JP2016001289A - 光デバイスの作製方法 - Google Patents
光デバイスの作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016001289A JP2016001289A JP2014121865A JP2014121865A JP2016001289A JP 2016001289 A JP2016001289 A JP 2016001289A JP 2014121865 A JP2014121865 A JP 2014121865A JP 2014121865 A JP2014121865 A JP 2014121865A JP 2016001289 A JP2016001289 A JP 2016001289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- chip
- functional element
- optical waveguide
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】光導波路が形成されたチップまたはウエハ上に、チップ状の機能素子を配置して光デバイスを作製する方法であって、ガイド基板401上にチップ状の機能素子410を仮配置する工程と、機能素子410が仮配置されたガイド基板401上に、光導波路406が形成されたチップまたはウエハからなる光導波路基板420を、接着面を下にして対向して配置する工程と、光導波路基板420を機能素子410と接触させる工程と、光導波路基板420と機能素子410とを接合する工程とを備えた。
【選択図】図4
Description
本実施形態に係る方法は、最初に第1のステップとして、機能素子を配置する位置を表すマーカー402が形成されたガイド用基板401を準備する(図4(a)を参照)。ガイド用基板401は、機能素子410の材質や特性、必要な形状精度や位置精度、後の接着行程を考慮し、赤外線を透過するSiやSiO2、あるいは樹脂材料としてエポキシやアクリル、ポリイミドといった材質を選択する。このマーカー402としては、機能素子410を精度よく配置するために、ガイド用基板の表面上に形成した凹状の窪みが望ましい。その窪みは、機能素子をPLC表面に接着するのに必要な位置精度を備えるとともに、後の接着行程で接着剤が機能素子のみに接触するように、機能素子の厚さ以下の深さを有することが望ましい。ガイド用基板401の表面と窪みの段差が小さすぎるとマーカーとしての役割を果たせなくなるので、適切な深さが必要なことは言うまでもない。その他、接着する光導波路チップまたはウエハが、反り等により完全な平行平板でない場合には、その形状変形を考慮した段差が必要となる。マーカーは、配置された機能素子410のガイド用基板の表面に水平な方向へ移動を防止することができれば、凹状の窪みに限られず、ガイド用基板の表面上に形成した凸状の線または破線であっても良い。
101 基板
102 下部クラッド
103 コア
104 上部クラッド
105 ミラー
106 PD
200 基板
201 絶縁層
202 接着剤層
203 N層
204 I層
205 P層
206 PIN層
207−1,207−2 電極層
208 絶縁層
209−1,209−2 配線
301 光導波路
302 InP基板
303 エピタキシャル層
304 接着剤
305 PD
306 マイクロミラー
307 Al
401 ガイド用基板
402 マーカー
403 InP基板
404 エピタキシャル層
405 接着剤
406 光導波路
407 基板
410 機能素子
420 光導波路基板
Claims (5)
- 光導波路が形成されたチップまたはウエハ上にチップ状の機能素子を配置した光デバイスを作製するための光デバイス作製方法であって、
ガイド用基板上にチップ状の機能素子を仮配置する工程と、
前記ガイド用基板の前記機能素子が仮配置された面と、前記光導波路が形成されたチップまたはウエハの接着面とを対向させて、前記ガイド用基板と前記チップまたはウエハとを配置する工程と、
前記チップまたはウエハと前記機能素子とを接触させる工程と、
前記チップまたはウエハと前記機能素子とを接合する工程と、
を備えた、ことを特徴とする光デバイス作製方法。 - 前記機能素子は、光半導体エピタキシャル膜が形成された光半導体用加工基板であることを特徴とする、請求項1に記載の光デバイス作製方法。
- 前記光半導体エピタキシャル膜を加工する工程を備えたことを特徴とする、請求項2に記載の光デバイス作製方法。
- 前記接合する工程は、常温接合する工程または有機材料により接着する工程を含むことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の光デバイスの作製方法。
- 前記ガイド用基板上には、前記チップ状の機能素子が配置されるべき位置を表すマーカーが形成されていることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の光デバイスの作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014121865A JP6322059B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 光デバイスの作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014121865A JP6322059B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 光デバイスの作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016001289A true JP2016001289A (ja) | 2016-01-07 |
JP6322059B2 JP6322059B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=55076899
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014121865A Active JP6322059B2 (ja) | 2014-06-12 | 2014-06-12 | 光デバイスの作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6322059B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05304306A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電気・光モジュール及びその製造方法 |
US20030213950A1 (en) * | 2000-05-31 | 2003-11-20 | Applied Optoelectronics, Inc. | Alternative substrates for epitaxial growth |
JP2005150703A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-06-09 | Oki Data Corp | 半導体装置、及び、それを用いたledプリントヘッド、画像形成装置、半導体装置の製造方法 |
JP2010114105A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Canon Inc | 機能性領域の移設方法、ledアレイ、ledプリンタヘッド、及びledプリンタ |
JP2014035486A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 受光デバイス |
-
2014
- 2014-06-12 JP JP2014121865A patent/JP6322059B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05304306A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電気・光モジュール及びその製造方法 |
US20030213950A1 (en) * | 2000-05-31 | 2003-11-20 | Applied Optoelectronics, Inc. | Alternative substrates for epitaxial growth |
JP2005150703A (ja) * | 2003-10-22 | 2005-06-09 | Oki Data Corp | 半導体装置、及び、それを用いたledプリントヘッド、画像形成装置、半導体装置の製造方法 |
JP2010114105A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Canon Inc | 機能性領域の移設方法、ledアレイ、ledプリンタヘッド、及びledプリンタ |
JP2014035486A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 受光デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6322059B2 (ja) | 2018-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10436991B2 (en) | Optical interconnect modules based on glass substrate with polymer waveguide | |
US11899251B2 (en) | Vertical integrated photonics chiplet for in-package optical interconnect | |
KR100559645B1 (ko) | 광도파로 장치 및 광도파로 장치의 제조 방법 | |
US8041159B2 (en) | Optical/electrical hybrid substrate and method of manufacturing the same | |
US8442362B2 (en) | Method for manufacturing optical coupling element, optical transmission substrate, optical coupling component, coupling method, and optical interconnect system | |
CN110520772B (zh) | 用于光纤到光子芯片连接的装置和相关联方法 | |
WO2010108399A1 (zh) | 侧向耦合光纤构件及其加工方法 | |
US10564352B1 (en) | Photonic integrated circuit bonded with interposer | |
JP2012118424A (ja) | 光導波路及びその製造方法と光導波路装置 | |
US6819836B2 (en) | Photonic and electronic components on a shared substrate with through substrate communication | |
US20020076170A1 (en) | Photonic and electronic components on a shared substrate | |
JP5819874B2 (ja) | 光機能素子の作製方法 | |
JPH1152198A (ja) | 光接続構造 | |
US20030206679A1 (en) | Method of creating a photonic via using fiber optic | |
JP6322059B2 (ja) | 光デバイスの作製方法 | |
US20220365294A1 (en) | Structures and process flow for integrated photonic-electric ic package by using polymer waveguide | |
JP4517461B2 (ja) | 光配線モジュールの製造方法 | |
JP6832023B2 (ja) | 光ファイバのための光学モジュールおよびこれを製造する方法 | |
JP2005345928A (ja) | 光導波路デバイス及びその製造方法、光路変換部品、光路変換部品付きの光導波路構造体 | |
WO2022264329A1 (ja) | 光接続構造およびその製造方法 | |
US20050032384A1 (en) | Method of creating a photonic via using deposition | |
JP5667649B2 (ja) | 光デバイスの作製方法 | |
JP5750132B2 (ja) | 集積型光回路素子および集積型光回路素子の作製方法 | |
JP2014186261A (ja) | 集積型光回路素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160914 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6322059 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |