JP2015531691A - マイクロキャリアの製造方法 - Google Patents

マイクロキャリアの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2015531691A
JP2015531691A JP2015523519A JP2015523519A JP2015531691A JP 2015531691 A JP2015531691 A JP 2015531691A JP 2015523519 A JP2015523519 A JP 2015523519A JP 2015523519 A JP2015523519 A JP 2015523519A JP 2015531691 A JP2015531691 A JP 2015531691A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
microcarrier
etching
microcarriers
active layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015523519A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6277188B2 (ja
Inventor
ラファエル・トルネ
ニコラ・ドゥミエール
シュテファン・ガンペール
フィリップ・ルノー
Original Assignee
マイカーティス・エヌフェー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by マイカーティス・エヌフェー filed Critical マイカーティス・エヌフェー
Publication of JP2015531691A publication Critical patent/JP2015531691A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6277188B2 publication Critical patent/JP6277188B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G13/00—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00
    • H01G13/06—Apparatus specially adapted for manufacturing capacitors; Processes specially adapted for manufacturing capacitors not provided for in groups H01G4/00 - H01G11/00 with provision for removing metal surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502761—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip specially adapted for handling suspended solids or molecules independently from the bulk fluid flow, e.g. for trapping or sorting beads, for physically stretching molecules
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/54—Labware with identification means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/54—Labware with identification means
    • B01L3/545—Labware with identification means for laboratory containers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075—Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/008—Manufacture of substrate-free structures separating the processed structure from a mother substrate
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
    • G01N33/53—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor
    • G01N33/543—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals
    • G01N33/54313—Immunoassay; Biospecific binding assay; Materials therefor with an insoluble carrier for immobilising immunochemicals the carrier being characterised by its particulate form
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00497—Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/005—Beads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00497—Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/00502—Particles of irregular geometry
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00497—Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/00527—Sheets
    • B01J2219/00536—Sheets in the shape of disks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/0054—Means for coding or tagging the apparatus or the reagents
    • B01J2219/00554—Physical means
    • B01J2219/00556—Perforations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00605—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being directly bound or immobilised to solid supports
    • B01J2219/00632—Introduction of reactive groups to the surface
    • B01J2219/00637—Introduction of reactive groups to the surface by coating it with another layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0647—Handling flowable solids, e.g. microscopic beads, cells, particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/10—Integrating sample preparation and analysis in single entity, e.g. lab-on-a-chip concept
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0803—Disc shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0819—Microarrays; Biochips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0848—Specific forms of parts of containers
    • B01L2300/0851—Bottom walls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0893—Geometry, shape and general structure having a very large number of wells, microfabricated wells
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/05—Microfluidics
    • B81B2201/058—Microfluidics not provided for in B81B2201/051 - B81B2201/054
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/06—Bio-MEMS

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Cell Biology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

本発明は、以下の段階を含むマイクロキャリアの製造方法に関する：（ａ）底部層（７）、上部層（８）、及び、上記底部層（７）と上部層（８）との間に位置する絶縁層（９）を含むサンドイッチ構造を有するウエハー（６）を提供する段階、（ｂ）上部層（８）をエッチング除去して、マイクロキャリアのボディ（１１）の外側壁（１２）を画定する段階、（ｃ）ボディ（１１）の少なくとも上面（１４）上に第１の活性層（１３）を堆積する段階、（ｄ）第１の活性層（１３）上に連続的なポリマー層（１６）を適用する段階、（ｅ）底部層（７）及び絶縁層（９）をエッチング除去する段階、（ｆ）ポリマー層（１６）を除去して、マイクロキャリアを解放する段階。

Description

本発明は、マイクロキャリアの製造方法、及びマイクロキャリアに関する。本発明は、研究所及び臨床検査室のための生物学的及び／又は化学的分析を実施するのに適した特定のマイクロキャリアに関する。
本発明の範疇内では、マイクロキャリア又は微小粒子は、典型的には最も大きな寸法が１００ｎｍから３００μｍまで、好ましくは１μｍから２００μｍまでである、微小のサイズの、任意のタイプの粒子、それぞれ任意のタイプのキャリアを指す。
本発明によると、マイクロキャリアとの用語は、マイクロキャリアの表面に結合した、又はそのバルクに含浸された一以上のリガンド又は機能ユニットを含んでいる、又は含むように適合された、機能化された又は機能化されるように適合された微小粒子を指す。大きなスペクトルの化学的及び生物学的分子は、マイクロキャリアへのリガンドとして付着され得る。マイクロキャリアは多面的な機能及び／又はリガンドを有し得る。本明細書で用いられるように、機能ユニットとの用語は、上記マイクロキャリアの表面を、修正し、取り付けられ、追加し、被覆する、又は、共有結合した若しくは非共有結合した、又はそのバルクに含浸された、任意の種を定義することを意味する。これらの機能は、ハイスループットスクリーニング技術及び診断において通常用いられる全ての機能を含む。
ドラッグデリバリー又はスクリーニング及びＤＮＡシークエンシングは一般的に非常に多量の化合物又は分子の分析を実施する段階を含む。これらの分析は典型的には、例えば、対象の化合物又は特定のターゲット分子に関して化学ライブラリーをスクリーニングする段階、又は分子間の対象とする化学的及び生物学的相互作用に関する試験段階を含む。それらの分析は、数千の個別の化学的及び／又は生物学的反応を実行することをしばしば要求する。
多数の実用上の問題が、このような多量の個別の反応の取扱いから生じる。最も重要な問題はおそらく、各々の個別の反応をラベル付して、追跡する必要性である。
反応の身元を追跡する一つの従来の方法は、マイクロタイタープレート（マイクロアレイ）に各反応を物理的に分けることによって達成される。しかしながら、マイクロタイタープレートの使用は、特に、用いられるマイクロタイタープレートのサイズに対する、そのためプレート上で実施され得る異なる反応の数に対する物理的な制限のようないくつかの不利な点を持ってくる。
マイクロアレイの使用における制限を考慮すると、それらは今や有利には、化学的及び／又は生物学的分析を実施するための機能性符号化微小粒子によって置き換えられる。各々の機能性符号化微小粒子は、その表面に結合した特定のリガンドを一意的に識別する符号を備えている。このような機能性符号化微小粒子の使用はランダム処理を可能にし、それは、数千の一意的機能性符号化微小粒子が全て混合されることがあり、且つ同時に分析を受けることがあることを意味する。機能性符号化微小粒子の例は、特許文献１において記載され、図１に示される。
特許文献２は、複数の機能性符号化微小粒子又はマイクロキャリア１がパックされ得る（図１）反応チャンバーとしての役割を果たす少なくともマイクロ流体チャネルを有する分析装置を記載する。マイクロ流体チャネルは、内部のマイクロキャリア１をブロックしつつ、化学的及び／又は生物学的試薬を含む液体溶液を流すことを可能にするフィルターとして作用する停止手段を備えている。上記マイクロ流体チャネルの幾何学的高さ、及び上記マイクロキャリア１の寸法は、上記マイクロキャリア１が典型的には各マイクロ流体チャネルの内部で単層配置にて配されて、上記マイクロキャリア１が互いに重なることを防止するように選択される。
それらの付着したリガンドと、流れている化学的及び／又は生物学的試薬との間での対象の好ましい反応を示すそれらの機能性符号化マイクロキャリア１は、その後、それらの符号を読み取らせることがあり、それによって好ましい反応を引き起こしたリガンドの身元へとつながる。
符号は、複数のトラバース穴２の独特なパターンを含み得、また、例えば（図１に示されるような）Ｌ字型のサイン３等の非対称方向マーク又は三角形を含み得る。この非対称方向マークは、マイクロキャリア１の上面４と底面５との間の区別を可能にする。
マイクロ流体チャネルとの用語は、微小サイズの断面を有する、つまり、典型的には約１μｍから約５００μｍまで、好ましくは約１０μｍから約２００μｍまでである最も小さい断面の寸法を有する、閉じられたチャネル、つまり流体のための細長い通路を指す。マイクロ流体チャネルは、必ずしも直線でない、流体がマイクロ流体チャネル内で向かう方向、つまり、好ましくは、層流領域を仮定すると流体の平均速度ベクトルに対応する方向に本質的に対応する縦方向を有する。
特許文献２に記載された分析装置によって、対象の反応の検出は、図２に示されるようなマイクロ流体チャネルに存在する各々の符号化マイクロキャリア１の蛍光強度の連続的読み出しに基づき得る。言い換えると、分析におけるターゲット分子の存在が所定の蛍光信号を引き起こすことになるであろう。しかしながら、所定の蛍光信号は、強い蛍光バックグラウンドの存在により、検出が非常に困難であり得る。
光学層によってマイクロキャリアを被覆することは、分析の間に放出される蛍光を検出可能なレベルへ増加させることが知られている。例えば、図２は、特許文献３に記載される方法によって得られる、被覆されたマイクロキャリア１のバッチを示し、光学層はマイクロキャリア１の上に堆積される。
しかしながら、図２に示される生物学的分析の結果は、被覆されたマイクロキャリア１から放出された蛍光信号の異なるパターンを示す。特に、いくつかのマイクロキャリア１ａは、均一な且つ検出可能な蛍光信号を放出し、一方で他のマイクロキャリア１ｂは、部分的な又は非均一な蛍光信号を放出し、ほとんどの時間三日月の形状を有する（以後“シャドー効果”として呼ばれる）。さらに、いくつかのマイクロキャリアは、それらの表面上に光学層がないために、如何なる検出可能な蛍光を放出しない。
このような欠陥は、分析の間の正確な定量的情報の抽出を困難にさせる。
いくつかのマイクロキャリア１ｂ上の光学層の欠如、又は部分的な堆積は、特許文献３に含まれるプロセスに由来する。実際、このプロセスは、光学層の堆積の前及び間で、いくつかのマイクロキャリア１の間の部分的な又は完全な重なりを避けることができない。このような重なりは図３に示され、マイクロキャリア１の上面４の領域Ａは光学層によって被覆されることになるのに対して、他の一つのマイクロキャリア１’によって隠される上記マイクロキャリア１の上面４の領域Ｂは上記光学層によって被覆されないことになる。
さらに、特許文献３に記載されるプロセスの間、いくつかのマイクロキャリアはコーティングの前に裏返しになることがあるので、誤った表面上に被覆されることがある。
さらに、蛍光分析を実施する前に、部分的に被覆されたマイクロキャリア１ｂ又は被覆されていないマイクロキャリアを、よく被覆されたマイクロキャリア１ａから分離することは不可能である。実際、マイクロキャリア上の光学層の存在は、蛍光分析の間に放出される蛍光信号によってのみ区別可能である。
国際公開第００／６３６９５号 国際公開第２０１０／０７２０１１号 国際公開第２０１１／０４４７０８号
本発明は、上述の不利な点の全て又は一部を改善することを目的とする。
この目的のために、本発明は、以下の段階を含むマイクロキャリアの製造方法を提案する：
（ａ）底部層、上部層、及び、上記底部層と上部層との間に位置する絶縁層を含むサンドイッチ構造を有するウエハーを提供する段階、
（ｂ）上部層をエッチング除去して、マイクロキャリアのボディの外側壁を画定する段階、
（ｃ）少なくともボディの上面上に第１の活性層を堆積する段階、
（ｄ）第１の活性層上に連続的なポリマー層を適用する段階、
（ｅ）底部層及び絶縁層をエッチング除去する段階、
（ｆ）ポリマー層を除去して、マイクロキャリアを解放する段階。
そのため、本発明による方法において、第１の活性層の堆積は、上述の裏返し、又は重なり現象を防ぐために、マイクロキャリアがウエハーにまだ結合したまま達成される。第１の活性層は、分析の間に上述の“シャドー効果”を避けるために、ボディの全上面の上に均一に堆積される。その結果、マイクロチャネルを通って流れるターゲット分子及びリガンドに関する正確な定量的情報のためのデータの完全性が保たれる。
また、マイクロキャリアはそれらの解放まで一緒に結合されているので、例えばターボポンプにおけるような、それらの作製のために用いられる設備の繊細な部分においてマイクロキャリアが分散することを避ける。
必要に応じて、第１の活性層の堆積の段階（ｃ）は、上述の段階（ａ）と（ｂ）との間に為される。変形では、段階（ａ）から（ｆ）は連続的に実施される。
実施形態によると、段階（ｅ）は、絶縁層を保ちつつ底部層を選択的に底部層をエッチングするための第１のエッチングによって、例えばエッチング浴を用いることによって、且つ、絶縁層をエッチングするための第２のエッチングによって、例えばドライエッチングによって為される。
底部層が単結晶シリコンを含む場合、エッチング浴は水酸化カリウム浴であり得る。加えて、絶縁層が二酸化ケイ素を含む場合、ドライエッチングが、ＣＨＦ３（フルオロホルム）のプラズマエッチングによって、又はＣＦ４のプラズマエッチングによって為され得る。
また、ポリマー層は、ドライエッチングによって除去され得る。例えば、ポリマー層がパリレンを含む場合、それは、酸素プラズマによってエッチングされ得る。
さらに、独特のマーク、例えば符号が、例えば段階（ｂ）と（ｃ）との間で、マイクロキャリア上に刻まれ得る。
同一の独特のマークは、複数のマイクロキャリア、例えば同一のバッチに属している全てのマイクロキャリアに起因し得る。
そのため、分析の間、異なるタイプのマイクロキャリアが、同時に且つ一緒に混合されて用いられることがあり、各々のタイプはそれ自身の独特のマークを有し、一以上の特定のリガンドをサポートする。この場合、特定のマークが、分析の間に、各々のマイクロキャリアのタイプ、及びその付着したリガンドを識別することを可能にする。
独特のマークが第１の活性層の堆積（段階ｃ）の前に刻まれるとき、上記層の厚さ、及び上記独特のマークのサイズは、独特のマークが第１の活性層を通して読み取り可能であるように選択される。
加えて、底部層及び／又は上部層は単結晶シリコンを含み得、絶縁層は二酸化ケイ素を含み得、ポリマー層はパリレンを含み得る。他の一つの実施形態によると、ポリマー層はサポートをウエハーに結合させる接着剤層である。
単結晶シリコン層は、選択的水酸化カリウム浴エッチング等の既知のエッチング法によって容易に且つ効率的にエッチングされ得る。
二酸化ケイ素を含む絶縁層は、エッチング浴を用いることによって底部層をエッチングしつつ、マイクロキャリアを保護することが可能である。
パリレン層は、解放前にマイクロキャリアを維持することが可能な高耐性層である。
ウエハーに結合したサポートの使用は、マイクロキャリアの製造の間に、ウエハーの取扱いを促進するための強化された機械特性を提供する。
本発明の実施形態によると、第２の活性層は、例えば段階（ｅ）と（ｆ）との間で、マイクロキャリアのボディの少なくとも底面上に堆積される。
このような方法によって製造されたマイクロキャリアは、二つの反対側の活性層を含み、それぞれボディの上面上の第１の活性層、及びボディの底面上の第２の活性層である。
第１の活性層及び／又は第２の活性層は、光学特性若しくは磁気特性を有する材料、多結晶シリコン及び／又はポリテトラフルオロエチレン、又は、高屈折率を有する金属層を含み得る。
光学特性を有する材料を用いることは、マイクロキャリアの対応する表面から放出される蛍光信号を実質的に増加させるであろう。磁気特性を有する材料は、例えば、所望の方向にマイクロキャリアを配向させるために用いられ得る。多結晶シリコンの使用は、上記表面上に被覆されることになる有効面積を増加させるために、ボディの対応する表面の空隙率を増加させる。最後に、ポリテトラフルオロエチレンが、マイクロキャリアと、分析の間にそれが置かれる表面との間の摩擦を減少させるために用いられ得る。
第１の活性層及び／又は第２の活性層は、酸化物若しくは窒化物、例えば二酸化ケイ素、又は金属層を含み得る。
二酸化ケイ素は、ボディの対応する表面を滑らかにするために、及び上記表面上の非特定の分子の滑りを増加させるために用いられ得る。従って、上記表面に結合した分子によって放出される特定の信号は強化され、一方で非特定の分子から放出される干渉する信号は大幅に低減される。
また、本発明は、本発明による方法によって得られるマイクロキャリアに関するものであり、第１の活性層によって覆われた上面、及び第２の活性層によって覆われた底面を有するボディを含む。
ボディの上面及び底面の両方が、光学特性を有する材料（光学層）を含む活性層によって覆われるとき、マイクロキャリアの配向がどんなでも、信頼性のある分析が実施され得る。
本発明はより良く理解されることができ、本発明の他の詳細、特徴及び優位点は、添付の図面を参照して非制限的な実施例によって為された以下の説明を読むことで現れる。
従来技術によるマイクロキャリアの上面斜視図を示す。 分析の間に観察される、従来技術によるマイクロキャリア上の蛍光発光を示す。 従来技術による製造方法における、光学層の堆積前のマイクロキャリアのバッチの上面斜視図を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の実施形態によるマイクロキャリアの製造方法の連続的な段階を示す。 本発明の他の一つの実施形態を示す。 本発明の他の一つの実施形態を示す。 本発明の他の一つの実施形態を示す。 本発明の他の一つの実施形態を示す。 本発明の他の一つの実施形態を示す。 分析の間に観察される、本発明によるマイクロキャリア上の蛍光発光を示す。
本発明によるマイクロキャリアの製造方法は、図６から１７を参照して説明されるであろう。この方法は以下の連続的な段階を含む。
図４に示される第１の段階は、底部層７、上部層８、及び、上記底部層７と上部層８との間に位置する絶縁層９を含むサンドイッチ構造を有するウエハー６を提供する段階にある。
例えば、上記ウエハー６は、１００ｍｍの直径、３８０μｍの厚さの底部層７、１μｍの厚さの絶縁層９及び１０μｍの厚さの上部層８を有するＳＯＩ（シリコンオンインシュレータ―）ウエハーである。上部層８及び底部層７は単結晶シリコンで作製され、絶縁層９は二酸化ケイ素で作製される。
図５に示される第２段階は、上部層８の上へ感光性レジスト層１０を適用する段階にある。マイクロキャリアの表面レイアウトを画定するために、感光性レジスト層１０は、クロム／ガラスマスク等のマスク（図示されない）を通してＵＶ光が照射される。マイクロキャリアレイアウトに対応するマスクにおけるオープンパターンは、空間選択的なＵＶ照射を提供する。光開始剤は反応し、レジスト層１０の重合を開始し、レジストは空間選択的に照射される。その後、特定の化学が、暴露されていないレジスト及び反応していないレジストを除去するために用いられる。硬化したレジストの残りのパターンは、マイクロキャリアの外径形状を画定する。
本明細書での好ましい実施形態では、硬化したレジストの残りのパターンは、図１に示される穴２及び３と同様の、マイクロキャリアのボディ１１における一連の通り穴から成るバイナリ―符号等の符号をさらに画定する。
感光性レジスト１０は、ポジティブフォトレジスト、又はネガティブフォトレジストであり得る。ポジティブレジストに関する一実施例は、Ｓｈｉｐｌｅｙ Ｃｏｍｐａｎｙによって供給されるＭＩＣＲＯＰＯＳＩＴ Ｓ １８０５ ＰＨＯＴＯ ＲＥＳＩＳＴであり、ネガティブフォトレジストに関する一実施例は、Ｇｅｒｓｔｅｌｔｅｃ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓによって供給されるようなＧＭ１０４０ ＳＵ−８ ＰＨＯＴＯ ＥＰＯＸＹである。感光性レジスト層１０は、スプレーコーティング、又は好ましくはスピンコーティング等の従来技術において既知の異なる技術によってウエハー６上に適用され得る。
図６に示される第３の段階は、上部層８をエッチング除去して、マイクロキャリアのボディ１１の外側壁１２を画定することにある。これは、ＤＲＩＥ（Ｄｅｅｐ Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｉｏｎ Ｅｔｃｈｉｎｇ）に基づく深掘りシリコンエッチングに関するボッシュプロセス等の、深掘り反応性シリコンエッチング（ＤＲＩＥ）によって実施され得る。
ボッシュプロセスは、文献“Ｊ．Ｋ． Ｂｈａｒｄｗａｊ， Ｈ． Ａｓｈｒａｆ， Ｐｒｏｃ． ＳＰＩＥ， ２６３９， ２２４ （１９９５）； Ａ． Ｓｃｈｉｌｐ， Ｍ． Ｈａｕｓｎｅｒ， Ｍ． Ｐｕｅｃｈ， Ｎ． Ｌａｕｎａｙ，Ｈ． Ｋａｒａｇｏｅｚｏｇｌｕ， Ｆ． Ｌａｅｒｍｅｒ， Ａｄｖａｎｃｅｄ ｅｔｃｈ ｔｏｏｌ ｆｏｒ ｈｉｇｈ ｅｔｃｈ ｒａｔｅ ｄｅｅｐ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｉｏｎ ｅｔｃｈｉｎｇ ｉｎ ｓｉｌｉｃｏｎ ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ， Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ ＭＳＴ ２００１， Ｄｕｓｓｅｌｄｏｒｆ”において開示される。深掘り反応性イオンエッチングは、文献“Ｍａｄｏｕ ＭＪ， ２００２， Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ ｏｆ ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ， ＣＲＣ Ｐｒｅｓｓ”において開示される。
図７に示される第４の段階において、感光性レジスト１０は、湿式化学浴において除去される。そのため、それは、マイクロキャリアの設計に従ってパターニングされた一連のボディ１１を画定するきれいな単結晶シリコン層のままである。
図８に示される第５の段階は、ボディ１１の上面１４上に第１の活性層１３を堆積する段階にある。また、堆積の間、第１の活性層１３は、外側壁１２の間に形成されるリセス１５の底に堆積される。
第１の活性層１３は、二酸化ケイ素を含む酸化物層等の、光学特性を有する層である。第１の層１３の厚さは、赤い蛍光ラベルと動作するとき、およそ９０ｎｍと１２０ｎｍとの間である。窒化物等の任意の他の誘電材料、又は金属層もまた用いられ得る。
ＰＥＣＶＤ（プラズマ強化化学気相堆積）、蒸着、又はスパッタリング（Ｍａｄｏｕ ＭＪ， ２００２， Ｆｕｎｄａｍｅｎｔａｌｓ ｏｆ ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ， ＣＲＣ Ｐｒｅｓｓ）等の異なるタイプの酸化物堆積法が用いられ得る。ＰＥＣＶＤ技術からの二酸化ケイ素の堆積に関して、ジクロロシラン又はシラン及び酸素等のガスの混合物が、典型的には数百ミリＴｏｒｒから数Ｔｏｒｒまでの圧力で用いられ得る。二酸化ケイ素の堆積は、室温から３００℃までの範囲に含まれる温度によって実施される。
図９に示される第６の段階は、第１の活性層１３の上に、ポリマー層１６、例えば、Ｂｒｅｗｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ、Ｍｉｃｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ社及びＡｌｌｒｅｓｉｓｔ社によってそれぞれ提供される、ＰｒｏＴＥＫ、ＡＺ ＰＣ ５２０Ｄ又はＳＸ ＡＲ−ＰＣ ５０００／４０の参照下で知られる材料で作製される層、又はパリレン層を適用する段階にある。上記ポリマー層１６の厚さは、１μｍから１００μｍまでの間であり得る。このポリマー層は、例えば化学気相堆積（ＣＶＤ）によって、又はスピンコーティングによって適用される。図１０に示される第７の段階は、底部層７及び絶縁層９をエッチング除去する段階にある。
底部層７のエッチング除去は、底部層７の大部分をグラインディングすること、及び、ＳＯＩウエハーを水酸化カリウム浴内へディッピングすることにある浴エッチングによって底部層７の残りをエッチングすることによって実施される。その後、絶縁層９は、ＣＨＦ３（フルオロホルム）のプラズマエッチングによって、又はＣＦ４のプラズマエッチングによって、完全にエッチング除去される。絶縁層のエッチング速度は制御される。２層のマイクロキャリアを製造するために、本発明の第１実施形態による方法は、マイクロキャリアのボディ１１の底面１８上へ第２の活性層１７を堆積することにある、図１１に示される第８の段階を含む。また、二酸化ケイ素を含む酸化物層等の第２の活性層１７は、光学特性を有する。第２の層１７の厚さは、赤い蛍光ラベルと動作するとき、およそ９０ｎｍと１２０ｎｍとの間である。窒化物等の任意の他の誘電材料、又は金属層もまた、用いられ得る。
第２の活性層１７は、第１の活性層１３の堆積に関して用いられた同一の方法によって堆積され得る。
その後、ポリマー層１６は、例えば酸素プラズマによって、図１２ａに示されるように、２層のマイクロキャリア１９を分離して、解放するために、エッチング除去される。エッチング速度は制御される。このような方法によって得られたマイクロキャリア１９は各々、その上面１４上の第１の活性層１３、及びその底面１８上の第２の活性層１７を有するボディ１１を含む。各々の活性層１３、１７は、ボディ１１の対応する表面１４、１８を均一に、且つ連続的に覆う。
図１３から１７は、本発明による方法の他の一つの実施形態を示す。
この実施形態では、図８に示されるウエハー６は、同一の５つの段階によって得られる。
その後、第６の段階において（図１３）、サポート２１は、接着剤２２の層によって覆われる。サポート２１は例えばシリコン、石英又はガラスで作製されるウエハーであり、約３００μｍから７００μｍまでの厚さを有する。接着剤は例えば、ＷａｆｅｒＢＯＮＤ ＨＴ１０．１０又はＣＲ２００と呼ばれる樹脂であり、Ｂｒｅｗｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ社によって提供される。接着剤層２２の厚さは約１０μｍから１００μｍであり、好ましくは約５０μｍである。
図１４に示される第７の段階では、サポート２１は、第１の活性層１３に接触して付着する接着剤層２２を通してウエハー６に結合される。このような結合は、好ましくはウエハー６、サポート２１及び接着剤層２２を圧縮し加熱することによって為される。
変形では、接着剤層２２は、第１の活性層１３上に直接適用され、サポート２１は、接着剤層２２の上へ適用される。
図１５に示される第８の段階は、底部層７及び絶縁層９をエッチング除去することにある。このエッチング段階は、図１０において実施されるものと同様である。
その後、第２の活性層１７が、マイクロキャリアのボディ１１の底面１８上へ堆積され得る（図１６）。
その後、サポート２１は、接着剤層２２を除去することによって、ウエハー６から分離される。このような除去は、接着剤層２２を加熱することによって、又は溶媒を用いることによって為され得る。そのため、２層のマイクロキャリア１９は、図１７に示されるように、分離され、解放される。
サポート２１は、マイクロキャリアの製造の間の、ウエハー６の取扱いを促進するために、強化された機械特性を提供する。
図１３に示されるように、分析の間、各マイクロキャリア１９の機能化された表面は、上述の“シャドー効果”が避けられるように、均一な蛍光信号を放出することになる。そのため、このようなマイクロキャリア１９の使用は、分析の間の正確な定量的情報を提供する。
２層のマイクロキャリア１９の使用は、分析の間にマイクロキャリアの配向を制御することが困難であるときに便利である。
逆に、マイクロキャリアの配向が制御され得る場合、ボディ１１の上面１４のみが活性層１３によって覆われ得る。
この目的のために、本発明による方法の他の一つの実施形態は、図１０に示される第７の段階の後にポリマー層１６を直接エッチングすること、又は、図１５に示される段階によって（ａｖｅｃ）直接（ウエハー６からサポート２１を分離するために）接着剤層２２を除去することを提案する。
図１２ｂに示されるようなこの実施形態では、活性層１３を一つだけ有するマイクロキャリア２０が解放される。この実施形態は、あまり複雑でない方法を含み、あまり高価でないマイクロキャリア２０の製造を可能にする。
各実施形態において、解放されたマイクロキャリア１９、２０は、分析における使用まで、液体容器又は器において懸濁液にて保存され得る。各マイクロキャリア１９、２０は好ましくは、ディスクの形状に成形され、１μｍと２００μｍとの間、例えば４０μｍの直径を有する。
本発明の他の実施形態は、本明細書の考察、及び本明細書で開示される発明の実施から当業者に明らかになるであろう。明細書及び実施例は単に例示的なものとして考えられ、本発明の真の範疇及び精神は以下の特許請求の範囲によって示されることが意図される。

Claims (12)

  1. （ａ）底部層（７）、上部層（８）、及び、前記底部層（７）と上部層（８）との間に位置する絶縁層（９）を含むサンドイッチ構造を有するウエハー（６）を提供する段階、
    （ｂ）上部層（８）をエッチング除去して、マイクロキャリア（１９、２０）のボディ（１１）の外側壁（１２）を画定する段階、
    （ｃ）ボディ（１１）の少なくとも上面（１４）上に第１の活性層（１３）を堆積する段階、
    （ｄ）第１の活性層（１３）上に連続的なポリマー層（１６、２２）を適用する段階、
    （ｅ）底部層（７）及び絶縁層（９）をエッチング除去する段階、
    （ｆ）ポリマー層（１６、２２）を除去して、マイクロキャリア（１９、２０）を解放する段階、
    を含むマイクロキャリア（１９、２０）の製造方法。
  2. 段階（ｅ）が、底部層（７）を選択的にエッチングするための第１のエッチングによって、例えばエッチング浴を用いることによって、且つ、絶縁層（９）を選択的にエッチングするための第２のエッチングによって、例えばドライエッチングによって為される、請求項１に記載の方法。
  3. ポリマー層（１６）が、ドライエッチングによって除去される、請求項１又は２に記載の方法。
  4. 独特のマーク、例えば符号（２、３）が、例えば段階（ｂ）と（ｃ）との間で、マイクロキャリア（１９、２０）上に刻まれる、請求項１から３の何れか一項に記載の方法。
  5. 底部層（７）及び／又は上部層（８）が単結晶シリコンを含む、請求項１から４の何れか一項に記載の方法。
  6. 絶縁層（９）が二酸化ケイ素を含む、請求項１から５の何れか一項に記載の方法。
  7. ポリマー層（１６）がパリレンを含む、請求項１から６の何れか一項に記載の方法。
  8. ポリマー層は、サポート（２１）、例えばシリコン、石英又はガラスで作製されたウエハーを、ウエハー（６）へ結合させる接着剤層（２２）である、請求項１、２及び４から６の何れか一項に記載の方法。
  9. 第２の活性層（１７）が、例えば段階（ｅ）と（ｆ）との間で、マイクロキャリア（１９）のボディ（１１）の少なくとも底面（１８）上に堆積される、請求項１から８の何れか一項に記載の方法。
  10. 第１の活性層（１３）及び／又は第２の活性層（１７）が、光学特性若しくは磁気特性を有する材料、多結晶シリコン及び／又はポリテトラフルオロエチレン、又は、高屈折率を有する金属層を含む、請求項１から９の何れか一項に記載の方法。
  11. 第１の活性層（１３）及び／又は第２の活性層（１７）が、酸化物、又は窒化物、例えば二酸化ケイ素、又は金属層を含む、請求項１から１０の何れか一項に記載の方法。
  12. 第１の活性層（１３）によって覆われた上面（１４）、及び、第２の活性層（１７）によって覆われた底面（１８）を有するボディ（１１）を含む、請求項９に記載の方法によって得られたマイクロキャリア（１９）。
JP2015523519A 2012-07-24 2013-07-22 マイクロキャリアの製造方法 Expired - Fee Related JP6277188B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP12177718.9A EP2690059A1 (en) 2012-07-24 2012-07-24 Method for producing microcarriers
EP12177718.9 2012-07-24
PCT/EP2013/065442 WO2014016262A1 (en) 2012-07-24 2013-07-22 Method for producing microcarriers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015531691A true JP2015531691A (ja) 2015-11-05
JP6277188B2 JP6277188B2 (ja) 2018-02-07

Family

ID=48808369

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015523519A Expired - Fee Related JP6277188B2 (ja) 2012-07-24 2013-07-22 マイクロキャリアの製造方法

Country Status (13)

Country Link
US (1) US9349545B2 (ja)
EP (2) EP2690059A1 (ja)
JP (1) JP6277188B2 (ja)
KR (1) KR20150040939A (ja)
CN (1) CN104736470B (ja)
AU (1) AU2013295081B2 (ja)
BR (1) BR112015001463A2 (ja)
CA (1) CA2879150C (ja)
ES (1) ES2787857T3 (ja)
IN (1) IN2015DN00439A (ja)
RU (1) RU2631526C2 (ja)
WO (1) WO2014016262A1 (ja)
ZA (1) ZA201500438B (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2690058A1 (en) * 2012-07-24 2014-01-29 Biocartis SA Method for producing microcarriers and for performing biological assays
US9978644B1 (en) * 2016-09-07 2018-05-22 Amkor Technology, Inc. Semiconductor device and manufacturing method
KR102348180B1 (ko) 2019-02-19 2022-01-07 전남대학교산학협력단 색전술용 마이크로캐리어 및 그 제조방법
CN110484129B (zh) * 2019-07-02 2022-01-25 昆山联滔电子有限公司 带有防护涂层的产品及其制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5071792A (en) * 1990-11-05 1991-12-10 Harris Corporation Process for forming extremely thin integrated circuit dice
JPH09506742A (ja) * 1993-12-17 1997-06-30 ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア セルフアセンブル型微細構造の組み付け方法
JP2004349416A (ja) * 2003-05-21 2004-12-09 Nikon Corp Ｍｅｍｓの製造方法
JP2008505486A (ja) * 2004-06-30 2008-02-21 フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド 極薄ダイおよびその製造方法
JP2010500764A (ja) * 2006-08-07 2010-01-07 セミ−フォトニクス カンパニー リミテッド 複数の半導体ダイを分離する方法
JP2012513593A (ja) * 2008-12-23 2012-06-14 ビオカルティ ソシエテ アノニム アッセイ装置および生物学的アッセイを行う方法
JP2013507621A (ja) * 2009-10-14 2013-03-04 ビオカルティ ソシエテ アノニム 微小粒子の製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000063695A1 (en) 1999-04-16 2000-10-26 Tibotec N.V. Encoding of microcarriers
US6963530B1 (en) * 2000-02-01 2005-11-08 Research Investment Network, Inc. Near-field optical head system with integrated slider and laser
TWI220927B (en) * 2000-05-12 2004-09-11 Rong-Seng Chang Method for producing a micro-carrier
US6823744B2 (en) * 2002-01-11 2004-11-30 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Six-axis force sensor
US7872804B2 (en) * 2002-08-20 2011-01-18 Illumina, Inc. Encoded particle having a grating with variations in the refractive index
US7951580B2 (en) * 2004-04-21 2011-05-31 The Regents Of The University Of California Automated, programmable, high throughput, multiplexed assay system for cellular and biological assays
WO2009014848A2 (en) * 2007-06-25 2009-01-29 Affymetrix, Inc. Patterned microcodes
US8097926B2 (en) * 2008-10-07 2012-01-17 Mc10, Inc. Systems, methods, and devices having stretchable integrated circuitry for sensing and delivering therapy
WO2010134019A2 (en) * 2009-05-19 2010-11-25 Ramot At Tel Aviv University Ltd. Vertical junction pv cells
US8953314B1 (en) * 2010-08-09 2015-02-10 Georgia Tech Research Corporation Passive heat sink for dynamic thermal management of hot spots

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5071792A (en) * 1990-11-05 1991-12-10 Harris Corporation Process for forming extremely thin integrated circuit dice
JPH09506742A (ja) * 1993-12-17 1997-06-30 ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア セルフアセンブル型微細構造の組み付け方法
JP2004349416A (ja) * 2003-05-21 2004-12-09 Nikon Corp Ｍｅｍｓの製造方法
JP2008505486A (ja) * 2004-06-30 2008-02-21 フリースケール セミコンダクター インコーポレイテッド 極薄ダイおよびその製造方法
JP2010500764A (ja) * 2006-08-07 2010-01-07 セミ−フォトニクス カンパニー リミテッド 複数の半導体ダイを分離する方法
JP2012513593A (ja) * 2008-12-23 2012-06-14 ビオカルティ ソシエテ アノニム アッセイ装置および生物学的アッセイを行う方法
JP2013507621A (ja) * 2009-10-14 2013-03-04 ビオカルティ ソシエテ アノニム 微小粒子の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014016262A1 (en) 2014-01-30
JP6277188B2 (ja) 2018-02-07
US9349545B2 (en) 2016-05-24
KR20150040939A (ko) 2015-04-15
IN2015DN00439A (ja) 2015-06-19
EP2690059A1 (en) 2014-01-29
BR112015001463A2 (pt) 2017-07-04
AU2013295081A1 (en) 2015-02-05
EP2877423A1 (en) 2015-06-03
RU2631526C2 (ru) 2017-09-25
ES2787857T3 (es) 2020-10-19
CN104736470A (zh) 2015-06-24
RU2015101761A (ru) 2016-08-10
US20150162141A1 (en) 2015-06-11
AU2013295081B2 (en) 2016-10-06
CA2879150C (en) 2020-07-14
CN104736470B (zh) 2016-08-17
CA2879150A1 (en) 2014-01-30
EP2877423B1 (en) 2020-03-11
ZA201500438B (en) 2017-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20190265567A1 (en) Image differentiated multiplex assays
JP6277188B2 (ja) マイクロキャリアの製造方法
CN104515737A (zh) 在微流体结构中产生化学物图案的方法
JP6223448B2 (ja) 構造化マイクロキャリアの製造方法
JP4372790B2 (ja) 縁取りされた作用区域を備える作用装置、オンチップラボ及びマイクロシステム
JP2007510894A (ja) 対象液体を捕捉するための局在化区域を備える作業装置
US7829271B2 (en) Process for distributing drops of a liquid of interest onto a surface
KR101758145B1 (ko) 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자의 제조방법 및 이에 의해 제조된 바이오 어세이를 위한 마이크로 입자
JP6208757B2 (ja) マイクロキャリアの製造方法、及び生物学的分析の実施方法
WO2021024416A1 (ja) フローセルの調整方法
QINGDI Microparticle Array on Gel Microstructure Chip for Multiplexed Biochemical Assays
Xu Assembly of ordered microsphere arrays: Platforms for microarrays

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160706

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170621

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170703

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20171003

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171211

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180115

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6277188

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees