JP2016017936A - 微粒子分散性評価装置及び微粒子分散性評価方法 - Google Patents
微粒子分散性評価装置及び微粒子分散性評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016017936A JP2016017936A JP2014143068A JP2014143068A JP2016017936A JP 2016017936 A JP2016017936 A JP 2016017936A JP 2014143068 A JP2014143068 A JP 2014143068A JP 2014143068 A JP2014143068 A JP 2014143068A JP 2016017936 A JP2016017936 A JP 2016017936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine particle
- light
- solution
- solution sample
- fine particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】溶液中に微粒子が分散された溶液試料にレーザー光を照射し、溶液試料からの微粒子散乱光を含む光を受光して、微粒子散乱光に含まれるレイリー光の強度を検出して微粒子分散状態を評価する際、溶液試料が収容される溶液容器を振とうさせた後、レーザー光を該溶液試料の深さ方向及び平面方向に照射して、上記レイリー光の強度に基づき深さ方向及び平面方向に関する2次元画像データを構築し、該データから微粒子分散性の定量評価をおこなう。
【選択図】図1
Description
まず、本発明での評価対象は、特に限定されないが、例えば、微粒子として無機白色顔料が分散された水性インクジェット記録用白色インクなどの溶液試料が挙げられる。一般に、白色インクは、無機白色顔料、顔料分散剤、バインダー及び分散剤としての水を含有する。
NA=n・sinθ
(ここで、nは溶液試料1と対物レンズ4の間の媒質(ここではエマルジョンウォーター)の屈折率、θは光軸と水浸対物レンズの最も外側に入る光線とがなす角を示す。)なお、エマルジョンウィーターの屈折率に関しては、大凡、1.33を用いることができる。
溶液容器2として用いるΦ35mmのガラスボトムディッシュを設置し、ディッシュ部2a内に微粒子が分散された溶液試料1を滴下し、これを載置台13のホルダー15に設置する。そして、図3に示すように、溶液容器2のカバーガラス2b面が図中一点鎖線で示すレーザー光軸に対して垂直になるように、X−Y断面の取得画像を見ながら、ホルダー15内のチルト調整機構で傾きの微調整を行う。
次に、水浸対物レンズ4と溶液容器2のカバーガラス2bとの間にエマルジョンンウォーターとなる純水(不図示)を満たす。レーザー光源10より出射され、集光レンズ11、第1のピンホール12を経た拡散するレーザー光束を、ビームスプリッター3を介して水浸対物レンズ4に導く。水浸対物レンズ4に導かれたレーザー光束は、エマルジョンウォーターを透過して、溶液容器2内の溶液試料1内に集光される。
反射率R=((N−N1)2+κ2)/(N+N1)2+κ2)
N:微粒子(酸化チタン)の屈折率
N1:水溶液の屈折率
κ:微粒子(酸化チタン)の消光係数
より、粒子界面での反射率Rを見出すことが可能となる。一般に、屈折率差が大きくなれば散乱光を確保しやすくなるが、その場合は、散乱の影響(広義の吸収:ランバート・ベールの法則)で、光の透過性の低下を誘発することとなる。
(Step1)
X−Y断面における微粒子散乱画像を取得する。
(Step2)
取得した微粒子散乱画像に対して、任意の画素長さを持つ矩形型の任意の画素領域を決定する。
(Step3)
画素領域内の微粒子散乱画像の各画素の光の強度にあたる輝度の特徴量(輝度の分散値や平均輝度値など)を算出する。
(Step4)
(Step2)(Step3)を繰り返し、微粒子散乱画像に対して、例えば図5に示すように任意の多数の画素領域内で輝度の分散値を算出する。なお、図6では、画素領域を大きくすることで、一つの画素領域内での輝度の分散値を得ている。
(Step5)
各画素領域内で各画素の輝度の分散値或いは標準偏差値を分散状態の特徴量として算出し、該複数の画素領域の特徴量でヒストグラム化する。
(Step6)
ヒストグラムと微粒子が分散された溶液試料の特性との対応をとり、必要な閾値を設定して良・不良の判定を行う。
[実施例1]
以下の条件で、微粒子が分散された溶液試料(白色インク)の酸化チタン微粒子分散性評価を行った。
(1)溶液試料(白色インク)
溶液試料1として顔料分散剤、バインダー及び水を含有する液に一次粒子径0.25μmの酸化チタン微粒子が分散された白色インクを準備した。
図1に示す構成
・レーザー光源10;レーザー光波長 488nm
・水浸対物レンズ4;水浸対物レンズ(Nikon CFI Plan Apo 60× NA=1.25(屈折率1.33のエマルジョンウォーターをカバーガラス2bと対物レンズ4の間に充填)
なお、エマルジョンウォーターの屈折率は、一般的な純水の複素屈折率(N=1.333、κ=0)をそのまま用いた。
まず、酸化チタン微粒子が分散された溶液試料1(白色インク)を、マイクロピペットで適量溶液容器2に滴下し、振とう機能を有するホルダー15で溶液容器2を把持して載置台13上に載置する。この際、測定直前まで振とう機能(ピエゾ振動機構)により溶液試料1を振とうし、溶液試料1中の酸化チタン微粒子を均一分散させておく。次に、図1に示す装置構成とし、水浸対物レンズ4を準備し、酸化チタン微粒子を含んだ溶液試料1との間にエマルジョンウォーター(不図示)を充填する。エマルジョンウォーターを充填してからは、振とう機能は停止させた方が好適である。測定はこの後、迅速に行うことが可能なので、微粒子の沈降などは殆ど心配する必要が無い。
実施例1と同様に、そして、レーザー光源10からのレーザー励起光の光束を水浸対物レンズ4で集光し、溶液試料1が滴下された溶液容器2のカバーガラス2b面から深さ方向(Z方向)数μmの位置に照射する。溶液容器2内の溶液試料1をガルバノスキャナーでX−Y方向に走査して、溶液試料1から微弱な酸化チタン微粒子の散乱画像を検出部6の検出器(光電面がGaAsPのAPD)に導いて微粒子散乱画像を取得した。図8は、酸化チタン微粒子が分散された溶液試料1から取得された微粒子散乱画像(X−Y断面)の一例である。その後、画像処理部8内において、図4に示すフローに従って、定量化手法による処理を施し、微粒子分散性を定量的に評価した。
溶液容器2を把持するホルダー15として、振とう機能を有しないホルダーを用いて、実施例1と同様に微粒子散乱画像を取得した。溶液試料1を滴下した溶液容器2をセットした直後から、比重の重い金属酸化物となる酸化チタン微粒子が沈降し始めてしまい、図9に示すように、溶液試料1中の分散された酸化チタン微粒子の好適な微粒子散乱画像を取得することができなかった。
従来の、光検出手段により検出された光の強度に基づき微粒子分散性の定量評価のための画像処理を行う画像処理部8を備えていない構成の溶液試料1中の微粒子分散性評価装置を用いた。しかし、市販装置標準装備の画像計測を主とした解析ソフトウェアでは取得した多画素・多値画像の輝度の分散値計算を任意の画素サイズで行うことが不可能であった。そのため、得られた酸化チタン微粒子の存在を表す取得画像中の輝度情報を用いた定量化を行うことが出来なかった。
実施例1と同様に、レーザー励起光の光束を水浸対物レンズ4で集光して微粒子を分散させた溶液試料1が滴下された溶液容器2のカバーガラス2bの底面の1点に照射し、ガルバノスキャナーによってX−Y方向に走査する。沈降状態にある溶液試料1から微弱な酸化チタン微粒子の散乱画像を検出部6の検出器(光電面がGaAsPのAPD)に導いて、微粒子散乱画像を取得した。
(態様A)
溶液中に微粒子が分散してなる溶液試料1などの溶液試料の入る溶液容器2などの溶液容器を把持するホルダー15などの把持部材と、レーザー光源10などのレーザー光源と、溶液試料にレーザー光を照射すると共に、溶液試料からの微弱な微粒子散乱光を含むレイリー光を受光するビームスプリッター3などの分離光学素子、水浸対物レンズ4などの水浸対物レンズ、及び焦点面と共役な関係にあるピンホール5,12などのピンホールを備える共焦点顕微光学系と、分離光学素子を経由した光におけるレイリー光を透過するフィルター光学素子7などのフィルター光学素子と、フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、分光手段により分光された光の強度を検出する検出部6などの光検出手段と、レーザー光を溶液試料に対して溶液試料の深さ方向及び平面方向に相対的に走査可能な走査機構とを備え、溶液試料における微粒子の分散性を評価する微粒子分散性評価装置において、上記把持部材に把持される溶液容器を振とうさせる振とう機構と、上記光検出手段により検出された光の強度に基づき深さ方向及び平面方向に関する2次元画像データを構築し、該データから微粒子分散性の定量評価のための画像処理をおこなう画像処理部8などの画像処理部とを備える。
これによれば、上記実施形態で説明したように、溶液容器内の溶液試料が振とう機構によって振とうされるので、溶液試料中の微粒子が沈降することが抑制され、微粒子の分散状態を適正に評価することが可能となる。また、上記実験結果からもわかるように、画像処理部によって微粒子の存在を示す画像データから微粒子の分散状態を定量的に評価することが可能となる。これにより、溶液中に分散した微粒子の正確な分散状態を、希釈溶液を作製することなく高濃度の状態のまま簡便・迅速に得ることができる。
(態様A)の微粒子分散性評価装置において、上記把持部材は、上記溶液容器の底面を水平ならしめるチルト調整機構を有する。
これによれば、上記実施形態で説明したように、チルト調整機構で予め溶液容器の傾き微調整を行い、レーザー光の平面方向(X−Y)走査面と微粒子を含んだ溶液容器底面の平行を保つことができる。これにより、溶液容器底面に沈降している微粒子の適正な微粒子散乱画像を取得できるようになる。特に、経時での微粒子の沈降状態を適正に評価することが可能となる。
(態様A)又は(態様B)の微粒子分散性評価装置において、上記画像処理部は、上記溶液試料の深さ方向又は平面方向におけるレーリー光の強度の分布から微粒子散乱光による深さ位置毎の微粒子散乱画像を取得し、該微粒子散乱画像の任意の画素領域を複数定め、各画素領域内で各画素の輝度の分散値或いは標準偏差値を分散状態の特徴量として算出し、該複数の画素領域の特徴量をヒストグラム化する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、溶液中に分散した微粒子の分散状態を定量的に評価することが可能となるので、微粒子の分散状態を、希釈溶液を作製することなく高濃度の状態のまま簡便・迅速に得ることができる。
(態様C)の微粒子分散性評価装置において、上記画素領域の画素範囲は、矩形型であり、縦・横の画素数を自由に可変できる。
これによれば、上記実施形態について説明したように、微粒子の粒径・含有率によって凝集状態の注目すべき範囲がかわることに対応でき、溶液中に分散した微粒子の分散状態を適正に評価することができる。
(態様C)において、上記画像処理部は、順次ラベリングされた各画素領域内の分散状態の特徴量をヒストグラム化し、該特徴量の数値閾値を設定することにより画素領域毎の良否を判定する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、その溶液試料内のどの場所の分散状態が悪いのかを定量的に評価することが可能となる。
(態様C)において、上記画像処理部は、各画素領域内の分散状態の特徴量で定めた数値幅に、各領域を一つの度数としてプロットした度数分布図を作成してヒストグラム化し、該特徴量の数値範囲に閾値を設定することにより分散状態の良否を判定する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、例えば分散性が良い「分散性良サンプル」に対する「分散性不良サンプル」の判定を定量的に行うことが可能となる。
分離光学素子、水浸対物レンズ、及び焦点面と共役な関係にあるピンホールを有する共焦点顕微光学系により、溶液中に微粒子が分散された溶液試料にレーザー光を照射すると共に、該溶液試料からの微粒子散乱光を含む光を受光して、微粒子散乱光に含まれるレイリー光の強度を検出して微粒子分散状態を評価する微粒子分散性評価方法において、上記溶液試料が収容される溶液容器を振とうさせた後、レーザー光を該溶液試料の深さ方向及び平面方向に照射して、上記レイリー光の強度に基づき深さ方向及び平面方向に関する2次元画像データを構築し、該データから微粒子分散性の定量評価をおこなう。
これによれば、上記実施形態で説明したように、溶液容器内の溶液試料が振とう機構によって振とうされるので、溶液試料中の微粒子が沈降することが抑制され、微粒子の分散状態を適正に評価することが可能となる。また、上記実験結果からもわかるように、画像処理部によって微粒子の存在を示す画像データから微粒子の分散状態を定量的に評価することが可能となる。これにより、溶液中に分散した微粒子の正確な分散状態を、希釈溶液を作製することなく高濃度の状態のまま簡便・迅速に得ることができる。
2 溶液容器
3 ビームスプリッター
4 水浸対物レンズ
5 第二のピンホール
6 検出部
7 フィルダー光学素子
8 画像処理部
10 レーザー光源
11 集光レンズ
12 第一のピンホール
13 載置台
14 レンズホルダー
15 ホルダー
Claims (7)
- 溶液中に微粒子が分散してなる溶液試料の入る溶液容器を把持する把持部材と、レーザー光源と、該溶液試料にレーザー光を照射すると共に、該溶液試料からの微弱な微粒子散乱光を含むレイリー光を受光する分離光学素子、水浸対物レンズ、及び焦点面と共役な関係にあるピンホールを備える共焦点顕微光学系と、該分離光学素子を経由した光におけるレイリー光を透過するフィルター光学素子と、該フィルター光学素子を透過した光を分光する分光手段と、該分光手段により分光された光の強度を検出する光検出手段と、該レーザー光を該溶液試料に対して溶液試料の深さ方向及び平面方向に相対的に走査可能な走査機構とを備え、該溶液試料における微粒子の分散性を評価する微粒子分散性評価装置において、
上記把持部材に把持される溶液容器を振とうさせる振とう機構と、
上記光検出手段により検出された光の強度に基づき深さ方向及び平面方向に関する2次元画像データを構築し、該データから微粒子分散性の定量評価のための画像処理をおこなう画像処理部とを備えることを特徴とする微粒子分散性評価装置。 - 請求項1の微粒子分散性評価装置において、
上記把持部材は、上記溶液容器の底面を水平ならしめるチルト調整機構を有することを特徴とする微粒子分散性評価装置。 - 請求項1又は2の微粒子分散性評価装置において、
上記画像処理部は、上記溶液試料の深さ方向又は平面方向におけるレーリー光の強度の分布から微粒子散乱光による深さ位置毎の微粒子散乱画像を取得し、該微粒子散乱画像の任意の画素領域を複数定め、各画素領域内で各画素の輝度の分散値或いは標準偏差値を分散状態の特徴量として算出し、該複数の画素領域の特徴量をヒストグラム化することを特徴とする微粒子分散評価装置。 - 請求項3の微粒子分散性評価装置において、
上記画素領域の画素範囲は、矩形型であり、縦・横の画素数を自由に可変できることを特徴とする微粒子分散評価装置。 - 請求項3の微粒子分散性評価装置において、
上記画像処理部は、順次ラベリングされた各画素領域内の分散状態の特徴量をヒストグラム化し、該特徴量の数値閾値を設定することにより画素領域毎の良否を判定することを特徴とする微粒子分散性評価装置。 - 請求項3の微粒子分散性評価装置において、
上記画像処理部は、各画素領域内の分散状態の特徴量で定めた数値幅に、各領域を一つの度数としてプロットした度数分布図を作成してヒストグラム化し、該特徴量の数値範囲に閾値を設定することにより分散状態の良否を判定することを特徴とする微粒子分散評価装置。 - 分離光学素子、水浸対物レンズ、及び焦点面と共役な関係にあるピンホールを有する共焦点顕微光学系により、溶液中に微粒子が分散された溶液試料にレーザー光を照射すると共に、該溶液試料からの微粒子散乱光を含む光を受光して、微粒子散乱光に含まれるレイリー光の強度を検出して微粒子分散状態を評価する微粒子分散性評価方法において、
上記溶液試料が収容される溶液容器を振とうさせた後、レーザー光を該溶液試料の深さ方向及び平面方向に照射して、上記レイリー光の強度に基づき深さ方向及び平面方向に関する2次元画像データを構築し、該データから微粒子分散性の定量評価をおこなうことを特徴とする微粒子分散性評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014143068A JP6593668B2 (ja) | 2014-07-11 | 2014-07-11 | 微粒子分散性評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014143068A JP6593668B2 (ja) | 2014-07-11 | 2014-07-11 | 微粒子分散性評価装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016017936A true JP2016017936A (ja) | 2016-02-01 |
JP6593668B2 JP6593668B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=55233236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014143068A Expired - Fee Related JP6593668B2 (ja) | 2014-07-11 | 2014-07-11 | 微粒子分散性評価装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6593668B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106383072A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-08 | 哈尔滨工业大学 | 基于多角度光散射‑透射法的球形颗粒光学常数与粒径分布同时测量方法 |
CN107831153A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-03-23 | 中北大学 | 一种新型的三维扫描的自旋浓度测量系统及测量方法 |
KR20210004033A (ko) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 세메스 주식회사 | 빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07223904A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Fuji Oil Co Ltd | 固液分散物および水和物 |
JP2007232862A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Ricoh Co Ltd | 静電荷像現像用トナー内部の顔料分散性測定方法 |
JP2008032531A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kao Corp | 細菌の共凝集能の評価方法 |
JP2010503030A (ja) * | 2006-09-07 | 2010-01-28 | ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー | 液浸対物レンズ、液浸膜を形成する装置及び方法 |
JP2010025643A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Pokka Corp | 分散液の解析方法及び分散液の解析装置、並びに分散液の安定性評価方法及び分散液の安定性評価装置 |
WO2011108369A1 (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-09 | オリンパス株式会社 | 光分析装置、光分析方法並びに光分析用コンピュータプログラム |
JP2013190399A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Jtekt Corp | 分散性評価方法 |
CN103439254A (zh) * | 2013-09-06 | 2013-12-11 | 北京理工大学 | 一种分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法与装置 |
JP2014013228A (ja) * | 2011-11-28 | 2014-01-23 | Ricoh Co Ltd | フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 |
-
2014
- 2014-07-11 JP JP2014143068A patent/JP6593668B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07223904A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Fuji Oil Co Ltd | 固液分散物および水和物 |
JP2007232862A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Ricoh Co Ltd | 静電荷像現像用トナー内部の顔料分散性測定方法 |
JP2008032531A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Kao Corp | 細菌の共凝集能の評価方法 |
JP2010503030A (ja) * | 2006-09-07 | 2010-01-28 | ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー | 液浸対物レンズ、液浸膜を形成する装置及び方法 |
JP2010025643A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Pokka Corp | 分散液の解析方法及び分散液の解析装置、並びに分散液の安定性評価方法及び分散液の安定性評価装置 |
WO2011108369A1 (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-09 | オリンパス株式会社 | 光分析装置、光分析方法並びに光分析用コンピュータプログラム |
JP2014013228A (ja) * | 2011-11-28 | 2014-01-23 | Ricoh Co Ltd | フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 |
JP2013190399A (ja) * | 2012-03-15 | 2013-09-26 | Jtekt Corp | 分散性評価方法 |
CN103439254A (zh) * | 2013-09-06 | 2013-12-11 | 北京理工大学 | 一种分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法与装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
伊藤研策: "高分子微粒子の分散液内の分布をみる", 高分子, vol. 46, no. 4, JPN6018025042, April 1997 (1997-04-01), JP, pages 255 - 257, ISSN: 0003966132 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106383072A (zh) * | 2016-10-17 | 2017-02-08 | 哈尔滨工业大学 | 基于多角度光散射‑透射法的球形颗粒光学常数与粒径分布同时测量方法 |
CN107831153A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-03-23 | 中北大学 | 一种新型的三维扫描的自旋浓度测量系统及测量方法 |
CN107831153B (zh) * | 2017-11-16 | 2023-08-29 | 中北大学 | 一种三维扫描的自旋浓度测量系统及测量方法 |
KR20210004033A (ko) * | 2019-07-03 | 2021-01-13 | 세메스 주식회사 | 빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법 |
KR102217878B1 (ko) | 2019-07-03 | 2021-02-18 | 세메스 주식회사 | 빛파장을 이용한 노즐검사장치 및 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6593668B2 (ja) | 2019-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Ortega-Arroyo et al. | Interferometric scattering microscopy (iSCAT): new frontiers in ultrafast and ultrasensitive optical microscopy | |
US10928290B2 (en) | Device and method for measuring the concentration, size and zeta potential of nanoparticles in liquids in scattered light mode and in fluorescence mode | |
JP6348187B2 (ja) | 散乱光を用いた粒子トラッキング解析(pta)法及びあらゆる液体中においてナノメートルオーダー大きさの粒子を検知及び識別するための装置 | |
Schärtl | Light scattering from polymer solutions and nanoparticle dispersions | |
JP6150167B2 (ja) | 微粒子分散性評価装置及び微粒子分散性評価方法 | |
US8710413B2 (en) | Optical analysis device, optical analysis method and computer program for optical analysis | |
JP6593668B2 (ja) | 微粒子分散性評価装置 | |
US8424111B2 (en) | Near-field optical microscope, near-field optical probe, and sample observation method | |
JP5068121B2 (ja) | 顕微鏡および三次元情報取得方法 | |
JP2008145300A (ja) | 蛍光体層厚み判定方法および発光装置の製造方法 | |
TWI687674B (zh) | 對薄膜執行計量分析的裝置及方法與獲得薄膜性質的方法 | |
JP2015040705A5 (ja) | ||
WO2015033681A1 (ja) | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 | |
JP5958914B2 (ja) | 透過型ebsd法 | |
Kumar et al. | Breaking the diffraction limit in absorption spectroscopy using upconverting nanoparticles | |
WO2014115391A1 (ja) | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 | |
US20090027676A1 (en) | Measurement of the absorption coefficient of light absorbing liquids and their use for quantitative imaging of surface topography | |
JP6143155B2 (ja) | フィラー微粒子分散性評価装置及びフィラー微粒子分散性評価方法 | |
US8296861B2 (en) | Polarization-modulated tip enhanced optical microscope | |
Palanker et al. | On contrast parameters and topographic artifacts in near-field infrared microscopy | |
Kato et al. | Near-field absorption imaging by a Raman nano-light source | |
KR101974253B1 (ko) | 초고분해능 광학 현미경 및 이를 이용한 광학 이미지 생성 방법 | |
WO2016067398A1 (ja) | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法 | |
Rutz et al. | Quality control of polymeric compounds using terahertz imaging | |
JP2020085605A (ja) | 光計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190830 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190912 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6593668 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |