JP2015525474A - Euv光源内のシードレーザをブラッグaomで保護するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
12 レーザ源
16 照射領域
24 ビーム調整ユニット
26 ターゲット材料送出システム
Claims (20)
- 第1の経路上にレーザ光を生成するレーザ源と、
前記レーザ光が前記第1の経路から該レーザ光によってターゲット材料を照射することができる照射部位に向かう第2の経路上に偏向される第1の状態と、該レーザ光が該第2の経路上以外の方向に透過される第2の状態との間で切換可能なブラッグ音響光学変調デバイスと、
前記レーザ光を遅延させるための前記ブラッグデバイスと前記照射部位の間の前記第2の経路上の遅延デバイスと、
前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記第1の経路に沿った以外の方向に透過され、従って、前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザ光が前記第2の経路上に偏向された後に前記ブラッグデバイスを前記第1の状態から前記第2の状態に切り換えるための手段と、
を含むことを特徴とするシステム。 - 前記レーザ源は、シードレーザであることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記遅延デバイスは、折り返し式光学配置を含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記遅延デバイスは、前記ブラッグデバイスから前記照射部位に到達して戻るのに前記第2の経路上で光に掛かる時間が、該ブラッグデバイスが前記第1の状態から前記第2の状態に切り換わることができる時間よりも長いように、該照射部位への前記レーザ光の前記透過及び該照射部位からの該レーザ光のあらゆる反射における遅延を生成することを特徴とする請求項3に記載のシステム。
- 前記ブラッグデバイスが前記第1の状態から前記第2の状態に切り換わることができる前記時間は、300から500ナノ秒の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記ブラッグデバイスと前記照射部位の間の前記第2の経路上に位置決めされた光増幅器を更に含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記ブラッグデバイスと前記照射部位の間の前記第2の経路上の光アイソレ−タを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
- 前記光アイソレ−タは、偏向識別光学構成要素及び位相遅延光学構成要素を含むことを特徴とする請求項7に記載のシステム。
- レーザ光を生成するプレパルスシードレーザと、
前記プレパルスシードレーザからの前記レーザ光が第1のビーム経路上に偏向される第1の状態と、該レーザ光が該第1のビーム経路上以外の方向に透過される第2の状態との間で切換可能な第1のブラッグ音響光学変調デバイスと、
レーザ光を生成する主パルスシードレーザと、
前記主パルスシードレーザからの前記レーザ光が第2のビーム経路上に偏向される第1の状態と、該レーザ光が該第2のビーム経路上以外の方向に透過される第2の状態との間で切換可能な第2のブラッグ音響光学変調デバイスと、
前記第1のビーム経路上の前記プレパルスシードレーザからの前記レーザ光及び前記第2のビーム経路上の前記主パルスレーザからの前記レーザ光をターゲット材料を該レーザ光によって照射することができる照射部位に向かう共通ビーム経路上に向けるための結合器と、
前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記プレパルスシードレーザに到達することが防止されるように、該プレパルスシードレーザからの該レーザ光が前記第1のビーム経路上に偏向された後に前記第1のブラッグデバイスを前記第1の状態から前記第2の状態に切り換えるための手段と、
前記照射部位からの前記レーザ光のいずれの反射も前記主パルスシードレーザに到達することが防止されるように、該主パルスシードレーザからの該レーザ光が前記第2のビーム経路上に偏向された後に前記第2のブラッグデバイスを前記第1の状態から前記第2の状態に切り換えるための手段と、
を含むことを特徴とするシステム。 - 前記結合器と前記照射部位の間の前記共通ビーム経路上に位置決めされた光増幅器を更に含むことを特徴とする請求項9に記載のシステム。
- 前記レーザパルスを遅延させるための前記結合器と前記照射部位の間の前記共通ビーム経路上の遅延デバイスを更に含むことを特徴とする請求項9に記載のシステム。
- 前記遅延デバイスは、ビーム折り返し光学配置を含むことを特徴とする請求項11に記載のシステム。
- 前記遅延デバイスは、前記第1のブラッグデバイス又は前記第2のブラッグデバイスのいずれかから前記照射部位に到達して戻るのに前記ビーム経路上で光が掛かる時間が、該第1のブラッグデバイス及び該第2のブラッグデバイスが前記第1の状態から前記第2の状態に切り換わることができる時間よりも長いように、該照射部位への前記レーザ光の前記透過及び該照射部位からの該レーザ光のあらゆる反射における遅延を生成することを特徴とする請求項12に記載のシステム。
- 前記第1のブラッグデバイス及び前記第2のブラッグデバイスが前記開状態から前記閉状態に切り換わることができる前記時間は、300から500ナノ秒の範囲にあることを特徴とする請求項9に記載のシステム。
- 前記結合器と前記照射部位の間の前記共通ビーム経路上の光アイソレ−タを更に含むことを特徴とする請求項9に記載のシステム。
- 前記光アイソレ−タは、偏向識別光学構成要素及び位相遅延光学構成要素を含むことを特徴とする請求項9に記載のシステム。
- レーザパルス源をパルス反射から保護する方法であって、
レーザ源から第1の経路上にレーザパルスを発生させる段階と、
前記レーザパルスをブラッグ音響光学変調デバイスに通過させる段階であって、該ブラッグデバイスが、ターゲット材料を該レーザパルスによって照射することができる照射部位に向かう第2の経路上に該パルスが偏向される第1の状態と、該ブラッグデバイスが該第1の状態にある間に該レーザパルスが該第2の経路上以外の方向に透過される第2の状態との間で切換可能である前記通過させる段階と、
前記照射部位からの前記レーザパルスのいずれの反射も前記第1の経路に沿った以外の方向に透過され、従って、前記レーザ源に到達することが防止されるように、該レーザパルスが前記第2の経路上に偏向された後に前記ブラッグデバイスを前記第1の状態から前記第2の状態に切り換える段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記レーザ源は、シードレーザであることを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記ブラッグデバイスが前記第1の状態にある間に前記レーザパルスが該ブラッグデバイスを通過した後に該レーザパルスを遅延デバイスに通過させる段階を更に含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記遅延デバイスは、前記ブラッグデバイスから前記照射部位に到達して戻るのに前記第2の経路上で光に掛かる時間が、該ブラッグデバイスが前記第1の状態から前記第2の状態に切り換わることができる時間よりも長いように、該照射部位への前記レーザ光の前記透過及び該照射部位からの該レーザ光のあらゆる反射における遅延を生成することを特徴とする請求項19に記載の方法。
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