JP2016003947A5

JP2016003947A5 -

Info

Publication number: JP2016003947A5
Application number: JP2014124132A
Authority: JP
Filing date: 2014-06-17
Publication date: 2017-05-25

Description

本実施形態によれば、発光部２２から射出される検出光Ｌ２は、連結部材２１１ｂを透過してパターン２４に到達し、パターン２４を介して検出部２２３に到達することになる。これにより、発光部１２と発光部２２とを、例えば同一平面に配置させることができるため、薄型化が可能なエンコーダ装置２００を提供することができる。また、本実施形態では、連結部材２１１ｂを介して回転部材２１１ａを入力軸ＳＦ１に固定することにより、回転部材２１１ａのパターン１４とスケール２１のパターン２４とを同一平面に配置することができる。これにより、第１実施形態に比べて、より薄型化が可能となる。

第１エンコーダ３１０は、スケール（第１スケール）３１１と、発光部３１２と、検出部（第１検出部）３１３とを有している。
スケール３１１は、出力軸ＳＦ２のうち駆動源１０１の反負荷側の端部に取り付けられている。スケール３１１は、出力軸ＳＦ２と一体で回転する。スケール３１１は、出力軸ＳＦ２と同軸の環状に形成されている。スケール３１１には、パターン（第１パターン）３１４が形成されている。パターン３１４は、出力軸ＳＦ２の周方向に沿って形成されている。パターン３１４は、例えば光透過パターンである。パターン３１４は、図３（ｂ）に示すように、インクリメンタルパターン３１４ａとアブソリュートパターン３１４ｂとを含んでいる。インクリメンタルパターン３１４ａとアブソリュートパターン３１４ｂとは、それぞれスケール３１１の外周に沿って配置されている。

また、スケール３１１には、光透過部３１７が設けられている。光透過部３１７は、後述の検出部３２３から射出される検出光Ｌ２を透過可能な材料を用いて形成されている。このような材料としては、例えばガラスや樹脂などが挙げられる。光透過部３１７は、スケール３１１上でパターン３１４の内側に設けられ、回転軸ＡＸを中心とした円環状に形成されている。

上記のように構成されたエンコーダ装置３００では、駆動源１０１が回転すると、駆動源１０１の回転を受けて入力軸ＳＦ１が回転する。これにより、入力軸ＳＦ１と一体でスケール３２１が回転する。制御部３０は、発光部３２２から検出光Ｌ２を射出させる。検出光Ｌ２は、スケール３１１の光透過部３１７を透過してパターン３２４（インクリメンタルパターン３２４ａ及びアブソリュートパターン３２４ｂ）に到達し、パターン３２４を介して受光部３２５に到達する。受光部３２５では、パターン３２４を介した検出光Ｌ２を受光し、電気信号に変換する。スケール３２１の回転によってパターン３２４が移動するため、検出光Ｌ２の照射部分でパターン３２４が変化し、受光部３２５によって受光される検出光Ｌ２の光量が変化する。制御部３０は、受光部３２５から出力された電気信号に基づいて光量の変化を検出し、入力軸ＳＦ１の入力軸情報を検出する。

Claims

動力伝達部を介して連結された入力軸及び出力軸の一方である第１軸に取り付けられ、第１パターンを有する第１スケールと、
前記入力軸及び前記出力軸の他方である第２軸に取り付けられ、第２パターンを有し、第１光を透過する光透過部が形成された第２スケールと、
前記光透過部を透過し、前記第１パターンを介した前記第１光を検出する第１検出部と、
前記第２パターンを介した第２光を検出する第２検出部と
を備えるエンコーダ装置。
前記第１軸及び前記第２軸は、共通の回転軸の軸線周りに回転するように配置される
請求項１に記載のエンコーダ装置。
前記第１パターンと前記光透過部とは、前記回転軸の軸線方向において、重なる位置に配置されている
請求項２に記載のエンコーダ装置。
前記第１検出部は、前記第１パターン及び前記光透過部に対し、前記回転軸の軸線方向において、重なる位置に配置されている
請求項３に記載のエンコーダ装置。
前記第１スケール及び前記第２スケールは、前記第１パターンと前記第２パターンとが前記回転軸の軸線方向において、異なる位置に配置される
請求項２から請求項４のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記第１スケール及び前記第２スケールは、前記第１パターンと前記第２パターンとが同一平面上に位置するように配置される
請求項２から請求項４のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記第２スケールは、前記第２パターンが形成された回転部材と、前記第２軸と前記回転部材とを連結する連結部材とを有し、
前記回転部材は、前記回転軸の軸線方向に貫通する貫通穴を有し、前記連結部材の周縁部に固定され、
前記第１スケールは、前記貫通穴と前記連結部材とで囲まれる部分に配置される
請求項６に記載のエンコーダ装置。
前記光透過部は、前記連結部材に設けられる
請求項７に記載のエンコーダ装置。
前記第１パターンは、前記第１スケールの回転方向に沿って形成された内周側パターン及び外周側パターンを有し、
前記内周側パターン及び前記外周側パターンの両方に前記第１光を同時に照射可能な第１発光部を備え、
前記光透過部は、前記第１光が前記内周側パターン及び前記外周側パターンのうち少なくとも一方に照射されるように形成される
請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記光透過部は、前記第２スケールに設けられ前記第１光を透過する開口部を含む
請求項９に記載のエンコーダ装置。
前記光透過部は、外周側開口部と内周側開口部とを含み、
前記外周側開口部と前記内周側開口部とは、前記回転軸を中心とした回転方向について位相がずれた状態で形成されている
請求項９又は請求項１０に記載のエンコーダ装置。
前記内周側パターン及び前記外周側パターンは、それぞれインクリメンタルパターン及びアブソリュートパターンを含む
請求項９から請求項１１のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記第１検出部は、前記第１光を受光する第１受光部を有し、
前記第２検出部は、前記第２光を受光する第２受光部を有し、
前記第１受光部及び前記第２受光部は、前記第１軸及び前記第２軸とは非接続で設けられた基板の同一面に配置される
請求項１から請求項１２のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記入力軸にトルクを供給する駆動部と、
前記出力軸から出力された情報を使って前記駆動部を制御する制御部と、を備える駆動装置。
移動物体と、
前記移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置として、請求項１４記載の駆動装置が用いられるステージ装置。
移動物体と、
前記移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置として、請求項１４記載の駆動装置が用いられるロボット装置。