JP2016009811A - 真空容器の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の部品を接合して内部が真空の真空容器を形成する方法であって、第1の部品の表面にシール材を形成するステップと、シール材の上にバリア膜を形成するステップと、シール材の酸化を防止し且つバリア膜と合金反応しない酸化防止膜をバリア膜の上に形成するステップと、シール材、バリア膜及び酸化防止膜を介して第1の部品を第2の部品に接触させ、真空状態においてシール材を溶融させて第1の部品と第2の部品とを接合するステップとを含む。
【選択図】図1
Description
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
10…第1の部品
20…第2の部品
30…シール部
31…シール材
32…バリア膜
33…酸化防止膜
100…真空容器
110…下地膜
120…表面被覆膜
200…X線検出素子
300…冷却装置
400…リード部
Claims (4)
- 複数の部品を接合して内部が真空の真空容器を形成する方法であって、
第1の部品の表面にシール材を形成するステップと、
前記シール材の上にバリア膜を形成するステップと、
前記シール材の酸化を防止し且つ前記バリア膜と合金反応しない酸化防止膜を前記バリア膜の上に形成するステップと、
前記シール材、前記バリア膜及び前記酸化防止膜を介して前記第1の部品を第2の部品に接触させ、真空状態において前記シール材を溶融させて前記第1の部品と前記第2の部品とを接合するステップと
を含むことを特徴とする真空容器の形成方法。 - 前記シール材がインジウムであることを特徴とする請求項1に記載の真空容器の形成方法。
- 前記酸化防止膜が金膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空容器の形成方法。
- 前記バリア膜が、クロム膜、ニッケル膜、チタン膜のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の真空容器の形成方法。
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2014
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