JP2016003947A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】動力伝達部を介して連結された入力軸及び出力軸の一方である第1軸に取り付けられ、第1パターンを有する第1スケールと、入力軸及び出力軸の他方である第2軸に取り付けられ、第2パターンを有し、第1光を透過する光透過部が形成された第2スケールと、光透過部を透過し、第1パターンを介した第1光を検出する第1検出部と、第2パターンを介した第2光を検出する第2検出部とを備える。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係るエンコーダ装置100の一例を示す図である。
図1に示すように、エンコーダ装置100は、第1エンコーダ10と、第2エンコーダ20と、制御部30とを備えている。エンコーダ装置100は、減速機などの動力伝達部102を介して連結された入力軸(第2軸)SF1及び出力軸(第1軸)SF2の回転に関する情報を検出する。入力軸SF1は、モータ装置などの駆動源101からの回転力を受けて回転する。入力軸SF1の回転は、動力伝達部102を介して出力軸SF2に伝達される。
図2は、第2実施形態に係るエンコーダ装置200の一例を示す図である。
図2に示すように、エンコーダ装置200は、第1エンコーダ210と、第2エンコーダ220と、制御部30とを備えている。本実施形態では、第1エンコーダ210の構成と第2エンコーダ220の一部の構成が第1実施形態とは異なっているため、この相違点を中心に説明する。なお、第1実施形態と同一の構成要素については、第1実施形態と同一の符号を付すこととし、説明を省略あるいは簡略化する。
図3は、第3実施形態に係るエンコーダ装置300の一例を示す図である。
図3に示すように、エンコーダ装置300は、第1エンコーダ310と、第2エンコーダ320と、制御部30とを備えている。本実施形態では、第1エンコーダ310が出力軸SF2の出力軸情報を検出し、第2エンコーダ320が入力軸SF1の入力軸情報を検出する点で、上記実施形態とは異なっているため、この相違点を中心に説明する。なお、制御部30や筐体40等、第1実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付すこととし、説明を省略あるいは簡略化する。
スケール311は、出力軸SF2のうち駆動源101の反負荷側の端部に取り付けられている。スケール311は、出力軸SF2と一体で回転する。スケール311は、出力軸SF2と同軸の環状に形成されている。スケール311には、パターン(第1パターン)314が形成されている。パターン314は、出力軸SF2の周方向に沿って形成されている。パターン314は、例えば光透過パターンである。パターン314は、図3(b)に示すように、インクリメンタルパターン314aとアブソリュートパターン314bとを含んでいる。インクリメンタルパターン314aとアブソリュートパターン314bとは、それぞれスケール11の外周に沿って配置されている。
次に、変形例を説明する。
上記第1実施形態では、発光部22から射出される検出光L2を透過する光透過部17がガラスや樹脂などによって中実状に形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、光透過部17が開口部であってもよい。この場合、スケール11のうち光透過部17の内側と外側とが接続されている必要がある。
図4に示すように、エンコーダ装置100Aにおいて、第2エンコーダ20Aのスケール21Aには、パターン24Aが形成されている。パターン24Aは、外周側パターン27と、内周側パターン28とを有している。
実施形態に係る駆動装置について説明する。図7は、駆動装置の実施形態として、電動のモータ装置MTRの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図7に示すように、モータ装置MTRは、本体部BDと、減速機RGと、エンコーダ装置EAと、モータ制御部CONTとを備える。
次に、上記の実施形態に係るエンコーダ装置EAを適用したステージ装置について説明する。図8(a)は、ステージ装置STGの一例を示す図である。図8(a)では、エンコーダ装置EAとして、例えば第1実施形態に係るエンコーダ装置100が用いられる場合を示しているが、これに限定するものではなく、他の実施形態や変形例に係るエンコーダ装置が用いられてもよい。
実施形態に係るロボット装置について説明する。図8(b)は、実施形態に係るロボット装置RBTの一例を示す斜視図である。なお、図8(b)は、ロボット装置RBTの一部(関節部分)の構成を模式的に示している。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図8(b)に示すように、ロボット装置RBTは、第1アームAR1と、第2アームAR2と、関節部JTとを有しており、第1アームAR1と第2アームAR2とが関節部JTを介して接続された構成となっている。
例えば、上記実施形態では、パターン14、24、314、324について、光透過型のパターンである場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、光反射型のパターンであってもよい。
Claims (16)
- 動力伝達部を介して連結された入力軸及び出力軸の一方である第1軸に取り付けられ、第1パターンを有する第1スケールと、
前記入力軸及び前記出力軸の他方である第2軸に取り付けられ、第2パターンを有し、第1光を透過する光透過部が形成された第2スケールと、
前記光透過部を透過し、前記第1パターンを介した前記第1光を検出する第1検出部と、
前記第2パターンを介した第2光を検出する第2検出部と
を備えるエンコーダ装置。 - 前記第1軸及び前記第2軸は、共通の回転軸の軸線周りに回転するように配置される
請求項1に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1パターンと前記光透過部とは、前記回転軸の軸線方向において、重なる位置に配置されている
請求項2に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1検出部は、前記第1パターン及び前記光透過部と、前記回転軸の軸線方向において、重なる位置に配置されている
請求項3に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1スケール及び前記第2スケールは、前記第1パターンと前記第2パターンとが前記回転軸の軸線方向に位置が異なるように配置される
請求項2から請求項4のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1スケール及び前記第2スケールは、前記第1パターンと前記第2パターンとが同一平面上に位置するように配置される
請求項2から請求項4のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記第2スケールは、前記第2パターンが形成された回転部材と、前記第2軸と前記回転部材とを連結する連結部材とを有し、
前記回転部材は、前記回転軸の軸線方向に貫通する貫通穴を有し、前記連結部材の周縁部に固定され、
前記第1スケールは、前記貫通穴と前記連結部材とで囲まれる部分に配置される
請求項6に記載のエンコーダ装置。 - 前記光透過部は、前記連結部材に設けられる
請求項7に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1パターンは、前記第1スケールの回転方向に沿って形成された同一パターンである内周側パターン及び外周側パターンを有し、
前記内周側パターン及び前記外周側パターンの両方に前記第1光を同時に照射可能な第1発光部を備え、
前記光透過部は、前記第1光が前記内周側パターン及び前記外周側パターンのうち少なくとも一方に照射されるように形成される
請求項1から請求項8のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記光透過部は、前記第2スケールに設けられ前記第1光を透過する開口部を含む
請求項9に記載のエンコーダ装置。 - 前記光透過部は、外周側開口部と内周側開口部とを含み、
前記外周側開口部と前記内周側開口部とは、前記回転軸を中心とした回転方向について位相がずれた状態で形成されている
請求項9又は請求項10に記載のエンコーダ装置。 - 前記内周側パターン及び前記外周側パターンは、それぞれインクリメンタルパターン及びアブソリュートパターンを含む
請求項9から請求項11のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記第1検出部は、前記第1光を受光する第1受光部を有し、
前記第2検出部は、前記第2光を受光する第2受光部を有し、
前記第1受光部及び前記第2受光部は、前記第1軸及び前記第2軸とは非接続で設けられた基板の同一面に配置される
請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 請求項1から請求項13のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記入力軸にトルクを供給する駆動部と、
前記出力軸から出力された情報を使って前記駆動部を制御する制御部と、を備える駆動装置。 - 移動物体と、
前記移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置として、請求項14記載の駆動装置が用いられるステージ装置。 - 移動物体と、
前記移動物体を移動させる駆動装置と、を備え、
前記駆動装置として、請求項14記載の駆動装置が用いられるロボット装置。
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