JP2015532912A - 窒化物ナノ結晶の合成方法 - Google Patents

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Abstract

窒化物ナノ粒子を製造する方法は、少なくとも一つの有機金属化合物、例えば、アルキル金属と少なくとも一つの窒素源とを反応させることを含む。前記反応は、一つまたはそれ以上の液相有機金属化合物を含んでいてもよく、または溶媒もしくは溶媒混合物に溶解した一つまたはそれ以上の液相有機金属化合物を含んでいてもよい。前記反応成分は、望まれる反応温度(例えば、40℃〜300℃の範囲)まで加熱され得る。

Description

本発明は、窒化物ナノ結晶の合成に関する。特に本発明は、液相または溶液中に存在する一つまたはそれ以上の有機金属化合物を用いた合成方法に関する。
寸法がバルク励起子の直径に匹敵する半導体ナノ結晶は、量子閉じ込め効果を示す。これは、結晶のサイズが増大するにつれて赤色線および/または赤外線に対して移動する光学的な発光スペクトルにおいて最も明確にみられる。
多くのII−VI族およびIII−V族半導体を含む、広範な物質から製造された半導体ナノ結晶が研究されている。球形ナノ結晶に加えて、ロッド状、矢状、ティアドロップ状およびテトラポッド状に形作られたナノ結晶(特許文献1および非特許文献1)、ならびにコア/シェル構造(非特許文献2および3)がまた製造されている。そのようなナノ結晶のサイズや形を制御するために、それらの合成は、一般に、一つまたはそれ以上のキャッピング剤(時折、界面活性剤または配位性溶媒と呼ばれる)の存在下で行われる。そのようなキャッピング剤は、ナノ結晶の成長を制御し、また表面状態の不活性化を介して、発光の強度を増大させる。ホスフィン(非特許文献4)、ホスフィンオキシド(非特許文献5)、アミン(非特許文献5)、脂肪酸(非特許文献5および6)、チオール(非特許文献3)および金属脂肪酸複合体のようなよりエキゾチックなキャッピング剤(非特許文献7)を含む広範なキャッピング剤が使用されている。
半導体ナノ結晶を製造する方法は、溶媒熱反応法(非特許文献8)、ホット注入法(非特許文献6)、単純加熱法(非特許文献9)、連続フロー反応法(特許文献2)およびマイクロ波補助合成法(非特許文献10)を含む。
窒化物ナノ結晶は、以前、シャープ社により製造されている(特許文献3、4および5)。しかしながら、合成は、長いリガンドを含んでおり、150℃を超える温度を必要としていた。
特許文献6は、II族とI−III−VI族との合金物質のコアを有するナノ結晶について、キレートリガンド溶液中の有機金属前駆体の熱分解(すなわち、熱による分解)による、窒化物ナノ結晶シェルの成長を提案している。
特許文献7は、前駆体としてトリエチルインジウムおよび窒素を用いたインジウム窒化物ナノ粒子の気相成長を提案している。
特許文献8は、反応混合物からのナノ粒子の成長を促すために分子クラスター化合物が使用される、ナノ構造成長法を提案している。
特許文献9は、亜鉛硫化物シェルの形成における金属前駆体として酢酸亜鉛を用いた、ナノ結晶コアの周囲の金属硫化物シェルの成長を提案している。
特許文献10および11は、ZnS、ZnSe、CdSなどのナノ結晶の合成法を提案している。両文献共に、有機金属化合物に関連して記載された取り扱いの困難性の観点で他の物質を調べているが、有機金属前駆体の使用について言及している。
WO03054953 US2006087048 GB2467161 GB2482311 GB2467162 WO2008/094292 JP2004/307679 US2008/160306 WO2010/118279 GB2429838 GB2472541
Alivisatos et. al., J. Am. Chem. Soc, 2000, 122, 12700 Bawendi, J. Phys. Chem. B, 1997, 1010, 9463 Li and Reiss, J. Am. Chem. Soc., 2008, 130, 11588 Bawendi et. al., J. Am. Chem. Soc., 1993, 115, 8706 Peng et. al., J. Am. Chem. Soc., 2002, 124, 2049 Battaglia and Peng, Nano Lett., 2002, 2, 1027 Nann et. al., J. Mater. Chem., 2008, 18, 2653 Gillan et. al., J. Mater. Chem., 2006, 38, 3774 Van Patten et. al., Chem. Mater., 2006, 18, 3915 Strouse et. al., J. Am. Chem. Soc., 2005, 127, 15791
窒化物ナノ粒子は、キャッピング剤、リガンド物質、シード粒子および触媒を用いることなしに製造することができれば、有利であり得る。
窒化物ナノ粒子は、低温で製造することができれば、有利であり得る。
本発明の一つの局面によると、少なくとも一つの窒素源と少なくとも一つの有機金属化合物とを反応させることを含む、窒化物ナノ粒子の製造方法であって、前記有機金属化合物が液相または溶液中に存在する、方法が提供される。
本発明の他の局面によると、本発明の方法により得られる、窒化物ナノ粒子が提供される。
本発明は、先行技術を超えた下記の利点を提供する。
コスト:キャッピング剤、リガンド物質、シード粒子および触媒の必要性を取り除いたことにより、反応全体のコストは、先行技術文献に記載された他の反応よりも有意に低くなる。
純度:キャッピング剤、リガンド物質、シード粒子および触媒の必要性を取り除いたことにより、反応に関与する成分の数は、ナノ結晶生成物で必要とされる成分と水素および炭素のみを含むまでに減少し得る。
温度:アルキル金属のような有機金属化合物の反応性は、本発明の方法における金属前駆体としてのそれらの使用により、本発明における反応温度が先行技術で詳述されている他の反応よりも有意に低い40℃程度にまで低くすることが可能となることを意味している。
柔軟性:一般に、ナノ結晶が合成されるとき、反応が生じた結果として、長いリガンドを獲得する。機能的な理由のために、ナノ結晶上に、特定のリガンドを有することがしばしば望まれる。リガンド交換の工程(望まれないリガンドを望まれるリガンドで置換する工程)は、複雑であり得る。本発明において、ナノ結晶は、リガンドなしで(あるいは、リガンドとして水素原子および/またはエチル基のみを用いて)合成され得て、それにより、後の時間で最適なリガンドを加えることを極めて容易にする。
亜鉛前駆体および窒素前駆体としてそれぞれジエチル亜鉛およびアンモニアを用いた、窒化亜鉛ナノ結晶成長についてのX線回折(XRD)パターンである。 亜鉛前駆体および窒素前駆体としてそれぞれジエチル亜鉛およびナトリウムアミドを用いた、窒化亜鉛ナノ結晶成長についてのXRDパターンである。特定の結晶面からの回折に関連するピークを、それに応じて標識している。 異なる時間での実施例2の単一反応から得られた種々のアリコートからの発光スペクトルである。 異なる時間での実施例2の単一反応から得られた種々のアリコートからの吸収スペクトルである。 アルミニウム前駆体および窒素前駆体としてそれぞれトリエチルアルミニウムおよびアンモニアを用いた、窒化アルミニウム(AIN)ナノ結晶成長についてのXRDパターンである。AINの立方(スクエア)相および六方(サークル)相の特定の結晶面からの回折に関連するピークを、それに応じて標識している。 異なる時間での実施例10の単一反応から得られたアリコートからの発光スペクトルである。 増量したジエチル亜鉛の添加後に実施例13から得られた種々のアリコートからの発光スペクトルである。 実施例14から得られた異なるサイズのナノ結晶を含む窒化亜鉛ナノ結晶溶液の吸収スペクトル(細線)および発光スペクトル(太線)である。発光最大値は、3mmol(実線)、9mmol(破線)および24mmol(点線)のジエチル亜鉛の添加後に得られたサンプルについて、それぞれ585nm、752nm、および1073nmである。 実施例14からの異なるサイズのナノ結晶を含む窒化亜鉛ナノ結晶のサンプルから得られたX線回折パターンである。シェラーブローデニング(Scherrer broadening)は、これらのトレースで明らかであり、混合物に加えられるジエチル亜鉛の量が3mmol(実線)から9mmol(破線)を介して24mmol(点線)まで増加するにつれて、サイズの増加が生じることを示している。 実施例15に記載の方法に基づいて製造された窒化銅(CuN)ナノ結晶のサンプルから得られたX線回折パターンである。CuNに対応するピークは、4つのとがった星印で示しており、一方、銅不純物に由来するピークは、黒丸で示している。 3mmolジエチル亜鉛の添加後に実施例14から得られた窒化亜鉛ナノ結晶のTEMである。 9mmolジエチル亜鉛の添加後に実施例14から得られた窒化亜鉛ナノ結晶のTEMである。 24mmolジエチル亜鉛の添加後に実施例14から得られた窒化亜鉛ナノ結晶のTEMである。 実施例16からの発光波長におけるアンモニアガスの流速の効果を示すグラフである。 実施例17からの発光波長におけるそれぞれ連続の添加で使用されるジエチル亜鉛の量の効果を示すグラフである。
本発明の第一の局面は、少なくとも一つの窒素源と少なくとも一つの有機金属化合物とを反応させることを含む、窒化物ナノ粒子の製造方法であって、前記有機金属化合物が液相または溶液中に存在する、方法を提供する。
前記方法は、前記少なくとも一つの有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも一つの溶媒中で反応させることを含んでいてもよい。
前記方法は、前記少なくとも一つの有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも二つの溶媒を含む溶媒混合物中で反応させることを含んでいてもよい。
前記溶媒混合物中の少なくとも一つの溶媒は、窒化物ナノ粒子のためのリガンドを提供してもよい(誤解を回避するために、単一の溶媒のみが使用される態様において、前記溶媒は、窒化物ナノ粒子のためのリガンドを提供してもよい)。これは、生じる窒化物ナノ結晶にリガンド物質を提供する簡便な方法である(生じる窒化物ナノ結晶に一つまたはそれ以上のリガンド種を組み込むことが望まれる場合において、例えば、リガンドは、トルエンやヘキサンのような非極性溶媒中に生じるナノ結晶の可溶性を改善し得たり、および/またはナノ結晶の光ルミネセンス量子収量(PLQY)を改善することを提供し得たりする)。ナノ粒子中に一つ以上のリガンド型を組み込むことが望まれる場合には、各々が窒化物ナノ粒子のためのリガンドを提供する2種(またはそれ以上の)溶媒を含む溶媒混合物を用いることが可能であり得る。
前記少なくとも一つの溶媒が非プロトン性溶媒を含んでいてもよい。
前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアを含んでいるか、またはアンモニアのみで構成されていてもよい。
あるいは、前記少なくとも一つの窒素源は、金属アミドを含んでいてもよいし、または金属アミドのみからなっていてもよい。一つまたはそれ以上の有機金属化合物を窒化物ナノ粒子のための金属前駆体として用いた窒化物ナノ粒子の成長における窒素源としての金属アミドの使用により、ナノ粒子の成長が40℃程の低温で生じることが可能になることが見出された。金属アミドおよび有機金属化合物の両方が強塩基であり、それ自体が互いに反応することは予期されないので、これは驚くべきことである。さらに、本反応における副産物の一つは、高い反応性を有する有機金属であり(ジエチル亜鉛(EtZn)およびナトリウムアミドからのZnの合成の場合、例えば、副産物は、NaEtであり得る)、そのような副産物の高い反応性がさらに前記反応が生じることが驚くべきことであることの理由である。
前記方法は、前記少なくとも有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも一つの溶媒中で処理して反応混合物を形成することを含んでいてもよい。
前記方法は、第一の時間に、第一の量の有機金属化合物または各有機金属化合物を前記少なくとも一つの溶媒中で処理し、前記第一の時間より後の第二の時間で、第二の量の有機金属化合物または各有機金属化合物を前記少なくとも一つの溶媒中で処理することを含んでいてもよい。第一の量の有機金属化合物または各有機金属化合物が加えられた後、反応は、完成に達することができる(典型的には、存在する反応構成物の量に依存して、数分後に生じる)。望まれるサイズのナノ粒子得られた場合には、この時点で反応を停止することができるし、またはより大きなナノ結晶が必要とされる場合には、ナノ粒子の成長を再開させるために、第二の量の有機金属化合物または各有機金属化合物を加えてもよい。反応を再開させるために、一定量の有機金属化合物または各有機金属化合物を添加するこの工程は、望まれるサイズのナノ粒子が得られるまで、必要なだけ何回も繰り返すことができる。これは、得られるナノ粒子のサイズに関する制御をもたらし、さらに、反応混合物中に存在し、また生じるナノ粒子中に不純物として組み込まれる、過剰な有機金属化合物の量を除去または減少させることにより、より純粋なナノ粒子をもたらし得る。
あるいは、前記方法は、前記少なくとも一つの有機金属化合物を少なくとも一つの溶媒中で処理して反応混合物を形成し、前記少なくとも一つの窒素源を、前記反応混合物中を通過させることを含んでいてもよい。
前記方法は、前記反応混合物を40℃以上の温度まで加熱することを含んでいてもよい。
前記方法は、前記反応混合物を300℃未満の温度まで加熱することを含んでいてもよい。これにより、本発明の方法においては高温高圧が必要とされないため、前記反応は、相対的に単純な装置を用いて行うことができる。
金属アミドが窒素源として用いられる場合、前記方法は、前記反応混合物を200℃未満の温度まで加熱することを含んでいてもよい。200℃未満(ただし、40℃以上)の反応温度は、十分な反応速度および生成されるナノ粒子の十分な質を提供することが見出されている。特に、約100〜120℃の反応温度、例えば、110℃は、特に良い結果を生じることが見出されている。200℃以上の反応温度は使用され得るが、反応速度が、200℃を有意に超える反応温度で極めて早くなり、これは、生成されるナノ粒子の大きさについて減少した制御を生じ得て、結果として、生成されるナノ粒子の特性について減少した制御を生じ得る。
アンモニアが窒素源として用いられる場合、前記方法は、前記反応混合物を200℃以上の温度、例えば、200℃〜300℃の範囲の温度まで加熱することを含んでいてもよい。アンモニアが窒素源として用いられる場合、200℃以上の反応温度は、十分な反応速度および生成されるナノ粒子の十分な質を提供することが見出されている。有機金属前駆体とアンモニアとの反応(例えば、気相で)は、600℃を超える反応温度について知られており、そのメカニズムは、アンモニアの分解を含む。しかしながら、本願では、窒素源としてアンモニアを用いた窒化物ナノ粒子の成長が、極めて低い反応温度、例えば、200℃またはそれよりも低い反応温度でさえ、生じ得ることが示されている(これらの温度で成長工程を行うことは、600℃で成長を行うよりも極めて単純である)。アンモニアの分解は、これらの低い反応温度では起こらず、有機金属化合物は、反応において塩基として作用し、アンモニアからプロトンを取り除き、単純なアルカンを形成するように見える。
前記少なくとも一つの溶媒は、アミンを含んでいてもよい。これは、生じるナノ粒子へのアミンリガンドの組み込みを生じ、非極性溶媒中の窒化物ナノ結晶の溶解度を改善し、ナノ結晶の量子効率を改善するのにアミンリガンドがとりわけ良いことを示している。
前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなる場合、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量は、前記反応混合物の量の1%以上であってもよい(25℃および100kPaの室温および圧力下(また、標準環境温度と圧力(SATP)として知られている)で測定されたとおりであり、本願におけるアンモニア量についてのすべての値は、SATPで測定されている)。前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量が、前記反応混合物の数%の量、例えば、前記反応混合物の約10−20%、または約15%の量であることが好ましくあり得て、これが、高いPLQYを有するナノ粒子を産生することが見出されている。しかしながら、極めて遅いアンモニアの流速が、高いPLQY値を有するナノ粒子を得るのに十分なアンモニアを提供する可能性は低く、したがって、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量が、前記反応混合物の量の約1%以上である場合が好ましく、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量が、前記反応混合物の量の約5%以上である場合が有益であり得る。さらに、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量は、これよりも早いアンモニアの流速が極めて遅い反応を引き起こし得るので、前記反応混合物の量よりも少ないことが好ましい。
前記少なくとも一つの有機金属化合物は、少なくとも一つのアルキル金属化合物を含んでいてもよい。二つまたはそれ以上の有機金属化合物が使用される場合、各有機金属化合物がアルキル金属であってもよい。
前記少なくとも一つのアルキル金属化合物は、ジエチル亜鉛、トリエチルアルミニウムまたはトリメチルインジウムの一つまたはそれ以上を含んでいてもよい。
前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなる場合、有機金属化合物または各有機金属化合物の第一の添加および第一の添加に続く任意の添加のモル量が、1分間あたりに反応混合物を通過するアンモニアのモル量の少なくとも2%であってもよい。さらにまたはあるいは、有機金属化合物または各有機金属化合物の第一の添加および第一の添加に続く任意の添加のモル量が、1分間あたりに反応混合物を通過するアンモニアのモル量の2倍以下であってもよい。各々の添加時に加えられる有機金属化合物のモル量が1mmolである場合、例えば、これは、反応混合物を通過するアンモニアの流速0.6mL/分〜60mL/分(SATPで測定)に対応し、この範囲の流速は、良い結果を提供することが見出されている。より特には、各々の添加時に加えられる有機金属化合物のモル量が1mmolである場合、2.5mL/分以上10mL/分未満のアンモニアの流速(すなわち、有機金属化合物のモル量の約8.3%以上有機金属化合物のモル量の約33%未満のアンモニアのモル流速に対応)が、特に良い結果を提供することが見出されている。
本発明の第二の局面は、前記第一の局面の方法により得られる窒化物ナノ粒子を提供する。
前記窒化物ナノ粒子は、一つまたはそれ以上のIA族の元素の窒化物を含むナノ粒子であってもよいし、または一つまたはそれ以上のIIIA族の元素の窒化物を含むナノ粒子であってもよい。
前記窒化物ナノ粒子は、発光窒化物ナノ粒子であってもよい。
前記窒化物ナノ粒子は、窒化亜鉛ナノ粒子であってもよい。
前記窒化物ナノ粒子は、500〜1100nmの波長で、最大の光ルミネセンス発光強度を有する発光窒化亜鉛ナノ粒子であってもよい。
本発明は、一つまたはそれ以上の有機金属化合物および窒素前駆体から窒化物ナノ結晶を製造する方法を開示する。本発明の技術を用いて、高品質のナノ結晶が合成されている(図1)。
知られているとおり、有機金属化合物は、金属原子と炭素原子との間に少なくとも結合を含む化合物である。有機金属化合物の一例は、アルキル金属化合物またはまさに(just)アルキル金属(別名、金属アルキルとして知られている)であり、アルキル基と一つまたは複数の金属原子を含む化合物である。アルキル基は、単結合の炭素原子および水素原子を含む基であり、アルキル基のいくつかの通常の例は、メチル基およびエチル基を含む。
本発明の態様は、特にアルキル金属を参照して、以下に記載しているが、本発明は、アルキル金属に限定されるものではなく、他の有機金属化合物が本発明の方法において用いられてもよい。用いられ得る有機金属化合物の他の例としては、例えば、ジフェニル亜鉛のような金属フェニルである。
本発明の方法は、一つまたはそれ以上の液相有機金属化合物を用いてもよい。液相有機金属化合物は、反応温度で液相に存在する有機金属化合物を意味する。あるいは、本発明の方法は、溶液中に存在する、すなわち、一つまたはそれ以上の溶媒に溶解した有機金属化合物を用いてもよい。
本願の目的のために、窒化物ナノ結晶は、少なくとも一つの方向において100nm以下の寸法を有し、三つすべての直交方向においておそらく100nm以下の寸法を有し、アニオンとして窒素を含む粒子である。これらの粒子は、有機リガンドと共に無機コアから形成されていてもよい。
好ましい例において、液相アルキル金属、窒素前駆体および溶媒は、一緒に加熱される。ナノ結晶反応が冷却されたいくらかの時間の後に、溶液中のナノ結晶が回収される。次いで、それらは、使用のために、残りの前駆体および副産物から分離され得る。
上記のおよび関連する目的を達成するために、本発明は、続いて以下で十分に記載され、特に特許請求の範囲で示されている特徴を含む。下記の記載および添付の図面は、本発明の特定の例示的な態様を詳細に説明する。しかしながら、これらの態様は、本発明の原理が使用され得るさまざまな方法のうちの少数のみを示している。本発明の他の目的、利点および新規な特徴は、図面と組み合わせて考慮されたとき、下記の本発明の詳細な説明から明らかになるであろう。
本発明は、液相アルキル金属および窒素前駆体から窒化物ナノ結晶を製造する方法を開示する。本発明の技術を用いて、高品質のナノ結晶が合成されている(図1)。
窒化物ナノ結晶は、任意の方向に100nm以下の寸法を有し、アニオンとして窒素を含む粒子である。これらの粒子は、無機コアからなっていてもよく、または有機リガンドと共に無機コアからなっていてもよい(本発明の一つの利点は、リガンドがあってもなくても、ナノ結晶を得るために使用され得ることである)。物質の最終的な適用に依存して、ナノ結晶がリガンドを有していることが時折有利である。
好ましい態様において、アルキル金属、窒素前駆体、および溶媒は、一緒に加熱される。ナノ結晶反応が冷却されたいくらかの時間の後に、溶液中のナノ結晶が回収される。次いで、それらは、使用のために、残りの前駆体および副産物から分離され得る。
あらゆる適当な液相アルキル金属が使用され得る;特に、IA族(Li、Naなど)、IB族(Cu、Agなど)、IIA族(Be、Mgなど)、IIB族(Zn、Cdなど)およびIIIA族(B、Al、Ga、Inなど)からの金属が使用され得る。より特には、本発明により得られるナノ粒子は、ZnN、InN、AlN、GaN、およびLiNのような物質からなっていてもよい。
本発明は、発光窒化物ナノ粒子を加工するために使用され得る。本発明は、例えば、5%以上の光ルミネセンス量子収量(PLQY)を有する発光窒化物ナノ粒子を加工するために使用され得る。あるいは、QYは、10%以上である。あるいは、QYは、15%以上である。あるいは、QYは、20%以上である。
反応温度は、40℃〜300℃であってもよく、所望により、70℃〜250℃であってもよい。70℃〜250℃の範囲の反応温度が十分な純度および十分な光ルミネセンス量子効率を有するナノ粒子を生じることが見出された。
しかしながら、本発明は、70℃〜250℃の範囲の反応温度に限定されず、または40℃〜300℃の範囲の反応温度においてさえ限定されない。
一つの場合において、有機金属化合物(例えば、アルキル金属)、窒素前駆体、および溶媒は、一緒に加熱される。ナノ結晶反応が冷却されたいくらかの時間の後に、溶液中のナノ結晶が回収される。次いで、それらは、使用のために、残りの前駆体および副産物から分離され得る。
一つの態様において、溶媒は、任意の適当な非プロトン性溶媒であってもよい(知られているとおり、非プロトン性溶媒は、O−HまたはN−H結合を含まない溶媒である)。一つの場合において、溶媒は、2種またはそれ以上の溶媒を組み合わせた混合溶媒であってもよい。この場合において、混合溶媒の成分の一つは、リガンドとして作用し得る。
一つの態様において、溶媒または混合溶媒は、一つまたはそれ以上のトルエン、ヘキサン、1−オクタデセン(ODE)、ピリジン、テトラヒドロフラン(THF)、1−ヘキサデカンチオール(HDT)、ジエチルエーテル、シクロヘキサン、ベンゼン、トリオクチルホスフィンオキシド(TOPO)、トリオクチルホスフィン(TOP)、ジオクチルアミンまたはオレイルアミンのようなアミン、1−ヘキサデカノールを含み得る。
一つの態様において、窒素含有前駆体は、アンモニアまたは金属アミドであり得る。より特には、金属アミドは、ナトリウムアミド、リチウムアミド、または亜鉛アミドであり得る。
本特許出願を支持する、試験に成功した17個の実施例を以下に示す。
〔実施例1〕窒化亜鉛ナノ結晶を製造するためのジエチル亜鉛(DEZ)およびナトリウムアミド
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、ナトリウムアミド(2mmole)、および溶媒としてのトルエン(10mL)を撹拌して、70℃に加熱した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。775nmの望まれる色に達した時点で、溶液を急速に冷却し、反応を止めた。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。その後、残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。
〔実施例2〕高温でのトルエン
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、ナトリウムアミド(2mmole)、および溶媒としてのトルエン(10mL)を撹拌して、110℃に加熱した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク発光の波長の増加を示した(図3)(図3のトレースは、図の右側に後のトレースで配置されている)。各アリコートの吸収をまた測定し、反応が進むにつれて、吸収端がより高い波長に移動することが見出された(図4:図4の実線で示されたトレースは、図3の実線などで示されたトレースに対応する)。望まれる色に達した時点で、一定量の(a quantity of)溶媒を加えて、溶液を急速に冷却することにより、反応を止めた。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。Bruker D2 Phaser XRDを用いて、窒化亜鉛ナノ結晶の存在を確認した(図2)。
本実施例で製造され精製されたナノ結晶への適当なリガンドの添加は、光ルミネセンス量子収量を有意に増加させ得る。ヘキサン(30mL)を用いたナノ結晶溶液の処理によりリガンドが添加され得て、ナノ結晶の沈殿を生じる。生じたナノ結晶を、適当なリガンドを含み得る最適な溶媒で再溶解し得る。第一級もしくは第二級アミン(例えば、オレイルアミン、ジオクチルアミン)、アルキルチオール(例えば、1−ヘキサデカンチオール)またはアルコキシド(例えば、1−ヘキサデカノール)をリガンドとして用いたとき、ナノ結晶溶液の光ルミネセンス量子収量は、約40%である。
〔実施例3〕DEZおよびNHを用いたZnNナノ結晶合成
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、および溶媒としての1−オクタデセン(10mL)を撹拌して、250℃に加熱した。250℃までに加熱されたとき、窒素源としてNHガスを溶液を通して泡立てた。望まれる色に達した時点で(すなわち、ピーク光ルミネセンス発光波長は、反応の間に渡って増加しているので、望まれるピーク発光波長に達した時点で)、一定量の溶媒を加えて、溶液を急速に冷却することにより、反応を止める。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。ナノ結晶溶液を乾燥させた後、Bruker D2 Phaser XRDを用いて生じた固体のX線回折パターンを測定することにより、ZnNナノ結晶の形成を確認した(図1)。
〔実施例4〕窒化アルミニウムナノ結晶を製造するためのトリエチルアルミニウムおよびNaNH
50mLフラスコで、トリエチルアルミニウム(3mmole)、ナトリウムアミド(4mmole)、および溶媒としての1−オクタデセン(10mL)を撹拌して、250℃で15分間加熱した。この時点で、熱源を除去した。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。ナノ結晶溶液を乾燥させた後、Bruker D2 Phaser XRDを用いて生じた固体のX線回折パターンを測定することにより、AINナノ結晶の形成を確認した(図5)。
〔実施例5〕リガンド濃縮1としてのOLA(オレイルアミン)
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、ナトリウムアミド(3mmole)、オレイルアミン(500μL(マイクロL))、および溶媒としてのトルエン(10mL)を撹拌して、110℃に加熱した。オレイルアミンおよびトルエンは、溶媒混合物を形成し、オレイルアミンはまた、生じるナノ粒子中のリガンド源として作用した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。望まれる色に達した時点で(すなわち、望まれるピーク発光波長に達した時点で)、熱源を除去し、反応を止めた。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。その後、残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。PLQYを測定し、600nmのピーク波長で16.5%であった。
〔実施例6〕リガンド源としてのHDT(ヘキサデカンチオール)
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、ナトリウムアミド(3mmole)、ヘキサデカンチオール(1mmole)、およびトルエン(10mL)を撹拌して、150℃に加熱した。ヘキサデカンチオールおよびトルエンは、溶媒混合物を形成し、ヘキサデカンチオールはまた、生じるナノ粒子中のリガンド源として作用した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。677nmのピーク発光波長に達した時点で、熱源を除去し、反応を止めた。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。その後、残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。
〔実施例7〕マイクロ波1 OLA 100μL
10mL反応容器で、ジエチル亜鉛(1mmole)、ナトリウムアミド(1.4mmole)、オレイルアミン(100μL)、およびトルエン(5mL)を撹拌して、300W CEM Discover−s microwaveで125℃まで加熱した。オレイルアミンおよびトルエンは、溶媒混合物を形成し、オレイルアミンはまた、生じるナノ粒子中のリガンド源として作用した。125℃で2分間、反応混合物を維持した後、マイクロ波を止めて、窒素フロー下で反応容器を冷却した。生じたナノ結晶溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析し、光ルミネセンス最大波長が、650nmであることが見出された。
〔実施例8〕マイクロ波2 OLA 250μL
10mL反応容器で、ジエチル亜鉛(1mmole)、ナトリウムアミド(0.77mmole)、オレイルアミン(250μL)、およびトルエン(5mL)を撹拌して、300W CEM Discover−s microwaveで125℃まで加熱した。オレイルアミンおよびトルエンは、溶媒混合物を形成し、オレイルアミンはまた、生じるナノ粒子中のリガンド源として作用した。125℃で3分間、反応混合物を維持した後、マイクロ波を止めて、窒素フロー下で反応容器を冷却した。生じたナノ結晶溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析し、光ルミネセンス最大波長が、520nmであることが見出された。
〔実施例9〕シェリング(shelling)
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(3mmole)、ナトリウムアミド(2mmole)、および溶媒としてのトルエン(10mL)を撹拌して、110℃に加熱した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。望まれる色に達した時点で(すなわち、望まれるピーク発光波長に達した時点で)、一定量の溶媒を加えて、溶液を急速に冷却し、反応を止める。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去する。残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用する。
ナノ粒子コアの周囲にZnSシェルを形成するために、色のついた溶液を固体からデカントし、4mLのサンプルを、175℃で40分間、ジエチルジチオカルバミン酸亜鉛(100mg、0.27mmol)で処理した。
生じたシェル型ナノ結晶は、非シェル型ナノ結晶と比較して、光酸化(photoxidation)に対する改善した安定性を示した。
〔実施例10〕窒化インジウムナノ結晶を製造するためのトリメチルインジウムおよびナトリウムアミド
25mLフラスコで、トリメチルインジウム(1.25mmole)、ナトリウムアミド(5.12mmole)、オレイルアミン(500μL)、および1−オクタデセン(5mL)を撹拌して、150℃に加熱した。オレイルアミンおよび1−オクタデセンは、溶媒混合物を形成し、オレイルアミンはまた、生じるナノ粒子中のリガンド源として作用した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した(図6)。望まれる色に達した時点で(すなわち、望まれるピーク発光波長に達した時点で)、熱源を除去し、反応を止めた。次いで、溶液を遠心分離にかけ、不可溶物を除去した。その後、残りの可溶物をナノ結晶溶液として使用した。
〔実施例11〕40℃で窒化亜鉛ナノ結晶を製造するためのジエチル亜鉛およびナトリウムアミド
50mLフラスコで、ジエチル亜鉛(9mmole)、ナトリウムアミド(6mmole)、および溶媒としてのトルエン(30mL)を撹拌して、40℃に加熱した。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。より高い温度での反応と比較すると、反応速度は、より遅く、18時間後、溶液は、624nmで発光ピークを有し、160nmの半値全幅を有していた。
〔実施例12〕300℃で窒化亜鉛ナノ結晶を製造するためのジエチル亜鉛およびアンモニア
50mLフラスコで、溶媒混合物を形成する1−オクタデセン(30mL)および1−オレイルアミン(1mL)を300℃まで加熱した。10mL/分の流速(1分間あたりに溶液を通して流れているアンモニアの量は、SATPで測定され、例えば、アンモニアシリンダーと反応混合物との間に置かれたフローメーターを用いて測定され得る)で5分間、アンモニアガスを溶液を通して泡立て、その後、ジエチル亜鉛(1mmol)を加えた。次いで、少量のアリコートが種々の時間で得られるようにトルエンで希釈して、反応を続けた。生じた溶液をFlouromax−4 spectrofluorometerにより解析した。これらの溶液は、反応の間に渡って、ピーク光ルミネセンス発光波長の増加を示した。より低い温度での反応と比較すると、反応速度は、より早く、1分後、溶液は、805nmで発光ピークを有し、>300nmの半値全幅を有していた。
〔実施例13〕連続成長を用いた窒化亜鉛の合成
50mLフラスコで、溶媒混合物を形成する1−オクタデセン(30mL)およびオレイルアミン(1mL)を225℃で20分間加熱した。次いで、5mL/分の流速で5分間、アンモニアガスを溶液を通して泡立て、熱溶液中にいくらかのアンモニアを溶解させた。次いで、温度およびアンモニアの流速を一定に保ちながら、一部のジエチル亜鉛(1回につき1mmol)を5分間隔で溶液に注入した。この反応で得られたアリコートからの発光を図7に示しており、図中に示されているとおり、これらは2mmol、3mmol、5mmol、12mmolおよび24mmolの添加後に得られたアリコートについてのものである(すなわち、2mmolのジエチル亜鉛の添加後に得られたアリコートは、それぞれ1mmolのジエチル亜鉛を、5分間隔で別々に2回した注入のうち2回目の後5分して得られた、等々である)。565nmで発光するアリコート(各1mmolを3ロット加えられた、全部で3mmolのジエチル亜鉛)について、460nmの光で励起したとき、光ルミネセンス量子収量は、52.5%と測定された。
本実施例における反応様式は、より前の実施例に記載されたものとは異なる。前の実施例では、反応は、望まれるサイズのナノ粒子(望まれる発光波長を生じるナノ粒子)が得られるまで続けられ、次いで、冷却により反応は停止される。これは、一般に、望まれるサイズのナノ粒子が得られたときに反応を停止することができるように、反応がモニタリングされることを必要とする。しかしながら、実施例13では、少量のジエチル亜鉛を最初に添加することにより反応を完成することができ、挙げられた特定の量が約5分後に生じる。望まれるサイズが得られていれば、反応はこの時点で終結し得る。あるいは、より大きなナノ結晶が必要とされる場合、実施例で記載されたとおり、ジエチル亜鉛の第二の添加を行うことができる‐これは、反応を再開させて、ナノ結晶サイズのさらなる増加を引き起こす。第二の添加で加えられたジエチル亜鉛が反応したときに、反応は再び完成する。ナノ粒子サイズ(または、発光波長)が再び測定され、所望により、ジエチル亜鉛の第三の添加をすることができる‐そして、反応を再開させるためにジエチル亜鉛を添加し、反応が完成するのを待ち、そしてナノ粒子サイズ(若しくは発光波長)を決定するこの工程を、必要に応じて何回か繰り返すことができる。
ジエチル亜鉛の連続添加のさらなる利点は、反応が完成するとすべてのジエチル亜鉛が消費されていることであり、これに対して先の実施例では、反応が完成する前に反応が停止するため、反応溶液はいくらかの未反応ジエチル亜鉛を含んでいる可能性が高い。過剰なジエチル亜鉛は、反応の収量を低下させ、また単離されたナノ結晶溶液中の不純物として作用する。
〔実施例14〕異なるサイズの窒化亜鉛ナノ結晶の単離
50mLフラスコで、溶媒混合物を形成する1−オクタデセン(30mL)およびオレイルアミン(1mL)を225℃で20分間加熱した。次いで、5mL/分の流速で5分間、アンモニアガスを溶液を通して泡立て、熱溶液中にいくらかのアンモニアを溶解させた。次いで、温度およびアンモニアの流速を一定に保ちながら、一部のジエチル亜鉛(1mmol)を5分間隔で溶液に注入した。3mmolのジエチル亜鉛を加えた後、サンプル1を除去し、9mmolのジエチル亜鉛を加えた後、サンプル2を除去し、最後に24mmolのジエチル亜鉛を加えた後、サンプル3を除去した。アセトニトリル、イソブチロニトリルおよびトルエンの添加によりサンプルを精製し、ナノ結晶の沈殿を生じた。次いで、固体をトルエンで溶媒化し、その後、アセトニトリルおよびイソブチロニトリルを用いて再沈殿させた(この工程は、全部で3回繰り返した)。図8は、3、9および24mmolのジエチル亜鉛の添加後に得られた精製サンプルについて得られた吸収および発光スペクトルを示す。発光最大値は、3mmol(実線)、9mmol(破線)および24mmol(点線)のジエチル亜鉛の添加後に得られたサンプルについて、それぞれ585nm、752nm、および1073nmである。
図9は、3つのサンプルから得られたXRDパターンを示す。シェラーブローデニングは、これらのトレースで明らかであり、これは、混合物に加えられるジエチル亜鉛の量が3mmol(実線)から9mmol(破線)を介して24mmol(点線)まで増加するにつれて、サイズの増加が生じることを示す。減少したシェラーブローデニングのために、XRDピークがより狭くなっているので、合成の間にナノ結晶のサイズが増加していることは明らかである。3、9および24mmolのジエチル亜鉛の添加後にそれぞれ得られた図11、12および13の透過型電子顕微鏡像はまた、反応の間に渡って、ナノ結晶のサイズが増加することを支持する。図11のナノ結晶の平均直径は、2nmであり、図12のナノ結晶の平均直径は、3.9nmであり、図13のナノ結晶の平均直径は、6.8nmである。
〔実施例15〕メシチル銅およびアンモニアからおCuNの合成
50mLフラスコで、メシチル銅(1mmol)および1−オクタデセン(20mL)の混合物を275℃で15分間加熱した。次いで、275℃の温度を維持しながら、5mL/分の流速(SATPで測定)で10分間、アンモニアを溶液を通して泡立てた。アンモニアフローを止めて、溶液を冷却し、固体を得た。次いで、この固体をヘキサンで洗浄して過剰のオクタデセンを除去し、XRDで解析した。生成物は、いくらかの金属銅がまた存在している窒化銅ナノ結晶と明確に一致していた。図10は、本実施例の方法に基づいて製造された窒化銅(CuN)ナノ結晶のサンプルから得られたX線回折パターンを示す。CuNに対応するピークは、4つのとがった星印で示しており、一方、銅不純物に由来するピークは、黒丸で示している。
〔実施例16〕アンモニアの流速の変動
50mLフラスコで、1−オクタデセン(30mL)およびオレイルアミン(1mL)を225℃で20分間加熱した。次いで、最適な流速(2.7、5または10mL/分)で5分間、アンモニアガスを溶液を通して泡立て、熱溶液中にいくらかのアンモニアを溶解させた。次いで、温度およびアンモニアの流速を一定に保ちながら、一部のジエチル亜鉛(1mmol)を5分間隔で溶液に注入した。各添加後にサンプルを除去し、それらの発光スペクトルを測定した。データは、図14で示され、加えられたジエチル亜鉛の量に対してプロットされたピーク発光の波長を示している(3つの曲線は、上記の3つのアンモニアの流速に対応する)。600nmに近いピーク発光波長を用いてサンプルで測定された量子収量は、フローが10mL/分〜5mL/分まで減少したとき、PLQYは15%〜45%まで増加することを示した。
すなわち、反応速度に影響を与えることに加えて、アンモニアの流速はまた、生じるナノ結晶のPLQYに影響を与える。特定の例に関して、我々は、30mLの反応混合物について5mL/分のアンモニアの流速がより高い量子収量を得るのに最適であることを見出した。一般に、30mLの反応混合物について、30mL/分を超えるアンモニアの流速は過剰であり、極めて遅い反応を引き起こし、一方で、1mL/分以下の流速は、おそらく高いPLQYを得るのに十分なアンモニアを提供しないであろうことが予期される。
〔実施例17〕連続添加で使用されるジエチル亜鉛の量の変動
50mLフラスコで、1−オクタデセン(30mL)およびオレイルアミン(1mL)を225℃で20分間加熱した。次いで、5mL/分の流速で5分間、アンモニアガスを溶液を通して泡立て、熱溶液中にいくらかのアンモニアを溶解させた。次いで、温度およびアンモニアの流速を一定に保ちながら、上記実施例13に記載されたとおり、一部のジエチル亜鉛(0.5、1または2mmol)を5分間隔で溶液に注入した。各添加後にサンプルを除去し、それらの発光スペクトルを測定した。図15は、加えられたジエチル亜鉛の量に対してプロットされた最大発光の波長を示す(3つの曲線は、5分毎に0.5mmolのジエチル亜鉛の添加、5分毎に1.0mmolのジエチル亜鉛の添加、および5分毎に2.0mmolのジエチル亜鉛の添加に対応する)。
図16および17の比較は、各連続添加で導入されるジエチル亜鉛の量を増やすことは、アンモニアの流速を低減させるのと同様の効果を有することを示す。これは、ジエチル亜鉛(または、他の金属前駆体)が連続添加により反応混合物に導入される方法において、各添加で導入されるジエチル亜鉛の量とアンモニアの流速との比率は、十分な反応速度および得られるナノ粒子中の高いPLQYを得るために制御し得るパラメータであり得ることを示している。5mL/分のアンモニアの流速について、我々は、生じたナノ粒子の発光波長に渡って十分な制御を得るために、各添加で1mmolのジエチル亜鉛を導入することが最適であることを見出した。
フラスコのサイズ、温度、反応時間、窒素前駆体の型、アルキル金属、およびパルスのための溶媒は、実施例において特に記載されているが、それらは、案内を意味しているのであり、本特許出願により包含される考えられる唯一のパラメータを意味しているのではない。
反応成分がマイクロ波により加熱される上記実施例(実施例7および8)において、反応は、密閉チューブのような密閉反応容器で行われてもよく、結果として、反応は、反応物の沸点よりも高い温度で生じ得る。他の実施例において、反応は、開放フラスコで行われてもよく、アルキル金属(または、他の有機金属化合物)が反応混合物から蒸発するのにあまり時間を有さないために、反応は早く起こると信じられている。
本発明で使用される物質の多くは、酸素や水に感受性があり、いくつかは、自然発火性(すなわち、大気中で自然に発火する)である。大気に感受性があるか、もしくは自然発火性である物質を含むすべての反応は、窒素充填グローブボックスのような不活化雰囲気下で行われるか、またはそのような化合物の安全な取り扱いのための標準的な手順を用いて行われるべきである。
本発明は、特定の一つまたは複数の態様の観点で示され、記載されているが、同等の変更や修飾は、本明細書および添付の図面を読み、理解する当業者により生じ得る。特に、上記の要素(構成要素、集合体、装置、組成物など)により発揮される様々な機能に関して、そのような要素を記載するために使用される用語(「手段」を含む)は、本明細書に記載された本発明の例示的な態様において機能を発揮する開示された構造と構造的に同等でなかったとしても、他に記載がなければ、記載された要素の特定の機能を発揮する(すなわち、機能的に同等である)任意の要素に相当することを意図している。さらに、本発明の特定の特徴は、一つのみまたは複数のいくつかの態様に関して上記されているが、そのような特徴は、他の態様の一つまたは複数の他の特徴と組み合わせてもよく、それは、任意のまたは特定の出願のために望まれ、有利であり得る。

Claims (27)

  1. 少なくとも一つの窒素源と少なくとも一つの有機金属化合物とを反応させることを含む、窒化物ナノ粒子の製造方法であって、前記有機金属化合物が液相または溶液中に存在する、方法。
  2. 前記少なくとも一つの有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも一つの溶媒中で反応させることを含む、請求項1に記載の方法。
  3. 前記少なくとも一つの有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも二つの溶媒を含む溶媒混合物中で反応させることを含む、請求項2に記載の方法。
  4. 前記溶媒混合物中の少なくとも一つの溶媒が窒化物ナノ粒子のためのリガンドを提供する、請求項3に記載の方法。
  5. 前記少なくとも一つの溶媒が非プロトン性溶媒を含む、請求項2、3または4に記載の方法。
  6. 前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアを含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
  7. 前記少なくとも一つの窒素源が金属アミドを含む、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
  8. 前記少なくとも有機金属化合物と前記少なくとも一つの窒素源とを少なくとも一つの溶媒中で処理して反応混合物を形成することを含む、請求項2から7のいずれか1項に記載の方法。
  9. 前記少なくとも一つの有機金属化合物を前記少なくとも一つの溶媒中で処理して反応混合物を形成し、前記少なくとも一つの窒素源を、前記反応混合物中を通過させることを含む、請求項2から7のいずれか1項に記載の方法。
  10. 第一の時間に、第一の量の有機金属化合物または各有機金属化合物を前記少なくとも一つの溶媒中で処理し、前記第一の時間より後の第二の時間で、第二の量の有機金属化合物または各有機金属化合物を前記少なくとも一つの溶媒中で処理することを含む、請求項8または9に記載の方法。
  11. 前記反応混合物を40℃以上の温度まで加熱することを含む、請求項8、9または10に記載の方法。
  12. 前記反応混合物を300℃未満の温度まで加熱することを含む、請求項8、9、10または11に記載の方法。
  13. 請求項7に従属する場合において、前記反応混合物を200℃未満の温度まで加熱することを含む、請求項8、9、10、11または12に記載の方法。
  14. 請求項6に従属する場合において、前記反応混合物を200℃以上の温度まで加熱することを含む、請求項8、9、10、11または12に記載の方法。
  15. 前記少なくとも一つの溶媒がアミンを含む、請求項8から14のいずれか1項に記載の方法。
  16. 前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなり、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量が前記反応混合物の量の1%以上である、請求項9に記載の方法。
  17. 前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなり、前記反応混合物中を通過する1分間あたりのアンモニアの量が前記反応混合物の量未満である、請求項9に記載の方法。
  18. 請求項9に従属する場合において、前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなり、有機金属化合物または各有機金属化合物の第一の添加および第一の添加に続く任意の添加のモル量が、1分間あたりに反応混合物を通過するアンモニアのモル量の少なくとも2%である、請求項10に記載の方法。
  19. 請求項9に従属する場合において、前記少なくとも一つの窒素源がアンモニアガスのみからなり、有機金属化合物または各有機金属化合物の第一の添加および第一の添加に続く任意の添加のモル量が、1分間あたりに反応混合物を通過するアンモニアのモル量の2倍以下である、請求項10または18に記載の方法。
  20. 前記少なくとも一つの有機金属化合物が少なくとも一つのアルキル金属化合物を含む、請求項1から19のいずれか1項に記載の方法。
  21. 前記少なくとも一つのアルキル金属化合物が、ジエチル亜鉛、トリエチルアルミニウムまたはトリメチルインジウムの一つまたはそれ以上を含む、請求項20に記載の方法。
  22. 請求項1から21のいずれか1項に記載の方法により得られる、窒化物ナノ粒子。
  23. 一つまたはそれ以上のIA族の元素の窒化物を含むナノ粒子である、請求項22に記載の窒化物ナノ粒子。
  24. 一つまたはそれ以上のIIIA族の元素の窒化物を含むナノ粒子である、請求項22に記載の窒化物ナノ粒子。
  25. 発光窒化物ナノ粒子である、請求項22、23または24に記載の窒化物ナノ粒子。
  26. 窒化亜鉛ナノ粒子である、請求項22、24または25に記載の窒化物ナノ粒子。
  27. 500〜1100nmの波長で、最大の光ルミネセンス発光強度を有する発光窒化亜鉛ナノ粒子である、請求項22、24または25に記載の窒化物ナノ粒子。
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