に励起光を伝播させることにより、光をフォトルミネッセンス層110に対して斜めに入射させることができる。光ファイバー230は、フォトルミネッセンス層110の端に限らず、他の位置に設けられていてもよい。
前述の構成を採用した場合であっても、まだ励起光の多くはフォトルミネッセンス層110および透明基板140を透過する。そこで、透明基板140内に励起光を閉じ込めつつ、フォトルミネッセンス層110への入射角度を共鳴吸収が起こる角度にして吸収効率を高める構成を検討した。
図53は、そのような構成の例を示す部分断面図である。図53は、図50におけるA−A’線断面を示している。この例では、光源180は、透明基板140の側から励起光を出射する。このような構成において、励起光の吸収率の入射角度依存性を計算した。本計算でも、入射光の電場は、周期構造120のライン方向に平行に振動するTMモードとした。この例では、フォトルミネッセンス層110と透明基板140との界面への入射角度θは、図53(a)に示すように、周期構造120におけるライン方向に垂直な軸を回転軸として回転させた場合の回転角である。これは、ライン方向に平行な軸を回転軸として回転させた場合には、励起光の波長(例えば450nmまたは405nm)では、共鳴する角度が全反射角よりも低く、励起光を閉じ込められないからである。
図54は、周期構造120のライン方向に平行な軸を回転軸として回転させたときの回転角を入射角θとする構成を模式的に示す断面図である。図55は、入射角度θおよび空気中の波長λに対する励起光の吸収率の依存性を計算した結果を示す図である。図55の計算条件は、入射光がTEモードである点を除き、図50および図51における計算条件と同じである。図55の結果から、共鳴吸収が生じる角度が全反射角(この例では約42度)よりも小さいことがわかる。
そこで、図53に示す例では、1次元周期構造120のライン方向に垂直な軸を回転軸として回転させたときの回転角を入射角度θとしている。図53の構成において、入射角度θおよび空気中の波長λを変数として、励起光の吸収率を計算した。計算条件は、図50および図51における計算条件と同じものとした。
図56は、本計算の結果を示す図である。波長450nmに注目すると、入射角度θが約52度の場合に共鳴吸収が起きている。したがって、励起光源の波長が450nmの場合は周期構造120のライン方向と平行に入射角度θが約52度になる方向に励起光を出射すればよい。励起光源の波長が405nmの場合は、周期構造120のライン方向と平行に入射角度θが約61.6度になる方向に励起光を出射すればよい。図56の結果が示すように、本構成例では、励起光の吸収効率をさらに向上させることができる。
本実施形態では、実施形態1、または、実施形態2のような導光構造体220を用いて透明基板140に励起光を入射させてもよい。図53の構成において、共鳴吸収が生じる入射角度θを全反射角度よりも大きくするには、実施形態2のような導光構造体220を設けることが有効である。すなわち、図57のように、励起光が周期構造120のライン方向およびフォトルミネッセンス層110の厚さ方向の両方に垂直な方向(図57の紙面垂直方向)に伝播する成分を有しないように励起光を透明基板140に入射させる導光構造体220を設けてもよい。そのような導光構造体220は、周期構造120のライン方向および層110の厚さ方向の両方に垂直な方向に延びた構造を有する。これにより、フォトルミネッセンス層110での励起光の吸収率を向上させ、かつ、励起光をフォトルミネッセンス層110および透明基板140に閉じ込めることができる。このような導光構造体220は、三角プリズムに限らず、他の形状を有していてもよい。なお、実施形態1および2の各構成例においても、導光構造体220が周期構造120のライン方向および層110の厚さ方向の両方に垂直な方向に延びた構造を有していてもよい。
以上のように、本実施形態では、周期構造(サブミクロン構造)120は、空気中の波長がλaの第1の光がフォトルミネッセンス層110の法線方向に最も強く出射され、波長λexの第2の光がフォトルミネッセンス層110の内部を伝播する場合にフォトルミネッセンス層110の法線方向から角度θoutの方向に最も強く出射されるように構成される。光源180および/または導光構造体220は、励起光を、入射角θoutでフォトルミネッセンス層110に入射させるように構成されている。このような構成により、励起光をフォトルミネッセンス層110に共鳴吸収させることができるため、発光効率をさらに向上させることができる。
[8.発光素子の片側に反射層を設ける実施形態]
図58は、フォトルミネッセンス層32を有する発光装置3900を示す断面図である。図58に示すように、発光装置3900では、フォトルミネッセンス層32の表面、および、フォトルミネッセンス層32と透明基材38との界面に周期構造35が設けられている。この周期構造35の作用により、特定方向(例えばフォトルミネッセンス層32の法線方向)に高い指向性を有する光が出射される。この指向性の高い光は、発光装置3900の表面側と裏面側との両方から出射される。
ただし、通常の用途では、フォトルミネッセンス層32を含む発光素子の光出射面の一方側からのみ光を出射させることが望まれることが多い。そこで、図59に示すように、本実施形態の発光装置3000では、フォトルミネッセンス層32の片側(背面側)に、フォトルミネッセンス層32からの光を反射するための反射層50を設けている。
発光装置3000において、反射層50は、透光性の材料から形成されており、例えば、図において三角形の断面を示す横向き三角柱状のプリズム50Pを含んでいてよい。三角柱状のプリズム50Pは、例えば、ストライプ状に形成された周期構造35と平行に延びていてよいが、その他の方向(例えば直交する方向)に沿って延びていてもよい。なお、本明細書では、反射層50が設けられている側を発光素子(またはフォトルミネッセンス層32)の背面側と称し、その反対側を発光素子(またはフォトルミネッセンス層32)の前面側と称することがある。
また、図59には、フォトルミネッセンス層32の前面側の表面、および、フォトルミネッセンス層32と反射層50との界面に周期構造35を設けた形態を示しているが、これに限られず、上述した種々の態様で周期構造35が設けられていてよい。例えば、フォトルミネッセンス層32の前面側にだけ周期構造35が設けられていてもよい。また、疑似導波モードが適切に形成されるように、反射層50の屈折率が、フォトルミネッセンス層32の屈折率よりも小さく設定されていてもよい。本実施形態において、反射層50は、フォトルミネッセンス層32を支持するための基材としての機能も兼ねていてもよい。
三角柱状のプリズム50Pは、外側の媒質(例えば空気)55に対して露出する2つの帯状の傾斜面50Sを有している。これらの傾斜面50Sは、互いに対して異なる角度で配置され、プリズム先端の稜線において接続されている。三角柱状プリズム50Pの屈折率n1は、外側の媒質55の屈折率n2よりも大きい。このため、フォトルミネッセンス層32から、その背面側に出射され、三角柱状のプリズム50P内を伝播した光は、2つの傾斜面50Sにおいて全反射し得る。
この構成において、フォトルミネッセンス層32の背面側に出射した光の少なくとも一部は、反射層50で反射されてフォトルミネッセンス層32に向かう。これにより、フォトルミネッセンス層32を含む発光素子の前面側から出射される光の量を増加させることができる。
図59に示す構成では、反射層50の背面側から、反射層50を介して、フォトルミネッセンス層32に励起光を入射させてもよい。すなわち、上記の[7.励起光の吸収効率を向上させる実施形態]において説明したように、フォトルミネッセンス層32の層面に対して斜め方向からプリズム50Pに適切な入射角度で励起光を照射することで、励起光の吸収効率を向上させることもできる。そのような構成では、反射層50は「導光構造体」としても機能する。
反射層50は、上述の三角柱状のプリズム50Pに限らず、レンチキュラレンズを有していてもよい。また、反射層50は、角錐(ピラミッド)状または円錐状の複数の凸部や、マイクロレンズアレイ、コーナーキューブアレイ(互いに直交する3平面を含む凸部および凹部を単位構造とする再帰反射構造)などの微細な凸部および/または凹部を有していてもよい。また、反射層50においてストライプ状またはドット状に配列された上記の種々の凹凸構造のピッチは、周期構造のピッチに比べて十分に大きくてもよく、例えば、10μm〜1000μm程度であってよい。反射層50に設けられる凹凸構造は、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの有機材料、あるいは、SiO2、TiO2などの無機材料から形成されていてよい。ただし、これらの材料に限定されるものではない。
また、上記の凹凸構造は、反射層50として用いられる透明基材の裏面に直接的に形成されていてもよい。透明基材としては、例えば、ガラス基板やプラスチック基板などを用いることができる。ガラス基板の材料としては、例えば、石英ガラス、ソーダライムガラス、無アルカリガラスなどを用いることができる。プラスチック板の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタラート、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネートなどを用いることができる。プラスチック板を用いる場合、プラスチック基板の表面に、SiON膜、SiN膜などを成膜したものを用いてもよい。この場合、水分の透過を効果的に抑えることできる。なお、透明基材は、リジッドなものであってもよいし、フレキシブルなものであってもよい。これらの透明基材の裏面において、公知の表面加工法によって、プリズムやレンズなどの凹凸構造を形成し得る。
また、図59に示す形態において、反射層50は、三角柱状プリズム50Pを支持する基部(厚さ部分)を含んでいるが、これに限定されない。反射層50は、実質的に基部を有さず、フォトルミネッセンス層32に接するように設けられた複数の凸構造から構成されていてもよい。また、反射層50とフォトルミネッセンス層32との間には、透明バッファ層などが挟まれていてもよい。
図60は、反射層50の三角柱状プリズムの傾斜面(反射面)50Sの傾斜角度θを説明するための図である。傾斜面50Sの傾斜角度θは、図に示すように、プリズムの底面50B(または発光層の層面)に対して傾斜面50Sがなす角度として規定される。ここでは、例示として、2つの傾斜面50Sの傾斜角度θが同じである場合を説明する。2つの傾斜面50Sの傾斜角度が同じである場合、三角柱状プリズムの断面は、二等辺三角形を形成する。
プリズムの傾斜角度θによって、フォトルミネッセンス層32の背面側に出射された光LTの反射率が異なる。高い反射率を得るためには、傾斜角度θは、反射層50の屈折率n1と、反射層50の外側の媒質55(例えば、空気)の屈折率n2とを用いて、スネルの法則より導出される、θ>arcsin(n2/n1)を満足することが望ましい。この式は、フォトルミネッセンス層32からプリズムの底面50Bに対して垂直方向に入射した光LTが、臨界角以上の角度で傾斜面50Sに入射し、傾斜面50Sと外側の媒質55との界面で全反射する条件を表している。
また、図60に示すように、一方の傾斜面50Sで全反射した光LTが他方の傾斜面50Sで全反射するときの入射角度をθ’とする。このとき、図に示す、光LTの経路と、底面50Bを表す水平線とによって囲まれた四角形の内角の和について、90°+2θ+2θ’+(θ+b)=360°が成り立つので、3θ+2θ’+b=270°であることがわかる。また、b+θ’=90°であるので、上記の式から3θ+θ’=180°、すなわち、θ’=180°−3θが導かれる。
他方の傾斜面50Sで全反射が生じるには、入射角θ’が臨界角よりも大きい、すなわち、θ’>arcsin(n2/n1)を満足する必要がある。ここで、上記のθ’=180°−3θを代入すると、180°−arcsin(n2/n1)>3θを満たすときに他方の傾斜面50Sでも全反射することがわかる。以上のことから、θの範囲としては、arcsin(n2/n1)<θ<60°−(1/3)×arcsin(n2/n1)を満たすことが、発光素子からの光LTをプリズムの2つの傾斜面50Sでそれぞれ全反射させて入射側に戻すために望ましいことがわかる。つまり、プリズムの傾斜面の傾斜角度θを、プリズムを形成する材料の屈折率n1と外側媒質の屈折率n2とに応じて、上記の式を満足するように適切に選択すれば、発光素子から出射された特に垂直方向に高い指向性を有する光LTを、反射層50において発光素子側へと反射させることができる。例えば、プリズムの屈折率n1が1.5であり、外側媒質の屈折率n2が1.0であるとき、上記式から約41°<θ<約46°を満足すればよいことが導かれる。つまり、ガラス基板の裏面に形成されたプリズムが空気に晒されているような場合、プリズムの傾斜角度θを41°超46°未満に設定することによって、垂直方向の光を効率的に反射することができる。特に、傾斜角度θを45°近辺に設定してもよい。
以下、図61(a)〜(d)を参照しながら、反射層50が他の構成を有する種々の実施形態について説明する。
図61(a)は、フォトルミネッセンス層32の背面側に、透明基材48を介して、反射層としての金属反射膜50aを設ける形態を示す。金属反射膜50aは、フォトルミネッセンス層32の背面側から出射された光を反射するように機能する。これにより、フォトルミネッセンス層32の前面側から出射する光の量を増やすことができる。なお、金属反射膜50aは、例えば、銀やアルミニウムなどの金属材料を用いて、真空製膜法またはウェット製膜法などの種々の成膜方法によって形成されていてよいが、これらに限定されない。なお、金属反射膜50aを設ける場合、励起光をフォトルミネッセンス層32および透明基材48の側面から、あるいは、フォトルミネッセンス層32の前面側から入射させてもよい。
図61(b)は、フォトルミネッセンス層32の背面側に、透明基材48を介して、反射層としての誘電体多層膜50bを設ける形態を示す。誘電体多層膜50bは、フォトルミネッセンス層32の背面側から出射された光を反射するように機能する。これにより、フォトルミネッセンス層32の前面側から出射する光の量を増やすことができる。
誘電体多層膜50bは、高屈折率の誘電体層と低屈折率の誘電体層とを交互に積層することで形成される。誘電体多層膜50bに入射した光は、上記の誘電体層の各界面において反射される。また、誘電体層の厚さを入射光または反射光の波長の1/4に設定することによって、各界面で反射した光の位相を整合させることができ、より強い反射光を得ることができる。
なお、誘電体多層膜50bを構成する材料としては、反射させたい光の波長領域について吸収が小さい材料を選択することが望ましい。一般的には、酸化チタン、酸化シリコン、フッ化マグネシウム、ニオブ、酸化アルミなどの無機材料、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂やこれらに屈折率調整材料を混合したものなどの有機材料などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、誘電体多層構膜50bは、例えば、真空蒸着法、分子線蒸着法(MBE)、イオンプレーティング法、スパッタリング法、熱CVD法、プラズマCVD法などの真空製膜法、あるいは、スピンコート塗布法、スロットダイ塗布法、バーコート塗布法などのウェット製膜法などを用いて形成されてよい。ただし、これらの製造方法に限定されるものではない。
図61(c)は、フォトルミネッセンス層32の背面側に、透明基材48を介して、反射層としてのダイクロイックミラー50cを設ける形態を示す。ダイクロイックミラー50cは、フォトルミネッセンス層32の背面側から出射された光を反射するように機能する。これにより、フォトルミネッセンス層32の前面側から出射する光の量を増やすことができる。
図61(c)に示す構成において、フォトルミネッセンス層32には、ダイクロイックミラー50cを介して背面側から励起光を入射させることができる。ダイクロイックミラー50cは、特定の波長を有する光を透過させ、それ以外の波長の光を反射させることができる。このため、ダイクロイックミラー50cを介してフォトルミネッセンス層32に励起光を入射させる場合には、励起光を選択的に透過させ、かつ、それ以外の波長の光を反射するように、ダイクロイックミラー50cを設計すればよい。このようにすれば、フォトルミネッセンス層32への励起光の入射を妨げることなく、かつ、フォトルミネッセンス層32で発光して背面側に出射した光を適切に反射させることができる。
ダイクロイックミラー50cは、上記の誘電体多層膜50bと同様に誘電体多層膜から構成することができる。ダイクロイックミラー50cは、2種類の屈折率を有する薄膜を交互に積層することによって形成することができる。高屈折率膜および低屈折率膜を形成する材料としては、酸化チタン、酸化シリコン、フッ化マグネシウム、ニオブ、酸化アルミニウムなどが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
図61(d)は、フォトルミネッセンス層32の背面側に、透明基材48を介して、反射層としての拡散反射層50dを設ける形態を示す。拡散反射層50dは、フォトルミネッセンス層32の背面側から出射された光を反射するように機能する。これにより、フォトルミネッセンス層32の前面側から出射する光の量を増やすことができる。拡散反射層50dとしては、シリカ、酸化チタンなどの無機材料からなる微粒子や、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ポリスチレンなどの有機材料からなる微粒子を、これらの微粒子を保持するための各種樹脂などからなるバインダーと混合することによって得られる膜を用いることができる。また、チタン酸バリウム、酸化亜鉛などの蒸着膜を用いて構成することができるが、これらに限定されるものではない。
なお、上記の図61(a)〜(d)には、透明基材48を介して、各反射層50a、50b、50c、50dをフォトルミネッセンス層32の背面側に設ける形態を示したが、他の態様を有していてもよい。反射層50a、50b、50c、50dと透明基材48とは、一体的に形成されていてもよい。また、透明基材48を設けることなく、反射層50a、50b、50c、50dがフォトルミネッセンス層32の裏面に接するように設けられていてもよい。
また、上記の図61(a)〜(d)に示す形態において、[7.励起光の吸収効率を向上させる実施形態]において説明したように、上記の透明基材48の側方または内部にプリズムやレンズなどを設け、フォトルミネッセンス層32に対して背面側斜め方向から励起光を入射させる構成を採用してもよい。
以下、図62(a)〜(c)を参照しながら、多色光の反射に適した反射層を設ける形態を説明する。
図62(a)は、発光素子において、色(すなわち波長)の異なる光L1、L2が出射されるときの出射角度の違いを示す図である。フォトルミネッセンス層32の表面には周期構造35が設けられており、フォトルミネッセンス層32からは少なくとも2色の異なる光L1、L2が出射されている。異なる色の光L1、L2は、蛍光と励起光との組み合わせでもよい。
図62(a)に示すように、フォトルミネッセンス層32の屈折率をniとし、光出射側の媒質の屈折率をnoとし、周期構造の周期をd(nm)とする。また、フォトルミネッセンス層32の内部を周期dの周期構造に従って導波する光Liの界面への入射角(回折角)をθi、外側媒質側に出射した光の出射角をθoとすると、d×ni×sinθi―d×no×sinθo=mλが共鳴条件となる。ここで、mは次数、λはフォトルミネッセンス層32から出射する光の波長を意味している。この式からわかるように、周期構造の周期dが、出射光の波長λに適合させるように設定されているとき(例えば、d×ni×sinθi=mλのとき)、法線方向(θo=0)に波長λの光L1が選択的に出射される。ただし、このように周期dが設定されている場合には、その他の波長λ’の光L2については法線方向からずれた方向に指向性を有して出射される。
この場合、法線方向に出射される光は特定波長λの光L1を多く含み、正面方向からずれた所定方向に出射される光は異なる波長λ’の光L2を多く含むことになる。その結果、発光素子からの出射角度によって色合いが異なるものとなるおそれがある。
そこで、多色光が発せられる場合において、図62(b)に示すように、透明基材64の裏面において、フォトルミネッセンス層32の層面に対して所定の傾斜角度θをなす傾斜面66Sを有する斜面部66を形成する。また、傾斜面66Sと接するようにして反射部材(例えば、金属膜や、誘電体多層膜など)を設けるなどして傾斜面66Sを反射面として機能させる。
ここで、傾斜面66Sの傾斜角度θは、図62(b)および(c)に示す角度2θの半分に設定されている。より具体的に説明すると、角度2θは、周期dを有する周期構造によって、異なる波長λ’の光L2が法線方向以外の方向に出射され、この波長λ’の背面方向への光がフォトルミネッセンス層32と透明基材64との界面で屈折されるときの出射角(透明基材64側への出射角)である。
この構成において、周期構造35の作用によって法線方向に出射される波長λの光L1のうち、フォトルミネッセンス層32の背面側に出射され、法線方向に進む光L1bが傾斜面66Sで反射される。このとき、傾斜面66Sの傾斜角が角度2θの1/2の角度θに設定されている(すなわち、傾斜面66Sに対して光L1bが入射角θで入射される)ので、傾斜面66Sでさらに角度θだけ方向がずれた方向に反射される。
一方、法線方向からずれた方向に出射される他の波長λ’の光L2のうち、フォトルミネッセンス層32の背面側に出射され、透明基材64の界面で屈折されて傾斜面66Sに向かう光L2bは、法線方向から角度2θだけずれた方向に沿って進んで傾斜面66Sで反射される。この時、傾斜面66Sが傾斜角度θだけ傾いているので、傾斜面66Sに対して入射角θで入射することになる。また、反射された光はさらに角度θだけ方向がずれるので、法線方向に沿って進むことになる。この結果、互いに波長の異なる光L1、L2が、同様の指向性を有する光として出射されることになる。したがって、出射角度によって特定の色の光が強調される現象が低減される。
なお、傾斜面66Sは、図62(b)に示したように、鋸歯断面を形成する形態、すなわち、互いに平行な関係を有する隣接する傾斜面66Sが垂直面を介して接続される形態に限られない。例えば、図63(c)に示すように、互いに対称的に配置された隣接する傾斜面66S(ただし、傾斜角度は同じ)が連続的に屋根型に設けられていてもよい。また、図63(b)に示した断面鋸歯の形態と、図63(b)に示した屋根型の形態とが組み合わせて用いられてもよい。
このように周期構造35の配列ピッチや発光波長に応じて決まる角度に応じて適切に設定された傾斜角度を有するように反射面を設けることによって、異なる波長の出射光の指向性を揃えることが可能になる。これにより、複数の色を発光させることで白色光を出射させるような場合において、任意の角度について、特定の色が強調されにくい均質な白色光を出射させることが可能になる。
以下、図63を参照しながら、さらに他の態様の反射層を設ける形態について説明する。なお、以下の形態において、図59に示した形態と同様の構成要素には同様の参照符号を付すとともに説明を省略する場合がある。
図63に示す発光装置は、反射層50の基部50Tとプリズム50Pとの間に、低屈折率層70が介在された構成を有する。ここでは、低屈折率層70は、反射層50の屈折率n1よりも小さい屈折率n3を有しており、例えば、空気層であってよい。
低屈折率層(空気層)70が設けられていることによって、基部50Tを伝播する光のうち、フォトルミネッセンス層32の法線方向を基準として角度が大きい方向に進行する光を、基部50Tと低屈折率層70との界面において反射させることができる。このため、例えば傾斜角度45°で設けられたプリズム50Pの傾斜面50Sでは反射されない光(すなわち、傾斜面50Sに対する入射角が比較的小さい光)をも低屈折率層70の界面にて反射して、フォトルミネッセンス層32の前面側に導くことができる。
基部50Tと低屈折率層70との界面は、典型的には、フォトルミネッセンス層32の層面と平行な平面として設けられる。ただし、これに限らず、例えば、基部50Tと低屈折率層70との界面は、プリズムの傾斜面50Sの傾斜角度θよりも小さい角度でフォトルミネッセンス層32の層面と交わる種々の傾斜面を含むように形成されていてもよい。また、フォトルミネッセンス層32とプリズム50Pとの間には、複数の低屈折率層70が設けられていてもよい。なお、低屈折率層70が励起光に対する透光性を有していれば、反射層50および低屈折率層70を介して、反射層50の背面側からフォトルミネッセンス層32に励起光を入射させることもできる。
以下、図64(a)および(b)を参照しながら、RGB発光素子をタイリングする形態を説明する。図64(a)に示すように、赤色R、緑色G、および、青色Bのそれぞれの色の光を出射する発光素子を隙間なく縦横に並べる、いわゆるタイリングすることで、白色光を出射させることができる。また、各色の発光素子を、上記のように周期構造を設けて疑似導波モードが形成されるように構成することで、所定の方向に指向性高く白色光を出射させることができる。なお、図示する形態では、赤色R、緑色G、および青色Bの発光素子が、それぞれ斜め方向に同色が位置するように配列されているが、他の態様の配列であってもよい。
図64(b)に示すように、各色に対応して、発光素子の周期構造のピッチは異なっていてよい。これによって、所望の色の光を指向性高く効率的に出射させることができる。また、発光素子の背面側には反射層80R、80G、80Bが設けられていてよい。各発光素子に対応した反射層80R、80G、80Bは、一体的に形成されていてもよいし、別個に設けられていてもよい。反射層80R、80G、80Bは同一形状の凸部構造であってもよい。
本開示の発光装置は、照明器具、ディスプレイ、プロジェクターをはじめ、種々の光学デバイスに適用され得る。
100、100a 発光素子
110 フォトルミネッセンス層(導波路)
120、120’、120a、120b、120c 透光層(周期構造、サブミクロン構造)
140 透明基板
150 保護層
180 光源
200 発光装置
220 励起光導入構造
230 光ファイバー
232 光ファイバーのコア

Claims (17)

  1. 励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
    前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
    前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
    前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
    を有し、
    前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
    前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
    隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立つ、発光装置。
  2. 前記導光構造体は、前記フォトルミネッセンス層における前記サブミクロン構造がある側の面に形成されている、請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記導光構造体は、前記フォトルミネッセンス層における前記サブミクロン構造がある側の反対側の面に形成されている、請求項1に記載の発光装置。
  4. 前記励起光を前記導光構造体に向けて出射する光源をさらに有し、
    前記導光構造体から前記フォトルミネッセンス層への前記励起光の入射角をθst、前記導光構造体の屈折率をnstとするとき、nstsin(θst)>1が成り立つ、請求項2または3に記載の発光装置。
  5. 前記フォトルミネッセンス層を支持する透明基板をさらに有し、
    前記導光構造体は、前記透明基板における前記フォトルミネッセンス層の側とは反対側の面に形成されている、請求項1に記載の発光装置。
  6. 前記励起光を前記導光構造体に向けて出射する光源をさらに備え、
    前記導光構造体から前記透明基板への前記励起光の入射角をθst、前記導光構造体の屈折率をnstとするとき、nstsin(θst)>1が成り立つ、請求項5に記載の発光装置。
  7. 前記導光構造体は、少なくとも1つの角柱形状の透光性部材によって構成されている、請求項1から6のいずれかに記載の発光装置。
  8. 前記導光構造体は、少なくとも1つの半球形状の透光性部材から構成されている、請求項1から6のいずれかに記載の発光装置。
  9. 前記導光構造体は、少なくとも1つのピラミッド形状の透光性部材から構成されている、請求項1から6のいずれかに記載の発光装置。
  10. 前記励起光の空気中における波長をλexとするとき、
    前記サブミクロン構造は、前記第1の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向に最も強く出射され、波長λexの第2の光が前記フォトルミネッセンス層の内部を伝播する場合に前記第2の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向から角度θoutの方向に最も強く出射されるように構成され、
    前記導光構造体は、前記励起光を、入射角θoutで前記フォトルミネッセンス層に入射させる、請求項1から9のいずれかに記載の発光装置。
  11. 前記サブミクロン構造は、1次元周期構造を有し、
    前記導光構造体は、前記1次元周期構造のライン方向および前記フォトルミネッセンス層の厚さ方向の両方に垂直な方向に延びた構造を有している、請求項1から10のいずれかに記載の発光装置。
  12. 空気中の波長がλexの励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
    前記フォトルミネッセンス層に近接して配置された透光層と、
    前記フォトルミネッセンス層および前記透光層の少なくとも一方に形成され、前記フォトルミネッセンス層または前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
    前記励起光を出射する光源と、
    を有し、
    前記サブミクロン構造は、複数の凸部または複数の凹部を含み、
    前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
    隣接する凸部間または凹部間の距離をDintとし、前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとすると、λa/nwav-a<Dint<λaの関係が成り立ち、
    前記第1の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向に最も強く出射され、波長λexの第2の光が前記フォトルミネッセンス層の内部を伝播する場合に前記第2の光が前記フォトルミネッセンス層の法線方向から角度θoutの方向に最も強く出射されるように構成され、
    前記光源は、前記励起光を入射角θoutで前記フォトルミネッセンス層に入射させる、
    発光装置。
  13. 透光層と、
    前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
    前記サブミクロン構造に近接して配置され、励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
    前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
    を有し、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
    前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
    前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
  14. 励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
    前記フォトルミネッセンス層よりも高屈折率を有する透光層と、
    前記透光層に形成され、前記透光層の面内に広がるサブミクロン構造と、
    前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
    を有し、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
    前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
    前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
  15. 前記フォトルミネッセンス層と前記透光層とが互いに接している、請求項1から14のいずれかに記載の発光装置。
  16. 励起光を受けて発光するフォトルミネッセンス層と、
    前記フォトルミネッセンス層に形成され、前記フォトルミネッセンス層の面内に広がるサブミクロン構造と、
    前記励起光を前記フォトルミネッセンス層に導くように配置された導光構造体と、
    を有し、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも複数の凸部または複数の凹部を含み、
    前記フォトルミネッセンス層が発する光は、空気中の波長がλaの第1の光を含み、
    前記サブミクロン構造は、少なくとも前記複数の凸部または前記複数の凹部によって形成された少なくとも1つの周期構造を含み、
    前記第1の光に対する前記フォトルミネッセンス層の屈折率をnwav-aとし、前記少なくとも1つの周期構造の周期をpaとすると、λa/nwav-a<pa<λaの関係が成り立つ、発光装置。
  17. 前記サブミクロン構造は、前記複数の凸部と前記複数の凹部との双方を含む、請求項1から16のいずれかに記載の発光装置。
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