JP2015518168A - 湿度センサ及びセンサ素子 - Google Patents
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- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
Abstract
Description
誘電性基板と、
電気的に接続された第1の導電性部材を有する無孔質導電性電極であって、誘電性基板上に配置される、無孔質導電性電極と、
電気的に接続された第2の導電性部材を有する透過導電性電極であって、4〜10ナノメートルの範囲の厚さを有し、かつ水蒸気を透過させる、透過導電性電極と、
無孔質導電性電極と透過導電性電極との間に配置される(例えば、間に挟まれる)検出層であって、
(式中、x及びyは、独立して2〜6の範囲の整数(すなわち、2、3、4、5、又は6)であり、それぞれのMは、H又はアルカリ金属(例えば、Li、Na、又はK)を独立して表す)を含む単量体単位を含むスルホン化共重合体を含む、検出層と、を備える湿度センサ素子を提供する。
入口開口部を有するセンサ室と、
静電容量を有する、本開示による湿度センサ素子であって、入口開口部と流体連通しているセンサ室内に配置される、湿度センサ素子と、
湿度センサ素子の第1及び第2の導電性リードと電気通信しており、これによって、湿度センサ素子が電源に接続されると、センサ素子の静電容量を測定する、操作回路と、を備える、湿度センサを提供する。
(式中、x及びyは、独立して2〜6の範囲の整数であり、それぞれのMは、H又はアルカリ金属を独立して表す)を含む単量体単位を含むスルホン化共重合体を含む。一部の実施形態において、xは、3、4、又は5であり、かつyは、2、3、又は4である。一実施形態において、xは4であり、yは3である。
(式中、m及びnは、正の整数(すなわち、1、2、3など)であり、Mは、上記に定義するとおりである)によって表されるランダム共重合体であってもよい。例えば、ペルフルオロアルキル基、又はペルフルオロアルコキシル基などのペンダント基を有する他の単量体単位が存在してもよい。典型的には、スルホン化共重合体中に、実質的にペンダント基を有する他の単量体単位が存在せず(例えば、5モルパーセント未満)、より典型的には、ペンダント基を有する他の単量体単位が存在しない。
第1の実施形態において、本開示は、
誘電性基板と、
電気的に接続された第1の導電性部材を有する無孔質導電性電極であって、誘電性基板上に配置される、無孔質導電性電極と、
電気的に接続された第2の導電性部材を有する透過導電性電極であって、4〜10ナノメートルの範囲の厚さを有し、かつ水蒸気を透過させる、透過導電性電極と、
無孔質導電性電極と透過導電性電極との間に配置される検出層であって、
(式中、m及びnは、正の整数であり、それぞれのMは、独立してH又はアルカリ金属である)によって表される部分を含むランダム共重合体である、第1〜第5の実施形態のうちのいずれか1つによる湿度センサ素子を提供する。
入口開口部を有するセンサ室と、
静電容量を有する、第1〜第7の実施形態のうちのいずれか1つによる湿度センサ素子であって、入口開口部と流体連通しているセンサ室内に配置される、湿度センサ素子と、
湿度センサ素子の第1及び第2の導電性リードと電気通信しており、これによって、湿度センサ素子が電源に接続されると、センサ素子の静電容量を測定する、操作回路と、を備える、湿度センサを提供する。
スライドガラス(Precision Glass & Optics(米国カリフォルニア州Santa Ana)のガラス番号0050−0050−0010−GF−CA、50mm×50mm、1.1mm厚、材料C−263、表面80/50)を、Alconox,Inc.(米国ニューヨーク州White Plains)のALCONOX LIQUI−NOX洗剤溶液に30〜60分間浸漬して洗浄し、続いて毛ブラシでスライドの両面をこすり、温かい水道水ですすいだ後に、最後に脱イオン水ですすいだ。スライドは、表面への粉塵の堆積を防止するためにカバーをしたまま風乾した。乾燥した清浄なスライドを、Entegris(米国ミネソタ州Chaska)から入手した3インチ(7.6cm)のウエハキャリアに保存した。
周囲温度における様々なレベルの相対湿度に対する反応について、センサ素子試料を試験した。単純なフロースルー送達システムを使用して、公知のレベルの相対湿度を測定のために静電容量型センサに送達した。ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)管材を送気システム全体にわたって用いた。曝露濃度を、蒸留水を収容した温度制御蒸発フラスコを通る10L/分の空気流によって発生させた。二重壁フラスコ中の水の温度を、VWRからの加熱/冷却サーキュレーターによって制御し、乾燥空気流を、Matheson気体流量計によって調節した。気体流の相対湿度を、Omega Engineering Inc.(米国コネチカット州Stamford)から入手可能なiTHX−M湿度計で監視した。加湿した空気を、湿度センサ(上で調製したもの)を含む(制御温度に保持された)試験室に導入した。ばね荷重式プローブ(spring loaded probe)を用いて、湿度センサの電極を、LCRメーター(Instek America,Corp.(米国カリフォルニア州Chino,)からInstekモデル821 LCRメーターとして入手可能)を備えた操作回路に接続した。静電容量型センサの静電容量(ピコファラド(pF))の変化を、水蒸気試験の全経過において、特定の時間間隔で、1kHz及び1Vの周波数で監視した。かかる低い作動電位及び高い摂動周波数の選択によって、測定された気体流中に存在する電気分解水に関連したいかなる考えられるファラデープロセスからの干渉もないことが保証された。
比較実施例Aは、一般的なセンサ素子の調製手順に従って、3Mペルフルオロスルホン酸アイオノマー(スルホン酸塩等価物当たり825グラム、3M Company(米国ミネソタ州Saint Paul)から入手可能)共重合体の20.0重量%の固体の、60/40(重量/重量)n−プロパノール/水溶液を使用して準備された。3Mペルフルオロスルホン酸アイオノマーは、テトラフルオロエチレンと4−スルホナトペルフルオロブトキシ−トリフルオロエチレンとの重合体(すなわち、CF2=CFO(CF2)4SO3H)である。
実施例1は、3Mペルフルオロスルホン酸アイオノマーの代わりに、下記化学量論式:
を有する重合体A、ランダムスルホン化共重合体が使用されたことを除いて、概して比較実施例Aと同一のやり方で準備された。重合体Aは、テトラフルオロエチレン単位当たり、比較実施例Aで使用された3Mペルフルオロスルホン酸アイオノマーと同一の数のスルホン酸基に本質的に対応する、スルホン酸塩等価物当たり1120グラムのスルホン酸塩当量を有する。重合体Aは概して、国際特許公開第2011/129967 A2号(Hamrockら)の実施例3に示された手順に従って調製された。
Claims (10)
- 前記誘電性基板が無孔性である、請求項1に記載の湿度センサ素子。
- 前記誘電性基板がガラス板を含む、請求項1又は2に記載の湿度センサ素子。
- 前記透過導電性電極が金を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の湿度センサ素子。
- 前記無孔質導電性電極が金を含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の湿度センサ素子。
- 前記スルホン化共重合体が、スルホン酸塩等価物当たり660〜2000グラムの範囲のスルホン酸塩当量を有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の湿度センサ素子。
- 入口開口部を有するセンサ室と、
静電容量を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の湿度センサ素子であって、前記入口開口部と流体連通している前記センサ室内に配置される、湿度センサ素子と、
前記湿度センサ素子の第1及び第2の導電性リードと電気通信しており、これによって、前記湿度センサ素子が電源に接続されると、前記センサ素子の前記静電容量を測定する、操作回路と、を備える、湿度センサ。 - 前記センサ室が、前記入口開口部と流体連通している出口開口部を更に備える、請求項8に記載のセンサ装置。
- 前記操作回路と通信可能に接続されたディスプレイ装置を更に備える、請求項8又は9に記載のセンサ装置。
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