JP2015534262A - 3端子pinダイオード - Google Patents
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Abstract
Description
本特許出願は、2012年8月28日に出願された、その譲受人に譲渡された「THREE TERMINAL PIN」という題名の仮出願第61/694,205号に対して優先権を主張する。それによって、上記文献は、本明細書において参照することによって明示的に援用される。
本発明は、概して、電子デバイスに関する。特に、限定ではないが、本発明は、3端子PINダイオードのためのシステム、方法、および装置に関する。
いくつかのインピーダンス整合デバイス、特に、電源をプラズマ処理チャンバにインピーダンス整合させるために使用されるものは、可変静電容量の複数のキャパシタを含み、キャパシタの異なる組み合わせは、整合を調整するために、整合するように、かつ整合から外れるように切り替えられる。キャパシタは、バイポーラ接合トランジスタ(BJT)および絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)等のスイッチを介して、整合するように、かつ整合から外れるように切り替えられることができる。
本開示は、3端子PINダイオードのためのシステム、方法、および装置について説明する。代替として、これは、コレクタとベースとの間に真性領域を伴うBJT、またはベースに隣接するコレクタ内に真性領域を伴うBJTとして説明されることができる。いずれの場合も、デバイスは、コレクタとベース端子との間の交流電流(AC)または無線周波数(RF)電流のためのスイッチとして作用する。スイッチは、直流電流(DC)バイアスをベース端子とエミッタ端子との間に印加することを介して、制御され、バイアスの極性は、スイッチのドーピング構成に依存する。いくつかの代替では、ドープ層は、ベースと真性領域との間または真性領域とコレクタとの間に配列されることができる。なおもさらなる代替では、ドープ層は、真性領域の両側に配列されることができる。
典型的には、スイッチとして動作されるBJTは、コレクタとエミッタとの間のDC電流の流動を制御し、ベース−エミッタバイアスは、コレクタとエミッタとの間のDC電流の流動を制御する。本公知の動作モードでは、ベース電流は、制御電流として使用され、スイッチのオン状態においてコレクタとエミッタとの間で伝導される電流の一部である。本通常構成では、スイッチは、オフ状態としてのカットオフ(開回路として現れる)およびオン状態として飽和(短絡回路として現れる)を使用する。本開示は、スイッチとしてBJTを動作させる新しい方法を説明し、小量のベース−エミッタ電流が、より大量のコレクタ−ベース電流を制御するために使用される。さらに、本特許は、ACまたはRF電流のためのより優れたスイッチを得るために、BJTのコレクタとベースとの間に真性領域を組み込む、新しい3端子PINデバイスについても説明する。ベースとエミッタとの間に印加される小量のDCが、コレクタとベースとの間の大量のAC電流を制御することができることが、実験から分かっている。本モードでは、オン状態損失は、著しく少なく、本モードにおけるデバイスの動作は、AC電流が、コレクタおよびベース領域内の注入キャリアを前後に掃引し、DCエミッタ電流が、コレクタおよびベース領域をキャリアが供給された状態に保つ、PINダイオードのものと同様であると考えられる。DCエミッタ電流が、中断され、コレクタ−ベース接合が、逆方向にバイアスされる場合、コレクタとベースとの間の電流は、中断され得る。逆方向バイアスは、ベース−コレクタ接合における空乏領域を広げ、本領域は、低静電容量キャパシタのように作用し、したがって、低オフ状態損失を可能にする。したがって、本明細書に開示される切替モードで動作されるBJTは、オン状態では、PINダイオードの低損失および高通電容量を、オフ状態では、PINダイオードの低漏れ電流および高電圧容量を達成する。しかしながら、3端子デバイスを介してそれを行い、したがって、PINダイオードがDC制御信号をRF信号からアイソレートするために要求する、複雑なアイソレーション回路を回避する。本開示は、BJTのコレクタとベースとの間に真性領域を組み込むことによって、デバイスを3端子PINにするための基本的BJT構造の拡張に関する。真性領域の含有はさらに、デバイスがACまたはRF電流のためのスイッチとして使用されると、オフ状態損失を減少させ、性能を改善するであろうことが予想される。
Claims (23)
- スイッチであって、前記スイッチは、
コレクタ端子を有するコレクタと、
エミッタ端子を有するエミッタと、
ベース−エミッタ接合において前記エミッタに連結されたベースであって、前記ベースは、ベース端子を有する、ベースと、
前記ベースと前記コレクタとの間に配列された真性領域と
を備える、スイッチ。 - オン状態をさらに備え、前記ベース−エミッタ接合は、順方向にバイアスされ、前記ベース端子を通る第1の電流のAC成分は、前記エミッタ端子を通る第2の電流のAC成分を上回る、請求項1に記載のスイッチ。
- オフ状態をさらに備え、前記ベース−エミッタ接合は、逆方向にバイアスされ、逆方向バイアスは、少なくとも、前記ベース、前記真性領域、および前記コレクタを備える、PIN接合に印加される、請求項2に記載のスイッチ。
- 前記PIN接合は、前記真性領域と前記コレクタとの間に1つ以上のドープ領域を含む、請求項3に記載のスイッチ。
- 前記PIN接合は、前記真性領域と前記ベースとの間に1つ以上のドープ領域を含む、請求項3に記載のスイッチ。
- 前記PIN接合は、前記真性領域と前記コレクタとの間および前記真性領域と前記ベースとの間に1つ以上のドープ領域を含む、請求項3に記載のスイッチ。
- 前記コレクタは、n−型半導体であり、前記ベースは、p−型半導体であり、前記エミッタは、n−型半導体である、請求項1に記載のスイッチ。
- 前記真性領域は、ドープされていない、請求項7に記載のスイッチ。
- 前記真性領域は、低濃度でドープされている、請求項7に記載のスイッチ。
- 前記コレクタ、ベース、およびエミッタのうちの任意の1つ以上は、低濃度でドープされている、請求項7に記載のスイッチ。
- 前記コレクタ、ベース、およびエミッタのうちの任意の1つ以上は、高濃度でドープされている、請求項7に記載のスイッチ。
- 前記コレクタは、p−型半導体であり、前記ベースは、n−型半導体であり、および前記エミッタは、p−型半導体である、請求項1に記載のスイッチ。
- 前記真性領域の絶縁破壊電圧は、1000V以上である、請求項1に記載のスイッチ。
- オン状態では、ベース電流は、前記ベース端子を通って通過し、前記ベース電流のAC成分の大きさは、前記ベース電流の直流電流成分の大きさを上回る、請求項1に記載のスイッチ。
- スイッチを動作させる方法であって、前記方法は、
前記スイッチを提供することであって、前記スイッチは、ベース、エミッタ、およびコレクタを含み、前記コレクタと前記ベースとの間に真性領域を有し、前記ベースは、ベース端子を有し、前記エミッタは、エミッタ端子を有し、前記コレクタは、コレクタ端子を有する、ことと、
前記コレクタ端子と前記ベース端子との間に第1の電流を伝導させることであって、前記第1の電流は、第1の振幅を伴う交流電流成分を有する、ことと、
前記コレクタ端子と前記エミッタ端子との間に第2の電流を伝導させることであって、前記第2の電流は、第2の振幅を伴う交流電流成分を有する、ことと、
前記ベース端子と前記エミッタ端子との間に第3の電流を伝導させることと、
前記第3の電流を介して、前記第1の電流を制御することと
を含む、方法。 - 前記第1の振幅は、前記第2の振幅を上回る、請求項15に記載の方法。
- ベース−エミッタ接合に順方向にバイアスをかけ、前記スイッチをオンにすることをさらに含み、前記ベース−エミッタ接合は、前記ベースと前記エミッタとの間に存在する、請求項15に記載の方法。
- 前記ベース−エミッタ接合に逆方向にバイアスをかけることによって、前記スイッチをオフに切り替えることと、前記コレクタ端子が前記ベース端子より高い電位にあるように、前記コレクタと前記ベースとの間にバイアスを印加することとをさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記真性領域と前記コレクタとの間に1つ以上のドープ領域を提供することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記真性領域と前記ベースとの間に1つ以上のドープ領域を提供することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記真性領域にわたって、500V以上の逆方向バイアスを印加することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- スイッチであって、前記スイッチは、
コレクタ端子を有するコレクタと、
エミッタ端子を有するエミッタと、
ベース端子を有するベースであって、前記ベースは、ベース−エミッタ接合を介して、前記エミッタに連結されている、ベースと、
前記ベースと前記コレクタとの間に配列された真性領域と
を備え、
前記ベース端子を通って通過する交流電流の振幅は、前記エミッタ端子を通って通過する交流電流の振幅を上回る、スイッチ。 - プロセッサ可読命令でエンコードされ、前記スイッチを動作させるための方法を行う、非一過性コンピュータ可読記憶媒体を有する、コントローラをさらに備え、前記方法は、直流電流を前記ベースから前記エミッタに印加することを含み、前記直流電流の振幅は、前記ベース端子を通って通過する前記交流電流の振幅を制御する、請求項22に記載のスイッチ。
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