JP2015518168A5 -

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誘電性基板と、
電気的に接続された第１の導電性部材を有する無孔質導電性電極であって、前記誘電性基板上に配置される、無孔質導電性電極と、
電気的に接続された第２の導電性部材を有する透過導電性電極であって、４〜１０ナノメートルの範囲の厚さを有し、かつ水蒸気を透過させる、透過導電性電極と、
前記無孔質導電性電極と前記透過導電性電極との間に配置される検出層であって、

（式中、ｘ及びｙは、独立して２〜６の範囲の整数であり、それぞれのＭは、Ｈ又はアルカリ金属を独立して表す）を含む単量体単位を含むスルホン化共重合体を含む、検出層と、を備える、湿度センサ素子。
入口開口部を有するセンサ室と、
静電容量を有する、請求項１に記載の湿度センサ素子であって、前記入口開口部と流体連通している前記センサ室内に配置される、湿度センサ素子と、
前記湿度センサ素子の第１及び第２の導電性リードと電気通信しており、これによって、前記湿度センサ素子が電源に接続されると、前記センサ素子の前記静電容量を測定する、操作回路と、を備える、湿度センサ。