JP2015535387A - 薄膜電気化学デバイスのパターニングのための回折光学素子及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年10月25日出願の米国仮特許出願第61/718,6756号の利益を主張する。
Claims (15)
- 電気化学デバイスを製造する方法であって、
電極、対応する電流コレクタ、及び電解質層を含むデバイス層を基板上へ堆積することと、
少なくとも1つのデバイス層を直接パターニングすることとを含み、
レーザからのビームを回折光学素子に入射して生成したレーザ光パターンによって、直接パターニングがなされ、1回のレーザショットで少なくともダイ全体がレーザ光パターンで直接パターニングされる、方法。 - 少なくとも1つのデバイス層の直接パターニングは、少なくとも1つのデバイス層の一部のレーザアブレーションである、請求項1に記載の方法。
- 直接パターニングは、対応する電流コレクタの上方からの、1つの電極の一部の選択的アブレーションである、請求項1に記載の方法。
- 直接パターニングは、対応する電流コレクタの少なくとも1つの上方からの、電解質層の一部の選択的アブレーションである、請求項1に記載の方法。
- 直接パターニングは、基板上のスクライビングアレイであって、個々のダイを定義するスクライビングアレイの上方からの、全堆積デバイス層の一部のアブレーションである、請求項1に記載の方法。
- デバイス層上に保護被覆を堆積することをさらに含み、
直接パターニングは、電流コレクタの上方からの、保護被覆の一部の選択的アブレーションである、請求項1に記載の方法。 - デバイス層の間にパターニング補助層を堆積することをさらに含み、
ダイパターニング補助層は、少なくとも1つの直接隣接デバイス層とダイパターニング補助層との間で熱応力をミスマッチさせる材料層を含み、
直接パターニングは、パターニング補助層を加熱して、パターニング補助層の上でデバイス層のレーザ光被照射部分の層間剥離を引き起こす、請求項1に記載の方法。 - デバイス層の堆積の前に、基板上にダイパターニング補助層を堆積することをさらに含み、
ダイパターニング補助層は、基板及び直接隣接デバイス層のうち少なくとも1つとダイパターニング補助層との間で熱応力をミスマッチさせる材料層を含み、
直接パターニングは、ダイパターニング補助層を加熱して、パターニング補助層の上でデバイス層のレーザ光被照射部分に層間剥離を引き起こす、請求項1に記載の方法。 - 電気化学デバイスへのレーザ光パターンの放射フルエンスは、0.1〜1.0J/cm2の範囲内にある、請求項1、7又は8のいずれか一項に記載の方法。
- 基板はレーザ光に対して透明であり、レーザ光パターンは基板を通って一部に入射する、請求項5又は8に記載の方法。
- レーザ光パターンは、1回のレーザパルスで少なくともダイ全体を直接パターニングする、請求項1に記載の方法。
- 直接パターニングは、ビームを回折光学素子に第1のパターンで入射させて生成した第1のレーザ光パターンによる第1のデバイス層の直接パターニング、及びビームを回折光学素子に第2のパターンで入射させて生成した第2のレーザ光パターンによる第2のデバイス層の直接パターニングである、請求項1に記載の方法。
- レーザ光パターンは、1回のレーザショットで基板上のすべてのダイを直接パターニングする、請求項1に記載の方法。
- 電気化学デバイスを製造する方法であって、
電極、対応する電流コレクタ、及び電解質層を含むデバイス層を基板上へ堆積することと、
レーザビームを光学素子に入射して生成した成形ビームによって、少なくとも1つのデバイス層を直接パターニングすることとを含み、
成形ビームは、直接パターニング中に電気化学デバイスの作業面全体にわたってラスター方向に沿って動かされ、成形ビームはラスター方向に平行な方向に沿ってシルクハット型エネルギー分布を有する、方法。 - 電気化学デバイスを製造するためのツールであって、
電極、対応する電流コレクタ、及び電解質層を含むデバイス層を基板上へ堆積するための第1のシステムと、
レーザ、基板ステージ、及び回折光学素子を含む第2のシステムとを含み、
第2のシステムは、レーザからのビームを回折光学素子に入射して生成したレーザ光パターンによって、少なくとも1つのデバイス層を直接パターニングするように構成されており、レーザ光パターンは1回のレーザショットで少なくともダイ全体を直接パターニングする、ツール。
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