JP2016009786A

JP2016009786A - テープ貼着装置

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Publication number: JP2016009786A
Application number: JP2014130128A
Authority: JP
Inventors: 淳裕大西; Atsuhiro Onishi
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-06-25
Filing date: 2014-06-25
Publication date: 2016-01-18
Anticipated expiration: 2034-06-25
Also published as: JP6302765B2

Abstract

【課題】テープ貼着装置を一時停止させることなくリングフレーム収容部にリングフレームを補充できるようにする。
【解決手段】テープ貼着装置１は、ウェーハを保持する保持テーブル１０と、リング状のリングフレーム３を保持するリングフレーム保持テーブル１２と、少なくとも２つのリングフレーム収容部と、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に搬送するリングフレーム搬送手段１５と、テープ貼着機構２とを備え、２つのリングフレーム収容部は、第１のリングフレーム収容部１３と、これに接近した受渡位置４とリングフレーム３の補給を可能とする補給位置５とに移動させる第１の移動手段１８を備える第２のリングフレーム収容部１４とを隣り合わせにして備えるため、リングフレーム収容部を低く構成できるとともに、装置を一時停止することなく、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給できる。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウェーハとこれを支持するリングフレームとに粘着テープを貼着する装置に関する。

半導体ウェーハなどの被加工物は、その表面に、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されており、当該表面に保護テープを貼着して裏面側を研削によって所定の厚みに薄化した後、分割予定ラインに沿って例えば切削ブレードまたはレーザー光線の照射によって切断することにより、ウェーハを個々のチップに分割している。

ウェーハを分割するときは、中央に開口部を有しウェーハの直径より大きい内径のリングフレームの該開口部にウェーハを載置して分割予定ラインが形成される表面を上向きにし、該表面の反対側の裏面とリングフレームとに粘着性のテープを貼着してウェーハを支持することにより、ウェーハが個々のチップに分割されたときに各チップが飛散するのを防止している。

ウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置としては、粘着テープとこれに貼り合わせられた剥離テープとからなるテープ体がロール状に巻回されたロールテープからテープ体を引き出す複数のローラと、引き出されたテープ体をウェーハに対して押圧し剥離テープからテープを剥がしてテープをウェーハに貼着する押圧ローラとを少なくとも備えているものが知られている（例えば、下記の特許文献１−３を参照）。

通常、テープ貼着装置は、リングフレームを収容するリングフレーム収容部を備えている。このリングフレーム収容部にリングフレームのストックがなくなると、テープ貼着装置を一時停止してリングフレーム収容部にリングフレームを補充してから、ウェーハ及びリングフレームに対するテープ貼着の作業を行うようにしている。

また、このようなテープ貼着装置においては、リングフレーム収容部に対してリングフレームの補充の回数を少なくするため、大型のリングフレーム収容部を用いて多くのリングフレームを収容するようにしている。

特開２００６−０４４１５２号公報特開２０１１−２３６０２４号公報特開２０１１−０８６６８７号公報

しかし、上記したようなリングフレーム収容部においては、リングフレームのストックがなくなる度に装置を一時停止してリングフレームを補充しているため、作業効率が悪いという問題がある。

また、大型のリングフレーム収容部が、リングフレームを縦に積み上げて収容するタイプの場合、リングフレーム収容部の縦幅が長くなってしまい、リングフレームを保持して昇降動作する搬送アームに長い昇降軸が必要となり、装置全体が大型化してしまうという問題もある。

本発明は、上記の事情にかんがみなされたもので、装置の大型化を招くことなしに、テープ貼着装置を一時停止させることなくリングフレーム収容部にリングフレームを補充できるようにすることを目的としている。

第１の発明は、円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着するテープ貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、該保持テーブルの下方側に配設される第１のリングフレーム収容部と、
該第１のリングフレーム収容部に接近した受渡位置と該受渡位置から遠ざかり該リングフレームの補給を可能とする補給位置とに移動する移動手段を備える第２のリングフレーム収容部と、を備え、該リングフレーム搬送手段は、該第１のリングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送するとともに、該受渡位置に位置づけられた該第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に該リングフレームを搬送して該リングフレームの連続供給を可能にする。

上記テープ貼着装置は、少なくとも前記第１のリングフレーム収容部に収容される前記リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、該収容量認識部が認識する収容量により前記第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に対する該リングフレームの移送の開始及び該リングフレームの移送の停止をさせる判断部と、を備えることが望ましい。

また、上記テープ貼着装置は、前記第１のリングフレーム収容部に前記リングフレームを補給するため、該第１のリングフレーム収容部の補給位置に該第１のリングフレーム収容部を移動させる第２の移動手段を備えることが望ましい。

第２の発明は、円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着する貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、それぞれに、該リングフレーム搬送手段が該リングフレームを受け取る受取位置と該リングフレーム収容部に該リングフレームの補給を可能とする補給位置とにそれぞれの該リングフレーム手段を移動させる切り替え手段と、該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、を備え、該リングフレーム搬送手段は、該受取位置に位置づけられた該リングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送し、該受取位置に位置づけられた一方の該リングフレーム収容部に該リングフレームが収容されていないと該収容量認識部が認識すると、一方の該リングフレーム収容部を該補給位置に移動させてリングフレームの補給を行うとともに、他の該リングフレーム収容部を該受取位置に移動させて該リングフレームの連続供給を可能にする。

第１の発明のテープ貼着装置は、保持テーブルの下に位置してリングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームをリングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段とを備え、２つのリングフレーム収容部が、リングフレームを収容する第１のリングフレーム収容部と、第１のリングフレーム収容部の近接して隣り合わせに配設された第２のリングフレームとから構成されているため、リングフレーム収容部の縦幅を短く構成できるとともに、装置全体が大型化するのを防止できる。
また、第２のリングフレーム収容部を、リングフレームをリングフレーム搬送手段に受け渡す受渡位置とリングフレームを第２のリングフレーム収容部に補給する補給位置とに移動させる第１の移動手段を備えるため、例えば第１のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、リングフレーム搬送手段によって、受渡位置に位置する第２のリングフレーム収容部からリングフレームを補充可能となるとともに、第２のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、第２のリングフレーム収容部を補給位置に移動させてリングフレームを補給できるため、テープ貼着装置を一時停止することなく、リングフレームをリングフレーム保持テーブルに連続供給することができる。

少なくとも第１のリングフレーム収容部に収容されるリングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、これが認識するリングフレームの収容量に基づいて第２のリングフレーム収容部から第１のリングフレーム収容部に対しリングフレームの移送の開始及びリングフレームの移送の停止をさせる判断を行う判断部とを備えることにより、常に第１のリングフレーム収容部におけるリングフレームの収容量を把握して第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補充できるため、リングフレーム保持テーブルに対してリングフレームを効率よく連続供給することができる。

第１のリングフレーム収容部の補給位置に第１のリングフレーム収容部を移動させる第２の移動手段を備えることにより、第１のリングフレーム収容部にリングフレームがなくなっても、第１のリングフレーム収容部を補給位置に移動させることでリングフレームを第１のリングフレーム収容部に直接補給することができ、テープ貼着装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブルにリングフレームの連続供給を行うことができる。

第２の発明のテープ貼着装置は、少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームをリングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段とを備え、それぞれのリングフレーム収容部にリングフレーム搬送手段がリングフレームを受け取る受取位置とリングフレーム収容部にリングフレームの補給を可能とする補給位置とに移動する切り替え手段と、リングフレーム収容部に収容されるリングフレームの収容量を認識する収容量認識部とを備えるため、一方のリングフレーム収容部からリングフレームがなくなっても、一方の切り換え手段によって当該リングフレーム収容部を補給位置に移動させて新たなリングフレームを補給しつつ、他方の切り替え手段によって他方のリングフレーム収容部を受取位置に移動させることでリングフレームをリングフレーム保持テーブルに連続供給でき、テープ貼着装置を一時停止する必要がない。

テープ貼着装置の第１例を示す断面図である。リングフレームを吸引保持したリングフレーム搬送手段を第１のリングフレーム収容部から上昇させる状態を示す断面図である。リングフレーム保持テーブルにリングフレームを搬送する状態を示す断面図である。受渡位置にある第２のリングフレーム収容部からリングフレーム搬送手段によってリングフレームを搬出する状態を示す断面図である。リングフレーム搬送手段によって、第１のリングフレーム収容部にリングフレームを搬入する状態を示す断面図である。第１の移動手段によって第２のリングフレーム収容部を受渡位置から補給位置に移動させる状態を示す断面図である。補給位置に移動させた第２のリングフレーム収容部にリングフレームを補給する状態を示す断面図である。テープ貼着装置の第２例を示す断面図である。第２の移動手段によって第１のリングフレーム収容部を受取位置から補給位置に移動させる状態を示す断面図である。補給位置に移動させた第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補給する状態を示す断面図である。テープ貼着装置の第３例を示す断面図である。２つの切り替え手段によって、第１のリングフレーム収容部を補給位置に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部を受取位置に移動させる状態を示す断面図である。第１のリングフレーム収容部にリングフレームを補給するとともにリングフレームを第２のリングフレーム収容部からリングフレーム保持テーブルに搬送する状態を示す断面図である。

図１に示すテープ貼着装置１は、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第１例であって、被加工物である円板状のウェーハを保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０を囲繞しウェーハの外径より大きい内径を有するリング状のリングフレーム３を保持するリングフレーム保持テーブル１２と、保持テーブル１０が保持するウェーハとリングフレーム保持テーブル１２が保持するリングフレーム３とに粘着テープを貼着するテープ貼着機構２とを備えている。保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２は、テーブル移動手段１１によって下方から支持されており、テープ貼着機構２の下方に保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２を移動させることができる。

テープ貼着装置１は、保持テーブル１０の下方側の位置に、リングフレーム３を積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部を備えている。２つのリングフレーム収容部は、保持テーブル１０の下に配設される第１のリングフレーム収容部１３と、第１のリングフレーム収容部１３に近接して配設される第２のリングフレーム収容部１４とにより構成されている。

第１のリングフレーム収容部１３は、リングフレーム３の内周面に接触するリング状の収容部材１３０と、収容部材１３０の下端に連結され複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、載置部１３１を下方から支持する基台１３２とを備えており、テープ貼着装置1において固定された構成となっている。収容部材１３０は、積載するリングフレーム３の厚さの総和以上の高さを有している。収容部材１３０は、少なくとも３本の細い円柱を均等間隔に配設して構成し、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の内周面に接する配置にしていれば良い。または、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の外周面に接する配置にしていても良い。

第２のリングフレーム収容部１４は、リングフレーム３の内周面に接触するリング状の収容部材１４０と、収容部材１４０の下端に連結され複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１４１と、第１のリングフレーム収容部１３に接近しリングフレーム搬送手段１５にリングフレーム３を受け渡す受渡位置４と受渡位置４から遠ざかり第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給可能とする補給位置５とに第２のリングフレーム収容部１４を移動させる第１の移動手段１８とを備えている。収容部材１４０は、積載するリングフレーム３の厚さの総和以上の高さを有している。収容部材１４０は、少なくとも３本の細い円柱を均等間隔に配設して構成し、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の内周面に接する配置にしていれば良い。または、３本の細い円柱の外側面がリングフレーム３の外周面に接する配置にしていても良い

第１の移動手段１８は、モータ１８０と、モータ１８０に接続された回転軸１８１と、回転軸１８１に接続され第２のリングフレーム収容部１４が載置された支持台１８２とにより構成されている。モータ１８０が回転軸１８１を回転させることにより、第２のリングフレーム収容部１４を支持台１８２とともに回転させ、第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４と補給位置５とに移動させることができる。この第１の移動手段１８は、支持台１８２を回転させる構成に限定されるものはない。例えばスライダー機構を設けて第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４と補給位置５との間でスライド移動させるようにしてもよい。

テープ貼着装置１は、第１のリングフレーム収容部１３及び第２のリングフレーム収容部１４に収容されているリングフレーム３を保持して所望の搬送先に搬送するリングフレーム搬送手段１５を備えている。リングフレーム搬送手段１５は、アーム部１５０と、連結部１５１を介してアーム部１５０の一端に連結された支持部１５２と、支持部１５２の端部に配設された複数（例えば３つ）のフレーム保持部１５４とを備えている。フレーム保持部１５４には、図示しない吸引源が接続されており、リングフレーム３を吸引保持することが可能となっている。支持部１５２には、第１のリングフレーム収容部１３の収容部材１３０と第２のリングフレーム収容部１４の収容部材１４０とが挿通可能な挿通孔１５３が形成されている。挿通孔１５３は、収容部材１３０と収容部材１４０とを挿通可能にしていれば良く、フレーム保持部１５４とフレーム保持部１５４との間に形成されていてもよいし、収容部材１３０，１４０がリングフレーム３の外側面を支持する場合にはフレーム保持部１５４の外側に形成されていてもよい。

リングフレーム搬送手段１５は、鉛直方向にのびる昇降軸１６０を有しリングフレーム搬送手段１５を昇降軸１６０に沿って上下方向に昇降させる昇降手段１６と、リングフレーム搬送手段１５を鉛直方向と直交する水平方向に回転させる水平移動手段１７とに接続されている。水平移動手段１７は、例えば旋回モータによって構成されており、該旋回モータは、リングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３側と第２のリングフレーム収容部１４側とにそれぞれ移動させることができる。

テープ貼着装置１は、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３に収容されるリングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０と、収容量認識部２０が認識するリングフレーム３の収容量に基づいて第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部へのリングフレーム３の移送を開始するとともにその移送を停止させる判断を行う判断部とを備えている。この収容量認識部２０は、第１のリングフレーム収容部１３に積載されるリングフレーム３の位置に対応して載置部１３１に埋設されており、例えば第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３の収容量の下限値の重量に反応する下限センサと、リングフレーム３の収容量の上限値の重量に反応する上限センサとを備えている。そして、下限センサが反応すると、判断部によって第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送の開始し、上限センサが反応すると、判断部によって第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を停止する。

図示の例における収容量認識部２０は、第１のリングフレーム収容部１３に備えているが、この構成に限定されるものではない。例えばリングフレーム搬送手段１５に収容量認識部２０を備えてもよい。この場合は、収容量認識部２０が、フレーム保持部１５４でリングフレーム３を吸引保持する時の昇降軸１６０におけるフレーム搬送手段１５の停止位置を認識することにより、第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３の収容量を認識できる。

次に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。まず、第１のリングフレーム収容部１３からリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。具体的には、昇降手段１６が作動し、リングフレーム搬送手段１５を、昇降軸１６０に沿って第１のリングフレーム収容部１３に収容されているリングフレーム３に接近する方向に下降させる。リングフレーム搬送手段１５の下降にともなって、収容部材１３０が、その先端側から挿通孔１５３に挿通されていくとともに、支持部１５２に形成されたフレーム保持部１５４で、第１のリングフレーム収容部１３において積み重なったリングフレーム３のうち最も上に位置するリングフレーム３を吸引保持する。

図２に示すように、フレーム保持部１５４でリングフレーム３を吸引保持したら、昇降手段１６が作動し、昇降軸１６０に沿ってリングフレーム搬送手段１５を例えば二点鎖線に示す位置まで上昇させる。この上昇動作は、図１に示した保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２がリングフレーム搬送手段１５の上方側に配置されていないときに行う。

その後、図３に示すように、保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２がリングフレーム搬送手段１５の下方に移動させ、リングフレーム搬送手段１５は、リングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。そして、保持テーブル１０に被加工物を載置し、図１に示したテープ装着機構２が、被加工物及びフレーム３にテープを貼着する。被加工物及びフレーム３にテープが貼着されると、テープを介して被加工物とフレーム３とが一体となったものが、図示しない移送機構によって加工装置に移送される。かかる移送によって保持テーブル１０及びリングフレーム保持テーブル１２の上に何もない状態となると、リングフレーム搬送手段１５が、次のリングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に搬送するとともに、次の被加工物が保持テーブル１０に搬送され、同様にテープが貼着される。このような動作を繰り返し行う。

次に、第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対してリングフレーム３を移送する動作及び第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する動作について説明する。上記した第１のリングフレーム収容部１３からリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行うことで、図４に示す第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３がなくなると、収容量認識部２０の下限センサが反応し、収容量認識部２０が第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０の認識に基づいて第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を開始する。

図４に示すように、水平移動手段１７が例えば矢印Ａ方向に回転し、リングフレーム搬送手段１５を第２のリングフレーム収容部１４の上方側に移動させるとともに、昇降手段１６によってリングフレーム搬送手段１５を第２のリングフレーム収容部１４に収容されているリングフレーム３に接近する方向に下降させる。リングフレーム搬送手段１５の下降にともなって、収容部材１４０が、その先端側から挿通孔１５３に挿通されていくとともに、フレーム保持部１５４で、第２のリングフレーム収容部１４において積み重なったリングフレーム３のうち最も上端側のリングフレーム３を吸引保持する。

次いで、図５に示すように、水平移動手段１７が例えば矢印Ｂ方向に回転し、リングフレーム３を吸引保持したリングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３の上方側に移動させるとともに、昇降手段１６によってリングフレーム搬送手段１５を第１のリングフレーム収容部１３に接近する方向に下降させ、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を移送する。このようなリングフレーム３の移送動作を繰り返し行い、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を積み重ねる。このリングフレーム３の移送動作は、例えば図１に示したテープ貼着機構２において保持テーブル１０に保持されたウェーハ及びリングフレーム保持テーブル１２に保持されたリングフレーム３に粘着テープを貼着している間に行うことが望ましい。

第１のリングフレーム収容部１３に複数のリングフレーム３が積み重なり、収容量認識部２０の上限センサが反応すると、収容量認識部２０が第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３のストックが十分にあると認識する。判断部は、収容量認識部２０の認識に基づいて、第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送を停止する。このように、収容量認識部２０及び判断部によって、常に第１のリングフレーム収容部１３におけるリングフレーム３の収容量を的確に把握して第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を補充できるため、リングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送効率が向上する。

上記した第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３に対するリングフレーム３の移送動作を繰り返し行うことで、図６に示すように、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３がなくなると、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する。なお、図示していないが、第２のリングフレーム収容部１４にも、収容量認識部２０と同様のセンサを設けておく。具体的には、第１の移動手段１８が作動することにより、モータ１８０が回転軸１８１を例えば矢印Ａ方向に回転させて第２のリングフレーム収容部１４を矢印Ａ方向に回転させ、図７に示すように、第２のリングフレーム収容部１４を受渡位置４から補給位置５に移動させる。そして、補給位置５に位置づけられた第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３を補給する。

このように、テープ貼着装置１は、リングフレーム３を収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、２つのリングフレーム収容部は、第１のリングフレーム収容部１３と第２のリングフレーム１４とを近接した位置で隣り合わせに配設したことにより、リングフレーム収容部の高さを低く構成してリングフレーム搬送手段１５を昇降させる昇降手段１６の昇降軸１６０を短くすることができるため、装置全体が大型化するのを防止できる。さらに、２つのリングフレーム収容部を備えるため、多くのリングフレーム３を収容しておくことができる。
また、テープ貼着装置１は、第２のリングフレーム収容部１４を、リングフレーム３をリングフレーム搬送手段１５に受け渡す受渡位置４とリングフレーム３を第２のリングフレーム収容部１４に補給する補給位置５とに移動させる第１の移動手段１８を備えるため、第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３がなくなった時には、リングフレーム搬送手段１５によって、受渡位置４に移動してきた第２のリングフレーム収容部１４から第１のリングフレーム収容部１３にリングフレーム３を補充できる上、第２のリングフレーム収容部１４からリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する事も可能とし、第２のリングフレーム収容部１４にリングフレーム３がなくなった時には、第２のリングフレーム収容部１４を補給位置５に移動させてリングフレーム３を補給できることから、装置を一時停止することなく、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することが可能となる。

図８に示すテープ貼着装置１ａは、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第２例であり、リングフレーム３を積み重ねて収容可能な第１のリングフレーム収容部１３ａと、第１のリングフレーム収容部１３ａに近接して配設された第２のリングフレーム収容部１４ａとの少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、各リングフレーム収容部にそれぞれリングフレーム３を補給可能な構成となっている。なお、テープ貼着装置１ａにおいて、図１で示したテープ貼着装置１と同様の構成部分には同様の符号を付し、その説明は省略する。

具体的には、保持テーブル１０の下方側の位置に配設された第１のリングフレーム収容部１３ａは、リング状の収容部材１３０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、保持テーブル１０の下方に位置でリングフレーム３を受け取る受取位置６と該受取位置６から遠ざかり第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ａを移動させる第２の移動手段１９とを備えている。

第２の移動手段１９は、モータ１９０と、モータ１９０に接続された回転軸１９１と、回転軸１９１に接続され第１のリングフレーム収容部１３ａが載置された支持台１９２とにより構成されている。モータ１９０が回転軸１９１を回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ａを支持台１９２とともに回転させ、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６と補給位置７とに移動させることができる。この第２の移動手段１９は、回転可能な構成に限定されるものはない。例えばスライダー機構を設けて、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６と補給位置７とにスライド移動させるようにしてもよい。

テープ貼着装置１ａは、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３ａに収容されるリングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０ａと、収容量認識部２０ａが認識するリングフレーム３の収容量に基づいて、少なくとも第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給の開始及びリングフレーム３の補給の停止をさせる判断を行う判断部とを備えている。

次に、テープ貼着装置１ａの動作例について説明する。図８に示す第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行うことにより、図９に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム３がなくなったら、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給する。第１のリングフレーム収容部１３ａからリングフレーム３がなくなると、収容量認識部２０ａの下限センサが反応して第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０ａの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３の補給を開始する。

具体的には、第２の移動手段１９が作動することにより、モータ１９０が回転軸１９１を例えば矢印Ｂ方向に回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ａを矢印Ｂ方向に回転させ、図１０に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６から補給位置７に移動させる。そして、補給位置７に位置づけられた第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給する。

第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を積み重ねていき、収容量認識部２０ａの上限センサが反応すると、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３のストックが十分にあると認識する。判断部は、収容量認識部２０ａの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ａに対するリングフレーム３の補給を停止する。

さらに、テープ貼着装置１ａでは、上記したテープ貼着装置１と同様に、図８に示す第２のリングフレーム収容部１４ａから第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を移送することもできるし、図９に示す第２のリングフレーム収容部１４ａにリングフレーム３を補給することもできる。

このように、テープ貼着装置１ａでは、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム搬送手段１５がリングフレーム３を受け取る受取位置６とリングフレーム３を第１のリングフレーム収容部１３ａに補給する補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ａを移動させる第２の移動手段１９を備えるため、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３がなくなっても、第１のリングフレーム収容部１３ａ自体を補給位置７に移動させることでリングフレーム３を直接補給することができ、第１のリングフレーム収容部１３ａにリングフレーム３を補給中には、第２のリングフレーム収容部１４ａを第１の移動手段１８で受取位置４に移動させ、フレーム搬送手段１５で第２のリングフレーム収容部１４ａからリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する事を可能にし、装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３の連続供給を行うことが可能となる。

図１１に示すテープ貼着装置１ｂは、被加工物に粘着テープを貼着するテープ貼着装置の第３例であり、リングフレーム３を積み重ねて収容可能な第１のリングフレーム収容部１３ｂと、第１のリングフレーム収容部１３ｂに近接して配設された第２のリングフレーム収容部１４ｂとの少なくとも２つのリングフレーム収容部を備え、各リングフレーム収容部にそれぞれリングフレーム３を補給可能とするとともに、各リングフレーム収容部からリングフレーム保持テーブル１２に対してリングフレーム３を搬送できる構成となっている。なお、テープ貼着装置１ｂにおいて、図１で示したテープ貼着装置１と同様の構成部分には同様の符号を付してその説明は省略する。

具体的には、第１のリングフレーム収容部１３ｂは、リング状の収容部材１３０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１３１と、リングフレーム搬送手段１５のフレーム保持部１５４でリングフレーム３を受け取る受取位置６と第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置７とに第１のリングフレーム収容部１３ｂを移動させる切り替え手段２１とを備えている。第２のリングフレーム収容部１４ｂは、リング状の収容部材１４０と、複数のリングフレーム３を積載可能な載置部１４１と、該受取位置６と第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３の補給を可能とする補給位置８とに第２のリングフレーム収容部１４ｂを移動させる切り替え手段２２と備えている。

切り替え手段２１は、モータ２１０と、モータ２１０に接続された回転軸２１１と、回転軸２１１に接続され第１のリングフレーム収容部１３ｂが載置された支持台２１２とにより構成されている。モータ２１０が回転軸２１１を回転させることにより、第１のリングフレーム収容部１３ｂを受取位置６と補給位置７とに移動させることができる。また、切り替え手段２２は、上記切り替え手段２１と同様の構成となっており、モータ２２０と、モータ２２０に接続された回転軸２２１と、回転軸２２１に接続され第２のリングフレーム収容部１４ｂが載置された支持台２２２とにより構成されている。モータ２２０が回転軸２２１を回転させることにより、第２のリングフレーム収容部１４ｂを受取位置６と補給位置８とに移動させることができる。

テープ貼着装置１ｂは、第１のリングフレーム収容部１３ｂ及び第２のリングフレーム収容部１４ｂのそれぞれに、リングフレーム３の収容量を認識する収容量認識部２０ｂと、それぞれの収容量認識部２０ｂが認識するリングフレーム３の収容量に基づいて第１のリングフレーム収容部１３ｂ及び第２のリングフレーム収容部１４ｂに対してリングフレーム３の補給の開始及び補給の停止をさせる判断を行う判断部とを備えている。

次に、テープ貼着装置１ｂの動作例について説明する。上記したテープ貼着装置１と同様に、図１１に示す第１のリングフレーム収容部１３ｂからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送動作を繰り返し行った後、図１２に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ｂからリングフレーム３がなくなって載置部１３１が露出すると、第１のリングフレーム収容部１３ｂ側の収容量認識部２０ｂの下限センサが反応し、第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３のストックがないと認識する。判断部は、収容量認識部２０ｂの認識に基づいて、第１のリングフレーム収容部１３ｂに対してリングフレーム３の補給を行うとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂからリングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送を行う。

具体的には、切り替え手段２１によって回転軸２１１が例えば矢印Ｂ方向に回転することにより、第１のリングフレーム収容部１３ｂを矢印Ｂ方向に回転させるとともに、切り替え手段２２によって回転軸２２１が例えば矢印Ｂ方向に回転し、第２のリングフレーム収容部１４ｂを矢印Ｂ方向に回転させる。このようにして、図１３に示すように、第１のリングフレーム収容部１３ｂを受取位置６から補給位置７に移動させるとともに第２のリングフレーム収容部１４ｂを補給位置８から受取位置６に移動させる。そして、補給位置７に位置づけられた第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３を補給しながら、リングフレーム搬送手段１５によって第２のリングフレーム収容部１４ｂからリングフレーム保持テーブル１２にリングフレーム３を搬送する。一方、第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３がなくなった場合は、リングフレーム３が補給された第１のリングフレーム収容部１３ａを受取位置６に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ａを補給位置８に移動させることで、リングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することができる。

以上のとおり、テープ貼着装置１ｂでは、第１のリングフレーム収容部１３ｂに、リングフレーム手段１５がリングフレーム３を受け取る受取位置６と第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３を補給する補給位置７とに移動させる切り替え手段２１を備えるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂに、該受取位置６と第２のリングフレーム収容部１４ｂにリングフレーム３を補給する補給位置８とに移動させる切り替え手段２２を備えるため、例えば、第１のリングフレーム収容部１３ｂにリングフレーム３がなくなっても、第１のリングフレーム収容部１３ａ自体を補給位置７に移動させるとともに、第２のリングフレーム収容部１４ｂを受取位置６に移動させることでリングフレーム３をリングフレーム保持テーブル１２に連続供給することができる。よって、装置を一時停止することなく、リングフレーム保持テーブル１２に対するリングフレーム３の搬送を効率よく行うことが可能となる。

１，１ａ，１ｂ：テープ貼着装置２：テープ貼着機構
３：リングフレーム４：受渡位置５：補給位置６：受取位置
７:補給位置８：補給位置
１０：保持テーブル１１：テーブル移動手段１２：リングフレーム保持テーブル
１３，１３ａ，１３ｂ：第１のリングフレーム収容部
１３０：収容部材１３１：載置部１３２：基台
１４，１４ａ，１４ｂ：第２のリングフレーム収容部
１４０：収容部材１４１：載置部
１５：リングフレーム搬送手段１５０：アーム部１５１：連結部
１５２：支持部１５３：挿通孔１５４：フレーム保持部
１６：昇降手段１６０：昇降軸１７：水平移動手段
１８：第１の移動手段１８０：モータ１８１：回転軸１８２：支持台
１９：第２の移動手段１９０：モータ１９１：回転軸１９２：支持台
２０：収容量認識部
２１：切り替え手段２１０：モータ２１１：回転軸２１２：支持台
２２：切り替え手段２２０：モータ２２１：回転軸２２２：支持台

Claims

円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着するテープ貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、
少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、
該保持テーブルの下方側に配設される第１のリングフレーム収容部と、
該第１のリングフレーム収容部に接近した受渡位置と該受渡位置から遠ざかり該リングフレームの補給を可能とする補給位置とに移動する移動手段を備える第２のリングフレーム収容部と、を備え、
該リングフレーム搬送手段は、該第１のリングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送するとともに、該受渡位置に位置づけられた該第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に該リングフレームを搬送して該リングフレームの連続供給を可能にするテープ貼着装置。
少なくとも前記第１のリングフレーム収容部に収容される前記リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、
該収容量認識部が認識する収容量により前記第２のリングフレーム収容部から該第１のリングフレーム収容部に対する該リングフレームの移送の開始及び該リングフレームの移送の停止をさせる判断部と、を備える請求項１記載のテープ貼着装置。
前記第１のリングフレーム収容部に前記リングフレームを補給するため、該第１のリングフレーム収容部の補給位置に該第１のリングフレーム収容部を移動させる第２の移動手段を備える請求項１または２記載のテープ貼着装置。
円板状のウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルを囲繞しウェーハの外径より大きい内径のリング状のリングフレームを保持するリングフレーム保持テーブルと、該保持テーブルの下方側に位置して該リングフレームを積み重ねて収容する少なくとも２つのリングフレーム収容部と、該リングフレームを吸引保持するフレーム保持部を用いて該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームを該リングフレーム保持テーブルに搬送するリングフレーム搬送手段と、該保持テーブルが保持するウェーハと該リングフレーム保持テーブルが保持する該リングフレームとに粘着テープを貼着する貼着機構と、を備えるテープ貼着装置であって、
少なくとも２つの該リングフレーム収容部は、それぞれに、該リングフレーム搬送手段が該リングフレームを受け取る受取位置と該リングフレーム収容部に該リングフレームの補給を可能とする補給位置とにそれぞれの該リングフレーム手段を移動させる切り替え手段と、
該リングフレーム収容部に収容される該リングフレームの収容量を認識する収容量認識部と、を備え、
該リングフレーム搬送手段は、該受取位置に位置づけられた該リングフレーム収容部から該リングフレーム保持テーブルに該リングフレームを搬送し、
該受取位置に位置づけられた一方の該リングフレーム収容部に該リングフレームが収容されていないと該収容量認識部が認識すると、一方の該リングフレーム収容部を該補給位置に移動させてリングフレームの補給を行うとともに、他の該リングフレーム収容部を該受取位置に移動させて該リングフレームの連続供給を可能にするテープ貼着装置。