JP2016025085A - Tem試料取付け構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料を、透過電子顕微鏡において電子ビームを使用して複数の方向から検査することができる。試料は、互いに平行でない少なくとも3つの直交面を有し、観察面のそれぞれに直交する厚さが200nm未満である。試料は、2つ以上の軸の周りで回転可能な針に取り付けられ、そのため針は、観察面のうちの少なくとも3つの観察面を、観察のために電子顕微鏡の電子ビームに対して垂直になるように配向することができる。
【選択図】図1
Description
102 試料
105 針
110 薄片
115 断層撮影ピン・ホルダ
Claims (20)
- 荷電粒子ビーム装置において試料の直交画像を得るための方法であって、
複数の直交面を有する試料を回転試料ホルダに連結することと、
複数の角度のそれぞれにつき前記試料の複数の直交面のうちの異なる1つの直交面が前記荷電粒子ビーム装置によって生成された電子ビームにさらされかつ前記電子ビームに対して垂直になるように、前記回転試料ホルダを前記複数の角度に回転させることと、
前記複数の角度のそれぞれにおいて、前記試料を透過した前記電子ビームからの前記電子を検出することと、
前記複数の角度のそれぞれにおいて前記試料を透過した前記検出された電子から前記試料の複数の画像を生成することと
を含む、方法。 - 前記回転試料ホルダを複数の角度に回転させることが、ゼロ度、+/−120度、および240度からなる群から選択された少なくとも2つの角度に前記回転試料ホルダを回転させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 複数の直交面を有する試料を回転試料ホルダに連結することが、複数の直交面を有する立方体関心領域を含む円筒柱を、前記円筒柱の軸が前記立方体関心領域の対蹠的な頂点を通過するように、前記回転試料ホルダに連結することを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記円筒柱を前記回転試料ホルダに連結することが、前記円筒柱を前記回転試料ホルダに溶接することを含む、請求項3に記載の方法。
- 複数の直交面を有する試料を回転試料ホルダに連結することが、針の軸が立方体試料の対蹠的な頂点を通過するように前記立方体試料を前記針に取り付けることと、前記針を前記回転試料ホルダに連結することとを含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記針を前記回転試料ホルダに連結することが、前記針を前記回転試料ホルダに溶接することを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記立方体試料を前記針に取り付けることが、
前記荷電粒子ビーム装置において環状集束イオン・ビーム・ミリングにより前記針を作ることと、
前記荷電粒子ビーム装置において集束イオン・ビームを使用してより大きい試料から前記立方体試料を作ることと、
前記針の軸が前記立方体試料の対蹠的な頂点を通過するように、前記針を前記立方体試料に溶接することと、
前記針に取り付けられた前記立方体試料を前記より大きい試料から分離することと
をさらに含む、請求項5に記載の方法。 - 前記回転試料ホルダが、前記荷電粒子ビーム装置内の壁を斜めの角度で通過する、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記回転試料ホルダが、歯車を介して斜めの角度で回転アームに連結され、また、前記回転アームが、前記荷電粒子ビーム装置内の壁を直角に通過する、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記回転試料ホルダを複数の角度に回転させることが、前記回転アームの複数の角度への回転が前記歯車により前記回転試料ホルダの前記複数の角度への回転に伝達されるように前記回転アームを前記複数の角度に回転させることを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記歯車が、斜交かさ歯車またはねじ歯車のうちの少なくとも1つである、請求項9または10に記載の方法。
- 透過電子顕微鏡において電子ビームを使用して複数の方向で試料を観察するための試料および試料保持装置であって、
互いに平行でない少なくとも3つの観察面を有する試料であって、前記観察面のそれぞれに直交する厚さが200nm未満である試料と、
前記試料が取り付けられる針であって、2つ以上の軸の周りで回転可能であり、そのため前記観察面のうちの少なくとも3つの観察面を前記電子顕微鏡の前記電子ビームに対して垂直に配向することができる針と
を備える、試料および試料保持装置。 - 前記試料の一部分を照射するための荷電粒子ビーム源と、
前記試料の前記照射された部分から放出された放射を検出するための少なくとも1つの検出器と、
前記試料を保持するための試料ホルダであって、試料を取り付けるための針を含み、前記針が、2つ以上の軸の周りで回転可能であり、そのため前記針が前記観察面のうちの少なくとも3つの観察面が前記電子顕微鏡の前記電子ビームに対して垂直になるように前記試料を配向することができる試料ホルダと
を備える、荷電粒子ビーム装置。 - 前記回転試料ホルダが、ゼロ度、+/−120度、および240度からなる群から選択された少なくとも2つの角度に回転可能である、請求項13に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記試料が、前記回転試料ホルダに溶接される、請求項13または14に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記針が、前記回転試料ホルダに溶接される、請求項13または14に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記回転試料ホルダが、前記荷電粒子ビーム装置内の壁を斜めの角度で通過する、請求項13から16のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記回転試料ホルダが、歯車を介して斜めの角度で回転アームに連結され、前記回転アームが、前記荷電粒子ビーム装置内の壁を直角に通過する、請求項13から16のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記回転アームの前記複数の角度への回転が、前記歯車により前記回転試料ホルダの前記複数の角度への回転に伝達される、請求項18に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記歯車が、斜交かさ歯車またはねじ歯車のうちの少なくとも1つである、請求項18または19に記載の荷電粒子ビーム装置。
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